KR940000192B1 - 칼라필터 제작용 포토레지스트 믹싱방법 및 장치 - Google Patents
칼라필터 제작용 포토레지스트 믹싱방법 및 장치 Download PDFInfo
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Description
제1도는 종래의 포토레지스트 믹싱장치를 나타낸 구성도.
제2도는 이 발명에 따른 포토레지스트 믹싱장치를 나타낸 구성도이다.
이 발명은 칼라필터의 제조공정중 기판상에 염색층을 형성하는데 사용되는 포토레지스트(photoresist)의 믹싱방법(Mixing Method) 및 그 장치에 관한 것으로서, 특히 N2와 밀폐된 용기를 이용하여 믹싱함으로써 미립자(Particle) 및 거품(Bubble) 발생을 최소화하는 포토레지스트 믹싱방법 및 그 장치에 관한 것이다.
종래의 포토레지스트 믹싱방법 및 그 장치는 펌프(pump)를 이용한 펌프순환식에 의해 믹싱하는 방법 및 장치가 사용되고 있다.
상기 펌프순환식 장치를 나타낸 구성도는 제1도와 같다. 이 펌프순환식 장치의 구성도를 간단히 설명한다.
포토레지스트의 주성분인 카제인(Casein)이나 젤라틴(Gelatin)을 저장하여 두는 탱크(1)와, 감광제(Sensitizer) 역할을 하는 중크롬산암모늄을 저장하여 두는 탱크(2)와, 상기 포토레지스트와 중크롬산암모늄을 믹싱할 수 있는 믹싱조(5)와 펌프(3), (4), (6)등으로 구성되어 있다.
이와같이 구성된 펌프순환식 장치를 이용하여 포토레지스트를 믹싱하는 방법을 간단히 설명한다.
카제인이나 젤라틴이 주성분인 포토레지스트와 중트롬산암모늄을 각각의 탱크(1),(2)에 필요량을 채우고, 이들 탱크(1), (2)에 장착된 펌프(3), (4)에 의해 각각의 탱크(1), (2)에 들어있는 포토레지스트와 중크롬산암모늄을 자동적으로 믹싱조(5)에 오버플로우(Over flow)될때까지 공급을 하게되면 상기 믹싱조의 하부에 설치된 펌프(6)에 의해 포토레지스트와 중크롬산암모늄이 순환통로(7)를 따라 순환하면서 입력시간만큼 믹싱조(5) 내에서 포토레지스트와 중크롬산암모늄이 믹싱하게 된다. 이와같은 방법에 의해 믹싱된 포토레지스트는 믹싱시간이 완료되면 자동적으로 펌프(6)에 의해 별도의 용기(8)에 넣어진후 그 다음 공정시에 사용할 수 있도록 보관한다.
상기와 같은 펌프순환식 믹싱장치에 의해 포토레지스트를 믹싱하면 포토레지스트와 중크롬산암모늄의 공급과 믹싱등이 펌프식에 의해 이루어지므로 펌프를 작동할때마다 물리적인 힘이 가해진다. 따라서 이와같은 물리적인 힘에 의해 공기와 접촉하게되며, 이때 미립자 및 거품등이 발생하게 된다.
상기와 같은 미립자와 거품등이 포함된 포토레지스트를 도포하게 되면 미립자나 거품등에 의해 균일하게 도포되지 않는다. 이로 인하여 도포막이 균일하게 형성되지 않으므로 도포막 두께 (tickkness) 차이가 심해 안정된 분광특성을 얻는데 문제점이 있었다.
또한, 믹싱조에 공급되는 포토레지스트 및 중크롬산암모늄의 공급량이 오버플로우되어야만 믹싱이 이루어 지기 때문에 필요로 하는 양만큼의 포토레지스트를 믹싱하는데 어려운 문제점이 있었다. 또한, 믹싱된 포토레지스트를 다음에도 사용할 수 있도록 별도의 용기에 넣어두는데 이 과정에서도 펌프의 사용으로 인하여 미립자 및 거품등이 발생할 수 있는 문제점이 있었다.
이 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 이 발명의 목적은 N2와 밀폐된 믹싱조를 이용하여 믹싱함으로써 미립자 및 거품발생을 최소화하여 도포시 균일성을 향상시킬 수 있고, 또한 안정된 분광특성을 얻을 수 있는 칼라필터 제작용 포토레지스트 믹싱방법을 제공함에 있다.
또한, 이 발명의 다른 목적은 포토레지스트를 믹싱할 수 있는 믹싱장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 이 발명은 칼라필터 제조공정중 염색층 형성시 사용되는 포토레지스트 믹싱방법에 있어서, 포토레지스트와 중크롬산암모늄을 믹싱조에 공급하는 공정과, 상기 믹싱조 내부를 진공상태로 만드는 공정과, 상기 믹싱조내에서 포토레지스트와 중크롬산암모늄을 믹싱하는 공정으로 이루어짐을 특징으로 한다.
상기의 다른 목적을 달성하기 위하여 이 발명은 칼라필터 제조공정중 염색층 형성시 사용되는 포토레지스트를 믹싱하기 위한 믹싱장치에 있어서, N2가 저장된 탱크들과, 포토레지스트 및 중크롬산암모늄을 넣어두는 탱크들과, 상기 탱크들 내부로 가스의 압력을 주입시키는 가스공급라인들과, 모우터에 의해 회전하면서 공급되는 포토레지스트와 중크롬산암모늄을 믹싱하기 위한 믹싱조와, 상기 포토레지스트와 중크롬산암모늄이 들어있는 탱크들과 믹싱조를 연결하는 공급라인들과, 상기 믹싱조 내부에 존재하는 공기를 빼내는 공기 배출라인과, 상기 믹싱조 하부에 설치되어 믹싱조내에서 믹싱된 포토레지스트를 송출하는 송출라인과, 각각의 라인에 설치된 밸브와, 로 이루어짐을 특징으로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 이 발명을 상세히 설명한다.
제2도는 이 발명에 따른 포토레지스트 믹싱장치를 나타낸 구성도이다.
N2가 저장되어 있는 탱크(21), (22)와, 포토레지스트의 주성분인 카제인이나 젤라틴을 넣어두는 밀폐된 탱크(23)와 감광제 역할을 하는 중크롬산암모늄을 넣어두는 밀폐된 탱크(24)와, 상기 N2탱크(21), (22)와 포토레지스트 및 중크롬산암모늄이 저장되어 있는 탱크(23), (24)는 N2를 공급하는 가스공급라인(21a), (22a)에 의해 각각 연결되며, 또한 상기 탱크(23), (24)들과 믹싱조(27)는 공급라인(25), (26)으로 연결되며, 상기 공급라인(25), (26)에는 밸브(31), (32)가 장착된다.
상기 믹싱조(27)는 하부에 설치된 모우터(35)에 의해 좌우회전 가능하게 되며, 또한 믹싱조(27)의 상부에는 믹싱조(27)를 진공상태로 만들기 위하여 믹싱조(27)내부에 존재하는 공기를 빼내는 공기배출라인(29)이 연결되어 있으며, 이 공기배출라인(29)에도 밸브(33)가 장착되어 있다. 한편, 상기 믹싱조(27) 하부에 연결된 송출라인(37)에 의해 믹싱조(27)와 별도의 용기(39)를 연결한다. 상기 송출라인(37)에도 밸브(34)가 장착되어 있다.
이와같이 이루어진 포토레지스트 믹싱장치를 이용하여 포토레지스트를 믹싱하는 방법을 상세하게 설명한다.
포토레지스트의 주성분인 카제인이나 젤라틴과 중크롬산암모늄을 각각의 탱크(23), (24)에 필요량만큼 넣은 다음 상기의 탱크(23), (24)를 밀폐시킨다. 이때 상기 탱크(23), (24)와 N2가 들어있는 탱크(21), (22)는 가스공급라인(21a), (22a)으로 연결한다. 상기 탱크(23), (24)에 들어있는 포토레지스트와 중크롬산암모늄은 N2의 압력에 의해 공급라인(25), (26)을 통해 필요량만큼 믹싱조(27)로 공급한다.
상기 포토레지스트의 주성분인 카제인이나 젤라틴등은 그 성분을 동물성 단백질에서 추출했기 때문에 패턴(pattern)을 형성하는데 필요한 감광제가 들어있지 않다. 따라서 상기 포토레지스트에 감광제 역할을 하는 중크롬산암모늄을 적절한 비율로 믹싱하여 사용한다.
또한 상기 카제인이나 젤라틴 포토레지스트는 물리적인 힘이 가해지면 공기와 접촉하여 많은 미립자와 거품이 발생하는 특성을 가지고 있다. 따라서 종래 사용한 펌프대신에 N2를 사용하며 이 N2로 가압하여 포토레지스트와 중크롬산암모늄을 공급한다. 상기 N2는 다른 어떤 물질과 반응하지 않는 불활성가스이므로 산화반응을 방지하게 되어 미립자 및 거품발생을 최소화한다.
