JPH08327562A

JPH08327562A - 金属板表面疵検査方法及びその装置

Info

Publication number: JPH08327562A
Application number: JP13385095A
Authority: JP
Inventors: Yoshiro Yamada; 善郎山田; Takao Miyazaki; 孝雄宮崎; Yuji Matoba; 有治的場
Original assignee: NKK Corp; Nippon Kokan Ltd
Current assignee: JFE Engineering Corp
Priority date: 1995-05-31
Filing date: 1995-05-31
Publication date: 1996-12-13

Abstract

(57)【要約】【目的】高速で走行する金属板の表面疵を光学的手段
によって検出する金属板表面疵検出方法及びその装置を
提供することを目的とする。【構成】レーザ光源１から放射されるレーザビームを
レーザ平行走査光学機器２で平行ビームを走査してハー
フミラー３に入射させ、その反射ビームをガラス板４に
設けたサバール板アレイ５に入射して互いに直交した振
動方向を有する互いに光軸のずれた平行な直交偏光ビー
ムを測定対象６に入射して、その反射光をハーフミラー
３、偏光板７及びフレネルレンズ８を通して光電変換素
子９に入射させて測定対象６の凹凸を検出する金属板表
面疵検出装置である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、鋼板等の表面疵を検出
するための金属板表面疵検査方法及びその装置に関し、
詳しくは、高速で走行する鋼板の表面疵等の凹凸を光学
的手段によって検出する金属板表面疵検査方法及びその
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の鋼板の表面疵検査方法としては、
特開平４−２６８４４６号公報，特開平４−２９３
７３２号公報に開示されている。これらの資料では、鋼
板表面にレーザビームを照射して、その反射ビームが疵
によって散乱されることによって、レーザビームの反射
光量が変化することを利用して表面疵を検出するもので
ある。又、特開平４−１７７１５４号公報では、多数
の距離センサを鋼板の板幅方向に設置して、鋼板表面の
疵の凹凸を距離変化として直接検出する方法が開示され
ている。

【０００３】一方、半導体分野におけるウエハの表面疵
を検査する装置では、ノルマスキプリズムを利用した微
分干渉計が利用されている。この種の技術に関しては、
例えば、Ｄ．Ｌ，Lesser, et al.“Quantitative surfa
ce topography by Nomarskireflection microscopy. I.
Theory ”Ｊ．Ｏｐｔ．Ｓｏｃ，Ａｍ.,Ｖｏｌ．６９，
Ｎｏ．２，February １９７９，Ｐ．３５７〜３６６
（文献）に記述されている。

【０００４】又、半導体関連の公報としては、例えば
特開昭６１−２６０２１１号公報がある。この公報に
開示された検査方法は、文献の記述内容と本質的には
同じであるが、光源に多波長の水銀灯やキセノン灯等の
光源を利用して測定対象の段差や凹凸によって発生する
位相差が波長の整数倍と半波長だけずれた時に生ずる感
度低下領域を除くようにしている。

【０００５】以下、公報の自動異物検出方法について
図４及び図５に基づいて説明する。図４は微分干渉光学
系の原理図である。水銀灯やキセノン灯等の照明光１１
を偏光子１２、ハーフミラー１３を介して、複屈折を起
こす結晶を用いたノルマスキプリズム１４に照射して、
Ｓ偏光１５とＰ偏光１６の成分に分離し、光路ＡとＢが
交わる点Ｃを対物レンズ１７の焦点位置に一致させ、試
料基板１８に対して同一方向から２つの光がＤ及びＥに
照射される。ＤとＥに段差１９や異物２１が存在する
と、戻り光に位相差が発生する。戻り光は、ノマルスキ
プリズムを通過した後、再び一つの光路に重なるため、
ハーフミラー１３を介した後、検光子２０で偏光波を合
成すると、光路Ａ及びＢを通過した光の間に干渉が起こ
る。この段差１９により光の位相差が発生して干渉光の
強度が変わる。従って、干渉光強度を測定すれば、段差
１９を検出することができる。

