JP5590963B2 - 光学装置および走査型顕微鏡 - Google Patents
光学装置および走査型顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5590963B2 JP5590963B2 JP2010109385A JP2010109385A JP5590963B2 JP 5590963 B2 JP5590963 B2 JP 5590963B2 JP 2010109385 A JP2010109385 A JP 2010109385A JP 2010109385 A JP2010109385 A JP 2010109385A JP 5590963 B2 JP5590963 B2 JP 5590963B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- objective lens
- optical path
- path length
- optical
- wavefront
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
また、対物レンズを機械的に光軸方向に移動させて、標本内部の各面における光学像を順次取り込んでいくことにより、標本の3次元画像を作成するレーザ走査型顕微鏡が知られている(例えば、特許文献2参照。)。
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、対物レンズが光軸方向に移動しても、照射光を精度よく集光することができる光学装置および走査型顕微鏡を提供することを目的としている。
本発明は、照射光の波面を変調する波面変調部と、該波面変調部により波面が変調された照射光を標本に集光する対物レンズと、該対物レンズを光軸方向に移動させる対物移動機構と、前記波面変調部により変調された波面を対物レンズにリレーするリレー光学系と、前記対物移動機構による前記対物レンズの移動に伴う光路長の増減を補償するように前記対物レンズと前記リレー光学系との間の光路長を調整する光路長調整部とを備え、該光路調整部は、少なくとも2つのミラーを有し、前記光路長を調整する前後で、前記2つのミラーを互いに異なる方向に移動した位置に配置する光学装置を提供する。
このようにすることで、照射光の集光位置を対物レンズの光軸方向に変化させるために、対物レンズを光軸方向に移動させたときには、ユニット切替機構の作動により、対物レンズの移動量に対応する光路長調整ユニットを選択的に光路上に配置することで、対物レンズの移動に伴って光路長が増減してもこれを補償して、波面変調部と対物レンズの入射瞳位置とを光学的にほぼ共役な状態に維持することができる。
このようにすることで、対物レンズの光軸方向の位置を任意の位置に移動しても、光路長調整部によって光路長を補償して、集光性能を劣化させることなく、照射光を精度良く集光させることができる。
本実施形態に係る光学装置1は走査型顕微鏡であって、図1に示されるように、励起光、刺激光等の照射光を発生する光源装置2と、該光源装置2から射出された照射光によって標本Aを観察する顕微鏡本体3とを備えている。
すなわち、レーザ光源4から射出されたレーザ光Lは液晶デバイス8の液晶分子の配向方向と一致する偏光方向を有することにより、液晶デバイス8によってその波面が変調されて反射される。液晶デバイス8によりレーザ光Lに付与する波面変調は、例えば、レーザ光源4から後述する対物レンズ13に至る種々の光学素子において発生する収差を補償して、対物レンズ13の前方にレーザ光Lを精度よく集光させるように行われるものである。
スキャナ11は、例えば、異なる軸線回りに揺動可能な2枚のガルバノミラー11a,11bを備え、入射されるレーザ光Lを2次元的に走査することができるようになっている。
レーザ光源4から発せられたレーザ光Lは、波面変調部6に入射され、プリズム7によって反射されて液晶デバイス7に入射される。レーザ光Lの偏光方向を液晶分子の配向方向に水平に設定しておくことにより、レーザ光Lの波面が液晶デバイス7によって変調される。
この場合、偏光ビームスプリッタ22としては、多光子蛍光観察の場合には、図3に示されるもの、一光子蛍光観察の場合には、図4に示されるように、それぞれ波長依存性のある透過率特性を有するものを採用すればよい。
このように、偏光ビームスプリッタ22とミラー24との相対位置を異ならせることにより、図2(a),(b)に示されるように、第2のリレー光学系10から対物レンズ13の入射瞳位置までの光路長の異なる光路長調整ユニット15が構成されている。
この光路長調整部12は、第2のリレー光学系10から射出されたレーザ光Lを反射するプリズム26と、該プリズム26により反射されたレーザ光Lを折り返してプリズム26に再入射させるミラー27と、該ミラー27とプリズム26との相対距離を連続的に変化させるミラー移動部28とを備えている。符号28aはモータである。
光源30は水銀灯、キセノンランプあるいはLEDのような広帯域の照射光を発生する光源部31と、該光源部31から発せられた照射光の内、特定の波長帯域の励起光Eのみを選択的に透過する励起フィルタ32と、該励起フィルタ32を透過した励起光Eを反射し、蛍光Fおよびレーザ光源4からのレーザ光Lを透過するダイクロイックミラー33とを備えている。図中符号34はレンズ、符号35は蛍光Fを透過しそれ以外の波長の光を遮断する吸収フィルタである。
L レーザ光(照射光)
1 光学装置
2 光源装置
3 顕微鏡本体
6 波面変調部
9 リレー光学系(第1のリレー光学系)
10 リレー光学系(第2のリレー光学系)
12 光路長調整部
13 対物レンズ
15 光路長調整ユニット
16 ターレット(ユニット切替機構)
20 対物移動機構
Claims (6)
- 照射光の波面を変調する波面変調部と、
該波面変調部により波面が変調された照射光を標本に集光する対物レンズと、
該対物レンズを光軸方向に移動させる対物移動機構と、
前記波面変調部により変調された波面を対物レンズにリレーするリレー光学系と、
前記対物移動機構による前記対物レンズの移動に伴う光路長の増減を補償するように前記対物レンズと前記リレー光学系との間の光路長を調整する光路長調整部とを備え、
該光路調整部は、少なくとも2つのミラーを有し、前記光路長を調整する前後で、前記2つのミラーを互いに異なる方向に移動した位置に配置する光学装置。 - 前記光路長調整部が、光路長の異なる複数の光路長調整ユニットと、前記対物移動機構による対物レンズの移動量に基づいて、いずれかの前記光路長調整ユニットを選択的に光路上に配置するユニット切替機構とを備える請求項1に記載の光学装置。
- 前記光路長調整部が、前記対物移動機構による対物レンズの移動量に基づいて、前記対物レンズと前記リレー光学系との間の光路長を連続的に調整する請求項1に記載の光学装置。
- 前記光路長調整部は、前記2つのミラーの各々を互いに直交する方向に独立に駆動するモータを備え、前記光路長を調整する前後で、前記2つのミラーを互いに直交する方向に移動した位置に配置する請求項3に記載の光学装置。
- 前記リレー光学系の光軸と前記対物レンズの光軸とが、互いに直交しており、
前記2つのミラーのうちの一方は、前記リレー光学系から該リレー光学系の光軸と前記対物レンズの光軸との交点を越えた位置に配置され、前記リレー光学系からの照射光を、前記交点の前記対物レンズとは反対側において前記対物レンズの前記光軸と交わるように反射し、
