KR940004689A - 이온화가능한 가스매체를 사용하는 어드레스구조의 바이채널 전극구조 및 그 동작방법 - Google Patents

이온화가능한 가스매체를 사용하는 어드레스구조의 바이채널 전극구조 및 그 동작방법 Download PDF

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Abstract

이온화가능한 가스매체를 사용하는 어드레스구조의 전극구조(100)는 기판(102)과 커버(126)를 가진다. 복수의 채널형성부(116,118,120,122,124)는 각각 기간과 커버사이에 배설되며, 인접하는 2개의 채널형성부는 이온화 가능한 가스매체를 위한 플라즈마방전채널(129,l31,133,135,137)을 형성한다. 전극(104,106,108,l10,112)은 각 채널형성부를 통하여 연장됨으로써, 전극이 채널형성부에 의하여 형성된 각 채널에 부분적으로 노출된 표면을 가진다. 각각의 채널형성부 즉 격벽은 커버로부터 각 전극을 분리한다. 본 발명의 전극구조를 사용하는 어드레스구조는 채널을 형성하는 인접 채널형성부의 2개의 전극을 구동함으로써 각 채널내의 가스를 이온화한다.

Description

이온화가능한 가스매체를 사응하는 어드레스구조의 바이채널 전극구조 및 그 동작방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제8A도는 제7도의 공통채널전극에 구동신호를 전달하는 출력증폭기를 나타낸 도면,
제9도∼제10도는 본 발명에 의한 개선된 전극구조의 7개의 실시예의 부분단면도.

Claims (19)

  1. 절연기판과, 유전체커버와, 기판과 커버사이에 배설되며, 양측부를 가지며, 인접하는 각 쌍이 그 중 하나의 일측부, 그중 다른 하나의 일측부, 기판 및 커버 사이에 플라즈마방전채널을 형성하며, 소정간격의 비교차하는 복수의 채널형성부로 이루어지고, 상기 각 채널형성부는 그 채널형성부의 양측부중 하나의 일부를 형성하는 제1표면과, 그 채널형성부의 양측부중 다른 하나의 일부를 형성하는 제2표면을 가지는 전기전도성 전극과, 전극과 커버사이에 절연벽을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 이온화가능한 가스메체를 사용하는 어드레스구조의 전극구조.
  2. 제1항에 있어서, 하나걸러의 전극은 소정범위내의 파장의 전자기 복사에 대하여 실질적으로 투과성을 가지는 것을 특징으로 하는 전극구조.
  3. 제2항에 있어서, 하나걸러의 전극은 산화인듐주석으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전극구조.
  4. 제1항에 있어서, 각 전극은 소정범위내의 파장의 전자기 복사에 대하여 실질적으로 투과성을 가지는 것을 특징으로 하는 전극구조.
  5. 제4항에 있어서, 각 전극은 산화인듐주석으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전극구조.
  6. 제1항에 있어서, 각 전극은 제1의 전기전도성 재료로 형성된 전류버스와, 제2의 전기전도성 재료로 형성되고, 전류버스와 전기적으로 결합된 배전버스로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전극구조.
  7. 제6항에 있어서, 배전버스는 소정범위내의 파장의 전자기 복사에 대하여 실질적으로 투과성을 가지는 것을 특징으로 하는 전극구조.
  8. 제7항에 있어서, 배전버스는 산화인듐주석으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전극구조.
  9. 제1항에 있어서, 각 절연벽은 절연섬유로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전극구조.
  10. 제9항에 있어서, 섬유는 유리섬유인것을 특징으로 하는 전극구조.
  11. 제9항에 있어서, 광섬유인 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 전극구조.
  12. 제9항에 있어서, 각 채널형성부의 전극은 그 채널형성부의 섬유를 기판에 적착한 것을 특징으로 하는 전극구조.
  13. 제10항에 있어서, 각 채널형성부의 전극은 그 채널형성부의 유리섬유를 기판에 접착한 것을 특징으로 하는 전극구조.
  14. 제13항에 있어서, 각 전극은 응용된 니켈페이스트프리츠로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전극구조.
  15. 최소한 하나의 전극이 인접채널의 전극에 공통인 2개의 전극을 가지는 어드레스구조의 비중첩다중채널중 각 하나에 포함된 이온화 가능한 가스를 연속하여 선택적으로 이온화하는 방법으로서, 전위차가 어드레스구조내의 다른 채널들중 임의의 하나의 다른 전극상의 신호사이의 전위차보다 큰 신호, 선택적 채널의 다른 전극에 인가되는 신호의 크기보다 큰 선택될 다음 채널에 공통인 전극에 인가되는 신호를 선택된 채널의 2개의 전극에 인가하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 이온화방법.
  16. 제15항에 있어서, 선택될 다음 채널의 2개의 전극은 그전위차가 선택될 다음 태널내의가스를 이온화하는데 필요한 것보다 작은 신호를 수신하는 것을 특징으로 하는 이온화 방법.
  17. 제16항에 있어서, 선택될 다음 채널에 공통인 전극에 인가되는 신호의 크기는 선택될 다음 채널의 다른전극에 인가된 것보다 큰 것을 특징으로 하는 이온화방법.
  18. 제15항에 있어서, 선택될 다음 채널에 공통인 전극에 인가되는 신호의 크기는 후속하는 다음 채널의 선택이전에 선택된 채널내의 이온화가능한 가스의 감쇠시간을 단축시키기 위하여 크기를 변화시키는 것을 특징으로 하는 이온화방법.
  19. 제15항에 있어서, 각 채널은 프레임주사주기동안에 1회 주사되고, 이전에 주사된 채널의 2개의 전극은 프레임주사기의 나머지동안에 접지전위로 남아 있는 것을 특징으로 하는 이온화방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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