KR940002496B1 - 부유미입자 측정 방법 및 그 장치 - Google Patents

부유미입자 측정 방법 및 그 장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음.

Description

부유미입자 측정 방법 및 그 장치
제1도는 장치의 기본구조를 나타낸 단면도.
제2도는 전기회로를 나타낸 블록도.
제3도는 구체적 실시예를 나타낸 일부단면의 설명도.
제4도는 제3도에서 나타낸 검출부의 사용상태를 나타낸 사시도.
제5도는 다른 실시예를 나타낸 사시도.
제6도는 또 다른 실시예를 나타낸 단면도.
제7도는 실시결과를 나타낸 그래프도.
제8도는 종래방법과의 비교를 위한 실시방법을 나타낸 도면.
제9도는 그 실험결과의 그래프도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 통상부재(筒狀部材) 1A : 내면(內面)
2 : 거울표면(鏡面) 3 : 광원(光源)
5 : 집광렌즈 6 : 광검출기
8 : 신호처리장치 10 : 표시기록부
11 : 미입자 12 : 평행광선
13 : 지지부재 19 : 유체(流體)
20,21 : 관(管)부재 29 : 반사방지부재
본 발명은 기름, 물, 공기등의 유체속에 부유하는 미입자의 농도를 측정하는 방법 및 그 장치에 관한 것으로 특히 광학적으로 측정하는 방법 및 그 장치에 관한 것이다. 유체속의 미입자(예컨데, 기름속의 디스트, 거품, 물속의 공형물, 공기속의 먼지)의 농도측정은 광학적 방법이 많이 채용되고 있다. 이 종래의 방법은 광원과 광검출기와를 일직선상에 배치하여 광원으로부터의 빛을 유체에 조사하여 투과한 빛을 광검출기로 검출하여 광검출기로 검출된 광량의 미입자에 의한 빛의 흡수 또는 산란 때문에 광원으로부터의 광량보다도 적어짐에 기초하여 유체속에 있어서의 미입자의 농도를 측정한다.
이상의 종래 기술에 의하면 미입자의 크기 및 농도가 작을 때에는 광원으로부터의 광량과 광검출기로 검출되는 광량과의 차가 커지지 않기 때문에, 측정할 수 있는 미입자의 크기 및 농도에 한계가 있으며, 극소미입자 및 농도의 측정은 불가능하였다. 또, 일정이상의 측정 정밀도를 유지하기 위하여는 광원으로부터의 광량과 광검출기에서 검출되는 광량과의 차를 크게할 필요가 있으며, 이 때문에 측정대상인 시료유체의 용량을 크게하지 않으면 안되며, 따라서 시료유체의 대용량화에 의하여 장치가 전체적으로 대형화하여 버린다고 하는 문제가 있었다.
본 발명의 목적은 미입자의 크기, 농도가 극히 작아도 측정이 가능하여 측정한계의 향상을 꾀할 수 있으며, 또 장치전체를 소형화할 수 있어서 취급하기가 용이함과 동시에 휴대할 수도 있도록한 부유미입자 측정방법 및 그 장치를 제공함에 있다.
이 때문에 본 발명의 측정방법은 미입자가 부유하는 유체에 빛을 조사함과 함게 이 빛을 거울표면에서 반사시키면서 유체속을 진행하게 하고, 이 진행도중에서 미입자에서 반사, 산란한 빛의 각각의 평행광선을 집광하여 검출함에 따라 유체속의 미입자의 농도를 측정한다.
이와같이 빛을 거울표면에서 반사시킴에 따라, 광로(光路)가 길어져서 미입자에 여러방향으로부터 빛이 조사하도록 되어, 집광되어서 검출되는 평행광선의 강도를 크게할 수 있도록 된다.
또 본 발명의 측정장치는 내면이 거울표면이고 내부에 미입자가 부유하는 유체를 수용하며, 또한 축방향으로 연장하여 형성된 유체수용수단과 이 유체수용수단에 광축(光軸)이 이 수용수단의 축선과 소정각도를 이루어 장치된 광원과 미입자로부터 반사, 산란한 빛의 중에서 전술한 축방향과 평행한 방향으로 진행하는 광선을 집광하는 집광렌즈와 대립 배치된 광검출기와 이 광검출기로 검출된 광량에 관한 신호를 처리하여 유체속의 미입자의 농도를 구하는 신호처리장치와를 지닌 이러한 구성으로 측정방법을 실현할 수 있었다.
다음에 설명하는 각 실시예에 있어서는 이해 또는 설명의 편의를 위하여 동일부재에는 동일부재를 사용하도록 하였다.
제1도는 이 실시예에 관한 장치의 기본구조를 나타낸 단면도이다. 제2도는 장치의 전기회로구성을 나타낸 블록도이다. 제1도에서 미입자가 부유하는 유체를 내부에 수용하는 수용수단으로서의 통상부재(1)는 동일 안지름 치수가 축방향으로 연속되었으며, 내면(1A)은 거울표면(2)으로 되어 있다. 이 거울표면(2)은 내면(1A)에 Al,Mg,Ag,Au,Cr 등을 증착 또는 도금함에 따라 형성되어 있다. 통상부재(1)에는 광원(3)이 부착되었는데 광원(3)으로부터의 빛은 통상부재(1)이 둘레측면에 형성한 관통구멍(4)을 통과하여 통상부재(1)의 내부에 진입할 수 있도록 되어 있다. 이 관통구멍(4)에는 유리등의 투명부재가 끼워져 있으며, 통상부재(1)의 기밀성이 확보되어 있다. 광원(3)은 그 광축이 통상부재(1)의 축선과 각도를 이루도록 배치되었으며, 이 실시예에서는 광원(3)의 광축과 통상부재(1)이 축선이 직각을 이루고 있다. 광원(3)은 예컨데 포트다이오우드(Photodiode), 텅스텐램프로 구성되어 있다. 이에 국한하지 않고 광원(3)을 레이저(laser)이나 분광된 빛을 발생하는 장치로 구성하여도 좋으며, 또 광섬유를 이용한 것이라도 좋다.
통상부재(1)의 개구단부(1B)에는 집광렌즈(5)가 배치되었으며, 이 집광렌즈(5)는 한쪽면 블록렌즈로서 렌즈의 볼록면을 바깥쪽으로 향하게 렌즈의 평면쪽을 개구단부(1B)에 밀착 맞닿게하여 통상부재(1)에 장치하고 있다.
집광렌즈(5)의 바깥쪽에는 광검출기(6)가 마련되었으며, 집광렌즈(5)와 광검출기(6)와는 통상부재(1)의 축선 연장선상에 대립 배치되었고, 이것들의 간격은 집광렌즈(5)의 초점거리와 같다. 집광렌즈(5)와 광검출기(6)와의 사이에는 슬릿부재(7)가 배치되어 있다. 광검출기(6)는 예컨데 광전자증배관, Cds 그 밖의 포트센서로 구성되어 있다. 이에 국한하지 않고 광검출기(6)를 광섬유로 다른 검출기, 분광기에 빛을 도입하는 구조로 하여도 좋다.
제2도에 나타낸 바와같이 광검출기(6)에는 신호처리장치(8)가 접속되었으며, 이 신호처리장치(8)는 광검출기(6)로 검출된 빛이 광전 변환되어서 전기출력으로서 신호에 변환된 다음, 이 신호를 희망하는대로 처리한다.
즉, 신호처리장치(8)는 전기신호를 증폭하는 기능, 이것을 연산처리하여 미입자의 농도를 구하는 기능, 광검출기(6)로 검출된 광량이 적을 경우에는 광원조정부(9)를 제어하여 광원(3)의 발광량을 증가시키는 기능등을 지니고 있다.
신호처리장치(8)에는 표시기록부(10)가 접속되었으며, 이 표시기록부(10)는 신호처리장치(8)에서 구한 미입자의 농도를 디지틀 또는 애너로그 표시하는 기능 및 이것을 기록하는 기능을 지니고 있다.
다음 작용에 대하여 설명하거니와 통상부재(1)의 내부에 유체를 수용한다. 이 유체는 농도를 측정하여야 할 더스트, 진애드의 미입자가 존재하는 것이며, 기름, 물, 공기 등으로서 좋다. 광원(3)을 발광시키면 유체에 빛이 조사되며, 이 빛은 거울표면(2)에서 반사하면서 유체속을 진행한다.
진행도중에서 빛은 미입자(11)에 충돌하여, 반사, 산란한다. 이 반사, 산란은 각각의 미입자(11)에 대하여 하게 되고 산란광내의 평행광선(12)이 집광렌즈(5)에서 집광되면서 통상부재(1)의 외부에 도출된다.
이상에서 거울표면(2)에 의한 반사에 의하여 광로가 길어짐과 동시에 빛의 진행방향은 난반사로서 임의의 방향이기 때문에 미입자(11)에는 여러방향에서 빛이 조사되고, 바꾸어 말하면, 통상부재(1)의 내면(1A)의 전체면이 발광면으로 된 것과 마찬가지로 됨으로서 평행광선(12)의 강도는 커지며, 집광렌즈(5)로 집광되어서 광검출기(6)로 검출되는 광량이 커지게 된다.
광검출기(6)로 검출된 광량에 따라서 전기신호가 발생하여, 이 신호가 신호처리장치(8)에서 처리되어서 미입자(11)의 농도가 표시기록부(10)에 표시 기록된다. 여기에서, 미입자(11)의 크기가 매우 작은 것이라도 평행광선(12)의 강도가 커지기 때문에 극소 미입자(11)의 측정이 가능하게 된다. 또, 유체속의 미입자(11)의 농도가 작은 것이라도 각각의 미입자(11)로부터 발생하는 평행광선(12)의 강도는 크기 때문에 그 농도를 측정할 수 있도록 되어, 종래 장치보다도 측정감도를 높일 수 있다.
또, 이 장치는 외형상 통상부재(1)가 조요부재인데 광검출기(6), 슬릿부재(7)등을 포함하여도 전체적으로 가늘고 긴 통상으로 되기 때문에 장치를 소형 경량화할 수 있고, 취급, 조작성의 향상을 도모할 수 있음과 동시에 휴대하기도 좋게되어 있다.
제3도, 제4도는 구체적인 실시예를 나타내고 있다. 통상부재(1)에는 지지부재(13)를 마련하였으며, 이지지부재(13)는 원통형상으로 외통인 통상부재(1)에 대하여 내통인 지지부재(13)는 통상부재(1)의 축선방향으로 미끄러져 움직이기 자유롭도록 되어 있다. 통상부재(1)의 내부에 면하는 지지부재(13)의 개구단부(13A)에는 집광렌즈(5)가 부착지지 되었으며, 또 지지부재(13)의 내부에 광검출기(6) 및 슬릿부재(7)가 배치되어 있다. 따라서, 집광렌즈(5)등은 통상부재(1)에 대하여 이동이 자유롭도록 되어 있다. 통상부재(1)의 저면(IC)에는 개구부(14)가 형성되었으며, 통상부재(1)의 둘레측면에도 개구부(15)가 마련되어 있다.
이상의 통상부재(1), 지지부재(13) 등으로 검출부(16)가 구성되었으며, 이 검출부(16)는 코오드(17)로 전지제어부(18)에 접속되었으며, 전기제어부(18)는 신호처리장치(8), 광원조정부(9), 표시기록부(10)를 포함하는 것으로 되어 있다.
이 장치는 사용하지 않을때는 지지부재(13)가 통상부재(1)에 밀어 넣어져 있으며, 따라서 검출부(16)는 수축상태로 되어, 길이 치수의 단축으로 격납 스페이스를 작게 할 수 있다. 이 장치를 사용하는 경우에는 제4도에 나타낸 바와같이 검출부(16)를 유체(19)에 삽입한다. 이때, 지지부재(13)는 통상부재(1)에 대하여 신장상태로 되어, 개구부(14)로부터 유체(19)가 흘러들어감과 동시에 개구부(15)로부터 공기가 배출되어 통상부재(1)에 유체(19)가 수용 충전된다.
그리고 광원(3)을 발광시켜서 유체(19)속에서 부유하는 미입자의 농도측정을 하게된다.
이 측정작업에서, 미입자의 농도가 작아서 광검출기(6)로 검출되는 광량이 적을 경우에는 통상부재(1)에 대하여 지지부재(13)를 뻗게 하여 통상부재(1)에 수용하는 유체(19)의 량을 크게한다. 이에 따라 통사부재(1)내의 미입자의 수가 증대하여, 광검출기(6)로 검출하는 광량이 증대한다. 이와같이 이 실시예에서는 지지부재(13)을 통상부재(1)에 대하여 이동이 자유롭도록 하였기 때문에 통상부재(1)에 수용하는 유체(19)의 량을 미입자의 농도에 따라서 조정할 수 있도록 되어, 검출 농도의 한계를 높일 수 있다.
제5도는 작업인이 통상부개(1)에 시험재료인 유체를 수용하도록 구성되어 있는 실시예를 나타내고 있다. 통상부재(1)의 둘레측면에는 2개의 관부재(20), (21)가 세워 설치되었으며, 통상부재(1)를 수평방향에 대하여 각도(θ)만큼 기울려서 낮은 위치의 관부재(20)로부터 유체를 유입함과 동시에 높은 위치의 관부재(21)로부터 공기를 뽑아내도록 한다.
제6도는 관로(22)에 흐르고 있는 유체의 미입자 농도를 직접 측정하기 위한 실시예를 나타내고 있다.
통상부재(1)의 둘레측면에는 개구부(23),(24)가 형성되었으며, 이것들 개구부(3),(24)는 관로(22)에 마련된 개구부(25),(26)와 연결관(27),(28)을 개재하여 연결되어 관로(22)속의 유체가 통상부재(1)에 우회 유입하여 유출한다. 이 실시예에서는 통상부재(1)의 내부에 반사방지부재(29)가 마련되어 있으며, 이 반사방지부재(29)의 적어도 집광렌즈(5)와 대립하는 면이 흑색으로 착색되어 있다.
이에 따라 집광렌즈(5)와는 반대방향으로 진행하여서부터 통상부재(1)의 단부에서 반사되어야할 광선이 반사방지부재(29)에서 흡수되어서 반사되지 않으며, 따라서 광검출기(6)에서 검출되는 빛이 집광렌즈(5)의 방향으로 진행한 미입자(11)로부터 평행광선(12)으로 되어 미입자 농도의 측정 정밀도를 높이도록 되어 있다.
제7도는 윤활유에 JIS 표준 더스트를 첨가하여, JIS B9930의 5 "자도익 입자계수기법"에 게재된 오탁(汚濁) 계측기 HIAC PC-320(HIAC/RYCO Instrument Division제)에 의한 NAS 등급과의 상관을 조사한 실험결과이다. 이 그래프가 나타낸 바와같이 상관계수 R=0.99의 양호한 결과를 얻을 수 있었다.
또, 증류하여 0.8미크론의 밀리포어필터(Millipore Corp제)로 여과한 물에 카올린을 첨가하여 카올린 입자량과 표시값(검출광량)과의 상관을 조사한 결과, 양호한 결과를 얻었다.
나아가서, 시료로서의 유체를 공기중의 연초의 연기로 하여 이 연기의 희석량과의 상관을 조사한 결과 양호한 결과를 얻을 수 있었다.
제9도는 제8도와 같이 모우터(30)를 사용하여 회전하는 교반부재(31)로 물 t1에서 t2까지 교반하여 수증의 거품에 의하여 종래의 투과법에 의한 측정방법과 본 발명에 관한 측정방법으로 검출광량이 상이함을 조사하였다. 교반을 정지한 다음 투과법에서는 곡선 A와 같이 시간과 함께 검출광량이 증가함에 대하여 본 발명의 방법에서는 곡선 B와 같이 검출광량이 감소한다.
위에서 설명한 제1도-제6도의 각 실시예에서 통상부재(1)는 단면이 원형인 원통상으로 되어 있으나, 이것을 단면이 원형이 아닌 형상, 예컨데 단면이 4각형인 것으로 하여도 좋다. 또, 제3도, 제4도의 실시예와 같이 통상부재(1)에 이동이 자유로운 지지부재(13)를 마련하여 입자 농도에 따라 통상부재(1)에 수용하는 유체용량을 조정하는 구성은 제5도, 제6도의 각 실시예에 있어서도 실시가 가능하였다.
