KR100246490B1 - 저전압 아크방전 및 가변자석에 의한 기판 가열방법 및 장치 - Google Patents

저전압 아크방전 및 가변자석에 의한 기판 가열방법 및 장치 Download PDF

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하에펠리 에리흐, 베그만 어스
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Abstract

가스방전 또는 저전압 아크방전에 의해 진공실 또는 용기내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판을 균일하게 가열하기 위해, 적어도 가열중에 적어도 국부적으로 가변되고 및/또는 변위되는 자계를 진공실 또는 용기내에 유지하는 방법이 제공된다. 상호 부분적으로 중첩되고 교호적으로 강하거나 약하게 동작함으로써 진공실 또는 용기내의 전류밀도를 국부적으로 유도하여 기판 또는 가열될 상품을 따라 교호적으로 강하거나 덜 강하게 열을 가하는 것이 바람직하다.

Description

저전압 아크방전 및 가변자석에 의한 기판가열방법 및 장치
제1도는 본 발명에 따라 구성되며 두개의 자석코일을 갖는 각각의 가열 또는 피복실을 예시한 도면.
제2도는 두개의 자석코일의 동작을 선도의 형태로 보인 도면.
제3도 및 제4도는 각각 자계가 변할 때와 자계가 일정할 때의 진공실 또는 피복장치내의 온도분포를 선도형태로 예시한 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : 진공용기 2 : 지지부
3 : 상품 또는 기판 4 : 전기절연부
5 : 바닥판 6 : 도입선
7 : 전원장치 8 : 글로 음극실
9 : 개구부 11 : 절연판
12 : 글로 음극 13 : 제어밸브
14a, 14b : 자석코일 15 : 연결편
16 : 자계
본발명은 진공용기내에서 가열될 상품을 가열하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 그러한 방법은 가스제거, 납땜, 소결 및 경화등에 사용되고 피복 또는 이온처리방법과 관련되어 사용된다. 그에 의해 가능한한 균일하게 상품을 가열하게된다.
일반적으로 공지된 진공가열로에서, 가열될 상품은 대류 또는 열전도에 의해 가열될 상품에 열을 전달하는 가열면에 의해 둘러싸인다. 전기적으로 도체인 가열될 상품은 유도전류에 의해 또한 가열될 수 있고, 소위 이상방전의 경우 음극으로서 연결되는 가열될 상품이 균일하게 가열될 수 있을 정도로 전체 음극표면을 균일하게 덮는 열공급원으로서의 전체 방전은 공지된 기술이다.
전자충격에 의해 진공상태로 용융될 금속을 가열하는 방법 또한 공지되어 있다. 그러나, 전자의 소오스를 특정의 기하학적 형태로 배열함으로써 가열될 상품의 온도분포를 소정에 상태에 다다르게 할 수 있다. 현재까지는, 많은 경비를 들여서만이 균일하게 가열할 수가 있었다. 그러나, 통상적으로 전자충격은 정확하게는 반대로 인가된다. 즉, 주변에 대해 높은 온도차를 갖는 국부적으로 한정되는 열점을 생성하며, 이를 위해 전자빔은 매우 쉽게 집중될 수 있다는 점에 있어서 특히 적절하다.
전자충격에 의한 가열의 특정형태는 저전압 아크에 의한 가열로 나타난다. 본명세서에서, 저전압 아크방전은, 일측부에서 글로방사에 의해 전자를 방출하는 고온음극과 타측부에서의 양극사이에서 연소하는 가스방전을 말한다(여기서, 음극이 가스방전에 의해서만 방사온도로 유지되거나 추가적으로 가열되는 것은 중요하지 않다). 대부분의 경우, 희가스는 음극근처로 공급된다. 즉, 중공음극의 중공공간내 또는 개구부를 통해 진공용기와 소통하는 특정 글로 음극실내로 공급된다. 중공음극으로부터 또는 자계에 의해 개구부를 경유하여 글로 음극실 밖으로부터 용기내로 유입되는 플라스마를 집속하는 방법은 일반적으로 수행되는 방법이다. 그에 의해 전자는 그 중앙선이 자계의 자속선과 대부분 대응하는 밀접하고 한정된 각각의 나선형 경로를 따라 이동한다. 그러한 형태의 배열은 미합중국 특허 제 3 210 454 호 및 제 4 197 175 호에 개시되어있다. 이들 특허에서는 용융전하를 목표로하는 자기집속저전압 아크에 의해 양극으로서 연결되는 용융전하를 가열하는 방법에 대해 설명하고있다. 용융전하는 자기자속선, 따라서 전자의 나선형 경로는 상기 언급한 개구부 및 용융전하를 통해 연장된다. 따라서, 여기서는 저전압 아크는 주위와의 온도차가 큰 국부적으로 제한되는 열점을 생성하는데 사용된다. 표면이 균일하게 가열되는 상품을 열처리하기위한 전자빔 용광로 또는 경량 아크 용광로를 사용할 경우 앞서 언급한 바와 같은 방법을 수행하기 어려운 바, 그 이유는 가열될 상품에 전류밀도를 충분히 균일하게 분포시키는 것이 거의 불가능하기 때문이다.
또한, 스위스연방공화국 특허 제 658 545 호에는 자기집속 저전압 아크방전을 유지함으로써 진공실내에서 가열되는 상품을 균일하게 가열하는 방법이 개시되어있다. 그에의해 자계는, 럭스의 자석선이 사실상 가열될 상품의 표면과 평행하게 연장될 수 있도록 유지된다. 그러나 이 방법 또한, 기판이 베이스 재료의 경도의 손실에 이르는, 자계의 가장자리 영역보다 더 강한 자계의 벌지의 중심에서 가열되기 때문에, 길이가 긴 각각의 기판용기에서는 특히 만족스럽지 못하다.
독일연방공화국 특허 제 28 29 260 호에는 음극과 처리온도에 이른 후 제거되는 피복될 물체간의 스크린을 가열상태에서 배열하는 방법이 개시되어있다. 그러나 이 방법 역시 균일하게 가열하는 문제를 해결하지는 못한다.
따라서, 본발명의 목적은 가열될 상품 또는 기판을 균일하게 가열하고 뚜렷하게 가늘고 긴 기판 또는 다수의 물질로 된 기판의 가늘고 긴 지지부를 균일하게 가열하는 방법 및 장치를 제공하는데 있다.
본발명의 또다른 목적은, 적어도 가열중에 각각 전류밀도 또는 전자밀도의 분포를 향상시키기 위해 적어도 하나의 국부적으로 가변되고 및/또는 변위되는 자계를 유지하는 방법을 제공하는데 있다.
본발명의 다른 목적은 피복 또는 가열실에서 자계를 발생시키고 국부적으로 가변될 수 있는 자계를 발생시킬 수 있는 적어도 하나의 기기로 구성되는 장치를 제공하는데 있다.
본발명의 또다른 목적은 가열실내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판이 각각 가스방전 또는 저전압 아크방전에 의해 가열됨으로써 저전압 아크방전이 자기적으로 집속되고 적어도 가열중에 적어도 하나의 국부적으로 가변되고 및/또는 변위되는 자계를 유지하는 방법을 제공하는데 있다.
본발명의 다른 목적은 자계를 정지상태로 유지하고 자석코일내의 전류밀도에 의해 자계를 변동시키거나 코일을 국부적으로 변위시켜 그와 관련된 자계를 국부적으로 변위시키는 방법 및 장치를 제공하는데 있다. 그에 의해 기판의 표면 또는 상품의 표면을 각각 균일하게 가열하기위해 가스방전상태의 전자가 진공실의 가변영역내로 변위되도록 진공실내의 전류밀도의 분포를 유도하는 것이 중요하다. 전자밀도가 더 높아지면 국부적으로 기판의 각각의 영역이 더욱 강하게 가열된다. 자계를 변동시켜 전자를 앞뒤로 움직이게함으로써 기판을 균일하게 가열할 수 있다.
본발명의 또다른 목적은 상호 부분적으로 중첩되고 교호적으로 강하고 약하게 동작하는 적어도 두개의 자계를 유지하는 방법 및 장치를 제공하는데 있다. 그러한 공정에 의해 기판의 표면을 따라 교호적으로 강하고 약하게 가열할 수 있게된다. 그에의해 전자는 항상 자계가 약한 영역내로 이동하게된다. 그에 대응하여, 자계가 약하게 유지되는 영역에서는 기판이 더욱 높게 가열된다.
본발명의 다른 목적은 상기한 적어도 하나의 자계 또는 두 자계간 가열될 상품 또는 기판의 표면을 따라 평행하게 국부적으로 가변되고 및/또는 변위되도록 유지하는 방법을 제공하는데 있다.
가열될 상품 또는 국부적으로 피복될 기판을 자계내에서 동시에 변위시킬 수 있다.
본발명의 또다른 목적은 가스방전 또는 저전압 아크방전을 각각 음극실내에 위치하는 고온의 음극과 양극사이에서 수행하는 방법을 제공하는데 있다.
본발명의 다른 목적은 가열중에 자계를 유지하여 음극실과 가열될 상품 또는 기판을 수용하는 용기사이의 개구부를 관통하는 자계의 자속선이 가열될 상품 또는 기판을 침투하지않는 방법을 제공하는데 있다.
본발명의 또다른 목적은 가열될 상품 또는 기판이 저전압 아크방전의 양극으로서 스위칭되는 방법을 제공하는데 있다.
본발명의 다른 목적은 사실상 나란히 연장되는 가열될 상품 또는 기판의 표면영역에서 자계가 유지되는 방법을 제공하는데 있다.
본발명의 또다른 목적은 본발명의 방법을 실행하고 가열될 상품 또는 피복될 기판을 균일하게 가열하는 장치로서, 가열될 상품 또는 기판을 수용하는 진공실과, 고온의 음극이 배열되고 진공실과 소통하는 음극실과, 진공실의 영역내에 위치하여 적어도 가열중에 국부적으로 가변되고 및/또는 변위될 수 있는 자계가 진공실내에서 유지될 수 있도록 동작하는 적어도 하나의 자석코일을 포함하는 장치를 제공하는데 있다.
본발명의 다른 목적은 적어도 두개의 자석코일이 진공실내에 배열되며, 가열될 상품 또는 기판과 사실상 동축적으로 연장되는 진공실내에서 두개의 자계가 발생되도록 서로 간격을 두고 위치하는 장치를 제공하는데 있다.
이하 첨부도면에 예시한 바람직한 실시예의 상세한 설명을 통해 본발명을 상세히 설명하기로 한다.
제 1 도에 있어서, 도면부호 1은 종의 형상을 취하며, 가열될 상품(3)이 지지부(2)위에 지지되는 진공용기를 나타낸다. 지지부는 전기절연부(4)에 의해 용기의 바닥판(5)에 설치되고 완전진공 전류도입선(6)에 의해 전원장치(7)의 양극에 전기적으로 연결된다. 글로음극실(8)은 용기의 상부에 연결되며, 개구부(9)를 통해 용기(1)의 내부공간과 소통한다. 절연판(11)에 의해 지지되는 글로 음극(12)은 이 글로 음극실내에 위치하며, 도면에 도시한 바와 같은 흐름을 통해 전류에 의해 가열되는 와이어일 수 있다. 그러나, 외적요인에 의해 가열되거나 스스로 가열되는 중공음극의 형태로 구성될 수도 있다. 제어밸브(13)가 제공되어 가스를 글로 음극실내로 이송한다.
두개의 자석코일(14a,14b)은 용기와 동축적으로 연장되는 자계를 발생시킨다. 개구부(9)로부터 시작하여 중앙자속선이 앞서게되면, 자계(16)는 초기에 강해지고 자석코일(14a)의 중앙면에서 최대강도에 이르게 된다. 개구부(9)로부터 어느정도 떨어져 진행하면 자계가 초기에는 그 강도를 손실하게 되지만 그후에는 더욱 강하게되어 자석코일(14b)의 중앙면에서 두번째로 가장 큰 강도에 이르게 된다. 자계의 강도는 두개의 자석코일(14a,14b)을 동작시키는 전류밀도에 따라 변하지않는다. 제 1 도에 예시한 장치에서, 두개의 자석코일(14a,14b)은 서로다른 전류밀도에서 동작한다.
가열공정을 수행하기위해, 공기는 압력이 0.01p에 이를 때까지 용기와 용기의 연결편(15)에서의 고진공펌프에 의해 그에 연결되는 글로 음극실(8) 밖으로 배출된다. 펌프는 동작을 계속하며, 가스의 양, 즉 불활성 가스 아르곤은 그 압력이 0.1 내지 1p에 이를 때까지 밸브(13)를 통해 안으로 공급된다. 그후에, 글로 음극(12)은 가열되고, 전원장치가 작동하게된다. 전원장치는 100 볼트의 전기적인 전압을 발생시킨다. 자계강도가 충분한 경우(즉 0.01T) 개구부(9)를 통해 용기(1)내로 유입되는 전자는 자계의 자속선을 추종한다. 자계로 인해 전자는 축에 수직한 방향보다는 축에 평행한 방향으로 쉽게 이동할 수 있게된다. 이에 의해 전자의 흐름은 양극으로서 연결되는 전체 지지부(2)상에 분포된다.
하나의 코일만 제공되는 스위스연방공화국 특허 제 652 545 호에 따른 장치와는 달리, 두개의 코일이 배열됨으로써 가열될 상품을 따라 더욱 더 균일한 가열이 행해질 수 있다. 그럼에도 불구하고, 두 자석코일(14a,14b)에서의 자계강도가 자석코일(14a) 및 자석코일(14b)을 각각 관통하는 중앙면에서와 동일할 경우, 자석코일(14a,14b) 각각을 관통하는 중앙면에서는 가열될 상품의 온도는 최대에 이르게된다. 이러한 이유로해서, 서로다른 자계가 생성되도록 두개의 자석코일(14a,14b)을 서로다른 코일전류로 동작시키는 것이 좋다. 자계를 변동시키면, 제 1 도에 대해 수직하는 방향으로 전류밀도가 분포되게된다. 상부 코일에서의 더 강한 자계는 가스방전상태의 전자를 기판의 하부영역으로 밀게되고, 여기서 더 강한 가열을 일으키게된다. 낮은 자계가 증가된다면, 기판의 상부영역은 더 강하게 가열된다.
선도로서 나타낸 제 2 도는 두개의 자석코일(14a,14b)이 동작하는 방법을 예시한 것이다. 위에 도시한 선도는 상부코일에서의 전류밀도에 대한 것이고, 아래에 도시한 선도는 하부코일(14b)에서의 전류밀도에 대한 것이다.
제 2 도에 따르면, 고전류밀도 I는 처음 3분동안 가열이 시작될 때 하부코일이 아닌 상부코일을 통해 흐른다. 그후 2분에 걸쳐 전류밀도는 역류한다. 즉, 하부의 자계는 상부의 자계보다 강하다. 상기 언급한 바와 같이, 가스방출상태의 전자는 서로다른 자계에 의해 앞뒤로 이동하며, 이에 의해 기판 또는 가열될 상품(3)은 전 표면에 걸쳐서 균일하게 가열된다.
제 3 도 및 제 4 도는 자계가 다르게 작동할 때의 영향을 도식적으로 보인 것이다. 제 4 도의 경우, 균일한 자계에서 피복장치 또는 용기에서의 하부 및 상부영역은 중앙영역보다 가열이 적게 이루어짐을 알 수 있다. 제 3 도에 따라 다르게 동작하는 자계의 경우, 가열은 균일하게 이루어지고, 변동없이 자계가 동작할 때의 가열의 평균값에 근사적으로 대응한다. 제 4 도에 도시한 선도에 의하면, 두 자계가 존재함으로써 가열될 상품이 균일하게 가열됨은 물론, 제 2 도와 관련하여 설명한 바와같은 자계의 다른 동작에 의해서도 제 4 도에 도시한 바와 같이 상품이 균일하게 가열될 수 있다.
제 1 도에 예시한 장치는 본발명을 설명하기위한 일예에 지나지 않으며 여러가지로 변형이 가능하다. 예를들어 국부적으로 변위가능한 단지 하나의 자석코일만을 배열할 수도 있다. 자석코일을 다수개 사용할 수도 있다. 즉, 별도의 자석코일을 글로 음극실(8)의 영역에 위치시킬 수도 있다. 하나의 자석코일이 글로 음극실의 영역에 배열될 경우, 단지 하나의 자석코일(14)을 용기(1)를 따라 배열할 수 있다. 또한 배열된 자석코일의 서로다른 전류밀도 I에 의해 용기내에서 서로다른 자계를 발생시킬 수 있다. 글로 음극실용으로 독일 특허 제 38 29 260 호에 개시된 바와 같은 것과 유사한 점화실로 대체하는 것 또한 가능하다.
어떠한 경우에 있어서도, 변동가능한 적어도 하나의 자계가 피복실 또는 용기내에서 발생되고, 이러한 방식으로 가열이 행해지는 동안 실내에서 전류밀도를 국부적으로 변동시킬 수 있다.
이상과 같이 본발명이 첨부도면에 예시한 바람직한 실시예를 통해 설명되었지만 이는 본발명을 밝히기위한 일예에 지나지않으며 이에의해 본발명이 제한되지는 않고, 이후에 기재하는 특허청구의 범위를 벗어나지 않는한 여러가지로 변형이 가능하다.

Claims (20)

  1. 기판들에 시각적으로 접촉하는 상태로 위치되어 있지 않은, 전자들을 발생시키는 음극과, 가열될 상품 또는 기판들에 적합한 용기에 있는 양극사이에서, 가스방전에 의해서 상품 또는 기판들에 입자 충격을 가함으로서 진공실내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판을 각각 균일하게 가열하는 방법으로서, 상기 가스 방전은 자기적으로 집속된 상태에서 진공실내에서 유지되고, 적어도 가열하는 동안, 전류 밀도 또는 전자 밀도 각각의 분포에 영향을 주기 위하여, 적어도 하나 이상의 국부적으로 가변되거나 변위할 수 있는 자계가 유지되는 것을 특징으로 하는 진공실내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판을 균일하게 가열하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 가열될 상품 또는 기판을 따라서 교차하는 더 강하거나 더 약한 가열이 국부적으로 이루어질 수 있도록 더 강하거나 더 약하게 교차하여 작동되는 적어도 두 개 이상의 부분적으로 중첩하는 자계들이 유지되는 것을 특징으로 하는 진공실내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판을 균일하게 가열하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 자계는, 가열될 상품 또는 기판의 표면을 따라서 국부적으로 변화하거나 변위할 수 있도록 유지되는 것을 특징으로 하는 진공실내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판을 균일하게 가열하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 자계가 변화됨과 동시에 가열될 상품 또는 피복될 기판이 변위되는 것을 특징으로 하는 진공실내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판을 균일하게 가열하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 가스 방전 또는 저전압 아크 방전은 음극실내에 위치한 고온의 음극과 양극사이에서 수행되는 것을 특징으로 하는 진공실내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판을 균일하게 가열되는 방법.
  6. 제5항에 있어서, 자계는, 음극실과 가열될 상품 또는 기판에 적합한 용기사이에 있는 개구부를 관통하는 자계의 자속선들이 가열될 상품 또는 기판을 침투하지 않도록 가열하는 동안 유지되는 것을 특징으로 하는 진공실내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판을 균일하게 가열하는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 가열될 상품 또는 기판 자체는 저 전압 아크 방전의 양극으로서 스위칭되는 것을 특징으로 하는 진공실내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판을 균일하게 가열하는 방법.
  8. 제1항에 있어서, 자계는, 사실상 평행하게 연장되어 있는, 가열될 물품 또는 기판 각각의 표면들의 영역에서 유지되는 것을 특징으로 하는 진공실내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판을 균일하게 가열하는 방법.
  9. 제1항에 있어서, 피복될 상품 또는 기판은 각각 플라스마 다발 둘레에 배열됨을 특징으로 하는 진공실내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판을 균일하게 가열하는 방법.
  10. 가스 방전 또는 저 전압 방전에 의해서 각각 상품 또는 기판들에 입자 충격을 가함으로서, 진공실내에 있는 가열될 상품 또는 피복될 기판들을 균일하게 가열하는 장치로서, 상품들 또는 피복될 기판들 각각의 균일한 가열을 위한 각각의 피복실 또는 가열실, 기판들 또는 상품에 시각적으로 접촉하지 않는 상태로 위치되어 있는 전자 발생 음극, 가열될 상품 또는 기판에 적합한 용기 및 상기 용기에 위치되어 있는, 가스 방전 또는 저 전압 아크의 발생을 위한 양극을 포함하고 있고, 피복실 또는 가열실내에서 자계를 발생시켜서 국부적으로 변화할 수 있는 자계가 발생될 수 있는 방식으로 작동될 수 있도록 형성되어 있는 적어도 하나 이상의 기기를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 가열될 상품 또는 피복될 기판들을 균일하게 가열하는 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 자계를 발생시키기 위한 상기 기기는, 가열될 상품 또는 피복될 기판에 적합한 상기 용기에 대해 사실상 평행하게 변위 가능하도록 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 가열될 상품 또는 피복될 기판들을 균일하게 가열하는 장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 자계를 발생시키기 위한 상기 기기는, 서로로부터 소정 거리에 위치되어 있는 적어도 두 개 이상의 자석 코일을 포함하고 있는데, 상기 자석 코일들은, 상기 기기에 의해서 발생되는 자계의 자속선들이 가열될 상품 또는 피복될 기판 각각에 실질적으로 평행하게 연장하는 방식으로 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 가열될 상품 또는 피복될 기판들을 균일하게 가열하는 장치.
  13. 제10항에 있어서, 상기 음극과 가열될 상품 또는 기판사이에 위치하는 스크린을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 가열될 상품 또는 피복될 기판들을 균일하게 가열하는 장치.
  14. 각각의 가스 방전 또는 저전압 방전에 의해서, 상품 또는 기판들에 입자 충격을 가함으로서, 진공실내에서, 가열될 상품 또는 피복될 기판들을 균일하게 가열하는 장치로서, 배출 가능한 가열실과, 상기 배출 가능한 가열실내에 위치되어 있는 상품 또는 기판들에 적합한 용기를 포함하고 있고, 가열된 음극을 수용하는 음극실을 더 포함하고 있으며, 음극실로부터 배출가능한 가열실내로 저전압 아크 방전에 의해서 발생되는 플라스마의 통과에 적합한 개구부를 구비하고 있으며, 피복실 또는 가열실내에서 자계를 발생시켜서, 국부적으로 가변될 수 있는 자계가 발생될 수 있는 방식으로 작동될 수 있도록 형성되어 있는 적어도 하나 이상의 기기를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 가열될 상품 또는 피복될 기판들을 균일하게 가열하는 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 자계를 발생시키기 위하여 형성된 기기는, 가열될 상품 또는 피복될 기판에 적합한 상기 용기에 대해서 실질적으로 평행하게 변위 가능하도록 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 가열될 상품 또는 피복될 기판들을 균일하게 가열하는 장치.
  16. 제14항에 있어서, 상기 자계를 발생시키기 위하여 형성된 기기는, 서로에 대해서 소정 거리로 위치되어 있는 적어도 두 개 이상의 자석 코일들을 포함하고 있는데, 상기 자석 코일들은 상기 기기에 의해서 발생되는 자계의 자속선들이 가열될 상품 또는 피복될 기판에 적합한 상기 용기에 실질적으로 평행하게 연장되는 방식으로 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 가열될 상품 또는 피복될 기판들을 균일하게 가열하는 장치.
  17. 제14항에 있어서, 상기 음극과 가열될 상품 또는 기판사이에 위치되는 스크린을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 가열될 상품 또는 피복될 기판들을 균일하게 가열하는 장치.
  18. 제1항에 있어서, 기판들에 시각적으로 접촉하는 상태로 위치되어 있지 않은, 전자들을 발생시키는 음극과, 가열될 상품 또는 기판들에 적합한 용기에 있는 양극사이에서, 가스 방전에 의해서 상품 또는 기판들에 입자 충격을 가함으로서 진공실내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판을 각각 균일하게 가열하는 방법으로서, 상기 가스 방전은 자기적으로 집속된 상태에서 진공실내에서 유지되고, 적어도 가열하는 동안, 전류 밀도 또는 전자 밀도 각각의 분포에 영향을 주기 위하여, 적어도 하나 이상의 국부적으로 가변되어서 변위할 수 있는 자계가 유지되는 것을 특징으로 하는 진공실내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판을 균일하게 가열하는 방법.
  19. 제1항에 있어서, 기판들에 시각적으로 접촉하는 상태로 위치되어 있지 않은, 전자들을 발생시키는 음극과, 가열될 상품 또는 기판들에 적합한 용기에 있는 양극사이에서, 저 전압 방전인 가스 방전에 의해서 상품 또는 기판들에 입자 충격을 가함으로서 진공실내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판을 각각 균일하게 가열하는 방법으로서, 상기 저전압 방전인 가스 방전은 자기적으로 집속된 상태에서 진공실내에서 유지되고, 적어도 가열하는 동안, 전류 밀도 또는 전자 밀도 각각의 분포에 영향을 주기 위하여, 적어도 하나 이상의 국부적으로 가변되거나 변위할 수 있는 자계가 유지되는 것을 특징으로 하는 진공실내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판을 균일하게 가열하는 방법.
  20. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 자계는, 가열될 상품 또는 기판의 표면을 따라서 국부적으로 변화하여 변위할 수 있도록 유지되는 것을 특징으로 하는 진공실내에서 가열될 상품 또는 피복될 기판을 균일하게 가열하는 방법.
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