KR930012082A - 유해가스의 정화방법 - Google Patents

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chlorine
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노보루 아끼타
도시야 하다게야마
다까시 시마다
게이이찌 이와다
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야마자끼 료이찌
니혼 파이오닉스 가부시끼가이샤
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Abstract

염소, 염화수소, 디클로로실란, 4염화규소, 3염화인, 3불화염소, 3염화붕소, 3불화붕소, 6불화텅스텐, 4불화규소, 불소, 불화수소 및 브롬화수소등의 유해할로겐화물 가스를, 산화아연, 산화알루미늄 및 알칼리 화합물로 구성된 정화제와 접촉시켜 상기 할로겐화물을 제거하는 유해가스의 정화방법이 개시되어 있다.
이 방법은 반도체 제조공정으로부터 배출되는 가스나 가스봄베로부터 갑자기 누출되는 가스등에 함유되는 가스형 할로겐화물을 신속하고 효율적으로 제거하는 점에서 극히 유효하다.

Description

유해가스의 정화방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 유해가스의 정화방법을 나타내는 플로우 시이트.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
1 : 정화통,2 : 가스봄베,
3 : 봄베박스,4 : 블로워,
5 : 환기통.

Claims (9)

  1. 유해성분으로된 할로겐화물 가스를 함유하는 가스를 산화아연, 산화알루미늄 및 알칼리 화합물로 구성된 정화제와 접촉시켜 유해성분을 제거하는 것을 특징으로 하는 유해가스의 정화방법.
  2. 제1항에 있어서, 할로겐화물 가스가 염소, 염화수소, 디클로로실란, 4염화규소, 3염화인, 3불화염소, 3염화붕소, 3불화붕소, 6불화텅스텐, 4불화규소, 불소, 불화수소 및 브롬화 수소 가운데 어느하나 이상인 유해가스의 정화방법.
  3. 제1항에 있어서, 알칼리 화합물이 탄산칼륨, 중탄산칼륨, 수산화칼륨, 탄산나트륨, 중탄산나트륨, 수산화나트륨 및 수산화암모늄 가운데 어느 하나 이상인 유해가스의 정화방법.
  4. 제1항에 있어서, 산화아연에 대한 산화알루미늄 및 알칼리 화합물의 혼합비율이 아연 1원자에 대해 알루미늄 0.02-0.60원자, 알카리 금속 또는 암모늄기를 1원자로 하여 0.02-0.70원자인 유해가스의 정화방법.
  5. 제1항에 있어서, 산화알루미늄이 알루미나 수화물인 유해가스의 정화방법.
  6. 제1항에 있어서, 유해가스가 반도체 공정으로부터 배출되는 것인 유해가스의 정화방법.
  7. 제1항에 있어서, 유해가스가 가스봄베로부터 누출되어 공기로 희석된 것인 유해가스의 정화방법.
  8. 제1항에 있어서, 유해가스의 농도가 50-1000용량%인 유해가스의 정화방법.
  9. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920023903A 1991-12-11 1992-12-11 유해가스의 정화방법 KR0126123B1 (ko)

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JPH05237324A (ja) 1993-09-17
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