SU381932A1

SU381932A1 - Полупроводниковый тензометрический преобразователь давления

Info

Publication number: SU381932A1
Application number: SU1710892A
Authority: SU
Original assignee: Львовский политехнический институт
Priority date: 1971-11-01
Filing date: 1971-11-01
Publication date: 1973-05-22

Description

1

Изобретение относитс к полупроводниковой тензометрии и может быть использовано дл измерени давлени при высоких температурах .

Известны полупроводниковые тензометрические преобразователи давлени , в которых упругий элемент (мембрана, консоль) выполнен из стали, а чувствительные элементы - полупроводниковые тензорезисторы - приклеены с помощью св зующего (клей или пемент ).

Однако известные преобразователи работают в ограниченном тем-пературном диапазоне до -f-50°C вследствие больщой ползучести . Это приводит к падению чувствительности , нево.спроизводимости характеристик, временной нестабильности характеристик.

Кроме того, известные преобразователи должны иметь изол ционный слой наличие которого ухудшает измерительные характеристики прибора.

Дл расщирени температурного диапазона преобразователей до +ЗОб°С, уменьшени ползучести тензорезисторов и повышени стабильности в предлагаемом преобразователе упругий элемент (мембрана, консоль) изготовлен из керамического материала, например , типа 22ХС, а чувствительные элементы (тензорезнсторы) соединены с упругим элементом посредством стекла, например , тппа С48-2, С52-1.

На чертеже показан описываемый преобразователь , состо щий из корпуса /, упругого элемента 2, чувствительных элементов 3 и св зующего 4, соедин ющего чувствительные элементы с упругим элементом.

Химическа стойкость керамического материала , например, типа 22ХС, мала зависимость модул упругости и предела прОЧности его от температуры позвол ет расширить диапазон рабочих температур данного преобразовател в область высоких температур .

Известна технологи изготовлени изделий из керамики, например, типа 22ХС, а также отлична спаиваемость металлизированной керамики дает возможность повысить технологичность изготовлени полупроводниковых преобразователей давлени . Хорошие диэлектрические свойства этого материала позвол ют избавитьс от изолирующего сло , что приводит к улучшению передачи деформадии , передаваемой от упругого элемента к чувствительным элементам.

В качестве чувствительного элемента примен ют полупроводннковые тензорезисторы с токовыводами, например, с платиновыми, которые позвол ют проводить термообработку преобразователей на различных стади х его сборки до +800°С.

В качестве св зующего материала примен ют стекла, например, типа С48-2, С52-1, дающие спаи с керамикой, например, типа 22ХС и полупроводниковыми тензорезисторами .

Предмет изобретени

Полупроводниковый тензометрический преобразователь давлени , содержащий упругий

элемент и полупроводниковые тензорезисторы , отличающийс тем, что, с целью уменьшени ползучести тензорезисторов, повышени стабильности и расширени температурного диапазона, упругий элемент выполнен из керамического материала, например, типа 22ХС, а тензорезисторы соединены с упругим элементом посредством стекла-, например, типа С48-2, С52-1.