KR920005033B1

KR920005033B1 - 포스트오브젝티브형광편향기

Info

Publication number: KR920005033B1
Application number: KR1019880012267A
Authority: KR
Inventors: 야스오 마쓰모도; 가즈노리 무라가미; 도모노리 이꾸미; 야스오 이와후네
Original assignee: 도오꾜오 덴끼 가부시끼가이샤; 고바야시 쥰
Priority date: 1987-09-22
Filing date: 1988-09-22
Publication date: 1992-06-25
Also published as: KR890005549A; DE3887610T2; DE3887610D1; EP0309205B1; EP0309205A1; US5064262A

Abstract

내용 없음.

Description

포스트-오브젝티브형 광-편향기

제1도는 본 발명의 제1실시예를 도시한 폴리곤 편향기와 의사 원통형 렌즈와 주사면의 위치관계를 도시한 평면도,

제2도는 폴리곤 편향기의 평면도,

제3도는 의사 원통형 렌즈의 평면도,

제4도는 그 측면도,

제5도는 실시예1의 z축방향에서 본 광선도,

제6도는 x축방향에서 본 광선도,

제7도는 실시예1에 있어서의 주사선 만곡과 부주사방향의 상면위치 어긋남과 주주사방향의 상면위치 어긋남과 fθ오차의 데이타를 표시한 그래프,

제8도 내지 제13도는 실시예 2 내지 실시예 7까지의 주사선 만곡과 부주사방향의 상면위치 어긋남과 주주사방향의 상면위치 어긋남과, fθ오차의 데이타를 표시한 그래프,

제14도는 통상의 원통형 렌즈를 사용한때의 주사선만곡과 부주사방향의 상면 위치 어긋남과 주주사방향의 상면위치 어긋남과 fθ오차의 데이타를 표시한 그래프,

제15도는 본 발명의 제2의 실시예를 도시한 폴리곤 광편향기와 의사 원통형 렌즈와 주사면의 위치관계를 도시한 평면도,

제16도는 폴리곤 광 편향기의 평면도,

제17도는 실시예1의 z축 방향에서 본 광선도,

제18도는 x축방향에서 본 광선도,

제19도는 실시예 1에 있어서 주사선 만곡과 부주사방향의 상면위치 어긋남과 주주사방향의 상면위치 어긋남과 fθ 오차의 데이타를 표시한 그래프,

제20도는 실시예 2의 주사선 만곡과 부주사방향의 상면위치 어긋남과 주주사방향의 상면위치 어긋남과 fθ 오차의 데이타를 표시한 그래프,

제21도는 본 발명의 제3의 실시예를 도시한 폴리곤 광 편향기와 의사 원통형 렌즈와 주사면의 위치관계를 도시한 평면도,

제22도는 폴리곤 광편향기의 평면도,

제23도는 실시예1의 z축 방향에서 본 광선도,

제24도는 x축 방향에서 본 광선도,

제25도는 제1예에 있어서 주사선 만곡과 부주사방향의 상면위치 어긋남과 주주사방향의 상면위치 어긋남과 fθ 오차의 데이타를 표시한 그래프,

제26도는 실시예2의 주사선 만곡과 부주사방향의 상면위치 어긋남과 주주사방향의 상면위치 어긋남과 fθ 오차의 데이타를 표시한 그래프,

제27도는 본 발명의 제4의 실시예를 도시한 폴리곤 광편향기와 의사 원통형 렌즈와 주사면의 위치관계를 도시한 평면도,

제28도는 폴리곤 광편향기의 평면도,

제29도는 실시예 1의 z축 방향에서 본 광선도,

제30도는 x축 방향에서 본 광선도,

제31도는 실시예1에 있어서 주사선 만곡과 부주사방향의 상면위치 어긋남과 주주사방향의 상면위치 어긋남과 fθ 오차의 데이타를 표시한 그래프,

제32도는 실시예2의 주사선 만곡과 부주사방향의 상면위치 어긋남과 주주사방향의 상면위치 어긋남과 fθ 오차의 데이타를 표시한 그래프,

제33도는 본발명의 제5의 실시예를 표시한 사시도,

제34도는 그 평면도,

제35도는 제33도의 측면도,

제36도 및 제37도는 폴리곤 미러의 반사면을 원통면으로 한 경우의 설명도,

제38도는 보정렌즈를 주사방향으로 평행인 평면에 따라 절단한 경우의 단면형상을 도시한 설명도,

제39도는 제33도에 있어서 광학장치의 제특성을 도시한 설명도,

제40도는 본 발명의 제6실시예를 도시한 사시도,

제41도는 그 평면도,

제42도는 제40도의 측면도,

제43도 및 제44도는 폴리곤 미러의 반사면을 원통면으로 한 경우의 설명도,

제45도는 보정렌즈를 주사방향으로 평행한 평면에 따라서 절단한 경우의 단면형상을 도시한 설명도,

제46도는 제40도에 있어서의 광학장치의 제특성을 도시한 설명도.

[발명의 상세한 설명]

본 발명은 폴리곤 미러를 사용한 포스트오브젝티브형 광편향기에 관한것이다.

레이저프린터등에 사용되는 광주사장치에는 비임이 수속 렌즈에 의해 수속 고아속으로 된후에 광편향기에 입사되는 포스트오브젝티브형의 광주사장치와, 편향기에 의해 편향된 추에 수속 렌즈를 통한 프레오브젝트형의 광주사장치가 알려져 있다. 이들중, 프레오브젝트형의 광주사장치는 수속렌즈에 의해 상면 만곡이나 fθ 특성을 보정하기쉽고, 수속위치를 평면으로 하는것도 용이하기 때문에 현재 많이 상사용되고 있다. 그러나 수속렌즈는 편향각을 카버한 광각렌즈로서 구성하지 않으면 안되기때문에, 그 구성이 복잡하게되고 값비싸게 되는 경향이 있다. 이와같은 일로서 간단한 구조의 수속렌즈를 사용할 필요가 있는 경우에는, 포스트오브젝티브형이 선택된다.

포스트오브젝티브형의 광주사장치는 수속렌즈의 구성은 간단하게 되나, 수속점이 일반적으로 만곡된 면상에 있다. 그때문에 상면만곡을 보정하지 않으면 안된다.

그래서 일본국특개소 61-156020호 공보에 기재되어 있는 바와같이, 폴리곤 미러의 반사면을 구면 또는 원통면으로 함으로써 상면 만곡을 작게하는것이 행하여져있다. 이것에 따라서 상면 만곡의 보정은 실용상문제가 없는곳까지 행하여져 있으나, 주사 비직선성의 보정까지 행할수는 없고, 전기적 수단에 의해 그 주사비직선성의 보정을 행하고 있는것이다. 예를들면 레이저프린터등에서는 신호의 클록을 연속적 또 단계적으로 변화시키는 등의 수단에 의해서 보정을 행하고 있다.

본 발명의 제1목적은 상면 만곡을 작게하는 것이다.

본 발명의 제2목적은 fθ 특성을 개선하는 것이다.

본 발명의 제3목적은 상면만고과 fθ 특성과의 보정을 고수준으로 행하기 위해, 폴리곤 편향기의 반사면의 설계를 높은 자유도로서 행하는 것이다.

본 발명의 제4목적은 폴리곤 편향기와 보정 렌즈와의 조합에 의해 상면 만곡과 fθ 특성과의 보정을 고수준으로 행하는 것이다.

본 발명은 광원으로부터의 빛을 반사하는 반사면이 볼록의 곡면 또는 통상면으로 형성된 폴리곤 편향기와, 이 폴리곤 편향기와 주사면 사이에 배설되어 부주사측에 파워를 가진 원통형면 또는 주주사방향의 회전 대칭축을 가지는 회전 대칭면과 주주사측에 파워를 가진 우수차의 곡면을 가진 보정렌즈를 사용하여 포스트오브젝티브형 광편향기를 구성한 것이다.

따라서 폴리곤 편향기의 반사면은 볼록의 곡면 또는 통상면이기 때문에, 광비임의 편향각에 의한 반사면의 파워의 변화를 이용하여 상면만곡의 보정효과의 얻을수가 있으며, 또 일반의 원통형 렌즈의 평면부분을 주주사측에 파워를 가진 곡면으로서 반대측의 면은 요구되는 보정의 레벨에 따라 원통형면 또는 주주사방향의 회전대칭축을 가지는 회전대칭면으로서, 이것에 의해서, 폴리곤 편향기의 번거로운 보정을 행하는 동시에 상면 만곡과 fθ 특성의 보정효과도 얻을수가 있어, 이와같은 폴리곤 편향기와 보정렌즈의 조합에 의해 상면 만곡과 fθ 특성의 보정이 고수준으로 행하여지는 것이다.

본 발명의 제1의 실시예를 제1 내지 제14도에 의거하여 설명한다. 먼저 광편향기는 폴리곤 편향기(1)와 주사면(2)에 근접하여 설치된 보정렌즈(3)에 의해 형성되어 있다.

상기 폴리곤 편향기(1)는 제2도에 도시한 바와같이 0점을 중심으로하여 회전하는 것이며, 0₁점에 중심이 있으며, 장축과 단축이 b, c인 타원면 또는 타원통면에 의한 6면의 반사면(4)이 형성되어 있다.

또 상기 보정렌즈(3)는 통상의 원통형 렌즈의 원통면(5)과 (1×10^-2)X²-(4×10^-8)X⁴의 고차곡면(6)에 의해 형성되어있다. 즉 고차곡면(6)은 우수차의 곡면이다.

그러나 축광선(7)과 미분광선(8)은 폴리곤 편향기(1)의 중심(0)에서 1의 위치에 있는 So에 수속되도록 입사되어, 폴리곤 편향기(1)의 반사면(4)에서 반사되어서 보정렌즈(3)를 통하여 S점에 결상한다.

여기서 제1도에 있어서 파라메터를 설명한다. 폴리곤 편향기(1)는 0점에서 반사면(4)을 형성하는 반경(b, c)에 직교하는 회전축을 가지며, 폴리곤 편향기(1)의 내접반경을 Rm, 회전축에서 주사면(2)까지의 거리를 R, 유효 주사길이(도시되어 있지않음)를 Lo, 반경(b)이 주사면(2)의 방향을 향할때의 폴리곤 편향기(1)의 회전각을 θ=0, 이때의 주사점의 주사면(2)상의 위치를 y=0로서, θ의 값이 y=Lo/2 일때를 θo로 둔다. 그리고 반사면(4)의 회전각을 60°로 일주사에 대응함으로, 40°로 결상 스포트위치가 220mm 폭 취할 수 있는 조건으로 폴리곤 편향기(1)의 회전중심(0)에서 스포트 위치까지의 거리(R), 보정렌즈(3)의 고차곡면(6)의 4승의 항과 2승의 항과의 계수, 보정렌즈(3)의 두께, 배치위치를 변수로 하고, 주주사.부주사 쌍방의 상면만곡, fθ 특성, 주사선 만곡의 보정을 광학 시뮬레이션에 의해 실용상, 문제가 없는 곳까지 최적화 한다.

이하에 각종의 조건의 기에 실측한 실예를 설명한다.

[실시예 1]

폴리곤 편향기

폴리곤 내접원반경Rm[mm] : 22.65625

타원반경b[mm] : 264.96875

타원반경c[mm] : 105.908431

(θ =0일때)

출사점(x, y, z)[mm] : [0, 100, -5]

출사점비임지름, bwx, bwz[mm] : 5., 1.

입사광선수속점1[mm] =2.78582442

보정렌즈

굴절율 : 1.5

반경[mm] : 20.8610004

두께[mm] : 10

2차계수[mm^-1] : .001

4차계수[mm^-3] : -.00000004

정점(xc, xc, xc)[mm]

[0.,352.315818,21.3113256]

(θ =일때)

주사면(x_s, x_s, x_s)[mm]

[0.,352.315818,21.3113256]

(θ =0일때)

유효주사길이[mm] : 220.

반사면 이용각[deg] : 40.

그러나 이와같은 조건에 있어서, z축방향에서 본 광선도는 제5도에 도시한것이며, x축방향에서 본 광선도는 제6도에 도시한것이다.

그리고 제7도(a)는 주사선만곡,

제7도(b)는 부주사 방향의 상면만곡,

제7도(c)는 주주사방향의 상면만곡,

제7도(d)는 fθ 오차를 도시한 것이다.

이결과는 주사선만곡이 최대로 -4.52×10^-2mm, 부주사 방향의 상면위치 어긋남이 최대로 -3.083mm, 주주사의 상면위치 어긋남이 최대로 -1.524mm, fθ 오차가 최대로 -4.752×10^-2mm로 할수 있었다.

[실시예 2]

폴리곤 편향기

폴리곤 내접원반경Rm[mm] : 25.

타원반경b[mm] : 2000.

타원반경c[mm] : 332.925123

(θ =0일때)

출사점비임지름, bwx, bwz[mm] : 5., 1.

입사광선수속점1[mm] =-.03125

보정렌즈

굴절율 : 1.5

반경[mm] : 17.1405558

두께[mm] : 10.

2차계수[mm^-1: .0024375

4차계수[mm^-3: 0.

정점(xc, xc, xc)[mm]

[0.,249.625,14.975]

(θ =일때)

주사면(x_s, y_s, z_s)[mm]

[0.,293.300425,17.886695]

(θ =0일때)

유효주사길이[mm] : 220.

반사면 이용각[deg] : 40.

그러나, z축방향에서 본 광선도와 x축방향에서 본 광선도와는 상술한 제5도와 제6도를 준용하여 그 도시한것을 생략한다.

그리고 제8도(a)는 주사선만곡, 제8도(b)는 부주사방향의 상면만곡, 제8도(c)는 주주사방향의 상면만곡, 제8도(d)는 fθ 오차를 도시한다. 그 결과는 주사선만곡이 최대로 -6.425mm, 부주사방향의 상면위치 어긋남이 최대로 -0.9797mm, 주주사의 상면위치 어긋남이 최대로 -3.936mm, fθ 오차가 최대로 -0.2996mm로 할수 있었다.

[실시예 3]

폴리곤 내접원반경

폴리곤 내접원반경Rm[mm] : 25

타원반경b[mm] : 2000.

타원반경c[mm] : 332.925123

출사점(x, y, z)[mm] : [0, 100, -5]

(θ =0일때)

출사점비임지름, bwx, bwz[mm] : 5., 1.

입사광선수속점1[mm] =0.

보정렌즈

굴절율 : 1.5

반경[mm] : 19.8623492

두께[mm] : 10.

2차계수[mm^-1] : .002375

4차계수[mm^-3] : -.3.59375×10^-8

정점(x_c, y_c, z_c)[mm]

[0.,239.28125,14.2854167]

(θ =일때)

주사면(x_s, y_s, z_s)[mm]

(θ =0일때)

유효주사길이[mm] : 220.

반사면 이용각[deg] : 40.

그러나, 제9도(a)는 주사선만곡, 제9도(b)는 부주사방향의 상면만곡, 제9도(c)는 주주사방향의 상면만곡, 제9도(d)는 fθ 오차를 도시한다. 이 결과는 주사선만곡이 최대로 -5.6697×10^-2mm, 부주사 방향의 상면위치어긋남이 최대로 -3.1609mm, -4.0604mm, fθ 오차가 최대로 0.18163mm으로 할수 있었다.

[실시예 4]

폴리곤 편향기

폴리곤 내접원반경Rm[mm] : 25

타원반경b[mm] : 2000.

타원반경c[mm] : 383.035349

출사점(x, y, z)[mm] : [0, 100, -5]

(θ =0일때)

출사점비임지름, bwx, bwz[mm] : 5., 1.

입사광선수속점1[mm] =-6.2125

보정렌즈

굴절율 : 1.5

반경[mm] : 18.3461341

두께[mm] : 10.

2차계수[mm^-1] : .0029

4차계수[mm^-3] : -6.25×10^-8

정점(x_c, y_c, z_c)[mm]

[0.,243.369081,14.5579387]

(θ =일때)

주사면(x_s, y_s, z_s)[mm]

[0.,243.369081,14.5579387]

(θ =0일때)

유효주사길이[mm] : 220.

반사면 이용각[deg] : 40.

그러나 제10도(a)는 주사선 만곡, 제10도(b)는 부주사방향의 상면 만곡, 제10도(c)는 주주사방향의 상면만곡, 제10도(d)는 fθ 오차를 도시한다. 이 결과는 주사선만곡이 최대로 -0.1452mm, 부주사 방향의 상면위치 어긋남이 최대로 -5.048mm , 주주사의 상면위치 어긋남이 최대로 1.823mm, fθ 오차가 최대로 0.4364mm로 할수 있었다.

[실시예 5]

폴리곤 편향기

폴리곤 내접원반경Rm[mm] : 25.

타원반경b[mm] : 2000.

타원반경c[mm] : 383.035349

출사점(x, y, z)[mm] : [0, 100, -5]

(θ =0일때)

출사점비임지름, bwx, bwz[mm] : 5., 1.

입사광선수속점1[mm] =-6.146875

보정렌즈

굴절율 : 1.5

반경[mm] : 21.0798787

두께[mm] : 10.

2차계수[mm^-1] : 2.4453125×10^-3

4차계수[mm^-3] : -8.56375×10^-8

정점(x_m, y_m, z_m)[mm]

[0.,182.8125,10.5208333]

(θ =일때)

주사면(x_s, y_s, z_s)[mm]

[0.,243.493294,14.5662196

(θ =0일때)

유효주사길이[mm] : 220.

반사면 이용각[deg] : 40.

그러나, 제11도(a)는 주사선 만곡, 제11도(b)는 부주사방향의 상면만곡, 제11도(c)는 주주사방향의 상면만곡, 제11도(d)는 fθ 오차를 도시한다. 이 결과는 주사선만곡이 최대로 -0.1855mm, 부주사 방향의 상면위치 어긋남이 최대로 -9.3695mm , 주주사의 상면위치 어긋남이 최대로 -3.7739mm, fθ 오차가 최대로 0.3842mm로 할수 있었다.

[실시예 6]

폴리곤 편향기

폴리곤 내접원반경Rm[mm] : 25.

타원반경b[mm] : 2000.

타원반경c[mm] : 383.035349

출사점(x, y, z)[mm] : [0, 100, -5]

(θ =0일때)

출사점비임지름, bwx, bwz[mm] : 5., 1.

입사광선수속점1[mm] =-6.39375

보정렌즈

굴절율 : 1.5

반경[mm] : 21.875292

두께[mm] : 10.

2차계수[mm^-1] : .001015625

4차계수[mm_J ³] : .0000001

정점(x_c, y_c, z_c)[mm]

[0.,200.,11.66666667]

(θ =0일때)

주사면(x_s, y_s, z_s)[mm]

[0.,261.48818,15.7658787]

(θ =0일때)

유효주사길이[mm] : 220.

반사면 이용각[deg] : 40.

그러나 제12도(a)는 주사선 만곡, 제12도(b)는 부주사방향의 상면 만곡, 제12도(c)는 주주사방향의 상면만곡, 제12도(d)는 fθ오차를 도시한다. 이 결과는 주사선만곡이 최대로 -0.20139mm, 부주사 방향의 상면위치 어긋남이 최대로 -9.992mm , 주주사의 상면위치 어긋남이 최대로 13.9393mm, fθ오차가 최대로 1.0074mm로 할수 있었다.

[실시예 7]

폴리곤 편향기

폴리곤 내접원반경Rm[mm] : 16.

타원반경b[mm] : 116.150644

타원반경c[mm] : 125.522999

출사점(x, y, z)[mm] : [0, 100, -5]

(θ =0일때)

출사점비임지름, bwx, bwz[mm] : 5., 1.

입사광선수속점1[mm] =-33.7012657

보정렌즈

굴절율 : 1.5

반경[mm] : 14.8893078

두께[mm] : 10

2차계수[mm^-1] : 1.80717663×10^-3

4차계수[mm^-3] : -1.59585052×10^-7

정점(x_c, y_c, z_c)[mm]

[0.,167.788854,10.7653935]

(θ =일때)

주사면(x_s, y_s, z_s)[mm]

[0.,208.140537,11.4369367]

(θ =0일때)

유효주사길이[mm] : 220.

반사면 이용각[deg] : 40.

그러나 제13도(a)는 주사선 만곡, 제13도(b)는 부주사방향의 상면 만곡, 제13도(c)는 주주사방향의 상면만곡, 제13도(d)는 fθ 오차를 도시한다. 이 결과는 주사선만곡이 최대로 0.1038mm, 부주사 방향의 상면위치 어긋남이 최대로 -6.9492mm , 주주사의 상면위치 어긋남이 최대로 3.2086mm, fθ 오차가 최대로 -0.0655mm로 할수 있었다.

[참고예]

다음에 폴리곤 편향기(1)는 타원의 반사면(4)을 가지고 있으나, 이것에 대하여 통상의 원통형 렌즈를 사용한 때의 상태를 제14도에 의거하여 설명한다.

폴리곤 편향기

폴리곤 내접원반경Rm[mm] : 25.

타원반경b[mm] : 2000.

타원반경c[mm] : 383.035349

출사점(x, y, z)[mm] : [0, 100, -5]

출사점비임지름, bwx, bwz[mm] : 5., 1.

(θ =0일때)

입사광선수속점1[mm] =-6.55

보정렌즈

굴절율 : 1.5

반경[mm] : 24.285018

두께[mm] : 10.

2차계수[mm^-1] : 0

4차계수[mm^-3] : 0

정점(x_c, y_c, z_c)[mm]

[0.,180.,10.3333333]

(θ =일때)

주사면(x_s, y_s, z_s)[mm]

[0.,253833319,15.2555546]

(θ =0일때)

유효주사길이[mm] : 220.

반사면 이용각[deg] : 40.

그러나 제14도(a)는 주사선 만곡, 제14도(b)는 부주사방향의 상면 만곡, 제14도(c)는 주주사방향의 상면만곡, 제14도(d)는 fθ 오차를 도시한다. 이 결과는 상술한 각 실시예에 비교하여 각각의 데이타가 상당하게 큰것이며, 보정렌즈(3)만의 효과도 큰것이 인정된다.

이와같이 본 실시예에 의하면 타원으로 구서된 폴리곤 편향기의 반사면이 2축성분을 가지므로서 구면이나 원통면의 것과 비교하면 자유도가 증가하기때문에 설계의 자유도를 넓힐수가 있으며, 또 일반의 원통형 렌즈의 평면부분을 우수차의 곡면으로 한 것이므로, 폴리곤 편향기의 번거로운 보정을 행할수가 있으며, 이와 같은 폴리곤 편향기와 의사 원통형 렌즈와의 조합에 의해 상면만곡과 fθ 특성과의 보정을 고수준으로 행한다.

본 발명의 제2실시예를 제15도 내지 제20도에 의거하여 설명한다. 상기 실시예와 동일부분은 동일부호를 사용한다(이하같음). 먼저 광 편향기는 폴리곤 광편향기(1)와 주사면(2)에 근접하여 설치된 의사 원통형 렌즈(3)에 의해 형성되어 있다.

상기 폴리곤 광편향기(1)는 제16도에 도시한 바와같이 0점을 중심으로 하여 회전하는 것이다. 그리고 도시한 바와같이 x, y좌표를 취하면,

으로 주어지는 쌍곡면 또는 쌍곡면통면에 의한 6면의 반사면(4)이 형성되어 있다.

또 상기 의사 원통형 렌즈(3)는 통사의 원통형 렌즈의 원통형 면(5)과 a2x²+a4x⁴(단, a2, a4는 각각 2차계수, 4차계수이며, 구체적 수치는 후술한다)의 고차곡면(6)에 의해 형성되어 있다. 즉 고차곡면(6)은 우수차의 곡면이다.

그러나 축 광선(7)과 미분광선(8)과는, 폴리곤 광편향기(1)의 중심(0)에서 1의 위치에 있는 So에 수속하도록 입사되어, 폴리곤 광편향기(1)의 반사면(4)에서 반사되어서 의사 원통형 렌즈(3)를 통하여, S점에 결상한다. 여기서 제15도에 있어서 파라미터를 설명한다. 폴리곤 광편향기(1)는 그 내접반경을 Rm, 회전축에서 주사면(2)까지의 거리를 R, 유효주사길이(도시하지 않았음)를 Lo, 입사광선의 방향여현은 x성분을 가지지 않으나 폴리곤 광편향기(1)에서의 반사광선의 방향여현의 x성분이 0으로 폴리곤 광편향기(1)의 회전각을 θ=0, 이때의 주사점의 주사면(2)상의 위치를 y=0로서. θ의 값이 y=Lo/2일때를 θo로 한다. 그리고 반사면(4)의 회전각은 60°로 1주사에 대응하므로, 40°로 결상스포트 위치가 220mm폭을 취하여 주사직선성 오차가 0으로 되는 조건에서 폴리곤 광편향기(1)의 회전중심(0)에서 스토트 위치까지의 거리(R), 의사 원통형렌즈(3)의 고차곡면(6)의 4승의 항과2승의 항과의 계수, 의사 원통형 렌즈(3)의 두께, 배치위치를 변수로서, 주주사.부주사 쌍방의 상면 만곡, fθ 특성, 주사선 만곡의 보정을 광학 시뮬레이션에 의해 실용상, 문제가 없는곳까지 최적화한다.

이하에 각종의 조건의 기(基)를 실측한 실시예를 설명한다.

[실시예 1]

폴리곤 편향기

폴리곤 내접원반경Rm[mm] : 16.0

쌍곡선의 계수a[mm] : 17.0768

쌍곡선의 계수b[mm] : 38.5513

출사점(x, y, z)[mm] : [0, 100, -5]

(θ =0일때)

출사점비임지름, vwx, bwz[mm] : 5., 1.

입사광선수속점1[mm] =-21.0430

의사 원통형렌즈

굴절율 : 1.5

반경[mm] : 15.7950

중심부의 두께[mm] : 10.

2차계수[mm^-1] : 1.0620×^-3

4차계수[mm^-3: -9.4204×10^-9

정점(x_c, y_c, z_c)[mm]

[0.,228.9766,12.9106]

(θ =일때)

주사면(x_c, y_c, z_c)[mm]

[0.,269.3315,15,0792]

(θ =0일때)

유효주사길이[mm] : 220.

반사면 이용각[deg] : 40.

그러나 이와같은 조건에 있어서, z축방향에서 본 광선도는 제17도에 표시한 것이며, x축방향에서 본광선도는 제18도에 도시한 것이다.

그리고 제19도(a)는 주사선 만곡, 제19도(b)는 부주사 방향의 상면만곡, 제19도(c)는 주주사 방향의 상면만곡, 제19도(d)는 fθ 오차를 표시한다. 이 결과는 주사선 만곡이 최대로 -0.1250mm, 부주사 방향의 상면 만곡이 최대로 -4.6043mm, 주주사의 상면만곡이 최대로 -1.4320mm, fθ 오차가 최대로 -2.4469×10^-2mm로 할수가 있었다.

[실시예 2]

폴리곤 광편향기

폴리곤 내접원반경Rm[mm] : 24.

쌍곡선의 계수a[mm] : 46.9598

쌍곡선의 계수v[mm] : 60.2560

출사점(x, y, z)[mm] : [0, 100, -5]

(θ =0일때)

출사점비임지름, bwx, bwz[mm] : 5., 1.

입사광선수속점1[mm] =-9.4665

의사 원통형렌즈

굴절율 : 1.5

반경[mm] : 15.6868

중심부의 두께[mm] : 10.

2차계수[mm^-1] : 4.7712×10^-4

4차계수[mm^-3] : -8.8537×10^-8

정점(x_c, y_c, z_c)[mm]

[0.,276.9392,16.6407]

(θ =일때)

유효주사길이[mm] : 220.

반사면 이용각[deg] : 40.

그러나, z축방향에서 본 광선도와 x축방향에서 본 광선도는 상술한 제17도와 제18도를 준용하여, 그 도시한 것을 생략한다.

그리고 제20도(a)는 주사선 만곡, 제20도(b)는 부주사 방향의 상면 만곡, 제20도(c)는 주주사 방향의 상면만곡, 제20도(d) 는 fθ오차를 표시한다. 이 결과는 주사선 만곡이 최대로 3.7581×10^-2mm, 부주사 방향의 상면 만곡이 최대로 -5.9444mm, 주주사의 상면만곡이 최대로 -2.1230mm, fθ 오차가 최대로 -2.3171×10^-2mm로 할수가 있었다.

본 실시예에는 상술한 바와같이 광원에서의 빛을 반사하는 반사면이 볼록의 쌍곡면 또는 쌍곡면 통상면에 형성된 폴리곤 광편향기와, 이 폴리곤 광 편향기와 주사면과의 사이에 배설되어 부주사측에 파워를 가진 원통형면과 주주사측에 파워를 가지는 우수차의 곡면을 가지는 의사 원통형 렌즈를 사용하여 포스트오브제티브형 광편향기를 구성하도록 한것이므로, 쌍곡선으로 구성된 폴리곤 광편향기의 반사면이 2축성분을 가지는것으로부터 구면이나 원통면의 것과 비교하면 자유도가 하나 증가하기 때문에, 설계의 자유도를 넓힐수가 있으며, 또 일반의 원통형 렌즈의 평면부분을 우수차의 곡면으로 한것이므로, 폴리곤 광편향기의 번거로운 보정을 행하는 동시에 상면만곡과 fθ 특성의 보정효과를 얻을수가 있으며, 이와 같은 폴리곤 광편향기와 의사 원통형렌즈와의 조합에 의해 상면만곡과 fθ 특성과의 보정을 고수준으로 행하는 것을 할수 있었다.

본 발명의 제3의 실시예를 제21도 내지 제26도에 의거하여 설명한다.

먼저 광편향기는 폴리곤 광편향기(1)와 주사면(2)에 근접하여 설치된 의사 원통형렌즈(3)에 의해서 형성되어있다.

상기 광편향기는 폴리곤 광편향기(1)는 제22도에 도시한 바와 같이 0점을 중심으로 하는 Z축을 중심으로 하여 회전하는 것이다. 그리고 포물면 또는 포물통상면에 의한 6면의 반사면(4)이 형성되어 있다.

또 상기 의사 원통형렌즈(3)는 통상의 원통형렌즈의 원통형 면(5)과 a₂X²+a₄X⁴(단, a₂, a₄는 각각 2차계수, 4차계수이며, 구체적 수차는 후술한다)의 고착곡면(6)에 형성되어 있다. 즉 고차곡면(6)은 우수차의 곡면이다.

그러나 축광선(7)과 미분광선(8)과는, 폴리곤 광편향기(1)의 중심(0)에서l의 위치에 있는 S₀에 수소하도록 입사되어, 폴리곤 광편향기(1)의 반사면(4)에서 반사되어서 의사 원통형렌즈(3)를 통하여, S점에 결상한다.

여기서, 제21도에 있어서 파라미터를 설명한다.

방물선의 2차계수를 a, 폴리곤 광편향기(1)의 내접원반경을 Rm, 회전축에서 주사면(2)까지의 거리를 R, 유효주사길이(도시는 되어있지 않음)를 Lo, 입사광선의 방향여현은 x성분을 가지지 않으나 폴리곤 광편향기(1)에서의 반사광선의 방향여현의 x성분이 0으로 되는 폴리곤 광편향기(1)의 회전각을 θ=0, 이때의 주사점의 주사면(2)상의 위치를 y=0로서, θ의 값이 y=L_o/2일때를 θo로 한다. 그리고, 반사면(4)의 회전각은 60°로 1주사에 대응하므로, 40°에서 결상스포트 위치가 220mm폭 취하여 주사직선성 오차가 0으로 되는 조건에서 포물통 폴리곤의 2차계수 a, 폴리곤 광편향기(1)의 회전중심 0에서 스포트위치까지의 거리(R), 의사 원통형렌즈(3)의 고차곡면(6)의 4승의 항과 2승의 항과의 계수, 의사 원통형렌즈(3)의 고차곡면(3)의 두께, 배치 위치를 변수로서, 주주사.부주사 쌍방의 만곡, fθ특성, 주사선만곡의 보정을 광학 시뮬레이션에 의해 실용상 문제가 없는 곳까지 최적화한다.

다음에 각종의 조건의 기에 실측한 실시예를 설명한다.

[실시예 1]

폴리곤 광편향기

폴리곤 내접원반경RM[mm] : 16.0

2차의 계수a[mm^-1] : 3.6105×10^-3

출사점(x, y, z)[mm] : [0, 100, -5]

(θ =0일때)

출사점비임지름, bwx, bwz[mm] : 1., 1.

입사광선수속점l[mm] =-34.4346

의사 원통형렌즈

굴절율 : 1.5

반경[mm] : 14.7687

중심부의 두께[mm] : 10.

2차계수[mm^-1] : 1.8887×10^-3

4차계수[mm] : -1.5361×10^-7

정점(xc, yc, zc)[mm]

[0.,166,5810,10.2394]

(θ =일때)

주사면(xs, ys, zs)[mm]

[0.,206.6237,11.3466]

(θ =일때)

유효주사길이[mm] : 220.

반사면 이용각[deg] : 40.

그러나 이와 같은 조건에 있어서, z축 방향에서 본 광선도는 제23도에 표시한 것이며, x축 방향에서 본 광선도는 제24도에 도시한 것이다.

그리고 제25도(a)는 주사선 만곡, 제25도(b)는 부주사방향의 상면 만곡, 제25도(c)는 주주사방향의 상면만곡, 제25도(d)는 fθ 오차를 표시한다. 이 결과는 주사선 만곡이 최대로 -6.2888×10^-2mm, 부주사방향의 상면 만곡이 최대로 -6.6502mm, 주주사의 상면만곡이 최대로 -2.6410mm, fθ 오차가 최대로 -0.1884mm로 할수가 있는 것이다.

[실시예 2]

폴리곤 광편향기

폴리곤 내접원반경Rm[mm] : 16.

2차의 계수 a[mm^-1] : 3.2623×10^-3

출사점(x, y, z)[mm] : [0, 100, -5]

(θ =0일때)

출사점비임지름, bwx, bwz[mm] : 1., 1.

입사광선수속점l[mm] =-41.1647

의사 원통형렌즈

굴절율 : 1.5

반경[mm] : 15.3892

중심부의 두께[mm] : 10.

2차계수[mm^-1] : 1.3529×10^-3

4차계수[mm^-3] : -1.1620×10^-7

정점(xc, yc, zc)[mm]

[0.,236.8571,15.0914]

(θ =일때)

주사면(xs, ys, zs)[mm]

[0.,205.4683, 12.3763]

(θ =일때)

유효길이[mm] : 220.

반사면 이용각[deg] : 40.

그러나, z축 방향에서 본 광선도와 x축 방향에서 본 광선도와는 상술한 제23도와 제24도를 준용하는 그의 도시를 생략한다. 그리고 제26도(a)는 주사 만곡, 제26도(b)는 부주사방향의 상면만곡, 제26도(c)는 주주사방향의 상면만곡, 제26도(d)는 fθ오차를 도시한다. 이 결과는 주사선 만곡이 최대로 3.5940×10^-2mm, 부주사 방향의 상면만곡이 최대로 -5.0589mm, 주주사의 상면만곡이 최대로 1.8314mm, fθ오차가 최대로 -2.3171×10^-2mm로 할수가 있다.

본 실시예에는 상술한 바와 같이 광원에서의 빛을 반사하는 반사면이 볼록의 방물면 또는 방물면 상면에 형성된 폴리곤 광편향기와, 이 폴리곤 편향기와 주사면과의 사이에 배설되어 부주사측에 파워를 가진 원통형면과 주주사측에 파워를 가지는 우수차의 곡면을 가진 유사 원통형 렌즈를 사용하여 포스트오브젝티브형 광편향기를 구성하도록 한것이므로, 방물선에서 이루어진 폴리곤 광편향기의 반사면의 곡율변화를 이용하여 fθ 특성이나 상면만곡의 보정효과를 가지며, 또 원통형렌즈의 주주사방향의 파워에 의해 fθ특성이나 상면만곡의 보정효과를 가지게 할수가 있으며 이와 같은 폴리곤 광편향기와 의사 원통형렌즈와의 조합에 의해 상면만곡과 fθ 특성과의 보정을 고수준으로 행할수가 있는 것이다.

본 발명의 제4실시예를 제27도 내지 제32도에 의거하여 설명한다.

먼저, 광편향기는 폴리곤 광편향기(1)와 주사면(2)에 근접하여 설치된 의사 원통형렌즈(3)에 의해 형성되어있다.

상기 폴리곤 광편향기(1)는 제28도에 도시한 바와 같이 0점을 중심으로 하는 Z축을 중심으로 하여 회전하는 것이다. 그리고 4차이상의 우수차의 고차 다항식에서 주어지는 고차곡면에 의한 6면의 반사면(4)이 형성되어 있다.

또 상기 의사 원통형렌즈(3)는 통상의 원통형렌즈의 원통형 면(5)과 a₂X²+a₄X⁴(단, a₂, a₄는 각각 2차계수, 4차계수이며, 구체적 수치는 후술한다)의 고착곡면(6)에 형성되어 있다. 즉 고차곡면(6)은 우수차의 곡면이다.

그러나 축광선(7)과 미분광선(8)과는, 폴리곤 광편향기(1)의 중심(0)에서l의 위치에 있는 S₀에 수속하도록 입사되어, 폴리곤 광편향기(1)의 반사면(4)에서 반사되어서 의사 원통형렌즈(3)를 통하여, S점에 결상한다.

여기서, 제27도에 있어서 파라미터를 설명한다.

4차 이상의 우수차의 고차다항식에서 주어지는 고차곡면을 도시한 고차다항식의 2차의 항을 a₂, 4차의 항을 a₄, 6차의 항을 a₆, …로서, 폴리곤 광편향기(1)의 내접원반경을 Rm, 회전축에서 주사면(2)까지의 거리를 R, 유효주사길이(도시는 되어있지 않음)를 Lo, 입사광선의 방향여현은 x성분을 가지지 않으나 폴리곤 광편향기(1)에서의 반사광선의 방향여현의 x성분이 0으로 되는 폴리곤 광편향기(1)의 회전각을 θ=0, 이때의 주사점의 주사면(2)상의 위치를 y=0로서, θ의 값이 y=L_o/2일때를 θo로 한다. 그리고, 반사면(4)의 회전각은 60°로 1주사에 대응하므로, 40°로 결상스포트 위치가 220mm폭 취하여져서 주사직선성 오차가 0으로 되는 조건에서, 고차곡면 포물통 폴리곤의 2차계수 a₂, 4차계수 a₄, 6차계수 a₆, 폴리곤 광편향기(1)의 회전중심(0)에서 스포트위치까지의 거리(R), 의사 원통형렌즈(3)의 고차곡면(6)의 4승의 항과 2승의 항과의 계수, 의사 원통형렌즈(3)의 두께, fθ 특성, 주사선 만곡의 보정을 광학 시뮬레이션에 의해 실용상 문제가 없는 곳까지 최적화한다.

이하에 각종의 조건의 기에 실측한 실시예를 설명한다.

[실시예 1]

폴리곤 광편향기

폴리곤 내접원반경Rm[mm] : 16.0

2차의 계수[mm^-1]a₂: 3.6564×10^-4

4차의 계수[mm^-3]a₄: -1.2116×10^-9

6차의 계수[mm^-5]a₆: -3.4997×10^-10

출사점(x, y, z)[mm] : [0, 100, -5]

(θ =0일때)

입사광선수속점l[mm] =-34.0266

의사 원통형렌즈

굴절율 : 1.5

반경[mm] : 14.7716

중심부의 두께[mm] : 10.

2차계수[mm^-1] : 1.9627×10^-3

4차계수[mm^-3] : -1.6101×10^-7

정점(xc, yc, zc)[mm]

[0.,167.4357, 11.3951]

(θ =일때)

주사면(xs, ys, zs)[mm]

[0., 207.4373, 11.3951]

(θ =일때)

유효주사길이[mm] : 220.

반사면 이용각[deg] : 40.

그러나, 이와 같은 조건에 있어서, z축 방향에서 본 광선도는 제29도에 표시한 것이며, x축방향에서 본 광선도는 제30도에 표시하는 것이다.

그리고 제31(a)는 주사선 만곡, 제31(b)는 부주사방향의 상면(像面)만곡, 제31도(c)는 주주사방향의 상면만곡, 제31도(d)는 fθ 오차를 표시한다. 이 결과는 주사선 만곡이 최대이며 6.2161×10^-2mm, 부주사 방향의 상면 만곡이 최대이며, -6.5394mm, 주주사의 상면 만곡이 최대이며 -2.6151mm, fθ 오차가 최대이며 -5.7676×10^-2mm로 할수가 있었던 것이다.

[실시예 2]

폴리곤 광편향기

폴리곤 내접원반경 Rm[mm] : 24.

2차의 계수[mm^-1]a₂: 3.6232×10^-3

4차의 계수[mm^-3]a₄: -5.3940×10^-8

6차의 계수[mm^-5]a₆: -9.9994×10^-10

출사점(x, y, z)[mm] : [0, 100, -5]

(θ =0일때)

입사광선수속점l[mm] =-29.8873

의사 원통형렌즈

굴절율 : 1.5

반경[mm] : -15,6420

중심부의 두께[mm] : 10.

2차계수[mm^-1] : 1.0945×10^-3

4차계수[mm^-3] : -9.5307×10^-8

정점(xc, xy, zc)[mm]

[0.,234.2721, 11.2107]

(θ =일때)

주사면(xs, ys, zs)[mm]

[0., 274.3208, 16.4685]

(θ =일때)

유효주사길이[mm] : 220.

반사면 이용각[deg] : 40.

그러고, z축 방향에서 본 광선도와 xy방향에서 본 광선도와는 상술한 제29도와 제30도와를 준용하고 그의 도시를 생략한다.

그리고, 제32(a)는 주사선 만곡, 제32도(b)는 부주사방향의 상면만곡, 제32도(c)는 주주사방향의 상면만곡, 제32도(d)는 fθ오차를 표시한다. 이 결과는 주사선 만곡이 최대로 4.2962×10^-2mm, 부주사 방향의 상면 만곡이 최대이며 -4.4578mm, 주주사의 상면 만곡이 최대이며 0.7152mm, fθ 오차가 최대이며 -7.0998×10^-3mm라 할수가 있는 것이다.

본 실시예에는 상술한 바와같이 광원에서의 빛을 반사하는 반사면이 볼록한 4차 이상의 짝수차의 고차 다항식에서 부여되는 고차곡면으로 형성된 폴리곤 광편향기와, 이 폴리곤 광편향기와 주사면과의 사이에 배설되고 부주사측에 파워를 가진 원통형 면과 주주사측에 파워를 가진 짝수차의 곡면을 가진 의사 원통형렌즈를 사용하여 포스트오브젝티브형 광편향기를 구성하도록 하였으므로, 구면(球面)이나 원통형의 것과 비교하면 자유도가 증가하기 때문에 설계의 자유도를 확대할 수 있으며, 또, 일반적인 원통형렌즈의 평면부분을 짝수차의 곡면으로 하였으므로 폴리곤 광편향기의 번거로운 보정을 하는 동시에 상면 만곡과 fθ 특성의 보정 효과도 얻을수가 있으며, 이와 같은 폴리곤 광편향기와 의사 원통형렌즈와의 조합에 의해 상면만곡과 fθ 특성과의 보정을 고수준으로 행할수가 있는 것이다.

본 발명의 제5실시예에 있어서 제1예를 제33도 내지 제38도에 의거하여 설명한다.

광원으로서 반도체 레이저(11)와, 광을 평행광으로 하는 코리미터렌즈(12)와, 원통형렌즈(13)와, 수속렌즈(14)를 동일 광로상에 순차적으로 설치되어 있다. 또 그의 과로상에는 모터(15)위에 고정된 복수개의 반사면(16)을 가진 회전반사경으로서의 폴리곤미러(17)가 설치되어 있다. 상기 반사면(16)은, 구면(18) 또는 주사방향(화살표방향)으로 파워(이 파워란, 광학면의 굴절력 또는 결상력(結像力)인 것을 말한다)를 가진 원통면(19)으로 되어 있다.

그리고, 상기 반사면(16)에 의하여 반사된 광로위에는, 보정렌즈(20)가 설치되어 있으며, 더우기 이 보정렌즈(20)를 투과한 광비임이 조사되는 주사면(21)을 가진 원통상의 감광체로서의 감광드럼(22)이 설치되어있다.

상기 보정렌즈(20)는, 주사방향 및 부주사방향(주사방향으로 직교하느 방향)으로 파워를 가지며 주사방향과 평행인 회전대칭축(23)을 중심으로 하여 부주사방향으로 묘사된 회전대칭 곡면(24)으로된 입사면(25)과, 이 입사면(入射面)(25)과 반사측에 위치하고 주사방향에 대하여 좌우 대칭으로 형성된 주사방향으로 파워를 가진 출사면(26)과로부터 이루어지고 있다. 이 출사면은, 상기 입사면(25)의 상기 회전대칭축(23)에 직교하고 주사방향에 대하여 좌우대칭으로 형성된 형상의 중심전(o₂)을 회전대칭축(27)으로 하는 회전대칭곡면(28)으로 되어있다.

그러므로, 제35도에 표시하는 바와 같이, 상기 감광드럼(22)은, 상기 폴리곤미러(27)의 회전축(29)에서 그의 주사면(21)까지의 거리가 A로 되도록 배설되어 있다. 또 상기 보정 렌즈(20)는, 상기 폴리곤미러(17)의 회전축(29)에서 그의 입사면(25)까지의 거리가 B로 되도록 배설되어 있다. 이들의 거리(A, B)의 구체적 수치에 대하여 후술한다.

이들의 거리(A, B)의 구체적 수치에 대하여 후술한다.

또 상기 반도체 레이저(11)와, 상기 코리미터렌즈(12)와, 상기 원통형렌즈(13)와, 상기 수속렌즈(14)와는, 상기 폴리곤미러(17)의 상기 반사면(16)에서의 수직인 면에 대하여, 아래쪽으로 θ=3.4도 경사진 위치에 배설되어 있으며, 이것과는 반대로 위쪽으로 θ=3.4도 경사진 위치에 상기 보정렌즈(20)와, 상기 감광드럼(22)이 배설되고 있다.

이와 같은 구성에 대하여, 반도체 레이저(11)에 의해 인자신호에 따라서 출사되는 광비임은, 코리미터렌즈(12)에 의해 평행광으로 되고, 부주사 방향에 대하여 파워를 가진 원통형렌즈(13)를 통과하고, 또한 수속렌즈(14)를 통과한 후, 폴리곤미러(17)의 반사면(16)에 조사된다. 그리고, 이 폴리곤미러(17)의 회전에 따라서 편향주사된 강비임은, 보정렌즈(20)를 통과하여 감광드럼(22)의 주사면(21)위에서 주사방향으로 주사되어 기록을 하게된다.

다음에, 폴리곤미러(17)의 반사면(16)의 형상을 원통면(19)으로 했을 경우의 제36도 및 제37도에 의거하여 설명한다. 파선으로 표시한 원통면(19)의 중심점 0에서 반경(r)의 궤적상에 위치하여 폴리곤미러(17)의 반사면(16)이 형성되어 있다. 또 폴리곤미러(17)의 회전축(29)은 반경 c(=16mm)의 내접원의 중심점으로 되어 있으며, 이 회전축(29)은 중심점(0)을 지나는 축에 평행으로 설치되어 있다.

또 원통형렌즈(13), 수속렌즈(14)는, 이들을 투과한 광비임이 폴리곤미러(17)의 회전축(29)의 방향으로 투영했을 때에는 점(S)으로 수속하고, 그의 광비임을 주사방향으로 투영했을 때에는 폴리곤미러(17)의 반사면(16)위에서 수속하도록 배설되어 있다. 이 경우 폴리곤미러(17)의 회전축(29)과 점(S)과의 거리는 (d)라고 되어 있다. 또한 반경(r, e), 거리(d)의 구체적 수치에 대해서는 후술한다.

다음에 보정렌즈(20)의 형상에 대하여 설명한다.

제38도는 보정렌즈(20)를 주사방향으로 평행한 면으로 절단했을 때의 단면형상을 표시한다.

입사면(25)은, 회전대칭축(23)을 가진 회전대칭곡면(24)으로 되어 있으며, 중앙점(O₁)에 있어서 반경은 e이다. 이 경우, 중앙점(O₁)을 지나 주사방향으로 평행으로(X₁) 축, 이것과 직각에(Y₁)축을 잡아서, X₁O₁Y₁좌표계를 만들면 입사면(25)의 단면형상은, 다음과 같이 8차의 다항식으로 나타나게 된다.

출사면(26)은, 상기(Y₁)에 대하여 좌우대칭(지면상에서는 상하로 대칭)이며, 이 (Y₁)축을 회전대칭축(27)으로 하는 회전대칭곡면(28)으로 되어 있다. 이 경우 중심점(O₂)을 지나 주사방향으로 평행으로(X₂)축을 잡아, 상기(Y₁)와 일치하는(Y₂)축을 잡아서, X₂O₂Y₂좌표계를 만들면 입사면(25)의 단면형상은, 다음과 같이 8차의 다항식으로 나타나게 된다.

또한, 보정렌즈(20)는 굴절율 1.48의 아크릴수지로 작성하였다. 또 (1)식에 있어서 반경 e, 계수 α₂, α₄, α₆, α₈,(2)식에 있어서 계수 β₂, β₄, β₆, β₈의 구체적 수치에 대해서는 후술했다.

다음에, fθ특성, 사지탈상면 및 메리지오날 상면의 만곡, 감광드럼(22)위에서의 주사선의 굴곡을 실용상 문제가 없을 정도로 까지 보정할수 있도록 컴퓨터 시뮬레이션에 의하여 광선 추적을 행한 결과 구하여진 파라미터의 구체적 수치예에 대하여 표시한다.

다만, 감광드럼(22)위에서의 주사선의 굴곡은, 광비임용 폴리곤미러(17)의 반사면(16)에 대하여 수직이 아닌 각도(θ)에서 입사시키는 스큐 입사광학계에 있어서 특히 발생하기 쉬우므로 이것을 고려하여 설계하였다.

이하, 구체적인 수치를 표시한다.

A=208.3mm

B=160.8mm

r=135.65mm

d=33.76mm

e=16.33mm

α₂=8.610×10^-4mm^-1

α₄=4.336×10^-9mm^-3

α₆=-5.509×10^-13mm^-5

α₈=-3.701×10^-7mm^-7

β₂=-4.389×10^-4mm^-1

β₄=1.616×10^-7mm^-3

β₆=-6.542×10^-13mm^-5

β₈=-2.689×10^-18mm^-7

다만, 유효주사길이는 220mm이며, 이것에 대응한 폴리곤미러(7)의 회전각은 36°이다.

여기서 fθ오차, 사지탈 상면 및 메리지오날 상면의 만곡, 주사선의 굴곡의 제 특성을 제39도에 표시해둔다. 도면중의 종축은 주사방향에 따라서 취하고, 횡축은 각 특성에 대응하고 있다.

fθ오차=(감광드럼 위의 비임 입사위치)-(선형입사위치) ………………… (3)

(선형입사위치)=(폴리곤미러 회전각)×(220mm/36°)

다만, 폴리곤미러(7)의 회전각(3도)은, 제36도의 상태를 0도로 정하고 있다.

다음에 본 실시예의 제2예에 대하여 설명한다.

본 예에 있어서 구멍 및 그의 작용에 대해서는 제1예와 같으므로, 여기서는 각 파라미터의 수치만을 표시해 둔다.

이하, 구체적인 수치를 표시한다.

A=210.7mm

B=158.2mm

r=120.30mm

d=29.62mm

e=17.63mm

α₂=9.137×10^-4mm^-1

α₄=7.725×10^-9mm^-3

α₆=-5.725×10^-13mm^-5

α₈=-4.355×10^-17mm^-7

β₂=-3.586×10^-4mm^-1

β₄=1.474×10^-7mm^-3

β₆=-4.439×10^-13mm^-5

β₈=-1.469×10^-17mm^-7

다만, 본예에 있어서도 유효 주사길이는 220mm이며, 이것에 대응한 폴리곤미러(7)의 회전각은 36°이다.

다음에, 상술한 제1예 및 제2예 더우기 종래기술에서 설명한 「특개소 61-156020」호 공보의 광주사장치에 있어서 사지탈 상면 및 메리지오날 상면의 만곡, fθ특성의 리니아리티, 주사선의 굴곡량의 제특성을 제1표에 표시한다. 또 제1예에 있어서 제특성을 제39도에 표시한다.

[표 1]

또한, ①, ②, ③은 종래예의 값을 표시하고, ④는 본 실시예의 제1예, ⑤은 본 실시예의 제2예를 표시한다. ④, ⑤에 있어서 리니아리티는 주사선의 중앙부에 있어서 주사속도에 대한 최대치로 표시하였다.

상술한 제1표의 값에서 본예는 종래예에 비교하여, 사지탈 상면의 만곡이 2배정도, 메리지오날 상면의 만곡이 동등 또는 그 이상, 리니아리티가 4 내지 5배정도로 각각 개선할 수 있다는 것이 알게 된다. 특히 리니아리테에 대해서는, 본 실시예의 값은 전기적 보정 수단과 같은 부가적인 보정수단이 불필요한 2 내지 3% 이하의 값으로 할 수가 있다. 또한 주사선의 굴곡에 대해서도 실용상 문제가 없을 정도로 까지 보정할수가 있다.

또한 본 발명에 있어서 제1예 및 제2예에 있어서는 보정렌즈(20)를 1매로 구성하였으나, 이것에 한정되는 것은 아니고 가공성형등 각종의 사정을 감안하여 복수매로 구성하여도 좋다. 예를들면, 2매 구성의 보정렌즈(20)를 생각하고, 제1렌즈, 제2렌즈로 하면, 제1렌즈의 입사면을 1매 구성시의 입사면과 동일한 형상으로 하여 그의 출사면을 구면으로 하고, 제2렌즈의 압사면을 구면으로 하여 그의 출사면을 1매 구성시의 출사면과 동일한 형상으로 하여도 좋다.

본 실시예는, 회전반사경의 반사면을 구면 또는 주사방향으로 파워를 가진 원통면으로 형성하고, 반사면과 주사면과의 사이의 광로상에 주사방향으로 평행인 회전 대칭축을 중심으로 하여 부주사방향으로 묘사된 원호상의 회전 대칭곡면이, 상기 회전 반사경의 회전축을 포함하여 상기 회전 대칭축에 수직인 대칭면을 가지도록 형성된 주사방향 및 부주사방향으로 파워를 가진 입사면과, 이 입사면의 반사측에 위치하고 주사방향에 대하여 좌우대칭으로 형성되고 주사방향으로 파워를 가진 출사면으로부터 이루어지는 보정렌즈를 배설하였으므로 회전반사경의 반사면을 구면 또는 주사방향으로 파워를 가진 원통면으로 함으로써 주사방향의 상면(사지탈상면)의 만곡을 보정할 수가 있다.

또 보정렌즈의 입사면을 주사방향으로 평행인 회전대칭축을 가진 회전 대칭 곡면으로 하였으므로 주사방향에 따라서 입사면의 부주사방향의 곡율을 변화시켜서 부주사방향의 파워를 변화시킬 수가 있으며, 이것에 의하여 부주사방향의 상면(메리지오날 상면)의 만곡을 보정할 수가 있다. 또한 보정렌즈의 출사면을 주사방향으로 파워를 가진 곡면으로 하였으므로, 이 곡면에 의하여 fθ특성의 보정효과와 한층 고도인 사지탈 상면의 보정효과를 얻을 수가 있다.

따라서 회전반사경의 반사면, 보정렌즈의 입사면 및 출사면의 보정효과를 조합함으로써 fθ특성의 보정이나, 사지탈상면 및 메리지오날 상면의 만곡의 보정을 할 수 있으며, 이것에 의해 종래, 문제로 되어 있었던 fθ특성의 보정을 전기적 수단에 의하지 않고 광학적 수단에 의하여 행할 수 있기 때문에 고성능이며, 그리고 안가로 간단한 구조로 할 수가 있는 것이다.

