KR937000833A - 내연기관의 연소실내압탐지용 압력 감지기 - Google Patents

내연기관의 연소실내압탐지용 압력 감지기

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헤르텐 베르너
마렉 지리
바이블렌 쿠르트
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클라우스 포스, 에른스트 글라서
로베르트 보쉬 게엠베하
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Abstract

내용 없음.

Description

내연기관의 연소실내압탐지용 압력 감지기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 압력감지기를 전단면도로 도시하며,
제2도는 상세도를 도시하고,
제3a도와 제3b도는 단면도 및 평면도로 세부사항의 변화를 도시하며,
제4도는 세부사항의 또다른 변화를 전단면도로 도시한다.

Claims (15)

  1. 한쪽 측부가 막(14)으로 폐쇄된 하우징(10)에 압전저항재료로 된 측정소자(21)가 배치되어 있는 내연기관, 특히, 자동차용 내연기관의 연소실내압탐지용 압력 감지기에 있어서, 플런저(18)가 막(14)과 측정소자(21)의 사이에 배치되고 플런저(18)는 측정소자(21)상에 탐지될 압력을 가하며, 측정소자(21)는 단결정 실리콘칩(20)으로 된 부품이며, 실리콘 칩(90)은 압전저항브릿지 회로(19)와 측정 신호를 증폭시키는 증폭회로(24) 및 영점과 감도의 온도보상을 위한 부가적 소자를 갖는 것을 특징으로 하는 연소실내압탐지용 압력 감지기.
  2. 제1항에 있어서, 단결정 실리콘칩(20)이 브릿지회로(19)에 전류 즉, 전압을 공급하는 안정회로(23)를 갖는 것을 특징으로 하는 연소실내압탐지용 압력 감지기.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 실리콘칩(20)이 하브브릿지회로로된 부품이며, 제2 레지스터(22)는 가압되지 않는 것을 특징으로 하는 연소실내압탐지용 압력 감지기.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 실리콘칩(20)이 위트스톤브릿지회로로 된 부품이며, 적어도 2개의 레지스터는 가압되지 않는 것을 특징으로 하는 연소실내압탐지용 압력 감지기.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 실리콘칩(20)이 다수의 측정소자(35)가 배치되어 위트스톤브릿지회로로 와이어링된 구역을 가진 것을 특징으로 하는 연소실내압탐지용 압력 감지기.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서, 플런저(18)가 위트스톤브릿지회로의 거의 중심에 배치된 것을 특징으로 하는 연소실내압탐지용 압력 감지기.
  7. 제3항 내지 제6항중 어느 한 항에 있어서, 실리콘 칩(20)의 외부에 에칭된 막이 있는 구역(34)을 갖는 것을 특징으로 하는 연소실내압탐지용 압력 감지기.
  8. 제1항 내지 제7항중 어느 한 항에 있어서, 측정소자(19)로의 압력 전달용 매개소자(36)갈 브릿지회로의 중심에 직접 에칭된 것을 특징으로 하는 연소실내압탐지용 압력 감지기.
  9. 제8항에 있어서, 매개소자(36)가 제2의 실리콘칩으로 이루어진 것을 특징으로 하는 연소실내압탐지용 압력 감지기.
  10. 제8항에 있어서, 매개소자(36)가 규화붕소유리로 이루어진 것을 특징으로 하는 연소실내압탐지용 압력 감지기.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서, 매개소자(36)가 봉오리에칭부(32)를 갖는 것을 특징으로 하는 연소실내압 탐지용 압력 감지기.
  12. 제8항 내지 제11항중 어느 한 항에 있어서, 매개소자(36)가 직접 또는 양극 접합공정에 의해 실리콘칩(20)에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 연소실내압탐지용 압력 감지기.
  13. 제12항에 있어서, 접합공정이 매개소자(36)의 웨이퍼와 규소웨이퍼의 접합공정으로서 제조중에 수행되며 이어서 톱으로 절단되는 것을 특징으로 하는 연소실내압탐지용 압력 감지기.
  14. 제1항 내지 제13항중 어느 한 항에 있어서, 실리콘칩(20)에 대면한 플런저(18)의 단부가 비교적 연성 재료로 된 것을 특징으로 하는 연소실내압탐지용 압력 감지기.
  15. 제1항 내지 제14항중 어느 한 항에 있어서, 플런저(18)가 유리세라믹제인 것을 특징으로 하는 연소실내압탐지용 압력 감지기.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920702603A 1991-02-27 1992-01-17 내연기관의 연소실내압탐지용 압력 감지기 KR100210726B1 (ko)

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DEP4106102.0 1991-02-27
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