KR890008580Y1 - 흡착고정식 웨이퍼 검사기에 있어서 진공홀 커버판 - Google Patents

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Abstract

내용 없음.

Description

흡착고정식 웨이퍼 검사기에 있어서 진공홀 커버판
제1도는 본 고안의 분해 사시도.
제2도는 본 고안에 사용상태 단면도.
제3도는 본 고안의 진공홀커버판이 설치되는 웨이퍼척의 평면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
6 : 제1부재 7 : 제2부재
8 : 제3부재
본 고안은 현미경을 사용하는 흡착고정식 웨치퍼 검사기에 있어서 진공홀 커버판에 관한 것으로써, 특히 하나의 검사장치로 크기가 서로 다른 웨이퍼를 겸용하여 사용가능케하는 웨이퍼 검사기의 진공홀커버에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼를 검사하는 방식에 있어서, 특히 현미경을 사용하는 경우에는 웨이터를 적당한 수단으로 클램핑한 후, 현미경의 스테이지 홀더에 올려 놓고 검사를 실시한다.
이러한 검사방식은 스테이지홀더의 수평도 미흡과 반도체 제조공정에서 발생되는 웨이퍼의 휨 현상등으로 인하여 웨이퍼전면에 걸쳐 촛점이 일치하지 않게 된다.
따라서, 수만개의 칩으로 이루어지는 웨이퍼를 검사함에 있어서는 수만회의 촛점 조정을 저하되고, 작업시간의 지연은 물론 작업자의 시력을 저하시키는 요인이 되고 있다.
이러한 제반문제점을 회전수단을 갖는 진공흡착식 웨이퍼척을 사용하므로서 해소가능케 된다.
진공흡착시 웨이퍼척은 제1도 내지 제3도에 도시된 바와 같이, 다수개의 진공홀(1)이 뚫어짐과 아울러 핀셋트홈(H1)(H2)(H3)가 형성되는 웨이퍼척(2)의 하부내측에 진공커버(3)이 설치되고, 이 진공커버(3)의 중심부에 설치된 베어링(4)가 진공파이프(5)의 수직연장부(5a)를 축으로 하여 회동가능케 구성된다.
따라서, 웨이퍼척(2)의 상면에 웨이퍼를 올려놓고, 진공펌프(도시생략)를 통하여 진공파이프(5)내에 진공압을 발생시키게 되면 진공홀(1)을 통하여 웨이퍼를 흡착하게 되는 것이다.
그러나, 웨이퍼는 3인치, 4인치, 5인치, 6인치등 그 크기가 다양하여 상기한 웨이퍼 척상에 이들을 각각 올려 놓았을 때에는 후술하는 문제점으로 인하여 웨이퍼의 크기에 따라 웨이퍼척을 선택사용하여야 하는 문제점이 발생된다.
즉, 제3도에 도시된 바와 같이, 웨이퍼척(2)상에 3인치의 웨이퍼를 올려 놓게 되면, 제1구획선(L1)내측에 웨이퍼가 놓이게 되어, 그 국의 진공홀로 공기가 흡입되므로써 진공압을 저하시켜 웨이퍼의 흡착이 완전하게 되지 않게 되는 것이다.
또한, 4인치의 웨치퍼를 올려 놓게 되면 제2구획선(L2)외측의 진공홀로 공기가 흡입되고, 5인치의 웨이퍼인 경우에는 제3구획선(L3)외측의 진공홀로 공기가 흡입되어 전술한 바와 같은 문제점이 발생된다.
본 고안은 이러한 제반문제점을 감안하여 안출한 것으로써, 1개의 웨이퍼척으로 다른 크기의 웨이퍼를 사용 가능케하는 진공홀 커버를 제공함에 그 목적이 있다. 이하 본 고안의 구성을 첨부된 도면에 의하여 설명하면 다음과 같다.
제3도에 도시한 바와 같이, 핀셋트홈(H1)과(H3)을 중심으로 그 일측에 형성되는 웨이퍼척(2)의 "A"영역을 커버하는 제1부재(6)과 핀셋트홈(H1)과(H2)사이에 형성되는 웨이퍼척(2)의 "B"영역을 커버하는 제2부재(7), 그리고 핀셋트홈(H1)과(H2)사이에 형성되는 웨이퍼척(2)의 "C"영역을 커버하는 제3부재(8)로 진공홀커버판(9)가 형성된다.
전기한 제1, 제2, 제3부재(6)(7)(8)은 저면에 돌기(10)이 돌출형성되어, 웨이퍼척(2)에 뚫어진 진공홀(1)에 삽입설치된다.
또한 이 부재들의 폭(B)는, 제1구획선(L1)에서 제3구획선(L3)의 거리와 동일한 크기를 갖는 진공홀커버(T1) 또는 제2구획선(L2)에서 제3구획선(L3)의 거리와 동일 크기를 갖는 진공홀커버(T2) 그리고 제3구획선(L3)에서 웨이퍼척(2)의 외주에 이르는 거리와 동일한 크기를 갖는 진공홀커버(T3)들로 구성되어 진다.
이와같이 구성되는 본 고안의 진공홀 커버는 제2도와 제3도에 도시한 바와 같이, 예컨대, 3인치의 웨이퍼를 웨이퍼척(2)상에 올려 놓을때에는 진공홀커버(T1)을 장착시키게 되면, 제1구획선(L1)외측의 진공홀들이 모두 막히게 되어 웨이퍼의 밀착을 좋게 한다.
또한, 4인치의 웨이퍼를 웨이퍼척(2)상에 올려놓을때에는 진공홀커버(T2)를 장착시켜 제2구획선(L2)외측의 모든 진공홀을 막으면 된다.
그리고 5인치의 웨이퍼인 경우에는 진공홀커버(T3)를 장착시키면 제3구획선(L3)외측의 모든 진공홀을 막아 전기한 에와 동일한 효과를 얻을수 있게 되고, 6인치의 웨이퍼인 경우예는 이들 진공홀커버(H1)(H2)(H3)를 장착시키지 않을 상태에서 웨이퍼를 올려 놓으면 된다.
이상과 같이 본 고안은 웨이퍼의 규격에 따라 진공홀 커버만 교체사용하에 되면 웨이퍼검사기 1대로 모든 웨이퍼에 검사가 가능케 되는 것이다.

Claims (1)

  1. 흡착고정식 웨이퍼 검사기에 있어서, 이 검사기 상면에 뚫어진 진공홀을 폐쇄하기위하여 "A"영역을 커버하는 제1부재(b), "B"영역을 커버하는 제2부재(7), "C"영역을 커버하는 제3부재(8)로 이루어짐과 아울러 동일한 곡률로 형성됨을 특징으로하는 흡착고정식 웨이퍼에 있어서 진공홀 커버판.
KR2019870012247U 1987-07-27 1987-07-27 흡착고정식 웨이퍼 검사기에 있어서 진공홀 커버판 KR890008580Y1 (ko)

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