KR930012082A - 유해가스의 정화방법 - Google Patents
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Abstract
염소, 염화수소, 디클로로실란, 4염화규소, 3염화인, 3불화염소, 3염화붕소, 3불화붕소, 6불화텅스텐, 4불화규소, 불소, 불화수소 및 브롬화수소등의 유해할로겐화물 가스를, 산화아연, 산화알루미늄 및 알칼리 화합물로 구성된 정화제와 접촉시켜 상기 할로겐화물을 제거하는 유해가스의 정화방법이 개시되어 있다.
이 방법은 반도체 제조공정으로부터 배출되는 가스나 가스봄베로부터 갑자기 누출되는 가스등에 함유되는 가스형 할로겐화물을 신속하고 효율적으로 제거하는 점에서 극히 유효하다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 유해가스의 정화방법을 나타내는 플로우 시이트.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
1 : 정화통,2 : 가스봄베,
3 : 봄베박스,4 : 블로워,
5 : 환기통.
Claims (9)
- 유해성분으로된 할로겐화물 가스를 함유하는 가스를 산화아연, 산화알루미늄 및 알칼리 화합물로 구성된 정화제와 접촉시켜 유해성분을 제거하는 것을 특징으로 하는 유해가스의 정화방법.
- 제1항에 있어서, 할로겐화물 가스가 염소, 염화수소, 디클로로실란, 4염화규소, 3염화인, 3불화염소, 3염화붕소, 3불화붕소, 6불화텅스텐, 4불화규소, 불소, 불화수소 및 브롬화 수소 가운데 어느하나 이상인 유해가스의 정화방법.
- 제1항에 있어서, 알칼리 화합물이 탄산칼륨, 중탄산칼륨, 수산화칼륨, 탄산나트륨, 중탄산나트륨, 수산화나트륨 및 수산화암모늄 가운데 어느 하나 이상인 유해가스의 정화방법.
- 제1항에 있어서, 산화아연에 대한 산화알루미늄 및 알칼리 화합물의 혼합비율이 아연 1원자에 대해 알루미늄 0.02-0.60원자, 알카리 금속 또는 암모늄기를 1원자로 하여 0.02-0.70원자인 유해가스의 정화방법.
- 제1항에 있어서, 산화알루미늄이 알루미나 수화물인 유해가스의 정화방법.
- 제1항에 있어서, 유해가스가 반도체 공정으로부터 배출되는 것인 유해가스의 정화방법.
- 제1항에 있어서, 유해가스가 가스봄베로부터 누출되어 공기로 희석된 것인 유해가스의 정화방법.
- 제1항에 있어서, 유해가스의 농도가 50-1000용량%인 유해가스의 정화방법.
- ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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