KR930022507A - 웨이퍼상 장치의 검사 시스템 - Google Patents

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KR930022507A
KR930022507A KR1019920006078A KR920006078A KR930022507A KR 930022507 A KR930022507 A KR 930022507A KR 1019920006078 A KR1019920006078 A KR 1019920006078A KR 920006078 A KR920006078 A KR 920006078A KR 930022507 A KR930022507 A KR 930022507A
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제이. 라이트 프레드
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윌리엄 이. 힐러
텍사스 인스트루먼츠 인코포레이티드
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Abstract

가요성 막 프로우부를 사용하여 반도체 웨이퍼 상의 반도체 장치들을 검사하기 위한 검사 시스템은 검사 시스템 컴퓨터, 이 검사 시스템 컴퓨터에 접속된 적어도 하나의 검사 헤드(12,13)및 상기 검사 헤드에 접속된 적어도 하나의 검사 프로우브(18,19,20,21)을 포함하고, 이 검사 프로우브는 반도체 웨이퍼 상 모든 장치들 위에 있는 접촉부들의 수와 동일한 수의 접촉부들을 갖는 다수의 가요성 막(22,23,24,25)를 갖고 있다.

Description

웨이퍼상 장치의 검사시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 다중 프로우빈 카드를 사용하는 검사 시스템의 블럭도.
제2도는 웨이퍼 레벨 프로우브 카드 도면.
제3도는 제2도의 프로우브 카드의 부분 단면도.

Claims (10)

  1. 가요성 막 프로우브를 사용하여 반도체 웨이퍼 상에 있는 반도체장치를 검사하기 위한 검사 시스템에 있어서, 검사 시스템 컴퓨터, 상기 검사 시스템 컴퓨터에 접속되어 있는 적어도 하나의 검사헤드 및 상기 검사 헤드에 접속되어 있고, 반도체 웨이퍼 상의 모든 장치들 위에 있는 접촉부의 수와 동일한 수의 접촉부를 갖는 가요성막을 갖고 있는 적어도 하나의 검사 프로브를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 가요성막이 막 상의 접촉부들을 적어도 하나의 검사헤드에 상호 접속하기 위하여 각층상에 도체들을 갖는 다층막인것을 특징으로 하는 검사시스템.
  3. 제1항에 있어서, 검사 프로브상의 접촉부들의 패턴이 검사되고 있는 반도체웨이퍼상의 모든 접촉부들과 같은 패턴인 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 막상의 모든 접촉부들을 검사 중인 반도체 웨이퍼상의 모든 장치위에 있는 접촉부에 맞물리도록 가요성막에 아래 방향의 압력을 인가하기 위하여 상기 검사 프로우브가 가요성막의 적어도 일부의 주위에 연장하는 프레임을 갖는 것을 특징으로 하는 검사시스템.
  5. 제1항에 있어서, 상기 검사 헤드가 검사 시스템 컴퓨터로부터 검사 프로우브 상의 도체들에 검사 신호와 전압들을 멀티플렉싱하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  6. 가요성 막 프로우브를 사용하여 반도체 웨이퍼 상에 있는 반도체 장치를 검사하기 위한 검사시스템에 있어서, 검사시스템 컴퓨터, 상기 검사 시스템 컴퓨터에 접속되어 있는 적어도 하나의 검사 헤드 및 상기 검사 헤드에 접속되어 있고, 반도체 웨이퍼 상의 모든 장치들 위에 있는 접촉부의 수와 동일한 수의 접촉부를 갖는 다수의 가요성 막을 갖고 있는 적어도 하나의 검사 프로우브를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사시스템.
  7. 제6항에 있어서, 상기 다중 층 가요성 막이 막 상의 접촉부들을 적어도 하나의 검사 헤드에 상호접속하기 위하여 각 층 상에 도체들을 갖는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  8. 제6항에 있어서, 검사 프로우브 상의 접촉부들의 패턴이 검사중인 반도체 웨이퍼 상의 모든 접촉부들과 동일한 패턴인 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  9. 제6항에 있어서, 막 상의 모든 접촉부들을 검사중인 반도체 웨이퍼 상의 모든 장치 위에 있는 모든 접촉부에 맞물리도록 가요성 막에 아래 방향의 압력을 인가하기 위하여 상기 검사 프로우브가 가요성 막의 적어도 일부의 주위에 연장하는 프레임을 갖는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  10. 제6항에 있어서, 상기 검사 헤드가 검사 시스템 컴퓨터로부터 검사 프로우브 상의 도체들에 검사 신호와 전압들을 멀티플렉싱하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920006078A 1992-04-11 1992-04-11 웨이퍼상의 장치들의 검사 시스템 KR100274556B1 (ko)

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