KR930703710A - 압전 및 전의 액추에이터 - Google Patents

압전 및 전의 액추에이터

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Abstract

물체의 평면을 경사지게 하기 위한 액추에이터(10)는 압전 또는 전의 부재들 (18)의 스택(16)으로 구성된다. 부재들(18)사이의 제1교대 틈새기들은 스택(16)의 일측면(26) 및 재료(20)사이에 제1갭이 남는 것을 제외하고는 제1전도 재료(20)로 채워진다. 유사하게 부재들(18)간의 제2교대 틈새기들은 스택(16)의 대향 측면(24) 및 재료(22) 사이에 제2갭이 남는 것을 제외하고는 제2전도 재료(22)로 채워진다. 제1갭 및 제2갭은 스택(16)내로 균등하지 않은 깊이를 갖는다. 제1틈새기들내의 제1재료(20)가 공동으로 접속되어 있고 제2틈새기들내의 제2재료(22)가 공동으로 접속되어 있다. 그것에 의해 제1재료(20) 및 제2재료(22) 사이에 인가되는 전압은 스택(16)이 휘어지도록 해서 스택(16)의 상부(23) 평면이 경사지도록 할 것이다.

Description

압전 및 전의 액추에이터
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 원리에 따라 구성된 액추에이터의 절단면도이다.

Claims (11)

  1. 기판; 압전 재료 및 전의 재료중 선택된 1개로 형성되는 부재들의 스택인데, 상기 부재들 중 저면의 것은 상기 기판에 장착되고 상기 스택은 제1 측면 및 대향하는 제2측면을 구비하는 상기 부재 스택; 상기 부재들 사이에 제1 교대 틈새기들내에 배치되고 그것에 인접한 부재들과 밀접하게 접촉하고 있는 제1전도 재료인데, 상기 제1 재료는 상기 스택의 폭을 가로질러 확장되고 길이로는 상기 제1 측면으로부터 상기 제2측면을 향해 확장되지만 상기 제2측면으로 부터 간격을 두어서 상기 제1재료 및 상기 제2측면 사이에 제1갭이 남도록하는 상기 제1전도 재료 및; 상기 부재들 사이의 제2교대 틈새기들 내에 배치되고 그것에 인접한 부재들과 밀접하게접촉하고 있는 제2전도 재료인데, 상기 제2재료는 상기 스택의 폭을 가로질러 확장되고 길이로는 상기 제2측면으로 부터 상기 제1측면을 향해 확장되지만 상기 제1측면으로부터 간격을 두어서 상기 제2재료 및 상기 제1측면 사이에 제2갭이 남도록 하고, 상기 제1갭은 상기 제2갭보다 치수에서 사실상 더 크고 상기 제1틈새기들 각각에 있는 상기 제1재료는 전기적으로 공동 접속되어 있으며 상기 제2 틈새기들 각각에 있는 상기 제2재료는 전기적으로 공동 접속되어 있어서 상기 제1재료 및 상기 제2재료사이에 인가되는 전압은 상기 스택으로 하여금 휘어지도록해서 상기 스택의 상부 표면을 경사지게하는 상기 제2전도 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는, 물체의 평면을 경사지게 하기 위한 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1재료 및 제2재료는 전기적으로 전도성 에폭시인 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1갭 및 상기 제2갭은 전기적으로 비전도성 에폭시로 채워지는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 저면 부재는 상기 제1재료 및 상기 제2재료중 1개를 가지고 상기 기판에 접속되는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1측면은 그 위에 제1금속화부 층(metalization layer)을 구비하여 상기 제1재료와 전기적으로 접촉하고, 상기 제2측면은 그 위에 제2금속화부 층을 구비하여 상기 제2 재료와 전기적으로 접촉하는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 기판을 통하는 개구 어레이를 구비하는 상기 기판; 압전 재료 및 전의 재료중 선택된 1개로 형성되는 부재들의 스택 어레이인데, 상기 스택들 각각에 있는 상기 부재들 중 저면의 것은 상기 개구들중 각 1개에 근접한 상기 기판에 장착되고 상기 스택들 각각은 제1측면 및 대향하는 제2측면을 구비하는 상기 부재 스택어레이; 상기 스택들 각각에 있는 상기 부재들 사이의 제1교대 틈새기들 내에 배치되고 그것에 인접한 부재들과 밀접하게 접촉하고 있는 제1전도 재료인데, 상기 제1재료는 상기 스택들 각각의 폭을 가로질러 확장되고 길이로는 상기 제1측면으로 부터 상기 제2측면을 향해 확장되지만 상기 제2측면으로 부터 간격을 두어서 상기 제1재료 및 상기 제2측면 사이에 제1갭이 남도록 하는 상기 제1전도 재료 및; 상기 스택들 각각에 있는 상기 부재들 사이의 제2교대 틈새기들 내에 배치되고 그것에 인접한 부재들과 밀접하게 접촉하고 있는 제2전도 재료인데, 상기 제2재료는 상기 스택들 각각의 폭을 가로질러 확장되고 길이로는 상기 제2측면으로부터 상기 제1측면을 향해 확장되지만 상기 제1측면으로부터 간격을 두어서 상기 제2재료 및 상기 제1측면 사이에 제2갭이 남도록 하고, 상기 제1갭은 상기 제2갭보다 치수에서 사실상 더 크고 상기 스택들 각각을 위해 상기 제1틈새기들 각각에 있는 상기 제1재료는 전기적으로 공동 접속되어 있고 상기 개구들중의 상기 각 1개를 통해 개별적으로 주소지정 가능하며, 상기 제2틈새기들 각각에 있는 상기 제2재료는 상기 스택들 모두와 전기적으로 공동접속되어 있어서 상기 스택들 각각에서 상기 제1재료 및 상기 제2재료 사이에 인가되는 전압은 상기 각 스택들로 하여금 거기에 인가되는 전압에 비례하여 휘어지도록해서 성기 스택들 각각의 상부 평면을 경사지게하고 상기 스택들 각각의 상부는 그위에 거울 다듬질을 구비하는 상기 제2전도 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는, 액추에이트된 거울 어레이.
  7. 제7항에 있어서, 상기 제1재료 및 제2재료는 전기적으로 전도성 에폭시인 것을 특징으로 하는 어레이.
  8. 제8항에 있어서, 상기 제1갭 및 제2갭은 전기적으로 비전도성 에폭시로 채워지는 것을 특징으로 하는 어레이.
  9. 제8항에 있어서, 상기 저면 부재는 상기 제1재를 가지고 상기 기판에 접착되는 것을 특징으로 하는 어레이.
  10. 제7항에 있어서, 상기 제1측면은 그 위에 제1금속화부 층을 구비하여 상기 개구들중의 상기 각 1개를 통해 상기 스택들 중 각 개체의 상기 제1재료와 전기적으로 접촉하고, 상기 제2측면은 그 위에 제2금속화부층을 구비하여 상기 스택들 모두와 공동으로 상기 제2재료와 전기적으로 접촉하는 것을 특징으로 하는 어레이.
  11. 제11항에 있어서, 상기 스택들 각각의 상기 저면 부재는 상기 개구들 중의 상기 각1개에 걸치는 상기 제1재료를 갖는 상기 기판에 접착되고, 상기 개구들 각각은 금속으로 채워져서 상기 스택들중의 상기 각1개를 위한 상기 제1재료와 접촉하는 것을 특징으로 하는 어레이.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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