KR900019185A - 자동화된 매개 변수 검사 장비용 제어 시스템 및 이의 제어 방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

자동화된 매개 변수 검사 장비용 제어 시스템 및 이의 제어 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 매개 변수 검사 시스템의 블록도, 제3도는 웨이퍼의 배치에 관련된 기준 정보의 계층적 구조를 개략적으로 도시한 도면, 제4도는 검사 순서 계층의 개략도.

Claims (14)

1. 검사 신호가 집적 회로 웨이퍼상의 디바이스에 인가되고, 검사 신호에 대한 디바이스의 응답이 디바이스의 성능으로 결정되게 측정되는 형태의 자동화된 매개 변수 검사 시스템용 제어 시스템에 있어서, 검사될 한 개 이상의 웨이퍼상의 디바이스 구성에 관련된 정보를 격납하는 제1 메모리 수단, 각 디바이스의 특성 파라메터를 결정하기 위해 각각의 디바이스에 적용될 다수의 측정된 정보를 격납하는 제2메모리 수단, 구조가 제1메모리 수단내에 격납되는 웨이퍼상의 특정 디바이스상에서 실행될 특정 검사용 명세서를 격납하는 제3메모리 수단, 및 제2메모리 수단내에 격납된 측정 정보를 선택하기 위해 제3수단내에 격납된 한 셋트의 명세서에 응답하고, 선택된 측정 정보가 제1메모리 수단내에 격납된 정보에 기초를 두고 웨이퍼에 적용되는 위치를 결정하며, 선택된 측정 정보를 웨이퍼상에 결정된 위치에 제공하기 위한 검사 시스템을 제어하는 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
2. 제1항에 있어서, 측정 정보가 디바이스의 일반적 분류에 의해 제2메모리 수단내에 격납되고, 제어 수단이 특정 디바이스에 제공될 격납된 측정 정보를 엔에이블시키기 위한 제1메모리 수단으로부터 특정 디바이스에 관한 정보를 검색하는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
3. 제2항에 있어서, 측정 정보가 검사될 디바이스에 제공될 신호치를 결정하고, 제3메모리 수단내에 격납되는 한 셋트의 입력 변수를 포함하는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
4. 제3항에 있어서, 측정 정보들중 한 정보에 대해 제3메모리 수단내에 격납된 최소한 한 변수가 측정 정보의 다른 정보로 부터 얻어지는 결과에 의해 정해지는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
5. 제1항에 있어서, 제어 수단이 각각 제공된 측정 정보에 대한 결과를 수신하고, 각각 수신된 결과에 유일한 식별자를 지정하는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
6. 제1항에 있어서, 선택된 측정 정보가 제공되는 위치가 웨이퍼에 관련하여 선정된 지점에 원점을 갖고 있는 한 셋트의 좌표에 의해 명세되는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
7. 제6항에 있어서, 디바이스가 웨이퍼상의 다이내에 배치되고, 한 셋트의 좌표가 선정된 지점에 관련된 다이상의 기준점의 위치를 나타내는 제1쌍의 좌표 및 기준점에 관련된 검사 지점의 위치를 나타내는 제2쌍의 좌표를 포함하는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
8. 제1항에 있어서, 제어 수단이 제3메모리 수단내에 격납된 명세서에 의해 결정된 순서중 다른 측정 정보를 제공하고, 제공된 측정 정보가 검사된 디바이스의 상태지시를 제어 수단에 제공하며, 제어 수단이 순서를 변경시키기 위한 지시에 응답하는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
9. 제8항에 있어서, 제어 수단이 지시에 응답하는 순서로 한 개 이상의 측정 정보를 스킵하는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.
10. 집적 회로 웨이퍼상의 디바이스 성능을 결정하기 위한 매개 변수 검사 시스템을 제어하기 위한 방법에 있어서, 웨이퍼상에 디바이스의 구성을 정하는 데이타를 메모리내의 제1위치에 격납시키는 스텝, 디바이스상의 특정 검사를 실행하기 위해 검사 시스템을 각각 제어하는 한 셋트의 서브루틴을 메모리내의 제2위치에 격납시키는 스텝, 특정 디바이스상에서 실행된 특정 검사를 식별하는 검사 명세서를 메모리내의 제3위치에 격납시키는 스텝, 메모리내에 격납된 검사 명세서를 해독하여 검사 명세서에 관련된 특정 디바이스에 적합한 데이터를 검색하는 스텝, 검사 명세서에 의해 식별된 서브루틴을 호출하여, 검색된 데이터를 서브루틴에 공급하는 스텝, 및 검색된 데이터 및 검사 명세서에 따라서 검사를 실행하고, 웨이퍼상의 디바이스 특성을 나타내는 결과를 발생시키기 위해 서브루틴을 통해 검사 시스템을 제어하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
11. 제11항에 있어서, 검사 명세서가, 서브루틴이 호출되고, 각 서브루틴이 검사 결과 지시자를 발생시키는 순서를 식별하고, 검사 결과 지시자에 응답하여 순서를 선택적으로 변경하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
12. 제10항에 있어서, 서브루틴에 공급되는 검색된 데이터가 검사되는 바이스에 인가될 신호치를 식별하는 입력 변수를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
13. 제12항에 있어서, 최소한 한 변수가 서브루틴들중 한 서브루틴에 의해 발생된 검사 결과에 의해 정해지는 것을 특징으로 하는 방법.
14. 제10항에 있어서, 발생되는 각 검사 결과에 유일한 식별자를 지정하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.