前記2つのミラーのうちの他方は、前記交点の前記対物レンズとは反対側において前記対物レンズの光軸上に配置され、前記一方のミラーからの照射光を前記対物レンズへ向かって反射する請求項1から請求項4のいずれかに記載の光学装置。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の光学装置と、
光検出器と、
前記対物レンズによって集光された前記標本からの光を前記光検出器に集光する集光レンズとを備える走査型顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010109385A JP5590963B2 (ja) | 2010-05-11 | 2010-05-11 | 光学装置および走査型顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010109385A JP5590963B2 (ja) | 2010-05-11 | 2010-05-11 | 光学装置および走査型顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011237635A JP2011237635A (ja) | 2011-11-24 |
JP5590963B2 true JP5590963B2 (ja) | 2014-09-17 |
Family
ID=45325675
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010109385A Expired - Fee Related JP5590963B2 (ja) | 2010-05-11 | 2010-05-11 | 光学装置および走査型顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5590963B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2498184A (en) * | 2012-01-03 | 2013-07-10 | Liang Kong | Interactive autostereoscopic three-dimensional display |
JP6146985B2 (ja) * | 2012-10-30 | 2017-06-14 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡装置 |
JP6128822B2 (ja) * | 2012-12-05 | 2017-05-17 | オリンパス株式会社 | 光学装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0784187A (ja) * | 1993-09-13 | 1995-03-31 | Olympus Optical Co Ltd | 瞳投影光学系 |
JP4576137B2 (ja) * | 2004-03-19 | 2010-11-04 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡 |
JP4700334B2 (ja) * | 2004-12-07 | 2011-06-15 | オリンパス株式会社 | 全反射蛍光顕微鏡 |
JP4590510B2 (ja) * | 2006-01-18 | 2010-12-01 | 新オプトウエア株式会社 | 光情報記録装置および光情報再生装置 |
JP4858472B2 (ja) * | 2008-03-26 | 2012-01-18 | パルステック工業株式会社 | ホログラム記録装置及びホログラム再生装置 |
-
2010
- 2010-05-11 JP JP2010109385A patent/JP5590963B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011237635A (ja) | 2011-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5554965B2 (ja) | 位相変調型空間光変調器を用いたレーザ顕微鏡 | |
WO2017154791A1 (ja) | レーザ光照射装置及びレーザ光照射方法 | |
JP6249616B2 (ja) | レーザ顕微鏡 | |
JP6732627B2 (ja) | レーザ光照射装置 | |
KR20210027349A (ko) | 레이저 가공 장치 | |
JP6644580B2 (ja) | レーザ光照射装置及びレーザ光照射方法 | |
JP6689646B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
EP2498116B1 (en) | Microscope apparatus | |
JP2009175441A (ja) | 観察装置 | |
JP6419558B2 (ja) | 観察装置 | |
JP5590963B2 (ja) | 光学装置および走査型顕微鏡 | |
JP4959590B2 (ja) | 観察装置 | |
JP5959180B2 (ja) | 照明光学装置 | |
CN109843497B (zh) | 激光加工装置及动作确认方法 | |
JP2008026643A (ja) | レーザ走査型顕微鏡 | |
US9069167B2 (en) | Illumination apparatus for microscope and microscope using the same | |
JP2017102263A (ja) | 共焦点スキャナ、共焦点顕微鏡、及び、照明方法 | |
WO2019093209A1 (ja) | レーザ加工方法、及び、レーザ加工装置 | |
JP4961359B2 (ja) | 観察装置 | |
JP2013160893A (ja) | 顕微鏡とその収差補正方法 | |
JP2006106337A (ja) | 走査型光学顕微鏡 | |
JP2012141452A (ja) | 自動合焦機構および顕微鏡装置 | |
JP6656598B2 (ja) | 共焦点顕微鏡システム | |
JP6689649B2 (ja) | レーザ光照射装置、及び、プロファイル取得方法 | |
JP2023125394A (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130327 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140218 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140418 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140708 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140729 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5590963 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |