KR910008514A - 홀로그래픽 영상화 시스템의 전체 내부반사 광학검사장치 및 방법 - Google Patents
홀로그래픽 영상화 시스템의 전체 내부반사 광학검사장치 및 방법 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 및 제2도는 본 발명이 이용되는 원리를 나타내는 도면,
제3도는 재생동작동안 홀로그램과 기록매체간의 관련 위치를 광학적으로 검사하기 위한 일실시예를 나타내는 도면.
Claims (17)
- 홀로그래픽 영상화 시스템의 전체 내부 반사를 광학적으로 검사하기 위한 방법에 있어서, 제2기질(30)의 제2기록 매체상에 영상화될 제1기록 매체상에 미리 기록된 홀로그램을 포함하는 제1기질(16)을 지지하는 프리즘(22)을 통해서 제1 및 제2기질에 직각이 되도록 광빔을 지향하는 단계와, 2개의 기록매체로부터 반사된 빔을 이용하는 간섭계 또는 회절기법에 의해 2개의 기록매체간의 거리의 측정값을 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 영상화 시스템의 전체 내부 반사 광학검사방법.
- 제1항에 있어서, 상기 광학 검사 방법은 촛점을 검출하기 위해 사용되는 것을 특징으로 하는 홀로그래픽영상화 시스템의 전체 내부 반사 광학검사방법.
- 제1항에 있어서, 상기 측정결과에 따라 모든점에서 정확한 촛점을 유지하도록 2개의 기록매체간의 거리를 변화시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 영상화 시스템의 전체 내부 반사 광학검사방법.
- 제3항에 있어서, 제2기질상에 디지탈화된 평면을 형성하도록 제2기질의 분리된 위치를 광학적으로 복수의 검사를 하는 단계와, 컴퓨터의 메모리에 상기 디지탈화된 평면을 포함하는 단계와, 재생동작동안 실질적인 석판화 처리를 유도 하도록 기억된 정보를 이용하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 영상화 시스템의 전체 내부 반사 광학검사방법.
- 제3항에 있어서, 촛점을 결정하여 실리콘 기질의 제2기록 매체상에 홀로그래픽 영상을 기록하는 단계와 동시에 정확한 촛점을 유지한 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 영상화 시스템의 전체 내부 반사 광학검사방법.
- 제3항에 있어서, 상기 단계에 있어서 주사동작은, 상기 제2기록매체의 일부분에서 디지탈화된 평면을 얻는 단계와, 상기 기록매체와 일부분에 대해 정확한 촛점을 결정하는 단계와, 실리콘 기질의 제2기록매체상에 홀로그래픽 영상의 일부를 기록하는 단계와, 상기 제2기록매체의 다른 부분에 대해서도 상기 처리를 반복하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 영상화 시스템의 전체 내부 반사 광학검사방법.
- 제1항에 있어서, 상기 광빔은 이중 또는 다중 파장 레이저빔이며, 상기 거리정보는 상기2개의 기질로부터의 상기 이중 또는 다중 파장 레이저빔의 반사에 의해 형성된 인터페로 메터의 강도를 관찰함으로써 얻어진 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 영상화 시스템의 전체 내부 반사 광학검사방법.
- 제1항에 있어서, 상기 광빔은 평행한 백색광 또는 광역 밴드원이며, 상기 제1 및 제2기질로부터의 반사된 광빔은 소망의 분리 거리를 가진 2개의 기준 기질로 부터의 동일원의 유사한 반사빔과 간섭을 일으키는 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 영상화 시스템의 전체 내부 반사 광학검사방법.
- 제1항에 있어서, 상기 광빔은 평행한 백색광 또는 광역 밴드원이며, 상기 제1 및 제2기질로부터의 반사된 광빔은 회절격자를 통과하며 복귀빔에 대한 스펙트럼 분석 방법을 제공하고, 스펙트럼내의 피크 값간의 거리는 2개의 기질간의 분리 거리를 계산하는데 필요한 정보를 제공하는 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 영상화 시스템의 전체 내부 반사 광학검사방법.
- 프리즘에 부착된 하나의 타켓원과, 프리즘에 근접 배치된 다른 하나의 타켓원으로된 2개의 타켓원으로부터 정보를 얻도록 프리즘을 통해 관찰하는 방법이 있어서, 상기2개의 타켓원의 포면은 한쪽면에 부착된 석판화기질의 불투명성과 다른 면에 부착된 프리즘의 기하학 구조로 인하여 측정할 수 없는 것을 특징으로 하는 관찰방법.
- 제10항에 있어서, 상기 관찰방법은 홀로그래픽 재생빔이 기준각도보다 큰 각도를 가지며, 검사빔이 수직입사각에 도달할 수 있도록 구성한 프리즘에 적용가능한 것을 특징으로 하는 관찰 방법.
- 홀로그래픽 영상화 시스템의 전체 내부 반사를 광학적으로 검사하기 위한 장치에 있어서, 제2기질(30)의 제2기록 매체상에 영상화될 제1기록 매체상에 미리 기록된 홀로그램을 포함하는 제1기질(16)을 지지하는 프리즘(22)을 통해 제1 및 제2기질에 직각이 되도록 광빔을 지향하는 광원과, 기록매체를 지지하는 2개의 기질표면으로 부터 이중 반사된 빔을 검출하기 위한 검출기(44)를 구비함으로써 2개의 기록 매체간의 거리의 측정값이 간섭계 또는 회절기법에 의해 얻어질 수 있는 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 영상화 시스템의 전체 내부 반사 광학검사장치.
- 제12항에 있어서, 상기 광학검사장치는 촛점을 검출하기 위해 사용되는 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 영상화 시스템의 전체 내부 반사 광학검사장치.
- 제12항에 있어서, 상기 얻어진 측정값에 따라 모든점에서 정확한 촛점을 유지하도록 2개의 기록매체간의 거리를 조정하는 복수의 작동기를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 영상화 시스템의 전체 내부 반사 광학검사장치.
- 제14항에 있어서, 상기 작동기는 2개의 기질간에 이등변 3각형을 형성하는데 이용되는 압전 스페이서 인것을 특징으로 하는 홀로그래픽 영상화 시스템의 전체 내부 반사 광학검사장치.
- 제12항에 있어서, 상기 광원(42)은 이중 또는 다중 파장 레이저빔이며, 상기2개의 기질 표면으로부터 이중 반사된 빔은 빔분할기(43)에 의해 상기 검출기(44)에 공급되는 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 영상화 시스템의 전체 내부 반사 광학검사장치.
- 제12항에 있어서, 상기 광원검사장치는 집적회로는 영상화 장치, 광학 메모리디스크, 고품위 스크린, 표면 음향파장치에 및 포토마스크 레티클을 포함하는 그룹으로부터 선택된 다수의 다른 종류의 사진석판화 응용장치중 하나의 적용될 수 있는 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 영상화 시스템의 전체 내부 반사 광학검사장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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