KR930003450A - 고온 초전도 조셉슨 접합의 제조방법 - Google Patents
고온 초전도 조셉슨 접합의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 공정들을 개략적으로 도시한 단면도로서, 제1-(a)도는 기판위에 NgO완충층을 증착한 단면도이고,
제1-(b)도는 마이크로 브리지 형태로 패턴화된 MgO박막의 단면도이고,
제1-(c)도는 패턴화된 MgO박막위에 Y-Ba-Cu-O박막을 증착한 단면도이고,
제1-(d)도는 산소분위기에서 열처리한 후 형성된 고온 초전도 박막의 단면도이다.
제2도는 제1도의 공정에 의해 제조된 조셉슨 접합을 도시하는 모식도이다.
Claims (3)
- 일정한기판상에 완충층을 증작한 후, 상기 완충층을 초전도막이 형성될 부분만을 남기고 마이크로 브리지 형태가 되도록 패턴화하고, 상기 패턴화된 완충층 박막 위에 Y-Ba-Cu-O박막을 증착한 후, 상기 완충층 위의 막을 산소분위기 하에서 열처리하여 초전도 상으로 제조하는 것을 특징으로 하는 초전도 조셉슨 접합의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 완충층은 초전도 박막을 증착시켜 열처리 시킨 후, 상기 기판상에 증착된 것을 초전도 특성을 갖지 않고 반면에 상기 완충층위에 증착된 것은 초전도 특성을 갖지 않고 반면에 상기 완충층위에 중착된 것은 초전도 특성을 갖도록 하는 물질인 것을 특징으로 하는 초전도 조셉슨 접합의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 기판을 실리콘 또는 알루미나이고, 상기 완충층은 MgO박막인 것을 특징으로 하는 초전도 조셉슨 접합의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910013253A KR930003450A (ko) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | 고온 초전도 조셉슨 접합의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910013253A KR930003450A (ko) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | 고온 초전도 조셉슨 접합의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR930003450A true KR930003450A (ko) | 1993-02-24 |
Family
ID=67310300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019910013253A KR930003450A (ko) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | 고온 초전도 조셉슨 접합의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR930003450A (ko) |
-
1991
- 1991-07-31 KR KR1019910013253A patent/KR930003450A/ko not_active Application Discontinuation
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