KR940004753A - 다층배선 구조의 층간절연층의 구조 및 그 형성방법 - Google Patents
다층배선 구조의 층간절연층의 구조 및 그 형성방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 콘택홀 내에 형성된 도전물질의 측벽에 소정의 물질로 형성된 스페이서를 포함하는 다층배선 구조의 층간절연층의 구조 및 그 형성방법을 제공한다. 따라서, 층간절연층의 신뢰도 및 다층배선의 신뢰도를 개선할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제6도 내지 제11도는 본 발명의 방법에 의한 다층배선 구조의 층간절연층 형성방법을 설명하기 위해 도시된 단면도들,
제12도는 본 발명의 방법에 의해 제조된 다층배선 구조의 층간절연층의 구조를 도시한 단면도.
Claims (9)
- 콘택홀 내의 형성된 도전물질의 측벽에 소정의 물질로 형성된 스페이서를 포함하는 다층배선 구조의 층간절연층의 구조.
- 콘택홀 내에 형성된 도전물질의 측벽에 소정의 물질로 된 스페이서를 형성하는 공정 및 결과물 상에 층간절연층을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 다층배선 구조의 층간절연층 형성방법.
- 제1항에 있어서, 상기 소정의 물질로 절연물질을 사용하는 것을 특징으로 하는 다층배선 구조의 층간절연층 형성방법.
- 제3항에 있어서, 상기 절연물질로 플라즈마-산화막을 사용하는 것을 특징으로 하는 다층배선 구조의 층간절연층 형성방법.
- 제3항에 있어서, 스페이서를 형성하는 공정 이후에, 결과물 전면에 도전물질 보호층을 형성하는 것을 특징으로 하는 다층배선 구조의 층간절연층 형성방법.
- 제5항에 있어서, 상기 도전물질 보호층을 구성하는 물질로 TiN을 사용하는 것을 특징으로 하는 다층배선 구조의 층간절연층 형성방법.
- 제1항에 있어서, 상기 소정의 물질은 임의의 이방성 식각에 대해 콘택홀 내에 형성되어 있는 도전물질과는그 식각율이 다른 도전물질인 것을 특징으로 하는 다층배선 구조의 층간절연층 형성방법.
- 제1항에 있어서, 상기 도진물질을 콘택홀의 모서리 부분에서 오버행되는 모양으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 다층배선 구조의 층간절연층 형성방법.
- 제1항에 있어서, 상기 층간절연층은 플라즈마-산화막/제1의 O3-TEOS 산화막 / SOG막 / 제2의 O3-TEOS 산화막과 같이 여러층의 절연층으로 형성되어 그 표면이 평탄화되어 있는 것을 특징으로 하는 다층배선구조의 층간절연층 형성방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920015488A KR960000377B1 (ko) | 1992-08-27 | 1992-08-27 | 다층배선 구조의 층간절연층의 구조 및 그 형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920015488A KR960000377B1 (ko) | 1992-08-27 | 1992-08-27 | 다층배선 구조의 층간절연층의 구조 및 그 형성방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR940004753A true KR940004753A (ko) | 1994-03-15 |
| KR960000377B1 KR960000377B1 (ko) | 1996-01-05 |
Family
ID=19338598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019920015488A KR960000377B1 (ko) | 1992-08-27 | 1992-08-27 | 다층배선 구조의 층간절연층의 구조 및 그 형성방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960000377B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030056743A (ko) * | 2001-12-28 | 2003-07-04 | 최한욱 | 설비를 이용하여 블록을 제조하는 방법 |
-
1992
- 1992-08-27 KR KR1019920015488A patent/KR960000377B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030056743A (ko) * | 2001-12-28 | 2003-07-04 | 최한욱 | 설비를 이용하여 블록을 제조하는 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960000377B1 (ko) | 1996-01-05 |
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