KR900008275A - 습도센서 및 그 제조 방법 - Google Patents

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히로시 미야자끼
고오지 무라까미
유끼노부 다까하시
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아오이 죠이찌
가부시끼가이샤 도시바
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Abstract

내용 없음.

Description

습도 센서 및 그 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 다른 제1실시예의 종단면도이며,
제5a도 내지 5g도는 제4도에 따른 습도 센서를 제조하는 과정을 설명한 것이며,
제6도는 본 발명에 따른 습도 센서의 제2 실시예의 종단면도이다.

Claims (11)

  1. 기판(11)의 하부전극(12) 상단부에 형성된 센싱막(13)과, 연속적인 평탄면을 가진 연속평탄막 적층을 구성하는 센싱막, 또 다른 센싱막 그리고 필연막을 연속적으로 연결하기 위하여 기판 상부에 형성된 절연막(17)과 센싱막의 최소한의 상단부에 형성된 상부전극을 포함 하는 것을 특징으로 하는 습도센서.
  2. 제1항에 있어서, 하부 전극이 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 습도센서.
  3. 제1항에 있어서, 하부 전극이 절연기판에 형성된 금속박막인 것을 특징으로 하는 습도센서.
  4. 제1항에 있어서, 제1 접속판 및 제2 접속판(15) 및 (18) 이 하부전극 및 상부전극의 한 단부에 각각 형성된 것을 특징으로 하는 습도센서.
  5. 제1항에 있어서, 제1 접속판(l5)는 하부전극 상단부에 형성되어 있고. 제2 접속판(18)은 절연막 및 센싱막의 상단부에만 형성된 상부전극의 일단부에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 습도센서.
  6. 제2항에 있어서. 금속박만(23)이 기판의 뒷면에 형성된 것을 특징으로 하는 습도센서.
  7. 표면부에 하부전극을 갖는 기판의 상단부에 절연막을 형성하는 단계와, 기판 상단부의 절연막과 일정한 틈을 두고 분리되어 하부전극 상부에 센싱막을 형성하는 단계와. 이전에 형성된 센싱막과 절연막 사이의 틈이 또다른 센싱막으로 채위지는 동안 이전에 형성된 센싱막과 절연막 상단부에 센싱막을 도포하는 단계와, 적어도 절연막이 노출될때까지 센싱막을 균일한 표면에칭 효과를 주어, 연속적인 평탄면을 지닌 센싱막 및 절연막으로 구성되는 연속 평탄막 적층을 얻는 단계와, 센싱막의 최소한의 상단부에 상부전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 습도센서를 제조하는 방법.
  8. 제7항에 있어서. 제1 접속판 및 제2 접속판을 각각 하부전극 및 상부전극의 상단부에 형성하는 것을 특징으로 하는 습도센서를 제조하는 방법.
  9. 제7항에 있어서, 제1 접속판이 하부전극 상단부에 형성되고, 제2 접속판이 절연막을 및 단지 센싱막 상단부에만 형성된 상부전극의 일단부에 형성하는 것을 특징으로 하는 습도센서를 제조하는 방법.
  10. 제7항에 있어서, 반응성 이온 에칭법을 사용하여 균일한 표면 에칭을 수행하는 것을 특징으로 하는 습도센서를 제조하는 방법.
  11. 제7항에 있어서. 기판의 뒷면에 금속 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 습도센서를 제조하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR8917593A 1988-11-30 1989-11-30 Production of sensitive element KR920007688B1 (en)

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