KR890004043B1 - 진공증착장치 - Google Patents

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KR890004043B1
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간지 와께
요시오 시모자또
겐이찌 야나기
미쯔오 가또오
데쯔요시 와다
노리오 쯔끼지
다꾸야 아이꼬오
도시하루 기쯔다까
야스지 나까니시
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미쯔비시 쥬우고오교오 가부시기가이샤
오다 데이시로오
닛신 세이꼬오 가부시기가이샤
아베 고즈루
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Abstract

내용 없음.

Description

진공증착장치
제 1 도는 본 발명의 양호한 실시예에 의한 진공 증착기의 구조를 종단면도로 도시하는 도해도.
제 2(a)도는 핀치로울형 진공 시일기구를 단면도로 도시하는 도해측면도.
제 2(b)도는 제 2(a)도에서 A-A선을 취한 도해단면도.
제 3(a)도는 굴레로울형 진공 시일기구를 단면도로 도시하는 도해측면도.
제 3(b)도는 제 3(a)도의 B-B를 취한 도해단면도.
제 4 도는 본 발명에 따르는 진공 시일기구의 구조를 부분 절단한 분해 도해도.
제 5 도는 제 4 도의 선 C-C를 취한 분해단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 철강대 8 : 재증발 아연
6, 29, 30 : 진공 시일기구 52, 55 : 히이터
58 : 배기가스덕트 61 : 측판
본 발명은 진공 증착기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 진공하에서 띠 혹은 환상의 철강제품에 아연과 같은 금속을 연속증착하기 위한 개량된 진공증착기에 관한 것이다.
아연과 같은 금속으로 증착되는 철강밴드(띠) 또는 철강대를 생산할때, 철강제품은 760토르의 대기압-상태에서 진공블록 즉 시일기구를 거쳐서 진공을 형성한 증착실로 유도된다. 예로써, 아연의 증착작업에서 증착실 대기내에 마련된 진공의 크기는 약 1 내지 0.0001토르 정도이다. 진공증착 공정이 완료된 후에 강철대는 진공 시일기구를 거쳐서 760토르의 대기압으로 복귀한다. 그러나, 강철대에 증착된 아연과 같은 금속은 증착실 및 저압력의 시일기구를 통과중에 재증발하여 증착실 및 시일기구에 부착되며, 장시간 증착할 경우, 재증발한 금속, 예로써 아연은 증착실 및 시일기구등에 다량으로 퇴적되어, 그 결과 증착실 및 진공 시일기구로 부터 상기와 같이 부착된 아연을 제거하기 위하여 설비전체를 휴지시키는 등의 설비가동을 저하시키는 결점을 갖는다. 또한, 재증발한 아연은 그대로 소용없게 되어 손실 또한 크다.
상기와 같은 상황을 고려하여, 진공 증착작업에서 아연과 같은 금속의 재증발을 방지하여 아연의 증착을 증진시킬 뿐만 아니라 진공증착 설비 효율을 증대시켜서 그로인해 금속도금 비용의 감소를 도모하는것이 오랜동안 요구되어 왔다.
종래의 진공 증착장치에서는, 제 2 도 및 제 3 도에 되시된 것과 같은 진공블록 즉 시일기구를 사용하는 것이 통상적이었다. 제 2(a)도는 통상구조의 핀치로울형의 진공 시일기구를 단면도로 도시하는 도해단면도이며, 제 2(b)도는 협지관계로 철강대(05)를 핀치하면서 케이싱(06)에 회전가능하게 배치된 한쌍의 상부 및 하부로울(01)을 도시하는 제 2(a)도의 선 A-A를 취한 단면도이다. 이들 한쌍의 로울(01) 양단부는 기체가 통과하는 중에 케이싱(06)내에 상당등급의 진공이 형성되도록 가능한한 작은 간극(02)를 구비하는 케이싱(06)의 측벽표면을 향하여 배치된다. 또한, 케이싱(06)이 배기덕트를 통하여 도시되지 않은 진공펌프와 연결되도록 배치된다.
