KR940005068B1 - 허어메틱피복 광파이버의 제조방법 및 제조장치 - Google Patents

허어메틱피복 광파이버의 제조방법 및 제조장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음.

Description

허어메이티복 광파이버의 제조방법 및 제조장치
제1도는 본 발명에 따른 허어메티피복 광파이버의 제조장치의 일례를 도시한 단면도.
제2도는 본 발명에 따른 가스차폐부재로서 사용되는 가스완충실의 부분절단 사시도.
제3도는 제2도의 선 Ⅲ-Ⅲ을 따라 자른 가스완충실의 단면도.
제4도는 본 발명에 따른 가스완충실의 변형예.
제5도는 본 발명에 따른 허어메티피복 광파이버의 제조장치의 또다른 예를 도시한 측면도.
제6도는 본 발명에 따른 가스완충실의 사시도.
제7도는 스크리이닝레스트장치를 도시한 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1, 111 : 광파이버용 모재 2, 112 : 선드로오잉로
3, 113 : 나선의 광파이버 5, 114 : 반응기
5a : 도입개구부 5b, 5c, 5d : 분기관
6, 120 : 가스차폐부재 7 : 노심관
8 : 히이터 10 : 칸막이
10a : 구멍 11 : 상부관
11a, 12a : 창 11b : 배기구
12 : 하부관 13 : 배기관
15 : 홍채조리개 115 : 원료가스유입관
116 : 냉각장치 117 : 냉각가스유입관
118 : 수지피복장치 119 : 피복광파이버
121 : 정화가스배기관 122 : 가스유입관
본 발명은 헤어메틱(hermetic)피복된 광파이버의 제조방법 및 제조장치에 관한 것으로서,특히 나선의 광파이버를 선드로오잉(drawing)한 후 카아본코우팅등의 허어메틱코우팅법으로 피복하는 광파이버의 제조방법 및 제조장치에 관한 것이다.
예를 들면, 석영재의 광파이버모재를 선드로오잉로의 상부개구부로부터 이 선드로오잉로 공급하여 모재의 하단부를 융용하고, 이 융용된 부분을 상기 로의 하구개구부로부터 선으로 뽑아내서 석영모재의 직경을 소정의 직경으로 감축시키므로서 광파이버를 제조한다.
이와 같이 선으로 뽑은 광파이버의 표면을 보호하기 위해서는, 이 나선의 광파이버 표면둘레에 금속, 무기재료 또는 유기재료로 이루어진 얇은 허어메틱 피복층을 형성한 후, 이 피복된 광파이버에 광경화성 수지의 피복층을 도포한다.
허어메틱 피복에 의해서는, 물등의 고도의 습윤상태에서 습기로부터 광파이버를 보호하여 흡습에 의한 광전송손실의 증가를 방지할 수 있다. 또, 광파이버표면상의 물(H2O)에 의해 발생되는 균열의 전파를 억제할수 있으므로, 피로에 의한 광파이버의 강도감소를 방지할 수 있다. 따라서, 허어메틱 피복된 광파이버는 해저케이블용의 광파이버등의 내환경 파이버로서 주의를 끌어왔으며, 실제 사용되고 있다.
일반적으로, 나선의 광파이버상에 박막을 형성하는 수단으로서 히이터등의 가열원을 구비한 피복용 반응기를 사용항 화학적증착(CVD)법으로 광파이어버상에 허어메틱 피복을 시행한다. 이와 관련해서, 허어메틱피복용의 CVD법에는 플라즈마 CVD법을 제외한 통상의 압열 CVD법 및 감소된 압열 CVD법이 있다.
또한, 탄화수소를 함유한 가스의 열분해에 의해 생성된 카아본막으로부터 허어메틱피복을 형성할 수 있다.
상기 두 방법에 있어서, 허어메틱 피복을 시행하는 반응기와 선드로오잉로 사이의 공간에서 나선의 광파이버를 외부대기에 노출하면, 반응기와 선드로오잉로로부터 방출된 가스 부분적으로 흡입되어 원상태로 되므로써 나선의 광파이버주위의 기류가 교란되어, 광파이버가 온도 변동 즉, 온도저감을 받거나 외기에서의 부유입자의 공격을 받아 안정한 상태하에서 허어메틱 피복을 시행할 수 없다. 또한, 기류의 난류에 의해, 파이버의 진동이나 파이버 직경의 변동을 초래하게 된다.
나선의 광파이버를 높은 온도로 유지하거나 온도의 변동을 저감하기 위해서는, 허어메틱 피복용의 반응기와 선드로오잉로가 일제로 형성되어 있는 장치(예를 들면, 미국 특허 제4,702,759호 및 등 제4,790,625호)나 선드로오잉로와 반응기 사이에 차폐부재를 구비한 장치(예를 들면, 일본국 특공소 61-32270호)를 사용하는 것이 제안되어 있다. 또한, 반응기에 파이버를 도입하기 전에 파이버의 온도저감을 방지하기 위하여 나선의 광파이버를 재가열하는 방법도 제안되었다. 또한, 일본국 특원소 63-296279호(일본국 특개소 2-145461호)공보에는, 선드로오잉로의 가열과 함께 허어메틱피복용 반응기내에 도입될 불활성가스의 가열을 통해서 나선의 광파이버의 냉각을 방지하는 방법이 개시되어있다.
상기 미국특허의 일체형 장치나 일본국의 차폐부재를 구비한 장치는 외기의 영향을 유효하게 방지하며, 광파이버의 표면온도의 저감을 피하므로써 막형성온도를 유지하고, 외기로부터 반응기내부로의 부유입자의 침투를 방지할 수 있다. 그러나, 선드로오잉로로부터 가열된 정화가스가 직접 반응기로 들어가서 상기 선드로오잉로와 반응기안의 가스가 서로 간섭하므로, 반응기안의 가스의 온도나, 허어메틱 피복용의 원료가스의 온도를 제어하기가 어렵다.
반응기로안으로 예열된 희석가스를 간단하게 도입하므로서, 상기 반응기안의 가스의 온도나 원료가스의 농도를 제어할 수 있다. 그러나. 선드로오잉속도가 느리거나 파이버 직경이 작은 경우, 선드로오잉로로부터 방출된 나선의 광파이버가 대기에 의해 냉각되어, 광파이버의 표면온도가 낮아져서 필름의 증착온도가 변화므로, 필름성질을 제어하기가 어렵게 된다.
따라서, 본 발명의 목적은 선드로잉속도가 느리거나 파이버직경이 작더라도 균일한 허어메틱 피복을 형성 할 수 있는 허어메틱 피복 광파이버의 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 선드로오잉 속도가 느리거나 파이버직경이 작더라도 허어메틱피복을 균일하게 형성하는데 적합한 허어메틱 피복 광파이버의 제조장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 제1특성에 의하면, 선드로오잉로에서 광파이버모재를 용융드로오잉하여 나선의 광파이버를 제조하고 이 나선의 광파이버를 원료가스가 유입되는 반응기로 도입하는 공정과, 반응기에서 화학적 증착법이나 열분해법에 의해 나선의 광파이버의 표면주위에 허어메틱 피복막을 형성하는 공정으로 구성되고, 선드로잉로내에 장착된 히이터에 의해 가열된 선드로오잉로 정화용 불활성가스중 일부는 배출되고 그 나머지의 불활성 가스는 원료가스를 희석하기 위하여 반응기안으로 유입되는 것을 특징으로 하는 허어메틱 피복 광파이버의 제조방법이 제공된다.
본 발명의 제2특성에 의하면, 선드로오잉로와, 광파이버의 허어메틱피복용 반응기와, 상기 선드로오잉로와 반응기 사이에 설치되어 개구영역이 자유로이 조정가능한 적어도 하나의 가스배기구를 가지는 가스차폐부재로 구성된 허어메틱 피복 광파이버의 제조장치가 제공된다.
이하, 첨부도면을 참조해서 본 발명에 대해서 상세히 설명한다.
우선, 제1도 내지 제4도를 참조해서 본 발명에 따른 허어메틱 광파이버의 제조장치의 일례에 대하여 설명한다.
제1도는 본 발명에 따른 허어메틱광파이버의 제조장치의 일례의 단면도이다. 이 장치는 광파이버용 모재(1)의 하부를 용융드로오잉하는 선드로오잉로(2)와, 이 선드로오잉로(2)에서 제조된 나선의 광파이버주위에 허어메틱피복막을 형성하는 반응기(5)로 구성되어 있다. 또한, 이 장치는, 선드로오잉로(2)와 반응기(5) 사이에 설치된 가스차폐부재 소위 가스완충실(6)을 구비하고 있다.
