KR930017223A - 태양전지 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명는 태양전지 제조방법에 관한 것으로, 종래에는 알루미늄층을 증착 후 부분적 식각할때 비정질실리콘층과 동시 시각각하여 알루미늄의 열전도로 인해 태양전지의 성능을 저하시키고 가스를 사용하여 식각할 경우 위험성이 존재하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 알루미늄층 위에 유기화합물을 도포한 후 부분적으로 식각하고 노출된 알루미늄층을 에칭액을 이용 에칭하여 가스사용의 위험성을 제거하고 태양전지의 성능을 향상시키는 효과가 있다.

Description

태양전지 제조방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제3도의 (가) 내지 (라)는 본 발명의 태양전지 제조 공정도.

Claims (1)

1. 유리기판(1)위에 투명도전막(2)을 증착한 후 레이저빔(3)을 이용하여 선택적으로 식각한 후 P형비정실리콘층(4)과 진성비정질실리콘(5) 및 n형비정질실리콘퉁(6)을 증착 후 부분적으로 식각한 후 알루미늄층(7)을 증착한 후 태양전지를 제조하는 고정에 있어서, 상기 알루미늄층(7)위에 유기화합물(9)을 도포한 후 레이저빔(3)을 이용 부분적으로 식각한 후 그 식각에 의해 노출된 상기 알루미늄층(7)을 에칭액(10)으로 에칭하여 제조하는 태양전지 제조방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.