【０００６】図５は異物検出装置をより具体的に示した
図であり、微分干渉光学系に光電変換素子を組み込んだ
ものである。半導体製造用のレチクルやマスク等の試料
基板１の異物の検出は、ペリクル枠３に異物防止膜２を
設けて行われる。複数の波長を有するランプ３１の光を
レンズ３２，偏光子１２，レンズ３３，ハーフミラー１
３を介してノマルスキプリズム１４に入射させてＳ偏光
とＰ偏光の光路に分離して対物レンズ１７に入射させ
る。対物レンズ１７の後に、偏光素子４１を置き、コリ
メータレンズ４２の焦点をこの中心Ｇに重ねる。４３は
ミラーであり、対物レンズ１７の結像位置Ｆの共役点Ｈ
を試料基板１上に置き、偏光素子４１を高速で往復運動
させながら、試料基板１を定速で動かして試料基板１を
広い面積にわたって検査するものである。

【０００７】試料基板１からの戻り光は、対物レンズ１
７、ノマルスキプリズム１４、ハーフミラー１３を透過
してＳ偏光とＰ偏光とを合成する検光子２０に戻る。検
光子２０に通った干渉光の強度は、ハーフミラー３４、
視野絞り３５，３５′、干渉フィルタ３６，３６′、光
電変換素子３７，３７′からなる検出ユニット３８，３
８′によってそれぞれ検出される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、公報
及びには検出感度に問題がある。即ち、この検出方法
は、表面疵の横方向のサイズがレーザビームスポットサ
イズと同程度であり、疵の深さも波長に比べて大きな疵
の検出に対しては十分な検出感度を有するが、疵の横方
向のサイズがレーザビームスポットサイズに比べて１／
１０以下と小さく、且つ、疵の深さも光の波長より小さ
な微小な疵に対しては、回折光量が小さくなるために検
出が困難である欠点を有する。因に、回折光強度は、疵
の深さの二乗と疵の面積に比例する特性がある。

【０００９】このような欠点を解消する方法として、疵
の検出感度を高めるために、鋼板の表面粗さによって生
ずる定常的な回折パターンをマスキングし、回折光信号
を強調する対策が必要である。しかし、マスクのサイズ
を大きくすると今度は逆に、回折角の小さな大きな疵を
見落とすおそれがあるため、この方法では、感度向上を
図る対策としては限界がある。

【００１０】次に、公報では、振動の影響によって精
度が低下する欠点がある。ミクロンオーダの疵を検出す
るためには、距離計のレーザビームを１００μｍ以下ま
で絞り、且つ、対象の反射率も変化せず、対象振動もな
いことが前提とされる。しかしながら、鋼板等の表面疵
を検出する場合は、例えば鋼板のロール面上であっても
その振動は、±０．５〜０．７ｍｍの振動が計測されて
いる。従って、表面疵の深さがミクロンオーダのものに
あっては距離測定を達成できないことは明らかである。

【００１１】一方、文献及び公報に開示された微分
干渉計では、測定対象の数Å〜１０Åの凹凸差を検知で
きると言われており、現在最も高感度な表面疵検出装置
として知られている。しかし、この検出方法では測定範
囲が広く採れない欠点がある。それは、１本の測定ビー
ムを互いに直交する振動波を有する二本の直線偏光ビー
ムに分岐するために、ノマルスキプリズムが用いられて
おり、これに起因している。このプリズムは、入射ビー
ムを二本の互いに直交する直線偏光ビームに分岐し、し
かも二本のビームはノマルスキプリズムを出射した後
に、交差する特性を持っている。

【００１２】そのために測定距離変動の影響を避けるた
めに、ノマルスキプリズムを出射した後の二本のビーム
を対物レンズで平行ビームに変換して測定対象に照射す
るようにしている。微分干渉顕微鏡では、実際にこのよ
うな構成で使用されている。又、測定対象を広い範囲で
測定する場合には、顕微鏡ステージを機械的に走査する
ことによって対処する必要がある。

【００１３】しかし、このような微分干渉計による検出
装置により、測定対象が高速走行する鋼板等の表面疵の
検出に適用しようとすると、従来の点測定方法では対処
できないことは明らかである。ところで、公報では測
定対象を拡大するための方策として、回転ミラーとコリ
メータレンズとを組み合わせた方式が述べられている。
しかし、この方式には以下のような問題点がある。

【００１４】即ち、コリメータレンズ４２による対物レ
ンズで二本の平行ビームに変換した場合、ビームの中心
線は平行になる。しかしながら、対物レンズ１７を通し
て入射されるビーム自身はコリメートされていないため
に、測定対象の広い範囲を走査する場合には、光路長が
長くなり、ビーム径が拡大して分解能が低下するおそれ
がある。従って、従来の検出方法では、ビームが広がる
ことによって検出感度が低下し、微分干渉計が本来持つ
高分解能という特長が失われる欠点がある。

【００１５】本発明は、上述のような課題に鑑みなされ
たものであり、高速で走行する鋼板等の金属板の表面疵
を光学的手段によって検出する金属板表面疵検出方法及
びその装置を提供することを目的としている。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされたものであり、第１の発明は、光源
からの光を偏光素子を用いて二本の互いに直交した振動
方向を有する互いに光軸のずれた平行な直線偏光ビーム
とし、測定対象に前記直線偏光ビームを走査して、前記
測定対象からの干渉光を含む戻り光によって前記測定対
象の表面凹凸を検出することを特徴とする金属板表面疵
検査方法である。

【００１７】又、第２の発明は、レーザ光源からのレー
ザビームをサバール板に垂直に入射させて二本の互いに
直交した振動方向を有する互いに光軸のずれた平行な直
線偏光ビームとし、前記直線偏光ビームを測定対象に走
査して、前記測定対象からの干渉光を含む戻り光によっ
て前記測定対象の表面凹凸を検出することを特徴とする
金属板表面疵検査方法である。

【００１８】又、第３の発明は、レーザ光源からのレー
ザビームをサバール板に垂直に入射させて二本の互いに
直交した振動方向を有する互いに光軸のずれた平行な直
線偏光ビームとし、前記直線偏光ビームを測定対象に走
査し、前記測定対象からの戻り光を分割して、一方の戻
り光から前記対象物の表面凹凸による微分干渉光量を検
出し、他方の戻り光から光量変動量を検出し、前記微分
干渉光量と前記光量変動量から前記測定対象の表面凹凸
を検出することを特徴とする金属板表面疵検査方法であ
る。

【００１９】又、第４の発明は、レーザ光源と、前記レ
ーザ光源からのレーザビームを平行移動させて測定対象
に走査するビーム平行走査手段と、前記ビーム平行走査
手段によって走査されるレーザビームを二本の互いに直
交した振動方向を有する互いに光軸のずれた平行な直線
偏光ビームとするサバール板と、前記直線偏光ビームが
前記測定対象に照射され、その戻り光に含まれる微分干
渉光量から前記対象物の表面凹凸を検出する検出手段
と、を具備することを特徴とする金属板表面疵検査装置
である。

【００２０】又、第５の発明は、レーザ光源と、前記レ
ーザ光源からのレーザビームが平行移動するように走査
するビーム平行走査手段と、前記ビーム平行走査手段か
ら放射されるレーザビームを二本の互いに直交した振動
方向を有する互いに光軸のずれた平行な直線偏光ビーム
とするサバール板と、前記サバール板から測定対象物に
レーザビームが入射され、その反射光である戻り光を分
割する光路分割手段と、前記光路分割手段によって分割
された一方の戻り光に含まれる微分干渉光量によって前
記対象物の表面凹凸を検出する第１検出手段と、前記光
路分割手段によって分割された他方の戻り光から反射光
量を検出する第２検出手段と、を具備することを特徴と
する金属板表面疵検査装置である。又、第６の発明は、
前記第４と第５の発明において、前記サバール板が透明
板に貼付されたサバール板アレイであることを特徴とす
る金属板表面疵検査装置である。

【００２１】

【作用】本発明では、レーザ光源から発振したレーザビ
ームをビーム平行走査光学機器によって平行ビームとし
て高速に走査し、走査ビームは二本の互いに直交した振
動方向を有する互いに光軸のずれた平行な直線偏光ビー
ムとする偏光素子（サバール板）に垂直に入射されてい
る。測定対象に走査されるビームは、この偏光素子によ
って二本の平行ビームに分岐して測定対象に照射され、
測定対象からの戻り光（反射ビーム）は再び同じ光路を
逆進して、偏向素子を通過して、再び１本の光軸をもつ
反射ビームに合成されるようになされている。

【００２２】１本の光軸をもつ戻り光（反射ビーム）は
偏光板を通過した後に、フレネルレンズによって集光さ
れ、光電変換素子等の検出手段によって電気信号に変換
される。偏光素子を通過した後の戻り光には、入射ビー
ムを２つに分岐して測定対象で反射した後に、再び１つ
のビームに構成されるまでの間の２つのビーム間の光路
差Δが干渉光として含まれる。つまり、測定点Ａ，Ｂに
おいて僅かな表面凹凸差Δが存在すると、表面凹凸差Δ
が光量変調振幅Ａω・（４πΔ／λ）（但し、Ａは定
数，λはレーザ波長）として検出され、測定対象のすべ
ての表面の凹凸変化を検出することができるものであ
る。

