KR890004389A - 회전 이동 장치 - Google Patents

회전 이동 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR890004389A
KR890004389A KR1019880009538A KR880009538A KR890004389A KR 890004389 A KR890004389 A KR 890004389A KR 1019880009538 A KR1019880009538 A KR 1019880009538A KR 880009538 A KR880009538 A KR 880009538A KR 890004389 A KR890004389 A KR 890004389A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
rotational movement
mechanism according
movement mechanism
link
wafer
Prior art date
Application number
KR1019880009538A
Other languages
English (en)
Other versions
KR960010067B1 (ko
Inventor
미치마사 테라다
히사시 나카지마
Original Assignee
고다까 토시오
도오교오 에레구토론 가부시끼 가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP62199538A external-priority patent/JP2514820B2/ja
Application filed by 고다까 토시오, 도오교오 에레구토론 가부시끼 가이샤 filed Critical 고다까 토시오
Publication of KR890004389A publication Critical patent/KR890004389A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR960010067B1 publication Critical patent/KR960010067B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/13—Handlers utilizing parallel links

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

요약 없음

Description

회전 이동 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는, 웨이퍼 프로우빙 머신(Wafer Probing Machine)(웨이퍼 프로우버) 및 시험헤드를 나타내는 정면도. 제3도는, 웨이퍼 시험시스템을 설명하기 위한 개념도. 제4도는, 본 발명의 제1의 실시예에 관한 회전 기구를 나타내는 것으로서, 웨이퍼 프로우버에 시험헤드를 착설한 부분을 배면쪽에서 본 배면도.

Claims (16)

  1. 실질적으로 수직면내에 형성되고, 피반송물을 지지하는 4마디 크랭크 체인과, 이 4마디 크랭크 체인의 대하는 변에 맞닿은 제1의 가동 링크에 연결되고, 제1의 가동링크를 수직방향으로 슬라이드 시키는 슬라이드 수단과, 이 슬라디드 수단을 수평방향으로, 지지안내하는 수단과를 구비하고, 상기 4마디 크랭크 체인의 고정 링크에 인접하는 변에 맞닿을 제2의 가동링크에 피 반송물이 착설되어 있고, 상기 제1의 가동링크가 수직방향으로 슬라이드 하였을 경우에, 제2의 가동링크와 함께 피반송물이 수직면내에 회전 이동하도록 구성된 회전 이동기구.
  2. 제1항에 있어서, 피반송물이 웨이퍼 시험용의 고주파 시험헤드인 회전이동기구.
  3. 제1항에 있어서, 제2의 가동링크가 4마디 크랭크 체인의 윗쪽에 형성되어 있는 회전이동기구.
  4. 제1항에 있어서, 스라이드 수단이 실린더 기구인 회전이동기구.
  5. 제4항에 있어서, 실린더 기구가 복동식 실린더를 가지고 있는 회전이동기구.
  6. 제1항에 있어서, 실린더 기구가 4마디 크랭크 체인을 통하여 실린더 기구에 도입하는 부하에 따라서 실린더 기구의 작동유체의 압력을 정적으로 제어하는 수단을 갖는 회전이동기구.
  7. 제4항에 있어서, 압력제어 수단이, 전자밸브, 압력센서, 레귤레이터 및 릴리프 밸브를 갖는 회전이동기구.
  8. 제4항에 있어서, 실린더 기구의 작동 유체가 공기인 회전이동기구.
  9. 제4항에 있어서, 실린더 기구의 작동 유체가 기름인 회전이동기구.
  10. 제4항에 있어서, 실린더 기구를 수평 방향으로 지지 안내하는 수단이, 실린더의 피스톤 로드에 착설된 로울러와, 로울러가 주행하기 위한 가이드 레일과를 가지고 았는 회전이동기구.
  11. 제5항에 있어서, 복동식 실린더 기구을 수평방향으로 지지 안내하는 수단이, 실린더에 착설된 리니어 가이드와, 리니어 가이드를 슬라이드 시키기 위한 가이드 레일과를 가지고 있는 회전이동기구.
  12. 제1항에 있어서, 4마디 크랭크체인의 고정링크에 타이밍벨트를 착설하고, 고정링크와를 연결하는 피버트착설축의 래치트휘일에 타이밍 벨트가 맞물려져 있는 회전이동기구.
  13. 제12항에 있어서, 피버트착설축의 래치트 휘일에 록크 기구가 형성되어 있는 회전이동기구.
  14. 제1항에 있어서, 제1의 가동 링크가 고정링크보다 높은 위치에 형성되어 있는 회전이동기구.
  15. 제1항에 있어서, 제1의 가동 링크가 고정링크보다 낮은 위치에 형성되어 있는 회전이동기구.
  16. 웨이퍼 카세트 레이블과; 메인 처크위에 웨이퍼를 형성하고 또한 메인 처크에 웨이퍼를 반송하는 카세트의 외부로 웨이퍼를 수용하는 수단과; 메인 처크위에 웨이퍼의 위치를 자동적으로 조정하는 수단과; 메인 처크위에 착설된 웨이퍼 내의 칩패드와 맞닿도록 하는 프로우브를 구성하는 프로우브 카아드와; 프로우브와 전기 테스터와의 사이에서 전송하는 허락신호를 위한 프로우브를 구성하는 프로우브 전기적으로 접속된 시험헤드와; 시험헤드를 회전 이동하는 상기 기구와를 구비하고; 피 반송물을 지지하기 위하여 실질적으로 수직면내에 배열된 4마디 크랭크 체인과; 4마디 크랭크 체인의 고정링크에 대하는 면에 맞닿는 제1의 이동링크에 연결된 슬라이드 수단과, 수직방향으로 제1의 이동링크를 슬라이드안내하는 상기 슬라이드 수단과; 수평방향으로 슬라이드 수단을 지지하여 안내하는 수단과, 제1의 이동링크가 수직적으로 슬라이드 될때에 피반송물이 수직면내에서 제2의 이동링크와 함께 회전 이동하도록 상기 4마디 크랭크 체인의 고정링크의 인접면에 대응하여 제2의 이동 링크가 착설되어 있는 피반송물로 이루어지는 웨이퍼 프로우빙 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880009538A 1987-08-07 1988-07-28 회전 이동 장치 KR960010067B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62199538A JP2514820B2 (ja) 1986-11-25 1987-08-07 ウエハプロ−バ
JP62-199538 1987-08-07
JP199538 1987-08-07

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR890004389A true KR890004389A (ko) 1989-04-21
KR960010067B1 KR960010067B1 (ko) 1996-07-25

Family

ID=16409500

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019880009538A KR960010067B1 (ko) 1987-08-07 1988-07-28 회전 이동 장치

Country Status (2)

Country Link
US (1) US4875005A (ko)
KR (1) KR960010067B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101095516B1 (ko) * 2005-04-28 2011-12-19 에스케이씨 주식회사 고해상도 구현이 가능한 감열공판인쇄원지

