KR940004543A - 자기기록매체 및 그 제조방법 - Google Patents

자기기록매체 및 그 제조방법 Download PDF

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KR940004543A
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류지 스기타
키요카즈 토오마
타쯔아끼 이시다
야스아끼 반
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모리시타 요이찌
마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
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Abstract

본 발명은, 높은 S/N을 얻을 수 있는 자기기록매체 및 제조방법에 관한 것이며, 이를 실현하는 본 발명은, 그 구성에 있어서, 기판위에 자화용 이축이 막면의 법선에 대해서 경사지고 있는 박막자성충이 형성되어 있으며, 자화용 이축과 법선을 포함하는 평면안에 있어서 인가자계를 인가하는 방향을 변화시켜서 측정한 보자력의 각도의존성이, 2개의 극대치 A,B의 2개의 극소치 C,D를 가지고, 막연안으로 가까운 쪽의 극대치 A와 막면안으로 가까운 쪽의 극소치 D의 비율 A/D가 1.6∼2.4사이에 있고, 막연안으로 가가운 쪽의 극대치 A가 박면의 법선에 가까운 쪽의 극대치 B보다도 큰 자기기록매체 및 그 제조방법을 제공할 수 있다.

Description

자기기록매체 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 박막테이프를 제조하기 위한 진공증착장치내부의 개략을 표시한 도면.

Claims (3)

  1. 기판위에 자화용 이축이 막면의 법선에 대해서 경사지고 있는 박막자성층이 형성되어 있고, 자화용 이축과 법선을 포함하는 면안에 있어서, 인가자계의 방향을 막면으로부터 ±90°변화시켜서 축정한 보자력의 각도의존성이 2개의 극대치와 2개의 극소치를 가지고, 막연안으로 가까운쪽의 극대치와 막면안으로 가까운쪽의 극소치의 비율이 1.6에서부터 2.4사이에 있고, 막면안으로 가까운쪽의 극대치가 법선에 가까운쪽의 극대치보다도 큰 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
  2. 기판위에 자화용 이축이 막면의 법선에 대해서 경사지고 있는 Co기의 박막자성층이 형성되어 있고, 상기 자성층은 기둥형상구조를 가지고, 평균산소통도기 13∼35원자%의 범위에 있고, 상기 기둥형상구조를 구성하는 기둥형상결정입자의 법선에 대한 경사각이, 상기 기판과의 계면으로부터 자성층표면까지의 전체영역에 걸쳐서 50∼70°의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
  3. 진공증착법에 의해 원통형상캔을 따라서 주행하고 있는 기판위에, 막형성계시부에 있어서의 증발원자의 기판에의 입사각을 기판법선에 대해서 85°이하로하고, 막형성종료부에 있어서의 증발원자의 기판에의 입사각을 55°이상으로해서, 막형성종료부 근처로부터 증발원자를 향해서 산소를 공급하고, 막속의 평균산소농도가 13∼35원자%의 범위에 있는 Co기의 자성층을 형성하는 것을 특징으로 하는 자기기록매체의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930015652A 1992-08-14 1993-08-13 자기기록매체 KR0162915B1 (ko)

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JP21675792 1992-08-14
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DE69325214D1 (de) 1999-07-15
KR0162915B1 (ko) 1999-01-15
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US5427869A (en) 1995-06-27
EP0583722A1 (en) 1994-02-23
JPH06111272A (ja) 1994-04-22

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