KR920011632A - 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법 - Google Patents

레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 한 실시예의 종단면도, 제4도는 본 발명의 다른 실시예에 있어서의 보정용 렌즈를 도시하는 도면.

Claims (7)

  1. 레이저광을 피가공물(6)에 조사해서 가공을 행하는 레이저 가공 장치에 있어서, 선단에 대물렌즈(1b)를 포함하며, 상기 피가공물의 가공 부위를 확대해서 관찰하기 위한 현며경(1)과, 상기 대물렌즈를 거쳐서 가공용 레이저광을 상기 피가공물에 조사하기 위한 레이저광원(4)과, 상기 현미경으로 상기 피가공물의 가공 부위를 관찰하기 위해 참조광을 조사하기 위한 참조광원(5)과, 상기 레이저 광원에서 조사된 가공용 레이저광과 상기 참조 광원에서 조사된 참조광을 상기 현미경내의 대물렌즈의 광축으로 인도하기 위한 광결합 수단(3)과, 상기 광결합수단과 상기 대물렌즈와의 사이에 설치되며 상기 피가공물의 가공 형상에 대응하는 개구를 갖는 성형 수단(2)과, 상기 대물렌즈와 상기 성형 수단과의 사이에 설치되며 가공시에 관찰시와 같은 광축 방향의 위치에 상기 가공용 레이저광을 결상시키는 보정 수단(9)을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보정수단은 수차를 보정하기 위한 수차 보정렌즈(9a)와, 상기 수차 보정렌즈를 회전가능하게 유지하며 가공시에는 상기 레이저광이 상기 수차 보정렌즈를 통과하고 관찰시에는 상기 참조광이 공간을 통과하는 렌즈 홀더(9c)를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 보정수단은 가시광역에서의 촛점 거리가 크고 적외광에 대해선 짧아지게 각각의 재질이 상이한 오목렌즈(9e)와 볼록렌즈(9f)를 조합한 렌즈인 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 보정 수단은 상기 레이저광의 빔 웨스트를 상기 가공 부위에 일치시키기 위한 오목렌즈(10)를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 현미경은 그 선단부에 상기 대물렌즈가 부착된 경통(1a)과, 상기 경통내에 설치되며 상기 대물렌즈의 광축상에 설치되는 제1중간 거울(1e)과, 상기 제1중간 거울로 반사된 상기 피가공물의 상을 관찰하기 위한 관찰 수단(7)을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 광결합 수단은 상기 레이저광원과 상기 대물렌즈와의 광축상에 설치된 제2중간 거울(3d)과, 상기 제2중간 거울의 광축에 대해서 직교하게 설치되며 상기 참조 광원에서 조사된 참조광을 평행광으로 하기 위한 콜리메이터부(3c)를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
  7. 레이저광을 피가공물에 조사해서 가공을 행하는 레이저 가공 방법에 있어서, 현미경의 대물렌즈의 광로에 각각의 광로가 함께 통과하는 참조광과 가공용 레이저광을 인도해서 상기 피가공물의 가공 부위에 수속시키는 단계와, 상기 가공용 레이져광에 의한 가공을 행하기 전에 상기 참조광의 가공 부위에 있어서의 스포트 형상을 상기 현미경에 의해서 관찰하고 상기 참조광과 상기 가공용 레이저광의 횡단면 형상을 상기 피가공물의 가공 부위에 있어서의 가공 예정 형상으로 형성하는 단계와, 가공시에 상기 가공용 레이저광이 관찰시에 있어서의 상기 참조광이 스포트 위치에 결상되게 그 가공용 레이저광의 수차를 보정하고 보정한 가공용 레이저광으로 상기 피가공물을 가공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 방법.
    ※ 참고사항：최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910023186A 1990-12-19 1991-12-17 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법 KR960005214B1 (ko)

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