KR920007808B1 - 클리인 루움(clean room) - Google Patents

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KR920007808B1
KR920007808B1 KR1019850004848A KR850004848A KR920007808B1 KR 920007808 B1 KR920007808 B1 KR 920007808B1 KR 1019850004848 A KR1019850004848 A KR 1019850004848A KR 850004848 A KR850004848 A KR 850004848A KR 920007808 B1 KR920007808 B1 KR 920007808B1
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다이죠오 야마가다
다까아끼 우찌까와
신이찌 야마모도
신이찌로오 도미까와
요시오 오가사하라
마사루 스까가와
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시미즈겐세쓰 가부시끼가이샤
요시노 데루죠오
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Abstract

내용 없음.

Description

클리인 루움(clean room)
제1도는 일부 생략 사시도.
제2도는 횡단면도.
제3도는 제1도 Ⅲ-Ⅲ선 단면도.
제4도는 제2도 Ⅳ-Ⅳ선 단면도.
제5도는 문형(門型)프레임의 조립도 및 분해도.
제6도는 문형 프레임의 상부의 확대 정면도.
제7도는 문형 프레임의 수평부의 일부의 확대 평면도.
제8도는 제1공조(空調)유니트의 일부 절단 정면도.
제9도는 제8도 Ⅸ-Ⅸ선 단면도.
제10도는 제1공조유니트와 프레임과의 연결상태를 확대하여 표시한 단면도.
제11도는 제2공조유니트의 일부절결 정면도.
제12도는 제어유니트의 입설상태를 확대하여 표시한 종단면도.
제13도는 제12도의 XIII-XIII선 단면도.
제14도는 벽패널의 조인트부분의 횡단면도.
제15도는 벽패널의 조인트부분의 하부를 표시한 일부 절단 정면도.
제16도는 제15도 XVI-XVI선 단면도.
제17도는 제15도 XVII-XVII선 단면도.
제18도는 제2도 XVIII-XVIII선 확대 단면도.
제19도는 제2도 XIX-XIX선 확대 단면도.
제20도는 간막이벽의 일부 분해사시도.
제21도는 제20도 XXI-XXI선 확대 단면도.
제22도는 제20도 XXII-XXII선 확대 단면도.
제23도는 기밀실의 코오너부분의 수용상태를 확대하여 표시한 횡단면도.
제24도는 기밀실내의 기류분포를 표시한 설명도.
제25도는 기밀실내의 진애(塵埃)농도분포를 표시한 설명도.
제26도는 공조유니트를 1대 운전한 경우에 있어서의 기밀실내의 청정도(淸淨度)를 3단계의 레벨로 측정한 값을 표시한 도.
제27도는 공조유니트를 2대 운전한 경우에 있어서의 기밀실내의 청정도를 3단계의 레벨로 측정한 값을 표시한 도.
제28도는 제1공조유니트의 다른예의 일부 절단 정면도.
제29도는 제28도 도시예의 유니트의 종단면도.
제30도는 취출구(吹出口)의 다른예를 표시한 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 기밀실(氣密室) 5 : 프레임
8 : 외장케이싱 8al : 흡입구
8bl : 취출구 8d : 필터
8h : 송풍기 8j : 고성능필터
9 : 바닥면 12 : 케이싱
13, 22 : 벽판 24 : 천정판
A1, A2: 공조유니트 B : 제어유니트
본 발명은 기계실이나 흡배기(吸排氣)덕트를 불필요로 하는 클리인 루움에 관한 것이다.
종래의 클리인 루움은 기밀실에 인접하여 기계실을 별도로 설치하고 이 기계실에 공조기를 설치하여 예컨대 기류가 수직류(流)방식의 경우에는 고성능의 필터를 구비한 천정과 격자 바닥(床)을 각각 흡배기 덕트로 결합하여 기밀실의 공기를 공조기로 순환시켜 상기 필터에 의해서 청정하게 하는 것이었다.
상기 공조기에는 송풍기만을 구비한 것, 송풍기와 열교환기를 구비한 것, 또 상기 2자에 가습기를 구비한것 등 여러가지의 것이 있다.
종래예에서는 공조기의 설비기기류의 설치, 배관류나 덕트의 설치등 다수의 작업항목 및 많은 노력과 시간을 필요로 하기 때문에 시공이 복잡해지고 그리하여 단기간에 시공을 할 수 없고 또 공간은 기계실의 점유공간을 필요로 하는 분 만큼 넓어져서 규모가 대형화되는 문제가 있다.
또 각종의 산업에서 그 요구되는 클리인 루움의 청정도는 등급이 높은 것에서부터 낮은것까지 가지각색이다. 예컨대 반도체의 조립이나 미생물 세륜을 취하는 첨단기술산업에서의 클리인 루움에서는 등급 1과 같은 높은 청정도가 요구되는데 대하여 예컨대 무진의(無塵衣)의 세탁, 식품의 포장등을 취급하는 산업에서는 등급 10,000정도의 청정도로 족하여 첨단기술 산업과 같은 높은 청정도는 반드시 요구되지 않는다. 높은 청정도가 요구되는 특수한 분야에서의 클리인 루움에서는 성능을 높이는데 중점이 있으므로 상기 문제점을 구비하는 종래예를 사용하는 것도 부득이한 것이나 낮은 청정도라도 충분한 일반분야에서의 클리인 루움에 대해서는 종래예에서 적합하지 않다. 또 근래 값싸고 또한 단기간에 작은 공간에서 시공, 해체를 할 수 있는 클리인 루움의 개발이 기대되고 있다.
본 발명의 목적은 급배기 덕트, 기계실을 불필요하게 하고, 클리인 루움의 공간을 작게 하는데 있으며 다른 목적은 간단하고 또한 짧은 기간에 시공, 해체가 가능하게 하는 데 있으며 다른 목적은 필요에 따라 규모의 확대(증설)축소가 될 수 있도록 하는데 있다.
본 발명의 클리인 루움의 특징은 기밀실의 공기를 공기의 순환로와 이 순환로내에 설치한 공조기 및 필터로 순환시키고 또한 청정하게 하는 클리인 루움에 있어서 실내벽면에 내벽의 일부를 구성하는 적어도 1대의 공조유니트를 짜넣고(한자) 상기 공조유니트는 박형의 외장케이싱을 구비하고 이 케이싱의 실내측의 하부에 흡입구를, 상부에 고성능필터를 구비한 취출구를 각각 설치하고 케이싱내에 송풍기를 배설하고 이 송풍기로 부터의 취출기류를 상기 취출구에 불어낼 수 있게한 점에 있다.
그리하여 본 발명은 또 하기 특징을 구비하고 있다. 즉 그 특징은 바닥면상에 간격을 두고 소정방향으로 병설한 복수의 문형프레임과 인접하는 프레임의 축부간중 적어도 하나의 측부간내에 짜넣어져 실내벽의 일부를 구성하는 공조유니트와 이 공조유니트가 위치하는 측부간을 제외한 다른 측부간에 짜넣어 있는 상기 공조유니트를 제어하는 제어유니트와 인접하는 프레임의 측부간중, 상기 공조유니트가 위치하는 측부간을 제외한 측부간과 프레임의 측부내를 각각 덮는 벽판과 외측에 위치하고 있는 프레임의 외측부를 덮는 벽판과 벽판으로 간막이 되어 있는 기밀실의 상부를 덮는 천정판과 기밀실내를 밀폐하는 밀폐수단을 구비하고 상기 공조유니트는 박형(薄形)의 외장케이싱을 구비하고 이 케이싱의 실내측의 하부에 흡입구를, 상부에 고성능 필터를 구비한 취출구를 각각 설치하고, 케이싱내에 송풍기를 배설하고 송풍기로부터의 붙어나오는 기류는 상기 취출구에 취출가능하며 상기 제어유니트는 박형의 외장케이싱내에 제어기기류가 짜넣어져 있는 점에 있다.
본 발명의 특징은 도면에 표시한 실시예에 대하여 설명하므로써 더욱 깊이 이해될 것이다.
제1도 내지 제4도에 있어서 클리인 루움은 기밀실(1)과 그의 외측에 인접하여 설치한 예비실(2)을 구비하고 그 예비실은 중앙의 공기샤워실(2a)을 사이에 두고 제1도 우측이 전실(前室)(2b), 좌측이 후실(2c)로 되어 있다. 간막이벽(3)에 설치한 도어(4)에 의해서 실(1)과 (2)가 통해 있다.
기밀실(1)에 있어서 3개의 문형프레임(5)이 1000㎜의 간격을 두고 앞에서 안쪽방향(제2도 상하방향)으로 병설되고 이 프레임이 기밀실의 주요한 구조부재로 되어 있다.
각 문형프레임(5)은 제5도 내지 제7도에 표시한 바와 같이 측부를 구성하는 구형(口形)의 측틀(5a, 5b)과 수평부(5c)를 구성하는 3개의 구형의 수평틀(5c1, 5c2, 5c3)을 조합시킨 것이며, 스팬(대향하는 측틀(5a, 5b)의 사이의 거리)가 7000㎜, 높이가 3000㎜이다.
수평틀(5c1, 5c2, 5c3)중 중앙에 위치하는 수평틀(5c1)의 양측단은 양측에 위치하는 수평틀(5c2, 5c3)의 일단과 연결판(5d, 5d) 및 앵글(5e, 5e)과 볼트(5f)에 의해 연결되어 있다. 양측의 수평틀(5c2, 5c3)의 타단은 측틀(5a, 5b)의 상단 내측에 고착되어 있는 앵글(5g, 5g)위에 볼트(h)로 고정하고 있는 동시에 외측면을 측틀에 고착하고 있는 연결판(5i, 5i)으로 유지하고 볼트(5h)에 의해 연결판에 고정하고 있다.
각 프레임(5)의 각수평부(5c)는 하면에 위치하는 채널재로 이루어진 장척지지배(6)(제18, 18도)로 연결하고 수평부와 장척지지재와는 클립(도시하지 않음)으로 상호 결합하고 있다.
장척 지지재(6)는 그의 하면에서 단면 M형의 바아(7)(제1도)를 지지하고 있다. 또 제1 내지 4도에 표시한 바와 같이 인접하는 프레임(5)의 측틀(5a)과 측틀(5a, 5b)과 (5b)로 간막이 된 공간(측틀간)중 제1도의 우측의 측틀간에는 제1공조유니트(A1)가 짜넣어져 있으며 제1도 좌측의 측틀(5b)간에 제2공조유니트(A2)가 짜넣어져 있다. 그리하여 제1공조유니트(A1)와 동일측의 측틀(5a)간에는 양 공조유니트(A1, A2)의 작동을 제어하기 위한 제어유니트(B)가 짜넣어져 있다. 제어유니트(B)는 프레임의 측틀(5a)을 사이에 두고 제1공조유니트(A1)와 인접하고 또 제2공조유니트(A1)와는 대향위치관계에 있다.
제1공조유니트(1)는 제8, 9도에 표시한 바와 같이 높이가 약 2730㎜, 특히 995㎜, 두께가 250㎜의 외장케이싱(8)을 구비하고 케이싱 내면에 글라스울(glass wool)을 붙이고 있다. 케이싱(8)의 전면(제9도 좌측면)은 하부 전면판(8a)과 상부 전면판(8b)으로 덮고 볼트(8c)로 각 전면판은 고정되어 있다.
하부전면판(8a)의 하부에 흡입구(8a1)를 설치하고 상부전면판(8b)에 취출구(8b1)를 설치하고 있다. 그리하여 케이싱(8)내에는 흡입구(8a1)의 배부에 근접하여 조진(粗塵)필터(8d)가 부착되어 있다. 이 필터의 배부에 냉방코일(8e)이 부착되어 있고 코일의 상방에 전기 히이터(8f)가 설치되어 있고 히이터의 측방 상부에 가습기(8g)가 배설되어 있다. 또 전기 히이터(8f)의 상방에 송풍기(8h)가 부착되어 있으며 이 송풍기의 취출통(8h1)에 근접하여 가이드날개(vane)(8i)가 설치되어 있다. 이 가이드날개로 송풍기(8h)로부터의 취출기류는 정류되어서 취출구(8b1)로 안내된다 송풍기(8h)는 송풍기케이싱을 박형을 형성하고 날개는 크게 설정하고 또한 저속회전모우터로 구동시켜서 작동시에 있어서의 소음 발생을 억제하고 있다. 취출구(8b1)의 배면에는 HEPA(High Efficiency Penetration Air)필터(8j)가 부착되어 있다.
필터(8d)의 교환, 송풍기(8h)의 보수등의 작업은 케이싱(8)의 하부 전면판(8a)을 떼어냄으로써 행하고 고성능 필터(8j)의 교환은 상부 전면판(8b)을 떼어냄으로써 행한다. 케이싱(8)의 부착상태에 대하여 설명한다. 케이싱(8)의 저면은 앵커부재(도시하지 않음)로 바닥면(9)(제4도)에 고정되어 있고, 케이싱 측부는 제10도에 표시한 바와 같이 고정판(10)과 볼트(11)에 의해서 프레임(5)의 측틀(5a)에 고정하고 있다.
또 제2공조유니트(A2)는 제1도에 표시한 바와 같이 제1공조유니트(A1)와 주요부에 있어서 실질적으로 동일하지만 제1공조유니트(A1)가 있는 열교환기(8e, 8f)와 가습기(8g)는 구비되어 있지 않다. 또한 제2공조유니트(A2)의 구성부분을 나타내는 부호를 제1공조유니트(A1)와 대응하는 부분에 대하여 일치시키고 있다. 제2공조유니트(A2)의 부착방법도 제1공조유니트(A1)와 동일하다.
제어유니트(B)는 제1, 제2도 및 제12, 13도에 표시한 바와 같이 케이싱(12)이 공조유니트(A1, A2)의 케이싱(8)과 거의 동일한 크기로, 내부에 짜넣은 제어기기류를 통하여 공조유니트(A1, A2)의 송풍기(8h), 열교환기(8e, 8f) 및 공기샤워실(2a)의 전기적 제어를 행한다.
제어유니트(B)의 부착상태도 상기 공조유니트(A1, A2)와 동일하며 캐이싱(12)의 측부는 제13도에 표시한 바와 같이 고정판(10)과 볼트(11)에 의해 프레임(5)의 측틀(5a)에 고정하고 있다.
케이싱(12)의 전면에 플레이트(12a)가 돌설되어 있고 배면에 뒤뚜껑(전면)(12b)이 개폐가능하게 부착되어 있다. 기기류등의 점검은 뒤뚜껑(12b)를 떼어서 행한다.
기밀실(1)의 내벽은 제1도 내지 제4도에 표시한 바와 같이 벽판(13)과 공조유니트(A1, A2)의 전면으로 구성되고 있다.
기밀실(1)의 제1도 좌우 양측의 내벽의 구성을 설명한다. 공조유니트(A1, A2)가 위치하는 프레임(5)의 측틀간을 제외한 모든 측틀간을 벽판(13)으로 덮고 있다. 벽판(13)은 제10도 및 제13 내지 제17도에 표시한 바와 같이 화장강판(化粧鋼板)(13a)과 이 강판의 배면 전면에 붙여져 있는 플라스터 보오드(plaster board)(13b)로 이루어지고 보오드의 배면외주 및 중앙의 상하 2단을 홈형강으로 이루어진 보강틀(13c)로 보강하고 있다. 그리하여 각 프레임(5)의 양측틀에 대응하여 측틀 전방으로 바닥면(9)위에 기립한 포스트(14)가 위치하고 있다. 포스트(14)는 각(角) 파이프로 이루어지고 하단부에 간직 금구(金具)(15)(제15, 16도)가 부착되어 있고 이 금구를 볼트(16)로 바닥편(9)에 고정함으로써 포스트를 바닥면위에 고정시키고 있다.
각 포스트간에는 벽판(13)이 짜넣어져 있다. 포스트(14)의 양측으로부터 벽판(13)의 양측부에 부착되고 있는 측부 보강틀(13c1)이 이 포스트를 포지(泡持)하여 벽판의 측부에서의 안정적인 유지를 도모하고 있다. 또 벽판(13)의 하부는 제14, 15도 및 제17도에 표시한 바와 같이 바닥면(9)에 설치한 시이트판(17)상에 직립하는 지지볼트(18)에 너트(19)로 고정한 기대겸용 수부재(受部材)(20)위에서 지지하고 있다.
1매의 벽판(13)에 대하여 2개의 지지볼트(18)가 대응하고 있다. 수부재(20)는 홈형강으로 이루어지고 지지볼트(18)에 의해서 수평상태로 부착되어 있으며 수부재의 상부에서 벽판(13)의 하부 보강틀(13c2)을 끼워 맞춘 상태로 받고 있다(제17도). 벽판(13)의 높이조정은 너트(19)를 돌려서 수부재(20)의 레벨을 상하동시킴으로써 행한다. 또 벽판(11)의 상부는 제4도 및 제18도에 표시한 바와 같이 단면 홈형의 긴 지지부재(21)로 지지하고 있다.
또 제2도 및 제19도에 표시한 바와 같이 기밀실(1)의 외측면을 덮는 벽판중 제3도 및 제19도 우측의 내벽을 구성하는 벽판의 지지방법은 상기 공조유니트(A1)측의 벽판의 그것과 실질적으로 동일하다. 좌측의 벽판(13)은 예비실(2)의 벽판(22)과 결합하여 기밀실(1)과 예비실(2)을 구분하는 간막이벽(3)을 구성하고 있다. 벽판(22)의 구성은 제19 내지 제22도에 표시한 바와같이 벽판(13)의 그것과 실질적으로 동일구성이다.
벽판(13)과 (22)는 보강틀(13c, 22c)을 통하여 끼워맞추고, 양패널의 측부의 보강틀(13c2, 22c1)은 바닥면(9)에 기립 고정된 포스트(14)를 포지하고 있다. 바닥면(9)에 대한 포스트의 고정방법(제16도)과 실질적으로 동일하다.
판(13, 22)의 하부는 제22도에 표시한 바와 같이 볼트(18)에 부착한 기대겸용 수부재(20)위에 하부 보강틀(13c1)을 끼워 맞추게 함으로써 지지하고 있다.
22c2는 하부 보강틀이다. 너트(19)의 동작에 의해서 수부재(20)의 레벨조정이 가능하다. 판(13, 22)의 상부는 상기 유지부재(21)와 실질적으로 동일구성의 지지부재(23)로 지지하고 있다(제18도).
또 기밀실(1)의 천정판(24)은 글라스울 판으로 이루어졌다. 제1도 및 제18, 19도에 표시한 바와 같이 천정판(24)을 지지하는 지지바아(25)는 장척 지지재(6)에 매달아 지지한 단면 M형의 바아(7)로 지지하고 있다.
또 기밀실(1)의 밀폐방법은 하기와 같다.
즉 제1공조유니트(A1)와 벽판(13)과의 간극은 제10도에 표시한 바와 같이 케이싱(8)의 측면과 포스트(14)와의 간극에 백업(back-up)재의 전면에 탄성 시일링재(27)를 충전하여 상기 간극을 밀폐하고 있다.
동일한 방법으로 제2공조유니트(A2)의 벽판(13)과의 간극을 밀폐하고 있다. 벽판(13)끼리의 연결부분의 간극은 제13, 14도 및 제21도에 표시한 바와 같이 인접하는 판의 간극에 백업재(26) 및 탄성시일링재(27)를 배설함으로써 밀폐하고 있다.
또 기밀실(1)의 코오너부분, 예컨대 창이 있는 벽판(13A)(제1도)과 벽판(13)과의 교점부분의 간극은 제23도에 표시한 바와 같이 벽판의 측면부와 벽판의 측단부 전면과의 사이에 백업재(26)와 탄성시일링재(27)를 배설함으로써, 밀폐하고 있다.
28은 커버판이다. 다른 코오너부분도 실질적으로 동일한 방법으로 밀폐하고 있다.
또 바닥면(9)과 내벽 하부와의 간극의 밀폐방법은 제3, 4도, 제12도 및 제14 내지 제17도에 표시한 바와 같이 바닥면(9) 상면 전면에 염화비닐제 시일링시이트(29)를 깔고, 시이트의 외주변부를 내벽의 하면에 접착하여 상기 간극을 봉하는 것이다. 시이트(29)의 외주변부가 베이스 보오드(한자)를 겸용하고 있다. 천정판(24)의 외주도 제18, 제19도에 표시한 바와 같이 탄성 시일링재(27)로 밀폐하고 있다.
또한 예비실(2)의 입구도어(30)를 가진 벽(31)은 상기 간막이벽(3)과 동일구성이며, 다른 벽은 기밀실(1)의 간막이벽과 대향하는 외측의 벽과 실질적으로 동일 구성이다.
다음에 클리인 루움의 조립에 관하여 설명한다. 먼저 3개의 프레임(5)을 바닥면(9)위에 등간격을 두고 설치하여 프레임 수평부(5c)간을 긴 지지재(6)로 연결한다. 다음에 포스트(14)을 제2도에 표시한 바와 같이 프레임(5)의 각측틀(5a, 5b)에 따라서 등간격을 두고 세워 설치하고 그리하여 최외측의 프레임과 대향하는 측틀(5a)과 (5b)사이에도 등간격을 두고 세워 설치하고 포스트 하단부를 볼트(16)로 바닥면(9)에 고정시킨다.
그후 제1공조유니트(A1)와 제어유니트(B)를 한쪽의 측틀(5a)측의 소정의 측틀간에 짜넣고 다른쪽의 측틀(5b)측에는 제어 유니트(B)와 대향위치하는 측틀간에 제2공조유니트(A2)를 짜넣는다. 이때 공조유니트(A1)와 제어유니트(B)는 인접되지 않도록 하고 항상 측틀(5a)을 사이에 두고 위치하도록 한다.
그리하여 포스트(14)간의 바닥면(9)위에 지지볼트(18) 및 수부재(20)를 세트하고 세트후 포스트간에 벽판(13)을 짜넣고 판하부를 수부재상에 올려놓고 측부의 보강틀(13c1)을 포스트의 양측에 대고 판상부를 지지부재(21, 23)로 지지한다. 그후 천정판(24)을 붙이고 바닥면(9)위 전면에 시일링시이트(29)를 깔고 시이트의 외주변부를 내벽의 하부에 접착하고 또 기밀실내를 백업재(26) 및 탄성시일링재(27)를 사용하여 밀폐한다. 예비실(2)의 조립은 기밀실(1)의 조립과 병행하여 행한다.
해체는 조립의 순서와 반대로 하면 된다.
다음에 작용에 대해서 설명한다.
제어유니트(B)를 조작하여 제1공조유니트(A1)의 송풍기(8H), 열교환기(8e, 8f), 가습기(8g)나 제2공조유니트(A1)의 송풍기(8h)를 작동시키면 기밀실(1)내의 공기는 제1공조유니트(A1)의 케이싱(8)의 흡입구(8a1)로부터 제8도 화살표에 표시한 바와 같이 필터(8d)를 거쳐 냉각코일(8e) 및 전기히이터(8f)를 통과하여 송풍기(8h)에 들어가고 취출기류로 되어서 가이드 날개(8i)에 의해서 상승하고 HEPA필터(8j)를 통과하여 청정한 공기로 되어서 취출구(8b1)로부터 실내에 수평으로 불어나온다. 공기는 냉각코일(8e)에 의해 냉각되고 또는 전기 히이터(8f)에 의해 따뜻해진다.
동시에 실내의 공기는 제2공조유니트(A2)의 흡입구(8a1)로부터 제11도 화살표에 표시한 바와 같이 케이싱(8)내에 흡입되어서 HEPA필터(8j)에 의해 청정화되어서 취출구(8b1)로부터 수평으로 재차 실내에 불어 나온다.
제2공조유니트(A2)로부터 불어나온 공기의 기밀실내의 기류분포를 제24도에, 진애온도분포를 제25도에 각각 표시하였다. 32는 실내에 놓아둔 책상이며, X표는 발진원이다. 기류는 실내의 공조유니트(A1)축이 정체되어 있는 것을 알 수 있다. 제25도에서 원(33)이 진애를 표현하고 반경이 길수록 진애는 크게 된다. 발진원의 근방에 큰 진애가 부유하고 있는 것을 알 수 있다.
기밀실(1)내의 청정도를 바닥위의 각 지점에서 1500㎜, 1000㎜ 및 500㎜의 3단계의 등급으로 측정한 결과를 제26도 및 제27도에 표시하였다.
제26도에서는 공조유니트의 1대를 운전한 경우를 나타내고, 제27도는 2대를 운전한 경우이다. 그리하여 양도면에 있어서 실내의 35개소에서 청정도를 측정하고 측정지점을 0표로 특정하고 각 지점에 수자 1 내지 35까지의 번호를 붙이고 기수 번호의 지점에 대해서는 청정도를 기재하고 있다. X표는 발진원을 표시한다.
먼저 제26도에 대하여 설명한다. 이 도면에서는 공조유니트(A1)만을 운전한 경우에 있어서의 각 측정지점의 청정도를 표시하고 있다.
제26도(i)는 바닥 상방의 1500㎜의 레벨에서 측정한 것으로, 청정도는 예컨대 측정지점 1에서는 등급 760, 측정지점 25에서는 등급 1100이며, 평균치는 등급 1190이다. 제26도(ii)에서는 바닥 상방의 1000㎜레벨에서 측정한 것으로서 청정도의 평균치는 등급 960이다.
제26도(iii)에서는 바닥상방의 500㎜레벨에서 측정한 것으로서 청정도의 평균치는 등급 770이다. 측정지점 25에서 청정도를 비교하면 바닥위 500㎜레벨에서 등급 860으로 가장 청정도가 높고, 이어서 1000㎜레벨에서 등급 1070이며, 1500㎜레벨의 경우가 가장 낮고 등급 1100이다.
이어서 제27도에 대하여 설명한다. 이 도면에서는 공조 유니트(A1)와 (A2)의 2대를 운전한 경우이다. 제27도(i)는 바닥 상방의 1500㎜의 레벨에서 청정도를 측정한 것으로서 평균치는 등급 970이며, 제27도(ii) 및 (iii)는 바닥위 레벨 1000㎜ 및 500㎜에서 각각 층정한 것으로서 평균치는 등급 1120 및 등급 850이다.
바닥위 1500㎜ 레벨에서 광조유니트를 2대 운전한 경우와 1대 운전한 경우와의 청정도를 비교하면 예컨대 측정지점(25)에서는 전자의 경우에는 등급 770인데 대하여 후자의 경우에는 등급 1100으로 되어 있다. 이때문에 공조유니트의 대수를 증가시키면 청정도가 높아지고 또 청정도를 높일 필요가 있는 경우에는 제2도 쇄선으로 표시한 바와 같이 공조유니트(A1)와 대향하는 위치관계에 있는 측틀간에 공조유니트(A2)와 동일한 공조유니트(A3)를 설치한다.
공조유니트를 설치하는 대수는 기밀실의 스팬(측틀 5a와 5b와의 거리)에 의해 요구되는 청정도에 의해, 또는 발진량의 다소에 의해 적의 선택한다.
공조유니트가 2대 이상일 경우에는 공조유니트(A1)와 (A2)를 적의 조합하고 가습기(8g)는 필요에 따라 설치하면 된다. 물론 열교환기가 불필요한 경우에는 유니트는 모두 유니트(A2)만으로 구성한다.
기밀실에 설치하는 공조유니트는 1대만으로 족하나 상기예와 같이 2대를 설치하면 청정도를 높일 수가 있다. 그리고 2대의 설치위치를 대향측에 각각 설치하면 기밀실의 스팬이 긴 경우에 또 높은 청정도를 구하고 있는 경우에 각각 적합하다.
또 기밀실(1)을 증설하고자 할 경우에는 제2도 상방으로 뻗어 나간다. 제2도한 예에서 증설할 경우에는 예비실(2)측의 프레임(5)을 기준으로 하여 제3번째의 프레임(제2도 최상부에 위치하는 프레임)으로부터 1000㎜ 떼어서 제4번째의 프레임을 설치하면 된다.
증설에 의해 공조유니트가 필요하게 되면 제3번째와 제4번째의 프레임과의 양측부간 또는 한쪽의 측부간에 공조유니트를 설치하면 된다.
기밀실의 바닥면(9)과 내벽과의 밀폐수단으로서 상기 시일링시이트(29)를 사용하면 밀폐가 확실해져서 밀폐작업이 간단하고 신속하게 행할 수 있다.
공조유니트(A1)의 다른예를 제28, 제28도를 참조하여 설명한다. 공조유니트(A4)는 유니트(A1)와 실질적으로 동일한 기능을 구비하고 있다.
케이싱(8)의 전면(제29도 좌측면)의 중앙부에 한쪽으로 여는 문(8k)을 각각 설치하고 있다. 흡입구(8a1)는 조진필터(8d)를 배면에 부착하여 하변에 부착한 힌지(도시하지 않음)을 중심으로 하여 전방으로 개방이 가능하다. 또 취출구(8b1)의 필터(8j)에 의해 취출기류의 공기청정을 도모한다. 케이싱(8)내의 하부의 한쪽(제28도 좌측)에는 가습기(8g)가 설치되어 있으며 다른쪽에는 냉방코일(8e)이 설치되어 있다. 가습기의 상방에는 전기히이터(8f)가 설치되어 있다. 가습기(8g), 전기히이터(8f)와 냉방코일(8e)은 제28도에 표시한 바와 같이 간막이벽(8m)으로 구분되고 전기 히이터의 상방의 개구부(8n)는 슬라이드 판(8p)에 의해서 개폐가능하다. 또 이 전기히이터의 상방에 송풍기(8h)가 고정되어 있다.
기기류(8e 내지 8h)는 케이싱(8)내에 설치되어 있는 조작반(8g)에 의해서 제어된다. 기기류는 문(8k)을 열어서 각 부위마다 교환하기 위하여 떼어낼 수가 있어 가습기(8g), 전기히이터(8f) 및 송풍기(8h)는 케이싱으로부터 전방으로 꺼낼 수가 있고 냉방코일(8e)은 수납실로부터 상방으로 꺼낼 수가 있다. 이예에 의하면 수명이 다른 기기를 각각 교환할 수 있으므로 유니트의 전체적인 수명의 신장을 확보할 수 있고 유지가 용이해지고 조작반(8g)은 상기 제어유니트(B)로 대치되므로 유니트(B)는 불필요하게 된다.
또 30도에 도시한 예의 케이싱(8)에서는 취출구(8b1)로부터의 기류의 불어내는 방향을 임의로 선택할 수 있도록 하기 위하여 취출구의 전방에 후드(8r)를 떼어낼 수 있게 부착하고 있다. 후드(8r)는 그의 후단에 괘지변(掛止邊)(8r1)을 설치하고 취출구(8b1)의 상부전면에 훅(8s)을 돌설하여 괘지편을 훅에 괘지하여 취출구에 지지하고 있다. 후드의 지지방법의 다른예로서는 후드를 취출구(8b1)의 하부에 설치한 힌지를 중심으로 하여 경동(傾動)가능하게 지지하여도 무방하다.

Claims (5)

  1. 기밀실내의 공기를 공기의 순환로와 이 순환로내에 설치한 공조기 및 필터에 의해 순환시키고 또한 청정하게 하는 클리인 루움에 있어서, 실내 벽면에 내벽의 일부를 구성하는 적어도 1대의 공조유니트를 짜넣어(한자) 있으며 상기 공조유니트는 박형의 외장케이싱을 구비하고, 이 케이싱의 실내측의 하부에 흡입구를, 상부에 고성능 필터를 구비한 취출구를 각각 설치하고, 케이싱내에 송풍기를 배설하고 이 송풍기로부터의 취출기류의 상기 취출구(吹出口)에 불어낼 수 있게 한 것을 특징으로 하는 클리인 루움.
  2. 제1항에 있어서, 공조유니트는 적어도 2대로 이루어지고 한쪽의 공조유니트의 케이싱내에 열교환기를 짜넣은 것을 특징으로 하는 클리인 루움.
  3. 제2항에 있어서, 한쪽의 공조유니트와 다른쪽의 공조유니트의 설치위치가 대향측인것을 특징으로 하는 클리인 루움.
  4. 기밀실내의 공기를 공기의 순환로와 이 순환로내에 설치한 공조기 및 필터에 의해 순환시키고 또한 청정하게 하는 클리인 루움에 있어서, 바닥면위에 간격을 두고 소정방향으로 병설한 복수의 문형 프레임과, 인접하는 프레임의 측부간중 적어도 하나의 측부간내에 짜넣고 실내벽의 일부를 구성하는 공조유니트와, 이 공조 유니트가 위치하는 측부간을 제외한 다른 측부간에 짜넣어 있는 상기 공조유니트를 제어하는 제어유니트와, 인접하는 프레임의 측부간중 상기 공조유니트가 위치하는 측부간을 제외하는 측부간과 프레임의 측부내를 각각 덮는 벽판과 외측에 위치하고 있는 프레임의 외측부를 덮는 벽판과, 벽판으로 간막이를 하고 있는 기밀실의 상부를 덮는 천정판과, 기밀실내를 밀폐하는 밀폐수단을 구비하고 상기 공조 유니트는 박형의 외장케이싱을 구비하고 이 케이싱의 실내측의 하부에 흡입구를, 상부에 고성능 필터를 구비한 취출구를 각각 설치하고 케이싱내에 송풍기를 배설하여 송풍기의 취출기류는 상기 취출구에 불어낼 수 있으며, 상기 제어유니트를 박형의 외장케이싱내에 제어기기류가 짜넣어져 있는 것을 특징으로 하는 클리인 루움.
  5. 제4항에 있어서, 기밀실내의 내벽하부와 바닥면과의 간극을 밀폐하는 밀폐수단은 상기 간극과 바닥면 전면을 덮는 시이트인 것을 특징으로 하는 클리인 루움.
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