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0152260B1 (ko) * 1988-07-08 1998-12-15 고다까 토시오 프로우브 장치
JPH03209737A (ja) * 1990-01-11 1991-09-12 Tokyo Electron Ltd プローブ装置
US20020053734A1 (en) 1993-11-16 2002-05-09 Formfactor, Inc. Probe card assembly and kit, and methods of making same
JP2967798B2 (ja) * 1993-12-16 1999-10-25 株式会社東京精密 ウエハプローバ
DE19517330C2 (de) * 1995-05-11 2002-06-13 Helmuth Heigl Handhabungsvorrichtung
JP3266509B2 (ja) * 1996-05-09 2002-03-18 東京エレクトロン株式会社 重量物旋回装置及び検査装置
US6009187A (en) * 1996-12-02 1999-12-28 Motorola, Inc. Wafer prober having an emissive display inspection system and method of use
US6205870B1 (en) 1997-10-10 2001-03-27 Applied Komatsu Technology, Inc. Automated substrate processing systems and methods
US5948986A (en) * 1997-12-26 1999-09-07 Applied Materials, Inc. Monitoring of wafer presence and position in semiconductor processing operations
US7924037B2 (en) * 2007-12-07 2011-04-12 Ricoh Company, Ltd. Inspection apparatus comprising means for removing flux
EP2574583A1 (en) * 2011-09-30 2013-04-03 Inventio AG Reducing over-traction in an elevator
CN104377101B (zh) 2013-08-14 2017-08-08 Fei 公司 用于带电粒子束系统的电路探头
CN108194075B (zh) * 2017-12-14 2023-09-22 西安宇星石油机械新技术开发有限公司 一种带压作业接箍传感装置
CN108119604A (zh) * 2017-12-27 2018-06-05 徐州重型机械有限公司 一种用于工程机械的移动式配重机构
CN108555797A (zh) * 2018-04-24 2018-09-21 安徽江淮汽车集团股份有限公司 一种多功能夹持装置
US20210172978A1 (en) * 2019-12-09 2021-06-10 Formfactor Beaverton, Inc. Customizable probe cards, probe systems including the same, and related methods
CN111730555B (zh) * 2020-06-24 2021-06-08 伯朗特机器人股份有限公司 一种快速固定装置以及变位机
CN112109017B (zh) * 2020-09-27 2021-11-23 台州市路桥凯通管业有限公司 一种工件夹持方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4411587A (en) * 1980-07-30 1983-10-25 Nagoya Kiko Kabushiki Kaisha Loading apparatus
JPS592182A (ja) * 1982-06-29 1984-01-07 Nec Corp リレ−シヨン生成装置
JPH0327757Y2 (ko) * 1984-10-17 1991-06-14
DE3524348A1 (de) * 1985-07-08 1987-01-29 Heigl Helmuth Vorrichtung zum positionieren von testkoepfen

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101095516B1 (ko) * 2005-04-28 2011-12-19 에스케이씨 주식회사 고해상도 구현이 가능한 감열공판인쇄원지

Also Published As

Publication number Publication date
KR960010067B1 (ko) 1996-07-25
US4875005A (en) 1989-10-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR890004389A (ko) 회전 이동 장치
BR9807000A (pt) Transportador de entrada para sistemas de teste de pneu.
US20010028254A1 (en) Test device for flat electronic assemblies
US4855678A (en) Apparatus for guiding the sensor holder of a surface testing apparatus
CN100483064C (zh) 全自动轴承防尘槽口径检测机
KR890008960A (ko) 전기적 프로우빙 시험 장치
KR860002863A (ko) 진공 처리 장치
US3311819A (en) Automatic billet scanning apparatus with edge sensing means for reversing scan
US2018399A (en) Gauging apparatus
US4619133A (en) System for checking inspection machines
US3746972A (en) Billet scanning mechanism using a probe carrying drum rotatable about the billet and pivotably mounted relative thereto
US3402603A (en) Detection system
US3793983A (en) Apparatus for marking flat glass
US3613444A (en) Testing device for film
US3898556A (en) Magnetographic test head with an endless magnetic storage tape with means to tension the tape on both sides of the pressure roller
KR960007395A (ko) 소형 샤프트 방향 선별장치
US3389787A (en) Unmounted component transport
KR920022442A (ko) 반도체 장치 측정용 핸들러
KR0122279Y1 (ko) 반도체 소자검사기의 테스트부 콘택장치
KR970058496A (ko) 인쇄회로기판 이송장치
KR200168789Y1 (ko) 핸들러 시스템용 튜브 언로더의 반도체 디바이스 이스케이핑 및 선별 장치
SU1686336A1 (ru) Стенд дл испытани пружин
US4519243A (en) Apparatus for the nondestructive testing of elongated test specimens by magnetic techniques
USRE27048E (en) Automatic billet scanning apparatus
US1591041A (en) Conveyer

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee