KR930001816Y1 - 기판 세정장치 - Google Patents

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KR930001816Y1
KR930001816Y1 KR2019890019749U KR890019749U KR930001816Y1 KR 930001816 Y1 KR930001816 Y1 KR 930001816Y1 KR 2019890019749 U KR2019890019749 U KR 2019890019749U KR 890019749 U KR890019749 U KR 890019749U KR 930001816 Y1 KR930001816 Y1 KR 930001816Y1
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안순섬
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삼성전관 주식회사
김정배
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Abstract

내용 없음.

Description

기판 세정장치
제1도는 본 고안의 기판 세정장치 사시도.
제2도는 본 고안의 기판 세정장치 적용 상태도.
제3도는 종래의 기판 세정장치 사시도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
4, 4' : 이송벨트 7 : 구동로울러
8 : 종동로울러 9 : 구동수단
P : 기판
본 고안은 기판 세정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 LCD 제작에 사용되는 ITO 글래스의 표면에부착되어 있는 이물질을 완전히 제거하여 세정효과를 향상시킬 수 있도록 한 기판 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로 트위스티드 네마틱형(Twisted Nematic)액정 표시 소자는 상하측에 절연측에 절연된 유리기판 사이에 상하측의 투명전극이 배열되어 있으며, 이 투명전극에 액정 분자를 수평으로 배열시키는 상하측 배향막이 형성되고 상측 배향막의 배향방향이 어긋난 상태로 되어 액정이 주입된 상태에서 주변부가 봉착되며 상하측 유리기판의 편광판에 반사막이 형성되어 이루어진다.
이와 같이 구성되는 액정 표시소자는 상하측 유리기판에 전극을 형성할때 기판표면을 깨끗이 닦는 작업을 우선적으로 행하게 된다.
제3도는 종래의 기판세정장치를 나타내는 사시도로서, 세제탱크(A)에 노즐(B)가 연통설치되어 세제분사가 가능하게 되어 있으며, 노즐(B)의 아래측에 구동수단에 의해 회전하는 제1로울러(C)와 제2로울러(D)가 설치되어 이송벨트(B)로 전동가능하게 형성되어 있다.
이러한 구성의 기판 세정장치는 이송벨트(E)상에 놓여져 이동하는 기판(F)에 노즐(B)를 통하여 세제가 분사되어 기판(F)에 묻어 있는 이물질을 세정하게 되는데, 이 방식은 분무되는 알카라 세제의 농도와 기판(F)와 세제의 접촉시간의 변화에 따라 세정이 행하여지기 때문에, 기판(F)에 응고된 상태로 묻어 있는 이물질의 제거가 어렵다는 문제점이 있다.
이와 같은 세정 방식은 상기한 바와 같이 이물질의 제거가 완전하게 행하여 지지 않기 때문에 셀제작시 전극간의 쇼트를 일으키는 원인이 되고 있다.
본 고안은 상기한 바와같은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로서, 본 고안의 목적은 기판상의 이물질을 완전히 제거하여 세정효과를 향상시킬 수 있는 기판 세정 장치를 제공하는데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 이송벨트를 타고 이송하는 기판이 축류펌프의 구동에 의해 세제탱크의 세제가 노즐을 통하여 분사 되도록 구성된 기판세제 장치에 있어서, 구동수단에 의해 회전하는 상하 로울러가 상기한 이송벨트의 윗면과 동일 수평선상에 마찰면이 위치되도록 구성된 기판 세정장치를 제공한다.
이하 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 따라 더욱 상세히 설명한다.
제1도는 본 고안의 기판세정장치 사시도로서, 부호(1)은 세제탱크를 나타낸다.
세제탱크(1)에는 알카리세제 또는 NaCH 수용액이 담겨지게 된다.
상기한 세제탱크(1)에는 축류펌프(2)가 설치되어 세제탱크(1)내의 세제를 노즐(3)을 통하여 분사 시키도록 되어 있다.
노즐(3)의 아래측에는 별도의 구동수단으로 전동하는 이송벨트(4)(4')가 설치되어 있다.
이송벨트(4)(4')는 축(5)의 끝단에 동축설치된 2개의 로울러(6)(6')에 각각 감겨 함께 전동하게 되어 있다.
상기한 이송벨트(4)(4')의 사이에는 구동 로울러(7)과 종동로울러(8)이 구동수단(9)에 의해 회전 가능한 상태로 설치되어 있다.
구동로울러(7)은 축(10)의 일측단에 설치된 폴리(11)이 구동수단(9)의 폴리(12)와 벨트(13)으로 연결되어 회전 가능하게 되어 있으며, 상기한 축(10)에는 구동 치차(14)가 설치되어 종동로울러(8)이 설치된 측(15)의 종동치차(16)과 치합되어 있다.
상기한 구동로울러(7)과 종동로울러(8)은 제2도에 도시한 바와 같이 소정거리 이격되어 위치되며, 구동로울러(7)의 상면에 이송벨트(4)의 상면과 동일한 수평선상에 위치된다.
이와 같이 구성되는 본 고안의 기판 세정장치는, 이송벨트(4)(4')에 기판(P)를 올려 놓고 축류펌프(2)를 가동시키면 노즐(3)을 통하여 세제탱크(1)의 세제가 분사를 시작하게 된다.
이와 동시에 별도의 구동수단을 구동시켜 축(5)를 회전시키게 되면 이송벨트(4)(4')가 전동하게 되어 이송벨트(4)(4')위에 놓여 있는 기판(P)가 제2도의 화살표 방향으로 이동하게 된다.
이때 세제가 기판(P)위에 분사되어 기판(P)위에 응고된 이물질을 용해 시키게 된다.
이러한 상태로 기판(P)는 이송벨트(4)(4')를 타고 이송되다가 구동로울러(7)과 종동로울러(8)사이로 진입하기 시작한다.
이때 이미 구동수단(9)에 의해 구동로울러(7)과 종동로울러(8)이 서로 반대 방향으로 회전하고 있는 상태에 있으므로, 기판(P)는 두 로울러의 사이에 삽입되면서 접착력으로 로울러(7)(8)사이를 빠져 나가게 된다.
따라서 세제에 의해 용해된 기판(P)의 이물질이 구동로울러(7)과 종동로울러(8)과의 마찰력으로 떨어져 나가게 된다.
이상 설명한 바와 같이 본 고안의 기판 세정장치는 세제로 응고된 물질을 용해시키고, 이어서 그 로울러 사이로 빠져나가게 함으로써 기판상의 이물질을 완전히 제거할 수 있게 된다.

Claims (1)

  1. 이송벨트를 타고 이송하는 기판이 축류펌프의 구동으로 분사되는 세제에 의해 세정되는 기판 세정장치에 있어서, 구동수단(9)에 의해 회전하는 구동로울러(7)과 종동로울러(8)이 이송벨트(4)(4)사이에 설치되어 이송벨트(4)(4')를 타고 이송되는 기판(P)가 상기한 구동로울러(7)과 종동로울러(8)사이를 통과함에 따라 마찰에 의해 이물질이 제거 되도록 구성함을 특징으로 하는 기판 세정장치.
KR2019890019749U 1989-12-23 1989-12-23 기판 세정장치 KR930001816Y1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100636709B1 (ko) * 2004-10-01 2006-10-19 주식회사 신안에스엔피 로터리식 세정기

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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