이와같은 일반적인 배열에서, 한쌍의 로울(01) 및 케이싱(06)의 측벽이 작업중에 발생된 열로 팽창될때, 간극(02)는 보다 커져서 증가된 공기배기에 대한 진공펌프의 작업용량을 갖도록 할 필요가 있다. 그러므로, 이와같은 상황에 부합하기 위하여, 로울(01) 및 케이싱(06)이 물냉각 시스템으로 열에 의하여 팽창되는 것을 방지하여 간극(02)이 일정하게 유지되도록 한다.
그러나, 철강대(05)가 아연과 같은 어떤 금속으로 진공 증착되는 경우에 이들 아연이 일단 철강대(05)에 부착된 후에 증가아연의 형태로 재증발되는 경우도 있으며, 이들 증기의 일부는 비교적 낮은 온도로 유지되는 한쌍의 로울(01)표면상에 부착되기도하며 상기 로울(01)과 시일바아(03)사이에 마련된 작은 간극내에도 퇴적되어 로울(01)의 정상회전 작동에 방해물이 되기도 한다. 또한, 이와같은 축적된 아연은 간극으로 부터 이탈되어 통과하는 철강대(05)의 표면에 떨어져서 금속 덩어리가 철강대 표면에 퇴적되어 진공 시일기구의 로울펴면에 부착되기도 하며, 그로인해 작동중에 그곳을 통과하는 철강대 표면상에 손상을 입힐 가능성이 매우 크다.
제3(a)도는 굴레형의 진공 시일기구를 부분절단 도시하는 도해측면도이며, 제 3(a)도는 제3(ㅠ)도의 선 B-B를 취한 종단면도인 동시에 철강대(05)가 한쌍의 상부 및 하부로울(01)을 가로질러 감싸도는 것을 도시하며 로울(01)상에서 철강대의 이동경로와 보족관계로 배치되는 호형의 커버(04)가 도시된다. 또한, 이와같은 밀봉기구에도 상술한 바와 유사한 문제점이 발견된다.
본 발명은 종래의 진공증착 장치에서 적절한 대응책에도 불구하고 상기와 같은 수행상의 단점에 대하여 적절하고 합당한 해결책을 마련하여 일반적인 진공 증착장치와의 사용에서 널리 채택될 수 있도록 하는데에 있다.
본 발명의 일차적인 목적은 철강제품상에 아연과 같은 금속이 일단 퇴적한 후에 재증발할 가능성을 제어하여 증착공정에서 부착될 이들 금속의 효율을 증진시키도록 하는 증기증착 공정의 개선점을 마련하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 바람직하지 않은 이들 금속의 퇴적에 의하여 증착설비가 빈번히 휴지될 가능성을 배제함으로써 진공증착 공정의 작업효율을 증진시킬 수 있는 진공증착 설비를 제공하는데에 있다.
또한, 본 발명은 진공증착 공정에서 가능한 작은 용량의 진공펌프를 채택하여 효과적인 진공유지를 할수 있는 진공증착 설비를 제공하는데에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 가동로울과, 그 로울과 커버부재등 각 구성간의 틈새에 증착되는 재증발한 금속증기의 부착을 방지하는 진공증착 장치를 개선하고 로울의 작업효율을 높여 완제품의 질을 높이는데 그 목적이 있다.
본 발명의 상기 제반 목적은 본 발명의 일실시예에 따르는 적어도 하나의 진공시일 기구를 포함하여 띠 혹은 환상의 금속 제품에 연속 진공 증착할 수 있는 진공증착 설비를 제공함으로써 획득될 수 있으며, 철강대가 진공 증착되는 증착위치로 부터 일단 증착된 금속이 재증발하는 것을 효과적으로 방지할 정도로 감압 즉, 진공상태로 유지된 증착실까지 연장되고 있고, 철강대의 온도보다 상당히 높은온도까지 가열된 덕트로 철강대를 둘러싸도록 설치된다.
또한, 본 발명은 본 발명의 일실시예에 따라서 적어도 하나의 진공 시일기구, 케이싱내에 회전자재로 수용되는 로울, 상기 로울과의 사이에서 상기 로울과 보족결합 관계로 설치되는 커버부재로 이루어지는 장치에 있어서, 상기 로울의 양단부의 그축을 따라 종방향으로 미끄럼운동 가능하게 설치되는 측판을 구비하는 동시에 상기 로울 및 보족의 커버부재를 가열하기 위하여 이들에 인접하여 설치되는 히이터를 설치하였다.
본 발명의 원리, 특성 및 세부사항은 본 발명의 양호한 실시예에 의하여 기술된 하기 상세한 설명으로부터 보다 명백하게 될 것이며, 도면에서 동일부품은 동일 참조번호로 도시된다.
이제 본 발명은 첨부도면과 관련하여 취해진 양호한 실시예에서 예시에 의하여 양호하게 기술될 것이다.
제 1 도에는 본 발명의 양호한 실시예에 의한 진공증착 설비의 일반구조가 도시된다. 여기에서, 철강대(1)가 진공증착 공정의 입구부에 연속배치된 진공블록 또는 시일기구(31, 33, 34)를 통하여 점차적으로 낮은 압력으로 유지되는 진공실(2) 내로 유입되며, 상기 철강대(1)가 로울(3)에 의하여 유도되면서 증발실(4)로부터 증발되는 아연과 같은 금속증기로 도금된후에 일련의 진공시일 기구(6, 29, 30)을 통하여 점차적으로 고압으로 되면서 복귀된다.
철강대(1) 표면상에 부착된 아연은 비교적 낮은압력 또는 진공상태에서 재증발될 가능성이 있다는 것이 공지되어 있다. 이와같은 것은 일반적인 증착공정에서 금속의 재증발이라 불리우는 현상이다. 이와같은 재증발의 경향은 압력이 높아짐에 따라서 감소되며, 실제로 10 내지 20토르 진공범위에서는 문제점으로 대두되었다. 일반적으로 낮은 압력으로 유지되는 증착 설비에서 상당량의 재증발이 관찰되었다.
철강대(1)에 부착된 아연이 갖는 온도의 포화 증기압에 도달할때까지 고체의 아연이 증발을 계속한다는 것이 당기술에 숙련된 사람들에게 공지되어 있다. 그러므로, 이와관련하여 철강대(1)가 아연으로 도금되는 이와같은 기구가 진공실(2)의 출구측에서 일련의 진공 시일기구(6, 29, 30) 및 정상온도로 유지된 상기 각 시일기구에 연결되는 중간덕트(7)를 통과할때, 아연(8)의 재증발 증기가 상기 장치에 축적되게 된다. 보다 상세하게는, 이와같은 재증발이 철강대(1)상에 도금된 아연 표면으로부터 상기 장치상으로 재증발하여 결국 그 상부에 퇴적되게된다. 이리하여, 상기 퇴적된 고체아연은 주기적으로 제거 되어야 하며, 따라서, 진공증착 설비의 생산성에 지장을 초래한다.
금속증기가 채널(9)를 따라서 로울(3)을 향하여 유입되는 공정에서 철강대(1)상에 아연증기(5)가 부착되며, 아연부착 단계가 완료된 후에 철강대(1)가 로울(3)의 외주로부터 외부로 이송된다. 히이터에 의하여 가열되며, 로울(3)의 출구측에서 일군의 호형 커버부재(10, 11)로부터 접선방향으로 연장하며, 진공시일기구(6)에서 일련의 시일바아(13)에 연결되는 내부덕트(12)가 구비된다. 아연으로 도금된 철강대(1)은 가열된 내부덕트(12)에 의하여 둘러싸여서 철강대(1)로 부터 재증발한 아연이 내부덕트(12)에 증착되지 않고 재증발 아연(8)으로서 내부덕트(12)중에 부유하며 아연증기의 분압이 철강대(1)의 고체아연의 재증발온도(T1)의 포화증기압(P1)에 달하면 재증발 현상은 없어진다. 포화증기압(P1)에 달한후는 진공 증착 도금된 강철대(1)가 연속적으로 내부덕트(12)를 대량으로 통과하여도 재증발이 억제된 상태 그 대로 있기 때문에 아연의 효율이 대폭적으로 증대한다. 또한, 재증발아연(8)이 억제되기 때문에 설비전체의 가동율이 증대되며 생산성도 크게 향상된다.