본 발명의 제6의 실시예에 있어서 제1예를 제40도 및 제41도에 의거하여 설명한다. 광원으로서의 반도체 레이저(31)와, 광을 평행광으로 하는 코리미터 렌즈(32)와, 원통형 렌즈(33)와, 수속렌즈(34)가 동일 광로 위에 순차적으로 설치되어 있다. 또 그의 광로 위에는 모터(35)위에 고정된 복수개의 반사면(36)을 가진 회전 반사경으로서의 폴리콘미러(37)가 설치되어 있다. 상기 반사면(36)은 그의 반사면내의 각 부분에서 곡율이 다른 곡면(38)으로 되어 있다.

그리고, 상기 반사면(36)에 의해 반사된 광로 위에는 보정렌즈(39)가 설치되고 있으며, 또한 이 보정 렌즈(39)를 투과한 광 비임이 조사되는 주사면(40)을 가진 원통상의 감광체로서의 감광드럼(41)이 설치되어 있다.

상기 보정 렌즈(39)는, 주사방향(화살표 방향) 및 부주사방향(주사방향에 직교하는 방향)으로 파워(이파워란, 광학면의 굴절력 또는 결상력인 것을 말한다)을 가지고 주사방향과 평행인 회전대칭축(42)을 중심으로 하여 부주사방향에 묘사한 회전대칭곡면(43)으로된 입사면(44)과, 이 입사면(44)반대측에 위치하고 주사방향에 대하여 좌우대칭으로 형성되고 주사방향 파워를 가진 출사면(45)에서 이루어지고 있다. 이 출사면(45)은, 상기 입사면(44)의 상기 회전대칭축(42)에 직교하고 주사방향에 대하여 좌우대칭으로 형성된 형상의 중심점(O₂)을 회전대칭축(46)으로 하는 회전 대칭곡면(47)으로 되어 있다.

그러므로, 제42도에 표시하는 바와 같이, 상기 감광드럼(41)은, 상기 폴리곤미러(37)의 회전축(48)에서 그의 주사면(40)까지의 거리가 A로 되도록 배설되어 있다. 또 상기 보정 렌즈(39)는, 상기 폴리곤 미러(37)의 회전축(48)에서 그의 입사면(44)까지의 거리가 B로 되도록 배설되어 있다. 이들의 거리 A, B의 구체적 수치에 대해서는 후술한다.

또, 상기 반도체 레이저(31)와, 상기 코리미터렌즈(32)와, 상기 원통형 렌즈(33)와, 상기 수속렌즈(34)와는, 상기 폴리곤미러(37)의 상기 반사면(36)에서의 수직인 면에 대하여, 아래쪽으로 θ=3.4도 경사진 위치에 배설되어 있으며, 이것과는 반대로 위쪽으로 θ=3.4도 경사진 위치에 상기 보정렌즈(39)와, 상기 감광드럼(41)이 배설되고 있다.

이와 같은 구성에 있어서, 반도체레이저(31)에 의해 인자신호에 따라서 출사된 광비임은 코리미터 렌즈(32)에 의해 평행광으로 되고, 부주사 방향에 대하여 파워를 가진 원통형 렌즈(33)를 통과하고, 더우기 수속렌즈(34)를 통과한 후, 폴리곤 미러(37)의 반사면(36)에 조사된다. 그리고, 이 폴리곤미러(37)의 회전에 따라서 편향주사된 광비임은, 보정렌즈(39)를 통과하여 감광드럼(41)의 주사면(40)위에서 주사방향으로 주사되고 기록이 행해진다.

다음에, 폴리곤 미러(37)의 반사면(36)의 형상을 타원통면(49)으로 했을 경우의 모양을 제43도 및 제44도에 의거하여 설명한다. 타원통면(49)의 중심점 0에서의 2개의 타원반경을 a, b로 하면, 한편의 반경(a)의 궤적상에 위치하여 폴리곤미러(37)에 반사면(36)이 형성되고 있다. 또 폴리곤미러(37)의 회전축(48)은, 반경 c(=16mm)의 내접원의 중심점으로 되어 있으며, 이 회전축(48)은 중심점 0을 지나는 축에 평행으로 설치되어 있다.

또 원통형 렌즈(33), 수속 렌즈(34)는, 이들을 투과한 광비임이 폴리곤미러(37)의 회전축(48)의 방향으로 투영했을 때에는 점(S)으로 수속하고, 또, 그의 광비임을 주사방향으로 투영했을 때에는 폴리곤미러(37)의 반사면(36)위에서 수속하도록 배설되어 있다. 이 경우, 폴리곤 미러(37)의 회전축(48)과 점(S)과의 거리는 d로 되어 있다. 또 반경(a, b), 거리(d)의 구체적수치에 대해서는 후술한다.

다음에, 보정렌즈(39)의 형상에 대하여 설명한다.

제45도는 보정렌즈(39)를 주사방향으로 평행인 면으로 절단했을 때의 단면형상으로 표시한다.

입사면(44)은, 회전대칭축(42)을 가진 회전 대칭곡면(43)으로 되어 있으며, 중앙점(O₁)에 있어서 반경은 e이다. 이 경우, 중앙점(O₁)을 지나 주사방향에 평행으로 X₁축, 이것과 직각으로 Y₁축을 잡아서, X₁O₁Y₁좌표계를 만들면 입사면(44)의 단면형상은 다음과 같이 8차의 다항식으로 나타나게 된다.

Y₁=α₂X₁ ²+α₄X₁ ⁴+α₆X₁ ⁶+α₈X₁ ⁸………………………………………… (4)

출사면(45)은, 상기(Y₁)에 대하여 좌우대칭(지면상에서는 상하로 대칭)이며, 이 Y₁축을 회전 대칭축(46)으로 하는 회전 대칭곡면(47)으로 되어 있다. 이 경우 중심점(O₂)을 지나 주사방향에 평행으로 (X₂)축을 잡고, 상기(Y₁)와 일치하는 (Y₂)축을 잡아서, X₂O₂Y₂좌표계를 만들면 입사면(44)의 단면형상은 다음과 같이 8차의 다항식으로 나타나게 된다.

Y₂=β₂X₂ ²+β₄X₂ ⁴+β₆X₂ ⁶+β₈X₂ ⁸………………………………………… (5)

또한, 보정렌즈(39)는, 굴절률 1.48의 아크릴수지로 작성하였다. 또(4)식에 있어서 반경 e, 계수 α₂, α₄, α₆,α₈, (5)식에 있어서 계수 β₂, β₄,β₆,β₈의 구체적 수치에 대해서는 후술했다.

다음에, fθ특성, 사지탈상면 및 메리지오날 상면의 만곡, 감광 드럼(41)위에서의 주사선의 굴곡을 실용상 문제가 없을 정도로까지 보정할 수 있도록 컴퓨터 시뮬레이션에 의해 광선 추적을 행한결과 구하여진 파라미터의 구체적 수치예에 대하여 표시한다. 다만, 감광드럼(41)위에서의 주사선의 굴곡은, 광비임을 폴리곤미러(37)의 반사면(36)에 대하여 수직이 아닌 각도(θ)로 입사시키는 스큐입사광학계에 있어서 특히 발생하기 쉬우므로 이것을 고려하여 설계하였다.

이하, 구체적인 수치를 표시한다.

A=208.3mm

B=160.8mm

a=116.15mm

b=125.52mm

d=33.76mm

e=16.33mm

α₂=8.610×10^-4mm^-1

α₄=4.336×10^-9mm^-3

α₆=-5.509×10^-13mm^-5

α₈=-3.071×10^-17mm^-7

β₂=-4.389×10^-4mm^-1

β₄=1.616×10^-7mm^-3

β₆=-6.542×10^-13mm^-5

β₈=-2.689×10^-18mm^-7

다만, 유효 주사길이는 220mm이며, 이것에 대응한 폴리곤미러(37)의 회전각은 36°이다.

여기서 fθ오차, 사지탈 상면 및 메리지오날 상면의 만곡, 주사선의 굴곡의 제특성을 제46도에 표시해 둔다. 도면중의 종축은 주사방향에 따라서 잡고, 횡축은 각 특성에 대응하고 있다.

fθ오차=(감광드럼 위의 비임 입사위치)-(선형입사위치) ……………… (6)

(선형입사위치)=(폴리곤미러 회전각)×(220mm/36°)

다만, 폴리곤미러(37)의 회전각(도)은, 제43도의 상태를 0도로 정하고 있다.

다음에, 본 실시예의 제2예에 대하여 서명한다. 본예에 있어서 구성 및 그의 작용에 대해서는 제1예와 같으므로, 여기서는 각 파라미터의 수치만을 표시해 둔다.

이하, 구체적인 수치를 표시한다.

A=210.7mm

B=158.2mm

a=68.84mm

b=91.00mm

d=29.62mm

e=17.63mm

α₂=9.137×10^-4mm^-1

α₄=7.725×10^-9mm^-3

α₆=-5.725×10^-13mm^-5

α₈=-4.355×10^-17mm^-7

β₂=-3.586×10^-4mm^-1

β₄=1.474×10^-7mm^-3

β₆=-4.439×10^-13mm^-5

β₈=-1.469×10^-17mm^-7

다음에, 상술한 제1예 및 제2예 더우기 종래기술에서 설명한 「특개소 61-156020」호 공보의 광주사장치에 있어서 사지탈 상면 및 메리지오날 상면의 만곡, fθ특성의 리니아리티, 주사선의 굴곡량의 제특성을 제2표에 표시한다. 또, 제1예에 있어서의 제특성을 제46도에 표시한다.

[표 2]

또한, ①, ②, ③은 종래예의 값을 표시하고, ④는 본 실시예의 제1예, ⑤은 본 실시예의 제2예를 표시한다. ④, ⑤에 있어서 리니아리티는 주사선의 중앙부에서 주사속도에 대한 최대치로 표시하였다.