그다음 상기 포토레지스트와 공기와의 접촉을 방지하기 위하여 믹싱조(27) 상부에 설치된 배출라인(29)을 통해 믹싱조(27) 내부에 존재하는 공기를 완전히 뽑아내어 진공상태로 만든다. 그다음 상기 믹싱조(27) 하부에 설치된 모우터(35)를 이용하여 상기 믹싱조(27)에 공급된 포토레지스트와 중크롬산암모늄이 완전히 믹싱될때까지 믹싱조(27)를 좌우로 회전시켜 믹싱한다. 그다음 상기와 같은 공정에 의해 포토레지스트는 그다음 공정으로 공급할 수 있는 라인에 연결하거나 송출라인(37)을 통해 별도의 용기(39)에 저장하여 보관한다.
상술한 바와같이 이 발명에 따른 포토레지스트 믹싱방법 및 그 장치는 N2와 밀폐된 믹싱조를 이용함으로써 미립자 및 기포발생을 최소화할 수 있다.
따라서 상기 공정을 통하여 미립자 및 거품의 발생이 최소화된 포토레지스트를 사용하면 균일하게 도포되므로 스피드보트(Speed boat)현상이 발생되지 않고, 또한 현상후 균일한 패턴을 얻을 수 있어 칼라필터의 안정된 분광특성을 얻을 수 있으므로 수율향상은 물론 원가절감 및 프로세스의 안정화를 얻을 수 있는 이점이 있다.
Claims (5)
- 칼라필터 제조공정중 염색층 형성시 사용되는 포토레지스트 믹싱방법에 있어서, 포토레지스트와 중크롬산암모늄을 믹싱조에 공급하는 공정과, 상기 믹싱조 내부를 진공상태로 만드는 공정과, 상기 믹싱조 내에서 포토레지스트와 중크롬산암모늄을 믹싱하는 공정으로 이루어진 칼라필터 제작용 포토레지스트 믹싱방법.
- 제1항에 있어서, 상기 포토레지스트와 중크롬산암모늄은 N2를 이용한 가스압력에 의해 믹싱조에 공급함을 특징으로 하는 칼라필터 제작용 포토레지스트 믹싱방법.
- 제1항에 있어서, 상기 믹싱조에서는 모우터를 이용하여 좌우로 회전시키면서 공급된 포토레지스트와 중크롬산암모늄을 믹싱함을 특징으로 하는 칼라필터 제작용 포토레지스트 믹싱방법.
- 칼라필터 제조공정중 염색층 형성시 사용되는 포토레지스트를 믹싱하기 위한 믹싱장치에 있어서, N2가 저장된 탱크들과, 포토레지스트 및 중크롬산암모늄을 넣어두는 탱크들과, 상기 탱크들 내부로 가스의 압력을 주입시키는 가스공급라인들과, 모우터에 의해 회전하면서 공급되는 포토레지스트와 중크롬산암모늄을 믹싱하기 위한 믹싱조와, 상기 포토레지스트와 중크롬산암모늄이 들어있는 탱크들과 믹싱조를 연결하는 공급라인들과, 상기 믹싱조 내부에 존재하는 공기를 빼내는 공기배출라인과, 상기 믹싱조 하부에 설치되어 믹싱조 내에서 믹싱된 포토레지스트를 송출하는 송출라인과, 각각의 라인에 설치된 밸브와, 로 이루어진 칼라필터 제작용 포토레지스트 믹싱장치.
- 제4항에 있어서, 상기 믹싱조는 내부에 존재하는 공기를 완전히 배출시킨 진공상태임을 특징으로 하는 칼라필터 제작용 포토레지스트 믹싱장치.
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| KR1019910009584A KR940000192B1 (ko) | 1991-06-11 | 1991-06-11 | 칼라필터 제작용 포토레지스트 믹싱방법 및 장치 |
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| KR1019910009584A KR940000192B1 (ko) | 1991-06-11 | 1991-06-11 | 칼라필터 제작용 포토레지스트 믹싱방법 및 장치 |
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Cited By (1)
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1991
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- 1991-07-22 JP JP3180965A patent/JPH0519455A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR100322685B1 (ko) * | 1994-12-06 | 2002-06-24 | 박영구 | 스핀코터 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0519455A (ja) | 1993-01-29 |
| KR930000150A (ko) | 1993-01-15 |
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