제 1 도에 도시한 본 발명의 실시에 장치구성을 보다 상세히 설명하면, 증발실(4)에서는 히이터(15)로 아연을 용융한다. 430℃-580℃까지 가열용융된 용융아연(14)는 진공실(2)의 분위기 가스 예를들면 질소가스를 진공펌프(21)로 배기하여, 진공실내의 분위기 압력이 1-0.0001토르에 달하면 증발을 개시하며 히이터(16)로 가열된 안내후드인 채널(9)로 안내된 아연증기(5)는 로울(3)에 감기는 철강대(1)의 표면에 연속적으로 증착된다. 로울(3) 및 그 양단의 원판(도시하지 않음)의 표면온도가 아연증기(5)(증기압하에서의 아연증기(5))의 재증발 온도보다 높은 온도 예를들면 1토로에서 580℃ 또는 0.0001토르에서 230℃로 가열된다.
상기 채널(9)에 안내된 아연증기(5)가 진공실(2)에 대량으로 누출되지 않도록 로울(3)의 철강대(1)의 진입측에 호상의 커버부재(25)를 설치하여 히이터(17)로 가열하는 한편, 철강대(1)의 로울(3)의 출구측에 커버부재(10)을 설치하여 히이터(17)로 가열되도록 하며, 상기 커버부재(10, 25)의 외부표면을 아연증기(5)의 증기압하에서의 아연증기(5)의 재증발온도 보다 높은 온도 예를들면 1토르 -0.0001토르에서 230℃ - 580℃로 가열될 수 있다. 이와같이 로울(3) 및 호상 커버부재(10, 25)의 표면이 재증발된 아연증기가 증착하지 않는 장점을 갖고 있다.
로울(3)과 호상 커버부재(10, 25)의 간극(26)은 철강재(1)가 상기 커버부재(10, 25)에 접촉하지 않는 범위내에서 되도록 작게 설정되며, 상기 간극(26)의 로울(3)의 원주방향 길이를 설비가 허용하는 범위내에서 길게하여, 아연증기(5)가 상기 간극(26)의 통과중에 압력손실로 인해 진공실(2) 및 내부덕트(12)로 누출되지 않도록 연구되고 있다.
또한, 로울(3)의 철강대 통과측과 반대측에도 호상의 커버부재(11)을 설치하며, 히이터(18)로 철강대를 아연증기(5)의 재증발 온도 이상으로 가열하며, 상기 커버(11)의 내면에 아연증기(5)가 증착하지 않도록 하고있다. 상기 커버(11)과 로울(3)으로 이루어지는 간극(27)은 서로 접촉하지 않는 범위내에서 되도록 작게 형성도어 있으며, 내부덕트(12)내의 재증발아연(8)이 상기 간극(27)에서 야기되는 압력손실로 인하여 진공실(2)로 누출되는 것을 효과적으로 억제하는 구조로 되어있다.
내부덕트(12)는 상기 커버부재(10, 11)에 일단을 접촉하며, 다른단부는 팽창대를 두고 진공 시일기구(6)의 시일바아(13)에 연결되어 있으며 히이터(20)로 가열된다.
진공 시일기구(6, 34)는 진공펌프(22)로, 진공 시일기구(29, 33)은 진공펌프(23)으로, 진공 시일기구(30, 31)은 진공펌프(24)로 각각 진공배기되며 철강대(1)가 760토르(대기압력)으로 부터 각 진공시일 기구를 통과하는 과정에서 압력을 떨어뜨려서 진공실(2)에서 아연을 증착하는 경우 1-0.0001토르에 도달하며, 증착후 각 진공시일 기구를 통과하는 과정에서 점차 압력이 높아져서 760토르로 회복함으로써 진공증착 도금작업을 완료한다.
진공시일기구(6, 29, 30)의 시일로울(28)은 재증발아연(8)이 증착하지 않도록 로울의 내부에 히이터(도시하지 않음)가 설치되어 있으며, 철강대(1)에 증착된 아연의 재증발온도와 동등 혹은 그 이상의 온도로 가열된다. 또한, 시일바아(13)에도 히이터(도시하지 않음)가 설치되며, 시일로울(28)과 동일한 온도로 가열되며 재증발 아연(8)이 부착하지 않도록하고 있다.
상기 진공증착 장치의 작용을 설명하면, 철강대(1)에 아연증기(5)가 증착되어 로울(3)로 부터 철강대(1)가 나오며, 히이터(20)로 가열된 내부덕트(12)를 통과할때 철강대(1)의 아연면으로부터 재증발이 일어난다. 내부덕트(12)내에는 질소가스(N2)와 재증발 아연(8)이 혼합 존재한다. 이러한 조건하에서, 재증발 아연(8)의 아연증기 분압이 철강대(1)에 부착한 아연의 재증발온도(T1)에 상당하는 아연의 포화증기압(P1)에 이를때까지는 철강대(1)의 면으로부터 아연증기(5)의 재증발이 계속될 수 있다.
이 경우 히이터(20)로 가열된 내부덕트(12)의 철강대(1)가 통과하는 면(내면)의 온도가 철강대(1)의 아연의 재증발온도(T1)과 동등하던가 그 이상의 온도로 가열되면 내부덕트(12)의 내면에는 재증발 아연(8)은 부착하지 않게된다.
따라서, 이와같은 방법으로, 철강대(1)가 진공실에서 진공시일기구(6, 29, 30)을 통과할때 아연이 부착하는일없이 연속적으로 진공증착 도금된 철강대가 순조롭게 생산되게 된다.
한편, 내부덕트(12)내에서 철강대(1)의 면에 있는 아연의 재증발온도(T1)에 상당하는 아연의 포화증기압(P1)까지 재증발아연(8)의 아연증기 분압이 도달한후는 더이상 재증발이 일어나지 않으며 재증발로 손실되는 아연증기는 상당히 절담되게 된다.
저압력하의 진공 시일기구(6, 29)의 사이 및 진공시일 기구(29, 30)의 사이에도 상기 내부덕트(12)와 같은 팽창대를 두고 내부덕트(32, 32')가 설치되며, 히이터(20)로 가열되어 재증발을 억제하도록 하고 있다.
재증발의 억제를 필요로하는 진공압력을 약 20토르까지이며 진공실(2)로부터 약 20토르의 진공시일 기구간은 내부덕트를 설치하여 히이터로 가열할 필요가 있다. 또한, 내부덕트 자신은 스테인레스강 혹은 보통강의 박판으로 이루어지며 내부덕트 외면은 보온재(도시하지 않음)로 단열하고 있기 때문에 소량의 전력으로 가열할 수 있다.
또한, 내부덕트(12)중의 질소가스(N2)와 재증발아연(8)의 증기가 갖는 전 압력이 진공실(2)의 분위기 압력과 갖지 않을때, 증발실(4)중의 용융아연(14)이 증발하여 진공증착이 철강대(1)로 가지않도록 되기 때문에, 내부덕트(12, 32, 32')에는 작은 구멍(도시하지 않음)이 설치되어 있으며, 그 각각에는 진공실 분위기 압력과 내부덕트(12, 32, 32')의 (N2) 가스 및 재증발 아연(8)의 증기의 전 압력을 같게하는 것은 필수적이다.
전술한 구조에서 내부덕트에 구비된 구멍으로 부터 외부로 확산하여 나오는 재증발 아연(8)의 증기는 무시할 수 있을 정도로 작다.
제 4 도는 본 발명에 관계하는 시일기구의 일부 파단측면도이며 제 5 도는 제 4 도의 선 C-C를 취한 단면도이다.
도시된 진공 시일기구는 핀치로울형의 것이며, 케이싱(56)내에는 철강대(57)을 협지하도록하여 상하 두쌍의 로울(51)이 회전자재로 수납된다. 그리고, 각 로울(51)은 중공형으로 형성되며, 내부에는 이것을 가열하는 히이터(52)가 내장되어 있다. 또한, 각 로울(51)의 양단부로부터는 제 5 도에 도시한 바와같이 회전축(51a)가 케이싱(56)의 측벽을 관통하여 외방향으로 연장하고 있으며, 상기 회전축(51a)의 외주에는 축시일(64)가 구비되어 있다. 또한, 제 5 도중에는 풀무상의 더스트 부우트(63)가 도시된다.
또한, 로울(51)의 양측단면에는 제 5 도에 도시한 바와같이 내소성이 높은 카아본, 즉 카아본 섬유라이닝으로 형성된 측판(61)이 스프링(62)으로 탄성적으로 유지된다. 또한, 상하로울(51)사이, 상기 측판(61)외주부화 케이싱(56)의 내주부 사이에는 각각 간극(59, 60)의 성형되어 있다.
한편, 로울(51)의 근방에는 이것과의 사이에 작은 간극(54)를 성형하여 시일바아(53)가 설치되어 있으며 이것은 철강대(57)의 진행방향(제 4 도에서 화살표 방향)으로 이동자재로 구성되어 있으며, 상기 시일바아(53)의 이동으로 간극(54)를 조정할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 상기 시일바아(53)에는 도시한 바와같이 이것을 가열하기 위한 히이터(55)가 설치되어 있다. 또한, 케이싱(56)내에는 배기가스덕트(58)을 개재하여 도시하지 않은 진공펌프에 연결한다.
이리하여, 시일로울(51), 시일바아(53)을 각각 히이터(52, 55)로서 철강대(57)에 진공증착 도금을 실시하는 금속의 재증발 온도 이상으로 가열하면, 시일로울(51) 및 시일바아(53)로의 도금 금속부착 및 간극(54)에서의 도금금속의 퇴적이 방지되어 그 결과 로울(51)의 정상적인 회전을 보증하여 철강대(57)에 손상을 발생하지 않아서 제품결손의 발생이 저지된다.
로울(51)에는 측판(61)을 항상 탄성유지하기 위하여 로울(51) 및 케이싱(56)의 열팽창에 관계없이 시일로울(51) 및 케이싱(56)과의 사이 간격을 항상 최소한으로 억제할 수가 있으며, 그 결과 진공펌프는 그 용량이 작아져서 설비비 및 배기동력을 삭감할 수가 있다.
상술한 바와같이 본 발명이 상세히 설명되었지만, 보다 상세한 검토가 본 발명의 전형적인 실험에 의하여 주어질 것이다.
[실시예]
제 1 도의 장치를 사용하여 다음 조건하에서 도금작업을 실시하였다.
철강대 : 0.6mm두께×300mm폭의 보통강
철강판 이동속도 : 15m/min
증착전의 철강판 온도 : 250℃
진공 작업 조건
O 진공실 압력 : 0.07토르
O 진공시일 기구(6)의 압력 : 1.00토르
O 진공시일 기구(29)의 압력 : 10.00토르
O 진공시일 기구(30)의 압력 : 70.00토르
O 내부덕트(12, 32, 32')의 내벽온도 : 300℃
O 용융아연(14)의 온도 : 480℃
O 호상 커버부재(10, 11, 25)의 내벽온도 : 480℃
O 로울(3)의 외면온도 : 480℃
O 시일로울(28) 및 시일바아(13)의 표면온도 : 300℃
도금막 두께 : 40g/㎡
그 결과, 내부덕트(12, 32, 32')의 내벽에는 재증발에 의한 아연의 부착이 관찰되지 않았다. 또한, 내부덕트(12, 32, 32')에 구비된 작은 구멍으로부터 나온 아연의 양은 무시할 수 있을 정도로 작으며, 내부덕트(12, 32, 32')를 가열함으로써 재증발이 충분히 억제되는 것이 확인되었다.
또한, 시일로울 표면 및 시일바아 표면에는 아연의 부착은 관찰되지 않았으며, 시일의 성능은 로울이 수냉되는 경우보다도 높다는 것이 확인되었다.
본 발명은 이상 설명한대로 증착된 아연의 재증발 현상을 가열되는 내부덕트를 설치함으로써 억제하며 재증발하는 아연량을 대폭적으로 작게하며, 진공실 및 진공시일 기구등에 재증발한 아연을 거의 부착시키는 일없이 설비 전체의 가동율을 향상시키며 생산성을 높일 수 있는 현저한 효과를 얻게되었다.
또한, 로울의 양단면에 이것의 축방향으로 이동 자재한 측판을 탄성적으로 유지시키는 동시에 로울 및 커버부재에 히이터를 설치하여 이것을 도금금속의 재증발 온도이상으로 가열하였기 때문에 도금금속의 로울으로의 부착 및 로울과 커버부재 사이에서의 퇴적을 방지하여 로울의 정상회전을 확보하며, 제품에의 악영향을 방지할 수 있도록 하는 동시에 높이 진공도를 가지고 진공펌프의 소용량화를 도모할 수 있다.
상기 제반목적들은 상기 기술로부터 명백하게 알수 있으며 양호한 실시예에 의하여 설명되었지만, 본 발명의 사상 및 범위로부터 벗어남이 없는 한도내에서 수많은 변경 및 변환가 있을 수 있으며 상기 명세서 및 첨부도면에 포함되는 모든 사항은 도시적인 것으로 해석되어야 할 것이며 결코 제한적인 의미로 해석되는 것은 아니라는 것을 이해할 것이다.
또한, 첨부된 특허청구의 범위는 본 원에 명시된 본 발명에 관한 일반 및 특정한 특징과 본 발명의 범위에 관한 모든 사항을 포괄할 것이다.

Claims (11)

  1. 적어도 하나의 진공시일 기구를 포함하여 철강대 또는 띠형의 금속제품을 연속적으로 진공 증착하기 위한 진공 증착장치에 있어서, 상기 장치가 도금후 재증발이 일어나지 않는 진공압력으로 유지되는 증착실과의 사이에 상기 철강대의 증착온도 이상으로 가열되는 가열덕트로 상기 철강대를 둘러싸도록 설치하는 것을 특징으로 하는 진공 증착장치.
  2. 적어도 하나의 진공 시일기구와, 케이싱내에 회전자재로 수납된 로울과, 상기 로울과의 사이에 약간의 간격을 이루면서 설치된 커버부재로 구성되는 철강대 또는 띠형의 금속제품을 연속적으로 진공증착하기 위한 진공증착 장치에 있어서, 상기 로울의 양단에 이것의 축방향으로 이동자재한 측판을 탄성적으로 유지시키는 동시에 로울 및 커버부재에 이것을 가열시키는 히이터를 설치하는 것을 특징으로 하는 진공증착 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 장치가 제 1 항 및 제 2 항의 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공증착 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 띠형의 금속제품이 철강대인 것을 특징으로 하는 진공증착 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 진공증착될 상기 금속이 아연인 것을 특징으로 하는 진공증착 장치.
  6. 제 2 항에 있어서, 상기 띠형의 금속제품이 철강대인 것을 특징으로 하는 진공증착 장치.
  7. 제 2 항에 있어서, 진공증착될 상기 금속이 아연인 것을 특징으로 하는 진공증착 장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 진공시일 기구가 핀치로울형인 것을 특징으로 하는 진공증착 장치.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 진공시일 기구가 굴레로울형인 것을 특징으로 하는 진공증착 장치.
  10. 제 2 항에 있어서, 상기 진공시일 기구가 핀치로울형인 것을 특징으로 하는 진공증착 장치.
  11. 제 2 항에 있어서, 상기 진공시일 기구가 굴레로울형인 것을 특징으로 하는 진공증착 장치.
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