【００２３】次に、各請求項に作用について説明する
と、請求項１は、光源からの光を偏光素子によって二本
の互いに直交した振動方向を有する互いに光軸のずれた
平行な直線偏光ビームとして、直線偏光ビームを測定対
象表面に走査しており、請求項２では、光源としてレー
ザ光源を用い、このレーザ光源からのレーザビームをサ
バール板に垂直に入射させ、その直線偏光ビームを前記
測定対象に走査して、その出射レーザビームの前記測定
対象からの戻り光によって、振動しながら高速で移動す
る測定対象の表面凹凸（疵や異物）を検出する金属板表
面疵検査方法である。

【００２４】又、請求項３は、レーザ光源からのレーザ
ビームをサバール板に垂直に入射させて二本の互いに直
交した振動方向を有する互いに光軸のずれた平行な直線
偏光ビームとし、その出射レーザビームを前記測定対象
に走査し、前記測定対象からの戻り光を分割して、一方
の戻り光から前記対象物の表面凹凸による微分干渉光量
を検出し、他方の戻り光からその光量変動量を検出し、
光量変動を相殺することによって、振動しながら高速で
移動する測定対象の表面凹凸を明確にすることができる
金属板表面疵検査方法である。

【００２５】又、請求項４は、レーザ光源からのレーザ
ビームをサバール板によって二本の互いに直交した振動
方向を有する互いに光軸のずれた平行な直線偏光ビーム
とし、前記直線偏光ビームを測定対象表面に走査する走
査手段とを備えることによって、前記測定対象表面から
の戻り光から前記対象物の表面凹凸による微分干渉光量
を検出する検出手段で金属板表面疵検査装置であり、更
に、請求項５では、二本の互いに直交した振動方向を有
する互いに光軸のずれた平行な直線偏光ビームを測定対
象に照射して、その出射レーザビームの戻り光をハーフ
ミラーで分割して、一方の戻り光に含まれる微分干渉光
量によって前記対象物の表面凹凸を検出する第１検出手
段と、他方の戻り光の反射光量を検出する第２検出手段
とを具備するものであり、振動しながら高速で移動する
測定対象の微細な表面凹凸を検出することができる。更
に、請求項６ではサバール板を透明板（ガラス板）に多
数貼付してサバール板アレイとして鋼板等の広い面積の
測定対象に対応するものである。

【００２６】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面に基づき
説明する。図１は本発明の金属表面疵検出装置の一実施
例を示す図である。同図に於いて、１はレーザ光源、２
はレーザ平行走査光学機器、３はハーフミラー、４はガ
ラス基板、５はガラス基板４に設けられたサバール板ア
レイ（偏光素子）、７は偏光板、８はフレネルレンズ、
９は光電変換素子である。６は鋼板等の測定対象を示し
いる。尚、サバール板は、入射ビームを二本の互いに直
交する振動方向をもつ互いに光軸のずれた平行な直線偏
光ビームに分岐する光学特性を有するものであり、サバ
ール板アレイ５はガラス基板４に多数のサバール板を貼
付したものである。

【００２７】レーザ光源１から照射されたレーザビーム
ｂ₀は、レーザ走査光学機器２によって平行移動しなが
ら走査するビームｂ₁に変換される。ビームｂ₁はビー
ムｂ _1mからビームｂ_1Mの間を数１０ＫＨｚ以上で走査さ
れる。走査ビームｂ₁は、ハーフミラー３で反射した
後、ガラス基板４に貼り付けられたサバール板アレイ５
に垂直に入射される。ビームｂ₁はサバール板アレイ５
を通過した後に、二本の平行ビームｂ₂，ｂ₃に分岐さ
れる。ビームｂ₂，ｂ₃は測定対象６の位置Ａ，Ｂに照
射された後、反射ビームｒ₁，ｒ₂は同じ光路を逆進す
る。そして、サバール板アレイ５を通過した後、戻り光
は再び１本の光軸をもつ反射ビームｒ₃に合成される。
その一部がハーフミラーを通過して偏光板７に入射され
る。偏光板７の透過方位角が、ビームｒ₁，ｒ₂の偏光
方位角と４５°をなすように設定されている。

【００２８】偏光板７を通過した後の反射光は、フレネ
ルレンズ８によって集光され、光電変換素子９で電気信
号に変換される。偏光板７を通過した後の戻り光には、
入射ビームｂ₁を２つに分岐して測定対象で反射した後
に、反射光ｒ₁，ｒ₂は再び１つのビームｒ₃に構成さ
れるまでの間の２つのビーム間の光路差Δが干渉光とし
て含まれる。つまり、測定点Ａ，Ｂにおいて僅かな凹凸
差Δが存在すると、その光路差Δの情報は、光量変調振
幅Ａω・（４πΔ／λ）（但し、Ａは定数，λはレーザ
波長）の形で検出される。従って、入射ビームｂ₁をｂ
_1mからｂ_1Mまでの間で平行に走査すれば測定対象の位置
Ｐ₁，Ｐ₂の間のすべての表面の凹凸変化を検出するこ
とができる。

【００２９】次に、本発明に係る金属表面疵検出装置の
他の実施例について図３を参照して説明する。同図に於
いて、サバール板４と測定対象６の間に円筒レンズ１０
を設け、反射光量の集光率を高めた実施例である。レー
ザ平行走査光学機器２は回転ミラー２ａと放物面鏡２ｂ
で形成されている。レーザ光源１から発振されるレーザ
ビームは高速で回転する回転ミラー２ａに入射され、そ
の反射光が放物面鏡２ｂを介して平行レーザビームとし
てハーフミラー３ａに入射される。ハーフミラー３ａは
レーザ平行走査光学機器２から放射される平行ビームを
折り曲げて測定対象６側に照射される。ハーフミラー３
ｂはハーフミラー３ａを通過した戻り光を分割する機能
を有する。ハーフミラー３ｂによって分割された一方の
戻り光はフレネルレズ８ａ及び光電センサ９ａを介して
光電変換素子９ａに入力され、干渉光を含まない光量が
検出される。又、他方の戻り光は偏光板７，フレネルレ
ズ８ｂを介して光電変換素子９ｂに入力され、干渉光を
含む光量が検出される。

【００３０】図３の実施例は、光電変換素子９ａ，９ｂ
によって、干渉光を含まない光量信号Ｉｒと干渉光を含
む光量信号Ｉint を検出し、光量信号Ｉｒと光量信号Ｉ
intとの比較が行えるようにしたものである。このよう
に光量信号Ｉｒと光量信号Ｉint を検出することによ
り、例えば、戻り光の反射率のみが変化する場合は、光
量信号Ｉｒ，Ｉint の比を算出することによって、測定
対象６の表面凹凸（疵等）による信号のみを検出するこ
とができる。

【００３１】又、円筒レンズ１０は、ビームの走査方向
には曲率を持たないものであり、即ち、レンズ効果を示
さないものを用いる。円筒レンズ１０と測定対象との距
離は、円筒レンズ１０の焦点距離に一致させることがで
きる。

【００３２】図３は、上記実施例によって鋼板表面の疵
を検出した出力結果を示している。同図に示すように、
高速で移動する金属板の表面凹凸（疵）に応じてピーク
が発生する。このピークのレベルを所定の閾値で判定す
ることによって鋼板等の金属板の品質上問題となる疵を
検出することができる。

【００３３】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、検出感度が高感度である微分干渉技術を広い範囲を
測定対象とする鋼板等の金属板に用いたものであり、サ
バール板等の偏光素子を用いて平行光を測定対象に高速
で走査して、測定対象である鋼板表面の微細な凹凸
（疵）を高精度に検出することにより、広い面積を有す
る鋼板等の凹凸（疵）を検出できる効果を奏するもので
ある。

【００３４】又、本発明によれば、干渉光を発生させる
二本のプローブビームとして平行に移動するレーザビー
ムを用いているために、測定対象との距離が変化しても
測定に悪影響を与えることがない利点があり、即ち、走
行中の鋼板が振動している場合であってもその影響を受
け難い特長を有し、鋼板等の金属板の表面凹凸（疵）の
検出精度が向上する効果を奏するものである。

【００３５】又、本発明によれば、干渉光を発生させる
光路が測定対象に照射する照射光路と同一であるので、
外乱による出力のドリフトの影響を受け難いものであ
り、環境温度変化が大きく、振動が大きい場所における
オンライン計測に適した検出方法及び装置を提供できる
利点がある。更に、サバール板をガラス等の透明部材に
貼り付けものであり、光学系の温度による影響を受け難
い利点であり、検出精度を向上させることができる効果
を奏するものである。

【００３６】又、本発明によれば、サバール板をガラス
板等に多数貼付することによってサバール板アレイとす
ることにより鋼板等の広い面積を有する測定対象に対応
することができる効果を奏するものである。又、円筒レ
ンズを用いることによって、集光率を一層高めることで
きるので検出感度を高めることができる効果を奏するも
のである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る金属表面疵検出方法及び装置の一
実施例を示す図である。

【図２】本発明に係る金属表面疵検出方法及び装置の他
の実施例を示す図である。

【図３】本発明に係る金属表面疵検出装置の検出結果を
示す図である。

【図４】従来の微分干渉光学機器による異物検出装置の
一例を示す図である。

【図５】従来の微分干渉光学機器による異物検出装置の
他の例を示す図である。

【符号の説明】

１レーザ２レーザ平行走査光学機器２ａ回転ミラー２ｂ放物面鏡３ハーフミラー（光路分割手段）３ａ，３ｂハーフミラー（光路分割手段）４ガラス基板５サバール板アレイ（偏光素子）６測定対象物７偏光板８フレネルレンズ８ａ，８ｂフレネルレンズ９光電変換素子９ａ，９ｂ光電変換素子１０円筒レンズ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】金属板表面疵検査方法に於いて、光源からの光を偏光素子を用いて二本の互いに直交した
振動方向を有する互いに光軸のずれた平行な直線偏光ビ
ームとし、測定対象に前記直線偏光ビームを走査して、
前記測定対象からの干渉光を含む戻り光によって前記測
定対象の表面凹凸を検出することを特徴とする金属板表
面疵検査方法。
【請求項２】金属板表面疵検査方法に於いて、レーザ光源からのレーザビームをサバール板に垂直に入
射させて二本の互いに直交した振動方向を有する互いに
光軸のずれた平行な直線偏光ビームとし、前記直線偏光
ビームを測定対象に走査して、前記測定対象からの干渉
光を含む戻り光によって前記測定対象の表面凹凸を検出
することを特徴とする金属板表面疵検査方法。
【請求項３】金属板表面疵検査方法に於いて、レーザ光源からのレーザビームをサバール板に垂直に入
射させて二本の互いに直交した振動方向を有する互いに
光軸のずれた平行な直線偏光ビームとし、前記直線偏光
ビームを測定対象に走査し、前記測定対象からの戻り光
を分割して、一方の戻り光から前記対象物の表面凹凸に
よる微分干渉光量を検出し、他方の戻り光から光量変動
量を検出し、前記微分干渉光量と前記光量変動量から前
記測定対象の表面凹凸を検出することを特徴とする金属
板表面疵検査方法。
【請求項４】金属板表面疵検査装置に於いて、レーザ光源と、前記レーザ光源からのレーザビームを平
行移動させて測定対象に走査するビーム平行走査手段
と、前記ビーム平行走査手段によって走査されるレーザ
ビームを二本の互いに直交した振動方向を有する互いに
光軸のずれた平行な直線偏光ビームとするサバール板
と、前記直線偏光ビームが前記測定対象に照射され、そ
の戻り光に含まれる微分干渉光量から前記対象物の表面
凹凸を検出する検出手段と、を具備することを特徴とす
る金属板表面疵検査装置。
【請求項５】金属板表面疵検査装置に於いて、レーザ光源と、前記レーザ光源からのレーザビームが平
行移動するように走査するビーム平行走査手段と、前記
ビーム平行走査手段から放射されるレーザビームを二本
の互いに直交した振動方向を有する互いに光軸のずれた
平行な直線偏光ビームとするサバール板と、前記サバー
ル板から測定対象物にレーザビームが入射され、その反
射光である戻り光を分割する光路分割手段と、前記光路
分割手段によって分割された一方の戻り光に含まれる微
分干渉光量によって前記対象物の表面凹凸を検出する第
１検出手段と、前記光路分割手段によって分割された他
方の戻り光から反射光量を検出する第２検出手段と、を
具備することを特徴とする金属板表面疵検査装置。
【請求項６】請求項４又は５に記載の金属板表面疵検
査装置に於いて、前記サバール板が透明板に貼付されたサバール板アレイ
であることを特徴とする金属板表面疵検査装置。