SU387234A1

SU387234A1 - Вптб

Info

Publication number: SU387234A1
Application number: SU1628813A
Authority: SU
Priority date: 1971-02-22
Filing date: 1971-02-22
Publication date: 1973-06-21

Description

1

Изобретение относитс к измерительной технике и может найти применение в медицинских диагностических приборах.

Известные тензорезистпвные преобразователи , содержащие упругий элемент, состо щий из балки в виде консоли с симметрично расположенными по отношению к ее продольной оси теизочувствительными зонами, не обеспечивают достаточной точности нреобразовани и к. н.д. на единицу объема.

Предлагаемое устройство не имеет этих недостатков и отличаетс от известных тем, Что в нем унругий элемент выполнен в виде многослойной тонконлеиочной конструкции с четным числом последовательно соединенных тензочувствительных слоев, разделенных изолирующими пленками.

На чертеже изображен предлагаемый тензорезистивный преобразователь.

Упругий элемент преобразовател содержит тонкую изолирующую подложку с наныленнь1ми на ней и последовательно соединенными тензочувствительными сло ми /. Последние чередуютс с изолирующими пленками 2 и образуют зоны 5 и 4 тензослоев, расположенных по обеим сторонам нзолирующей подложки . Две зоны, от которых отвод тс три электрических вывода 5, 6 и 7, образуют электрическую схему нолумоста. Вывод 6 электрически св зывает два тензосло зон 3 и 4,

непосредственно наныленных на подложке с одной и другой стороны.

Под действием силы, приложенной к незакрепленному концу нреобразовател , изгибаетс упругий элемент. Тензочувствительные слои /, вход щие в зону 3 и расположенные на верхней стороне подлол ки, раст гиваютс , если приложенна сила направлена сверху, и изгибают подложку вниз. Тензочувствительные слои / зоны 4, наход щиес с нижней стороны подложки сжимаютс .

Сжатие и раст жение теизослоев приводит к тому, что измен ютс их электрические сонротнвленн нод действием комнонентов мехаиической энергии.

Соответственно в одной зоне , например зоне 3, нолучаетс суммарное уменьшение электрического сопротивлени , а в зоне 4 - суммарное увеличение. В результате образуетс

электрический сигнал, пропорциональный неремещению и воздействующей силе.

Предмет изобретенн

Тензорезистивный преобразователь, содержащий унругий элемент, .состо щий нз балки в виде консоли с симметричио расноложенными по отноше1гию к ее нродольной оси тензочувствительпыми зонами, отличаюи ийс тем,

что, с целью повышени точности иреобразовани и к. п. д. на единицу объема, в нем упругий элемент выполнен в виде многослойной тонкопленочной конструкции с четным числом последовательно соединенных тензочувствительных слоев, разделенных изолирующими пленками.