나아가서, 제6도에서 나타낸 반사방지부재(29)에 대한 구성도 제3도, 제4도의 실시예 및 제5도의 실시예에서 실시가 가능하였다. 제3도, 제4도의 실시예에 반사방지부재(29)를 적용하는 경우에는 반사방지부재(29)를 여러개의 구멍을 마련한 2장으로 하고, 이것들의 반사방지부재(29)를 구멍의 위치를 변경하여 통상부재(1)의 저면(IC)에 마련함에 따라 유체의 유입과 광선의 흡수와를 동시에 달성할 수 있다.
본 발명에 의하면 광검출기로 검출된 미입자로부터의 평행광선의 강도가 커지기 때문에, 미입자의 크기, 농도가 극히 작은 것이였어도 측정할 수 있어서 측정한계를 높힐 수 있었다. 또 장치전체를 소형화할 수 있고, 휴대할 수 있도록 하는 것도 실현할 수 있어서, 장치의 취급, 조작성의 용이화를 달성할 수 있도록 되었다.

Claims (13)

  1. 미입자(11)가 부유라는 유체(19)에 빛을 조사함과 함게 이 빛을 거울표면(2)으로 반사시키면서 유체속을 진행하게 하여, 이 진행도중에서 미입자(11)로부퍼 반사, 산란한 빛의 중에서 일정한 방향으로 진행하는 광선을 집광하여 검출함에 따라 유체속의 미입자(11)의 농도를 측정하는 것을 특징으로 하는 부유미입자 측정방법.
  2. 제1항에 있어서, 유체(19)는 축방향으로 뻗은 일정형상의 유체수용수단에 수용되어, 유체(19)로의 빛의 조사각은 축방향에 대하여 일정한 각도를 지닌 것을 특징으로 하는 부유미입자 측정방법.
  3. 제2항에 있어서, 빛의 조사각은 90°임을 특징으로 하는 부유미입자 측정방법.
  4. 제2항에 있어서, 집광되는 광선의 방향은 유체수용수단의 축방향과 평행임을 특징으로 하는 부유미입자 측정방법.
  5. 제1항에 있어서, 유체(19)에 조사되는 광량은 검출하는 집광량(集光量)에 따라서 변할 수 있음을 특징으로 하는 부유미입자 측정방법.
  6. 제1항에 있어서, 측정된 유체량을 증감할 수 있음을 특징으로 하는 부유미입자 측정방법.
  7. 내면(1A)이 거울표면(2)으로 되어 있고, 내부에 미입자(11)가 부유하는 유체(19)를 수용하며, 또한 축방향으로 연장하여 형성된 유체수용수단과 이 유체수용수단에 광축이 이 수용수단의 축선과 일정각도를 이루어 마련된 광원(3)과 미입자(11)에서 반사, 산란한 빛의 중에서 축방향을 평행한 방향으로 진행하는 광선을 진행하는 광선을 집광하는 렌즈와 이 집광렌즈(5)와 대립 배치된 광검출기(6)와 이 검출기에서 검출된 광량에 관한 신호를 처리하여 유체(19)속의 미입자(11)의 농도를 구하는 신호처리장치(8)와를 구비한 것을 특징으로 하는 부유미입자 측정장치.
  8. 제7항에 있어서, 유체수용수단은 통상부재(1)에 의하여 구성되어 있음을 특징으로 하는 부유미입자 측정장치.
  9. 제8항에 있어서, 집광렌즈(5)는 통상부재에 마련되어 있음을 특징으로 하는 부유미입자 측정장치.
  10. 제8항에 있어서, 통상부재(1)에는 통상부재 축선방향으로 이동되어 자유롭도록 지지부재(13)가 마련되었으며, 집광렌즈(5) 및 광검출기(6)는 이 지지부재(13)에 지지되어 있음을 특징으로 하는 부유미입자 측정장치.
  11. 제7항에 있어서, 광원(3)의 방향은 유체수용수단의 축방향과 직각임을 특징으로 하는 부유미입자 측정장치.
  12. 제8항에 있어서, 통상부재(1)의 일단측에는 반사방지부재(29)가 마련되어 있음을 특징으로 하는 부유미입자 측정장치.
  13. 제8항에 있어서, 통상부재(1)내의 유체(19)는 순환할 수 있도록 형성되어 있음을 특징으로 하는 부유미입자 측정장치.
KR1019860004004A 1985-05-28 1986-05-22 부유미입자 측정 방법 및 그 장치 KR940002496B1 (ko)

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JP85-114565 1985-05-28
JP114565 1987-05-13

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KR860009303A KR860009303A (ko) 1986-12-22
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5004923A (en) * 1985-08-05 1991-04-02 Biotrack, Inc. Capillary flow device
US5164598A (en) * 1985-08-05 1992-11-17 Biotrack Capillary flow device
DE3674576D1 (de) * 1985-12-10 1990-10-31 High Yield Technology Teilchenerfasser fuer waferbearbeitungsgeraet und verfahren zur erfassung eines teilchens.
JP2560362B2 (ja) * 1987-12-18 1996-12-04 富士通株式会社 多重反射鏡
GB9005021D0 (en) * 1990-03-06 1990-05-02 Alfa Laval Sharples Ltd Turbidity measurement
DE4117243A1 (de) * 1991-05-27 1992-12-03 Grundig Emv Anordnung zur detektion von kohlenwasserstoffen, insbesondere oel, in wasserdurchstroemten rohrsystemen
US5565984A (en) * 1995-06-12 1996-10-15 Met One, Inc. Re-entrant illumination system for particle measuring device
KR100303161B1 (ko) * 1998-08-31 2001-10-19 장철주 실시간윤활유오염도측정장치
US6707551B2 (en) * 2000-01-24 2004-03-16 Amnis Corporation Multipass cavity for illumination and excitation of moving objects
AU2002211913A1 (en) 2000-10-12 2002-04-22 Amnis Corporation Multipass cavity for illumination and excitation of moving objects
JP3922365B2 (ja) * 2002-11-21 2007-05-30 栗田工業株式会社 粒子状態検出装置および粒子状態検出方法
GB0308771D0 (en) * 2003-04-16 2003-05-21 Univ Loughborough Pulmonary drug delivery
JP5498145B2 (ja) * 2009-12-11 2014-05-21 Ｊｘ日鉱日石エネルギー株式会社 潤滑油劣化モニター装置
CN105143880B (zh) * 2013-04-26 2018-03-09 贝克顿·迪金森公司 用于使用全内反射收集光的方法和系统
CN106370564B (zh) * 2016-10-08 2023-04-14 苏州曼德克光电有限公司 一种粉尘测试光路元件的射流保护装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE7617247U1 (ko) * 1900-01-01 Cerberus Ag, Maennedorf, Zuerich (Schweiz)
US3462608A (en) * 1966-12-19 1969-08-19 Dynac Corp Method and apparatus for detecting suspended particles
CH490010A (de) * 1967-10-26 1970-05-15 Ciba Geigy Schädlingsbekämpfungsmittel
US3578867A (en) * 1969-04-11 1971-05-18 Alfred E Barrington Device for measuring light scattering wherein the measuring beam is successively reflected between a pair of parallel reflectors
US3953127A (en) * 1974-01-23 1976-04-27 Battelle Development Corporation Photon-counting integrating nephelometer
US4023909A (en) * 1976-01-15 1977-05-17 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Null balance alphameter
GB2010479A (en) * 1977-09-21 1979-06-27 Partech Ltd Turbidity Measurement
JPS56103353A (en) * 1980-01-22 1981-08-18 Akitoshi Murakami Image pickup device of constant angle light scattering image
JPS5742842A (en) * 1980-08-27 1982-03-10 Nittan Co Ltd Photoelectric smoke sensor
DE3221867C2 (de) * 1982-06-09 1985-11-28 R & Z Biologicals GmbH & Co KG, 4050 Mönchengladbach Vorrichtung zur Messung der Konzentration von Teilchen in Flüssigkeiten
US4690560A (en) * 1983-06-30 1987-09-01 Commonwealth Scientific And Industrial Research Organization Optically based measurement of fluid parameters

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