상술한 제2표의 값에서 본예는 종래예에 비교하여, 사지탈 상면의 만곡이 2배 정도, 메리지오날 상면의 만곡이 동등 또는 그 이상, 리니아리티가 4 내지 5배 정도로 각각 개선되는 알게된다. 특히 리니아리티에 대해서는, 본 실시예의 값은 전기적 보정수단과 같은 부가적인 보정 수단이 불필요한 2 내지 3% 이하의 값으로 할 수가 있다. 더우기 주사선의 굴곡에 대해서도 실용상 문제가 없을 정도로 까지 보정할 수가 있다.

또한 본 실시예에 있어서 제1예 및 제2예에 있어서는, 보정 렌즈(39)를 1매로 구성했으나, 이것에 한정되는 것은 아니고 가공성형등 각종의 사정을 감안하여 복수매로 구성하여도 좋다.

예를들면, 2매 구성의 보정렌즈(39)를 생각하고, 제1렌즈, 제2렌즈로 하면, 제1렌즈의 입사면을 1매 구성시의 입사면과 동일한 형상으로서 그의 출사면을 구면으로 하고, 제2렌즈의 입사면을 구면으로 하여 그의 출사면을 1매 구성시의 출사시와 동일한 형상으로 하여도 좋다.

본 실시예는, 회전반사경의 반사면을 그의 반사면내의 각 부분에서 곡율이 다른 곡면으로서 형성하고, 반사면과 주사면과의 사이의 광로상에 주사방향으로 평행인 회전 대칭축을 중심으로 하여 부주사방향으로 묘사된 원호상의 회전 대칭 곡면이, 상기 회전 반사경의 회전축을 포함하고 상기 회전대칭축에 수직인 대칭면을 갖도록 형성된 주사방향 및 부주사방향으로 파워를 가진 입사면과, 이 입사면의 반대측에 위치하고 주사방향에 대하여 좌우대칭으로 형성되고 주사방향으로 파워를 가진 출사면에서 이루어지는 보정렌즈를 배설하였으므로 회전반사경의 반사면을 그의 반사면내의 각부분에서 곡율이 다른 곡면으로 함으로써 곡율의 일정한 주면이나 원통면에 비하여 한층 효과적으로 주사방향의 상면(사지탈상면)의 만곡을 보정할 수가 있다.

또 보정 렌즈의 입사면을 주사방향으로 평행인 회전 대칭축을 가진 회전 대칭곡면으로 하였으므로 주사방향에 입사면의 부주사방향의 곡율을 변화시켜서 부주사방향의 파워를 변화시킬 수 있으며, 이것에 의하여 부주사방향의 상면(메리지오날 상면)의 만곡을 보정할 수가 있다. 또한 보정렌즈의 출사면을 주사방향으로 파워를 가진 곡면으로 하였으므로, 이 곡면에 의하여 fθ특성의 보정효과와 한층 고도인 사지탈 상면의 보정효과를 얻을 수가 있다.

따라서 회전반사경의 반사면, 보정렌즈의 입사면 및 출사면의 보정효과를 조합시킴으로써 fθ특성의 보정이나, 사지탈상면 및 메리지오날 상면의 만곡의 보정을 할 수 있으며, 이것에 의하여 종래, 문제로 되어 있었던 fθ특성의 보정을 전기적 수단에 의하지 않고 광학적 수단에 의하여 행할 수 있기 때문에 고성능이며, 그리고 안가로 간단한 구조로 할 수 있는 것이다.

Claims

광원으로부터의 광을 반사하는 반사면이 볼록한 원 또는 원통면이 아닌 곡면으로 형성된 폴리곤 편향기, 및 이 폴리곤 편향기와 주사면 사이에 배설되고 부주사측에 파워를 가진 원통형면과 주주사측에 파워를 가진 우수차의 곡면을 가진 의사 원통형 렌즈가 배설되는 것을 특징으로 하는 포스트오브젝티브형 편향기.
광원으로부터의 광을 반사하는 반사면이 블록한 타원면 또는 타원 원통상면으로 형성된 폴리곤 편향기, 및 이 폴리곤 편향기와 주사면 사이에 배설되고 부주사측에 파워를 가진 원통형면과 주주사측에 파워를 가진 우수차의 곡면을 가진 의사 원통형 렌즈가 배설되는 것을 특징으로 하는 포스트오브젝티브형 광편향기.
광원으로부터의 광을 반사하는 반사면이 블록한 쌍곡면 통상면으로 형성된 폴리곤 광편향기, 및 이 폴리곤 광편향기와 주사면 사이에 배설되고 부주사방향에 파워를 가진 원통형면과 주주사방향에 파워를 가진 우수차의 곡면을 가진 의사 원통형 렌즈를 배설한 것을 특징으로 하는 포스트오브젝티브형 광편향기.
광원으로부터의 광을 반사하는 반사면이 블록한 포물면 또는 포물통상면으로 형성된 폴리곤 광편향기, 및 이 폴리곤 광편향기와 주사면 사이에 배설되고 부주사방향으로 파워를 가진 원통형면과 주주사방향으로 파워를 가진 우수차의 곡면을 가진 의사 원통형 렌즈를 배설한 것을 특징으로 하는 포스트오브젝티브형 광편향기.
광원으로부터의 광을 반사하는 반사면이 볼록한 4차 이상의 우수차의 고차다항식으로 부여되는 고차 곡면으로 형성된 폴리곤 광편향기, 및 이 폴리곤 광편향기와 주사면 사이에 배설되고 부주사방향으로 파워를 가진 원통형면과 주주사방향으로 파워를 가진 우수차의 곡면을 가진 의사 원통형 렌즈가 배설한 것을 특징으로 하는 포스트오브젝티브형 광편향기.
반도체 레이저로부터의 광 비임을 회전반사경이 반사면에 조사하고, 이 반사면에 의해 편향주사하게 된 광 비임을 감광체의 주사면에 조사함으로써 광비임을 주사하는 포스트오브젝티브형 광비임 주사장치에 있어서, 상기 회전반사경의 상기 반사면을 구면 또는 주사방향으로 파워를 가진 원통면으로 형성하고 상기 반사면과 상기 주사면 사이의 광로상에, 주사방향으로 평행인 회전대칭 축을 중심으로 하여 부주사방향으로 묘사된 원호상의 회전 대칭곡면이 상기 회전 반사경의 회전축을 포함하고 상기 회전 대칭축에 수직인 대칭면을 갖도록 형성된 주사방향 및 부주사방향으로 파워를 가진 입사면, 및 이 입사면의 반대측에 위치하고 주사방향에 대하여 좌우대칭으로 형성되고 주사방향으로 파워를 가진 출사면으로 이루어지는 보정렌즈를 배설한 것을 특징으로 하는 포스트오브젝티브형 광 주사장치.
제6항에 있어서, 보정렌즈의 입사면은 회전 대칭축을 중심으로 하여 부주사방향에 묘사된 원호상의 회전 대칭곡면내에서 우수차의 다항식으로 나타내는 형상으로 한 것을 특징으로 하는 포스트오브젝티브형 광 주사장치.
제6항에 있어서, 보정렌즈의 출사면은 입사면의 회전대칭축에 직교하고 주사방향에 대하여 좌우대칭으로 형성된 형상의 중심점을 회전 대칭 축으로 하는 회전 대칭 곡면으로 한것을 특징으로 하는 포스트오브젝티브형 광 주사장치.
제6항에 있어서, 보정렌즈의 출사면은 출사면의 회전대칭축에 포함하는 회전 대칭 곡면내에서 우수차의 다항식으로 나타내는 형상으로 한 것을 특징으로 하는 포스트오브젝티브형 광 주사장치.
반도체 레이저로부터의 광 비임을 회전반사경이 반사면에 조사하고, 이 반사면에 의해 편향 주사된 광비임을 감광체의 주사면에 조사함으로써 광비임을 주사하는 포스트오브젝티브형 광비임 주사장치에 있어서, 상기 회전반사경의 상기 반사면을 그의 반사면내에 각부분에서 곡율이 다른 곡면으로서 형성하고, 상기 반사면과 상기 주사면 사이의 광로상에, 주사방향으로 평행인 회전대칭 축을 중심으로 하여 부주사방향에 묘사된 원호상의 회전 대칭곡면이, 상기 회전 반사경의 회전축을 포함하고 상기 회전 대칭축에 수직인 대칭면을 갖도록 형성된 주사방향 및 부주사방향으로 파워를 가진 입사면, 및 이 입사면의 반대측에 위치하고 주사방향에 대하여 좌우대칭으로 형성된 주사방향으로 파워를 가진 출사면으로 이루어지는 보정렌즈를 배설한 것을 특징으로 하는 포스트오브젝티브형 광 주사장치.
제10항에 있어서, 보정렌즈의 입사면은 회전대칭 축을 중심으로 하여 부주사방향에 묘사된 원호상의 회전 대칭 곡면내에서 우수차의 다항식으로 나타내는 형상으로 한 것을 특징으로 하는 포스트오브젝티브형 광 주사장치.
제10항에 있어서, 보정렌즈의 출사면은 입사면의 회전대칭 축에 직교하고 주사방향에 대하여 좌우대칭으로 형성된 형상의 중심점을 회전 대칭 축으로 하는 회전 대칭 곡면으로 한 것을 특징으로 하는 포스트오브젝티브형 광 주사장치.
제10항에 있어서, 보정렌즈의 출사면은 출사면의 회전대칭축을 포함한 회전 대칭곡면내에서 우수차의 다항식으로 나타내는 형상으로 한 것을 특징으로 하는 포스트오브젝티브형 광 주사장치.