JP5474340B2 - 光変調装置 - Google Patents
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Description
先ず、本発明に係る光変調装置の第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る光変調装置1Aの構成図である。この図に示される光変調装置1Aは、光源11、光源21、観察部31、ハーフミラー41、ダイクロイックミラー42、プリズム43、反射型SLM51、駆動部52、および集光レンズ61を備える。
続いて、本発明に係る光変調装置の第2実施形態について説明する。図6は、第2実施形態に係る光変調装置1Bの構成図である。この図に示される光変調装置1Bと第1実施形態の光変調装置1Aとの構成上の相違点は、誘電体多層膜鏡44a,44bが形成される透光性部材の態様である。なお、他の構成(光源11、光源21、観察部31、ハーフミラー41、ダイクロイックミラー42、反射型SLM51、駆動部52、および集光レンズ61)の構成および作用に関しては、前述した第1実施形態と同様なので詳細な説明を省略する。
Claims (2)
- レーザ光、及び前記レーザ光とは波長が異なり前記レーザ光が照射される対象部位を観察するために前記対象部位に照射される照明光を同一の光路上に出射する光源部と、
前記照明光を透過する第1の透光性部材上に形成され、前記光源部から同一の光路でもって入射する前記レーザ光及び前記照明光を受け、前記レーザ光を反射させて前記照明光を透過させる第1の誘電体多層膜鏡と、
前記第1の誘電体多層膜鏡から前記レーザ光を斜め前方より受け、該レーザ光を反射させつつ、二次元配列された複数の画素毎に前記レーザ光を変調する反射型の空間光変調器と、
前記第1の透光性部材上、又は前記第1の透光性部材とは別に設けられ前記照明光を透過させる第2の透光性部材上に形成され、前記空間光変調器から受けた前記レーザ光を反射させるとともに、前記第1の誘電体多層膜鏡、及び少なくとも前記第1の透光性部材を透過した前記照明光を反射後の前記レーザ光と同一の光路上へ透過させる第2の誘電体多層膜鏡と、
前記第2の誘電体多層膜鏡から同一の光路でもって入射する前記照明光及び前記レーザ光を受け、前記照明光及び前記レーザ光を集光する集光レンズとを備えることを特徴とする、光変調装置。 - 前記第1の透光性部材はプリズムから成り、
前記第1の誘電体多層膜鏡が、前記プリズムの第1の面上に形成されており、
前記第2の誘電体多層膜鏡が、前記プリズムの第2の面上に形成されており、
前記照明光が前記第1の面から前記プリズム内に入射して前記プリズムの第3の面において全反射し、全反射した前記照明光は前記プリズム内を伝搬して前記第2の面に達することを特徴とする、請求項1に記載の光変調装置。
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