KR920011295A - 저전압 아크방전 및 가변자석에 의한 기판가열방법 및 장치 - Google Patents

저전압 아크방전 및 가변자석에 의한 기판가열방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

저전압 아크방전 및 가변자석에 의한 기판가열방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따라 구성되며 두개의 자석코일을 갖는 각각의 가열 또는 피복실을 예시한 도면.

Claims (17)

  1. 가열될 상품 또는 기판을 수용하는 용기에서 기판과 시각적으로 접촉하는 상태로 위치하지 않는 전자를 발생시키는 음극과 양극간의 가스방전 또는 저전압 방전에 의해 상품 또는 기판을 가격함으로써 진공실내에서 가열된 상품 또는 피복될 기판을 균일하게 가열하는 방법으로서, 가스방전 또는 저전압방전이 진공실내에서 각각 자기적으로 접속된 상태로 유지되는 방법에 있어서, 적어도 가열중에 각각 전류밀도 또는 전자밀도의 분포를 향상시키기 위해 적어도 하나의 국부적으로 가변되고 및/또는 변위되는 자계를 유지함을 특징으로 하는 가열방법.
  2. 제1항에 있어서, 적어도 부분적으로 중첩되고 교호적으로 강하거나 약하게 동작하여 가열된 상품또는 기판을 따라 교호적으로 강하거나 약하게 국부적으로 가열하는 자계가 유지됨을 특징으로 하는 가열방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 자계는 가열될 상품 또는 기판의 표면을 따라 국부적으로 변동가능하고 및/또는 변위 가능하게 유지됨을 특징으로 하는 가열방법.
  4. 제1항에 있어서, 가열될 상품 또는 피복될 기판은 동시에 변위됨을 특징으로 하는 가열방법.
  5. 제1항에 있어서, 가스방전 또는 저전압 아크방전은 음극실내에 위치한 고온의 음극과 양극사이에서 수행됨을 특징으로 하는 가열방법.
  6. 제5항에 있어서, 음극실과 가열될 상품 또는 기판을 수용하는 용기간의 개구부를 관통하는 자계의 자속선이 가열될 상품 또는 기판을 침투하지 않는 그러한 자계를 유지함을 특징으로하는 가열방법.
  7. 제1항에 있어서, 가열될 상품 또는 기판은 저전압 아크방전의 양극으로서 스위칭됨을 특징으로 하는 가열방법.
  8. 제1항에 있어서, 자계는 사실상 평행하게 연장되는 가열될 상품 또는 기판의 표면의 영역에서 유지됨을 특징으로 하는 가열방법.
  9. 제1항에 있어서, 피복될 상품 또는 기판은 각각 플라스마 다발 둘레에 배열됨을 특징으로 하는 가열방법.
  10. 가스방전 또는 저전압 방전에 의해 상품 또는 기판을 가격함으로써 진공실내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판을 균일하게 가열하기 위한 장치로서, 상품 또는 피복될 기판을 균일하게 가열하기 위한 피복실 또는 가열실과, 상품 또는 기판과 시각적으로 접촉하지 않는 상태로 위치하는 전자발생 음극과, 가열될 상품 또는 기판을 수용하는 용기와, 상기 용기에 위치하여 가스방전 또는 저전압 아크를 발생시키는 양극을 포함하며, 피복 또는 가열실에서 자계를 발생시키고 국부적으로 가변될수 있는 자계를 발생시킬수 있는 적어도 하나의 기기로 구성됨을 특징으로 하는 가열장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 자계를 발생시키기 위한 기기는 가열될 상품 또는 피복될 기판을 수용하는 용기에 대해 사실상 평행하게 변위가능하도록 배열됨을 특징으로 하는 가열장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 자계를 발생시키기 위한 기기는 상호 거리를 두고 위치하며, 상기 기기에 의해 발생된 자계의 자속선이 가열될 상품 또는 피복될 기판을 수용하는 상기 용기에 사실상 평행하게 연장되도록 배열되는 적어도 두개의 자석코일을 포함함을 특징으로 하는 가열장치.
  13. 제10항에 있어서, 상기 장치가 상기 음극 및 가열될 상품 또는 기판사이에 위치하는 스크린을 포함함을 특징으로 하는 가열장치.
  14. 가스방전 또는 저전압 방전에 의해 상품 또는 기판을 가격함으로써 진공실내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판을 균일하게 가열하기 위한 장치로서, 배출가능한 가열실과, 상품 또는 기판을 수용하는 용기와, 고온의 음극이 배열되는 음극실과, 음극실로부터 배출가능한 가열실내로 저전압 아크방전에 의해 발생되는 플라스마가 통과하는 개구부를 구비하며, 피복 또는 가열실에서 자계를 발생시키고 국부적으로 가변될 수 있는 자계를 발생시킬수 있는 적어도 하나의 기기로 구성됨을 특징으로 하는 가열장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 자계를 발생시키기 위한 기기는 가열될 상품 또는 피복될 기판을 수용하는 용기에 대해 사실상 평행하게 변위가능하도록 배열됨을 특징으로 하는 가열장치.
  16. 제14항에 있어서, 상기 자계를 발생시키기 위한 기기는 상호 거리를 두고 위치하며, 상기 기기에 의해 발생된 자계의 자속선이 가열될 상품 또는 피복될 기판을 수용하는 상기 용기에 사실상 평행하게 연장되도록 배열되는 적어도 두개의 자석코일을 포함함을 특징으로 하는 가열장치.
  17. 제14항에 있어서, 상기 장치가 상기 음극 및 가열될 상품 또는 기판사이에 위치하는 스크린을 포함함을 특징으로 하는 가열장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910019533A 1990-11-05 1991-11-04 저전압 아크방전 및 가변자석에 의한 기판 가열방법 및 장치 KR100246490B1 (ko)

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