선드로오잉로(2)내에는 노심관(7)이 설치되어 있으며, 이 노심관(7)내에는 도시하지 않은 아암(arm) 부재에 의해 모재(1)가 매달려 있다. 또, 노심관(7)안에는, 나선의 광파이버(3)를 형성하기 위한 드로오잉조건을 안정화시키기 위하여 질소가스와 같은 불활성기체가 공급된다.
선드로오잉로(2)는 모재(1)의 하단부를 가열·용융하기 위한 히이터(8)를 구비하고 있으며, 모재(1)의 용융된 하단부로부터 나서의 광파이버(3)가 드로오잉된다. 드로오잉된 나선의 광파이버(3)는 선드로오잉로(2)의 하부개구부로부터 빠져나와, 가스완충실(6)을 통과한 후, 도입개구부(5a)를 개재해서 반응기(5)로 들어간다. 반응기(5)안에서는, 나선의 광파이버가 카아본등으로 허어메틱 피복된다.
반응기(5)는 분기관(5b), (5c), (5d)을 가진다. 분기관(5b)로부터는 질소가스등의 불활성 가스가 시일링가스로서 반응기(5)로 도입되고, 분기관(5c)으로부터는 광파이버의 허어메틱 피복용의 원료가스가 반응기(5)로 공급된다. 원료가스는, 예를 들면 반응기(5)에서 열분해되어, 나선의 광파이버(3)주위에 카아본등의 박막을 형성한다. 시일링가스 및 원료가스는 분기관 (5d)으로부터 배기된다.
본 발명에 따르면, 상기 장치는, 선드로오잉로(2)와 반응기(5)사이에 가스완충실(6)을 가진다. 제2도에 도시한 바와 같이, 가스완충실(6)은 칸막이(10)와, 선드로오잉(2)의 하단부와 밀접하게 연결된 상부관(11)과, 상부관(11)과 일체로 형성되어 상부관주위에 연결되어 있는 하부관(12)로 구성되어 있다. 칸막이(10)의 중앙에는 구멍(10a)이 뚫려있고, 이 구멍(10a)을 개재해서 선드로오잉로(2)와 가스완충실(6)이 서로 연통되며, 이 구멍(10a)을 개재해서 나선의 광파이버(3)가 가스완충실(6)로 도입된다. 또, 가스완충실(6)은 도입개구부(5a)를 개재해서 반응기(5)와 연통되어 있다. 따라서, 선드로오잉로(2)의 가스 및 반응기(5)의 가스가 각각 구멍(10a) 및 도입개구부(5a)를 개재해서 가스완충실(6)로 들어간다.
제3도는 제2도의 가스완충실(6)의 단면도이다.
상부관(11)과 하부관(12)의 둘레벽에는 복수개의 창(11a), (12a)이 형성되어 있다. 그래서, 이들 창(11a), (12a)의 중첩부분은 가스완충실(6)의 배기구로서 기능하며, 이들 창의 중첩부분으로부터는 선드로오잉로(2)와 반응기(5)로부터 가스완충실(6)로 흐르는 가스가 배기된다. 이들 창의 중첩부의 면적, 즉 배기구의 개구면적은, 하부관(12)에 대해서 상부관(11)을 회전하므로서 조절할 수 있으며, 선드로오잉로(2)와 반응기(5)로부터 가스완충실(6)로 흐르는 가스의 양에 따라 조절된다. 이와 같이 중첩부의 면적을 조절하므로서, 가스완충실(6)안의 압력은 선드로오잉로와 반응기안의 가스압보다 낮고 외부압력보다 높게 유지된다. 이와 같이 압력을 조절하므로서, 가스완충실안에서의 가스의 간섭이 억제되고, 가스완충실오의 외부가스의 유입이 방지된다. 가스완충실(6)로부터 배출된 가스는 배기관(13)을 개재해서 흡기된다 (제1도 참조).
선드로오잉로(2)와 반응기(5)사이에는 가스완충실(6)이 설치되어 있으므로, 나선의 광파이버(3)는 외부가스에 노출됨이 없이 반응기(5)로 도입된다. 선드로오잉로(2)와 반응기(5)로부터 항상 가스가 유출되어도, 가스완충실(6)로 유입되는 가스는 배기구창으로부터 배기되므로 서로 간섭하지 않게된다. 따라서, 선드로오잉(2)와 반응기(5)내에 공급되는 가스의 양은 독립적으로 제어되어, 선드로오잉(2)로부터 반응기(5)로의 가스의 유압에 의한 반응기내의 반응조건의 변화 즉 허어메틱 피복조건의 변화나, 반응기(5)로부터 선드로오잉로(2)로의 가스의 유입에 의한 상기 선드로오잉로내의 선드로오잉조건의 변화를 방지할 수 있다. 그러므로, 선드로오잉로내의 선드로오잉조건 및 반응기내의 허어메틱 피복조건을 안정하게 유지할 수 있다.
제1도에 도시한 장치나 가스완충실이 없는 상기 구성의 장치를 사용해서, 허어메틱 피복된 광파이버를 제조하였다 각각의 경우에 있어서, 선드로오잉로의 히이터로 공급된 전력은 10.2KW이었고, 시일링가스(질소) 및 원료가스(캐리어가스포함)는 각각 4ℓ/min 및 400cc/min의 유량으로 공급하였으며, 반응기로부터는 2ℓ/min와 유량으로 가스가 배기되었다.
나선의 광파이버는 직경 125㎛이었고, 250m/min의 속도로 반응기에 도입되었다.
그 결과를 제1표에 표시한다.
[표 1]
상기결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 가스완충실을 구비한 본 발명의 장치에 의해서 나선의 앙파이버에 허어메틱 피복을 시행한 경우, 가스완충실을 구비하지 않은 장치에 의해서 제조한 피복된 관파이버보다도 인장강도가 향상되었고, 스크리이닝에 있어서도 덜 파괴되었으며, 파이버직경의 변동도 거의 절반정도에 불과하였다.
스크리이닝은 피복된 광파이버의 길이방향으로 2%의 변형을 가하여 수행하였다.
제4도에 도시한 바와 같이, 가스완충실에 있어서 칸막이(10) 대신에 홍채조리개(15)를 설치하여, 그외 연통개구부(15a)의 면적을 자유로이 조절할 수 있도록 한다. 연통개구부(15a)를 개재해서, 선드로오잉로(2)와 가스완충실(6)을 연통한다. 또, 홍채개구부(15)에 대해서 상부관(11)의 선드로오잉로쪽에는 배기구(11a)가 형성되어 있다. 개구부(15a)의 개구면적을 조절하므로써, 선드로오잉(2)로부터 가스완충실(6)로 유입되는 가스의 양을 조절하고 선드로오잉(2)로부터의 가스의 일부를 배기구(11b)를 개재해서 배기한다. 이와 같이 하므로서, 파이버직경의 변동율 ±0.15㎛까지 감축시킬 수 있다. 또, 가스완충실과 반응기사이에 홍채조리개를 설치하고 하부관의 반응기쪽에는 배기구를 형성한 경우, 파이버 직경의 변동을 억제할 수 있다.
본 발명의 또다른 바람직한 실시예에 있어서는, 선드로오잉로에서 가열된 선드로오잉로정화용 가스의 일부를 배기하고, 이 정화용 가스의 나머지 부분은 나선의 광파이버의 허어메틱 피복을 실시하기 위하여 반응로내에 희석가스로서 도입하고, 바람직하게는 신선한 불활성가스와 함께 반응기로 도입한다.
이 실시예에 있어서는, 제5도의 장치를 사용하는 것이 바람직하다.
본 실시예에 있어서는, 파이버의 직경이 작기 때문에 예를 들면 120㎛ 이하이거나 기타의 제한점 때문에 선드로오잉속도를 예를 들면 150㎛/min 이하로 낮게한 경우에 실제로 유용하다. 왜냐하면, 상기와 같은 조건하에서는 선드로오잉로부터 빠져나온 파이버가 허어메틱 피복용 반응기로 들어가기 전에 냉각되어 허어메틱 피복에 적합한 파이버온도를 유지할 수 없기 때문이다. 가스차폐부재(120)를 설치한 경우, 나선의 광파이버는 외부가스와의 접촉이 없이 상기 로로부터 반응기로 배출된 정화용 가스와 함께 도입된다. 따라서, 파이버온도의 저감을 방지하고, 반응기의 내부온도를, 제어하에서 가열된 불활성가스를 이용해서 적당하게 유지할 수 있다.
한편, 선드로오잉을 예를 들면 400m/min 이상으로 높인 경우, 반응기내의 파이버온도가 높게 되어, 이 온도조건은 양질의 허어메틱 피복을 형성하기 위한 최적의 범위를 벗어나게 된다.
이하, 본 실시예에 대해서 제5도 및 제6도를 참조해서 설명한다.
제5도의 장치는 광파이버용 모재(111)가 도입되며 카아본히이터(도시안됨)가 설치된 선드로오잉(112)를 구비하고 있다. 도입된 모재는 카아본 히이터에 의해 가열·응용되고, 드로오잉되어 나선의 광파이버(113)가 형성된다.
이 나선의 광파이버(113)는 반응기(114)를 개재해서 통과될 때, 원료가스용의 유입관(115)을 개재해서 공급된 반응가스의 반응에 의해 허어메틱 피복된 후, 냉각장치 (116)에서 냉각되며, 이 냉각장치에 있어서는, 허어메틱 피복된 광파이버상에 수지피복장치(118)에서 광경화성 수지를 피복할 수 있는 온도로, 냉각 가스유입관(117)을 개재해서 공급된 냉각가스에 의해 상기 피복된 광파이버(119)가 냉각된다.
이 장치에 있어서, 가스차폐부재(120)는 선드로오잉(112) 및 반응기(114)와 함께 기밀연결된다.
가스차폐부재(120)에는, 선드로오잉로(112)로부터 유입된 정화가스를 배기하기 위한 가스배기관(121)과, 신선한 불활성 가스를 도입하기 위한 가스유입관(112)이 구비되어 있다. 상기 배기관 및 유입관의 갯수는 임의이며, 1개 이상으로 해도 된다. 가스차폐부재(120)의 길이는 선드로오잉조건에 따라서 조정된다.
배기관(121) 및 유입관(122)의 선단부는 유량조절기(도시안됨) 및 임의의 펌프와 접속되어 있다. 각 유입관(122)의 온도는 조절된다.
상기와 같이 구성되므로서, 반응기(114)내에 공급되는 불활성가스(희석가스)의 유량 및 온도가 조절된다. 불활성 가스의 예로서는 질소가스, 아르곤가스, 헬륨가스 등이 있다.
제5도의 장치에 의해서, 선드로오잉로로부터의 배기가스의 유량을 자유로이 조절할 수 있으며, 반응기(114)내에 도입되는 정화가스의 나머지부분의 온도를 소정의 온도에서 조절할 수 있다.
제5도의 장치를 사용하므로서, 다음의 실험예에 있어서 허어메틱 피복된 광파이버를 제조하였다.
다음의 실험예에 있어서, 원료가스로서는 C2H4및 CHCl2를 사용하였고, 캐리어가스로서는 헬륨가스를 사용하였다. 이들 가스를 유입관(115)를 개재해서 반응기(114)로 공급하였다. 선드로오잉로의 정화가스 및 냉각용 차폐가스로서는 질소가스를 사용하였다.
[실험예 1]
다음의 조건하에서, 냉각용 불활성가스의 유량을 변화시키면서 나선의 광파이버 주위에 카아본 피복막을 형성하였다.
선드로오잉로의 정화가스의 배기속도 : 10ℓ/min
[비교예]
다음의 조건하에서, 나선의 광파이버 주위에 카아본 피복막을 형성하였다.
실험예 1 및 비교예에서 제조된 카아본 피복된 광파이버의 특성을 제2표에 나타낸다.
[표 2]
[실험예 2]
다음의 조건하에서, 선드로오잉로의 정화가스의 유량을 변화시키면서 나선의 광파이버주위에 카아본 피복막을 형성하였다.
실험예 2에서 제조된 카아본 피복 광파이버의 특성을 제3표에 나타낸다.
[표 3]
[실험예 3]
다음의 조건하에서, 냉각용 불활성 가스의 유량을 변화시키면서 나선의 광파이버의 주위에 카아본 피복막을 형성하였다.
실험예 3에서 제조된 카아본 피복 광파이버에 특성을 제4표에 나타낸다.
[표 4]
상기 제2, 3 및 4표의 결과로부터 명백한 바와 같이, 본 발명의 장치를 사용한 경우에는, 광파이버의 두깨를 80㎛로 한 경우에도 비교예보다 피복막의 품질이 균일하고 특성도 양호하였다. 선드로오잉속되를 느리게 한 경우, 광파이버의 특성은 양호하였다. 또 선드로오잉속도를 50m/min까지 낮춘 경우에도 허어메틱 피복의 품질은 양호하였다.
여기에서, 스크리이닝테스트와 피로지수 및 수소저항의 측정에 대해서 다음과 같이 수행하였다.
스크리이닝 테스트
스크리이닝테스는 제7도의 장치로 수행하였다. 부드러운 고무벨트를 구비한 2중의 구동모올로 광파이버를 억압하고 충분한 마찰력(2%스트레인)을 가하여, 댄서로울을 개재해서 광파이버에 스크리이닝테스트를 실시하여, 광파이버 10km당의 절단수를 기록하였다.
피로지수(n)
소정시간 이상 광파이버에 가해진 부하응력의 변화에 의해 발생하는 다이내믹 피로를 사용하였다. 소정의 응력부하율(δ)에서 인장시험을 수행하면, 광파이버가 절단될 때까지의 시간(td)과 절단시의 강도(σd)는 다음식을 만족한다.
logtd=-nlogσd+logkd
여기에서, σd와 kd는 다음식으로 표현된다.
logσd=(1+n)-1logδ+(1+n)-1logkd
logkd=logs+log(n+1)
여기에서, ks는 광파이버의 재료와 크기 그리고 분위기에 좌우되는 상수이다.
수소저항
△α1.24=α1.24-α0 1.24(dB/km)
여기에서, α0 1.24는 파장 1.24㎛에서의 chrl 전송손실, α0 1.24곧 80℃, 1Atm의 순수 수소분위기에서 20시간동안 광파이버를 처리한 후의 파장 1.24㎛에서의 전송손실이다.

Claims (8)

  1. 선드로오잉로에서 광파이버모재를 용융드로오잉하여 나선의 광파이버를 제조하고 이 나선의 광파이버를 원료가스가 유입되는 반응기로 도입하는 공정과, 상기 반응에서 화학적 증착법이나 일본해법에 의해 상기 나선의 광파이버표면 주위에 허어메틱 피복막을 형성하는 공정으로 구성되고, 상기 선드로오잉로내에 장착된 히이터에 의해 가열된 상기 선드로오잉로 정화용 불활성가스의 일부는 배기되고, 상기 불활성가스의 나머비부분은 상기 원료가스를 희석하기 위하여 상기 반응기안으로 유입하는 것을 특징으로 하는 허어메틱 피복 광파이버의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 불활성가스의 나머지 부분은 신선한 불활성가스와 혼합된 후 상기 반응기안으로 유입되는 것을 특징으로 하는 허어메틱 피복광파이버의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 불활성가스가 질소가스인 것을 특징으로 하는 허어메틱 피복광파이버의 제조방법.
  4. 선드로오잉로와, 광파이버의 허어메틱 피복용 반응기와, 상기 선드로오잉로와 상기 반응기 사이에 배치되어 적어도 하나의 가스배기구를 가지는 가스차폐부재로 구성된 허어메틱 피복광파이버의 제조장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 가스배기구의 개구면적은 자유로이 조절가능한 것을 특징으로 하는 허어메틱 피복 광파이버의 제조장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 가스차폐부내는 적어도 하나의 가스유입구를 가지는 것을 특지응로 하는 허어메틱 피복광파이버의 제조방법.
  7. 제4항에 있어서, 상기 선드로오잉로와 상기 반응기 사이에는 개구부의 변적이 조절가능한 연통개구부가 설비되어 있는 것을 특징으로 하는 허어메틱피복 광파이버의 제조장치.
  8. 제4항에 있어서, 상기 가스차폐부재와 상기 반응기 사이에는 개구부의 면적이 조절가능한 연통개구부가 설비되어 있는 것을 특징으로 하는 허어메틱피복 광파이버의 제조장치.
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