JPS63179065A - 巻付けロ−ル - Google Patents
巻付けロ−ルInfo
- Publication number
- JPS63179065A JPS63179065A JP1010887A JP1010887A JPS63179065A JP S63179065 A JPS63179065 A JP S63179065A JP 1010887 A JP1010887 A JP 1010887A JP 1010887 A JP1010887 A JP 1010887A JP S63179065 A JPS63179065 A JP S63179065A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- shell
- heat pipe
- temperature
- winding roll
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004804 winding Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 abstract description 10
- 239000010959 steel Substances 0.000 abstract description 10
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 6
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 4
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013000 roll bending Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000002436 steel type Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は連続式真空蒸着装置の蒸着部に適用される巻付
ロールに関し、その他真空シール装置のシールロールや
、連続式焼鈍設備の７１−スロール等にも適用できるロ
ール構造に関する。
ロールに関し、その他真空シール装置のシールロールや
、連続式焼鈍設備の７１−スロール等にも適用できるロ
ール構造に関する。
銅帯等の基板に連続的に例えば亜鉛等の金属をめっきす
る手段として連続式真空蒸着装置が使用されているが、
従来の巻付ロールが適用されている従来の連続式真空蒸
着装置の概略構成を第２図によって説明する。
る手段として連続式真空蒸着装置が使用されているが、
従来の巻付ロールが適用されている従来の連続式真空蒸
着装置の概略構成を第２図によって説明する。
図中、１は銅帯（蒸着基板）、２は複数のシール室から
なる真空シール装置、３は蒸着室、４＃′ｉ鋼帯１をガ
イドして通板させる巻付ロール、５は巻付ロール４１に
加熱するヒータである。
なる真空シール装置、３は蒸着室、４＃′ｉ鋼帯１をガ
イドして通板させる巻付ロール、５は巻付ロール４１に
加熱するヒータである。
７は浴槽で、内部には溶融金ｆｉ（亜鉛等）６が存在し
、該金属の蒸気６ａｔ−真空粂件下で発生させ、矢印２
で示すようにダクト（チャンネル）８で鋼帯１まで導く
。鋼帯１に蒸着させるに必要な金属蒸気量（蒸発量）は
、浴槽７内に設置したヒータ９の電力と、浴槽７出口に
設置したシャッタ１０倉例えばシリンダ等の開閉装置１
１で開閉して開口部１２の面積とを変えることにより制
御できるように構成されている。
、該金属の蒸気６ａｔ−真空粂件下で発生させ、矢印２
で示すようにダクト（チャンネル）８で鋼帯１まで導く
。鋼帯１に蒸着させるに必要な金属蒸気量（蒸発量）は
、浴槽７内に設置したヒータ９の電力と、浴槽７出口に
設置したシャッタ１０倉例えばシリンダ等の開閉装置１
１で開閉して開口部１２の面積とを変えることにより制
御できるように構成されている。
上記の浴槽７内の溶融金属６は蒸着室３下部の溶解炉１
３から圧力差によりスノーケル１４を介して吸引、供給
されている。
３から圧力差によりスノーケル１４を介して吸引、供給
されている。
蒸着室３は、管１５及び弁１６を介して真空ポンプ１７
に接続され、通常、溶融金喝６の飽和蒸気圧力より低い
圧力に窒素（Ｎり等の不活性ガスにより保持されている
。
に接続され、通常、溶融金喝６の飽和蒸気圧力より低い
圧力に窒素（Ｎり等の不活性ガスにより保持されている
。
以上の構成において、運転に際しては製造指令（鋼種、
板偏、板厚、通板速度、目標蒸着量等）に基づいて設定
され危蒸着速度（単位面積、単位時間当りの蒸着量）に
対応して蒸着室３の圧力を設定すると共に、蒸着金属の
所要蒸発量に対応させてヒータ９の電力とシャッタ１０
の開度ｔ−副調整ることによシ鋼帯１表面の蒸着量すな
わち蒸着膜厚を目標値に制御する。
板偏、板厚、通板速度、目標蒸着量等）に基づいて設定
され危蒸着速度（単位面積、単位時間当りの蒸着量）に
対応して蒸着室３の圧力を設定すると共に、蒸着金属の
所要蒸発量に対応させてヒータ９の電力とシャッタ１０
の開度ｔ−副調整ることによシ鋼帯１表面の蒸着量すな
わち蒸着膜厚を目標値に制御する。
〔発明が解決しようとする問題点］
ところで、上記し念従来の巻付ロール４では。
亜鉛蒸気がロール表面に蒸着しないように、ロール内部
にヒータ５ｔ−設はロールを約５００℃に加熱している
。
にヒータ５ｔ−設はロールを約５００℃に加熱している
。
第３図は、この巻付ロール４の横断面を示す図で、ロー
ル４の内部に配置されたヒータ５ではロール全長にわ念
っているのに対して、銅帯１０幅は各種寸法の銅帯を取
り扱う之めロールよりもせまく、しかもロール４が約５
００℃であるのに対して、鋼帯１の温度はめつき前適正
温度である２００〜２５０℃である。
ル４の内部に配置されたヒータ５ではロール全長にわ念
っているのに対して、銅帯１０幅は各種寸法の銅帯を取
り扱う之めロールよりもせまく、しかもロール４が約５
００℃であるのに対して、鋼帯１の温度はめつき前適正
温度である２００〜２５０℃である。
従って、第３図に示し念ようにロール４表面のうち中央
部の鋼帯１に接触する部分Ａ部は温度が低く、ロール４
端の鋼帯１に接触しない部分Ｂ部は温度が高くなってし
まう。
部の鋼帯１に接触する部分Ａ部は温度が低く、ロール４
端の鋼帯１に接触しない部分Ｂ部は温度が高くなってし
まう。
しかも、鋼帯１に接触しているム部の内でも接触面圧の
不均等によって温度差があるため、ロール４全体に熱変
形が生じ、ロール曲り、振動を生じて鋼帯１の破断ある
いはめつき面への傷の原因と々ってい友。
不均等によって温度差があるため、ロール４全体に熱変
形が生じ、ロール曲り、振動を生じて鋼帯１の破断ある
いはめつき面への傷の原因と々ってい友。
本発明は、このような欠点のない巻付ロールを提供する
ものである。
ものである。
本発明は、その中央部においてロール軸心方向に突起部
を有するヒートパイプ倉、シェル内部ロール軸方向に複
数本設けてなる巻付はロールに関するものである。
を有するヒートパイプ倉、シェル内部ロール軸方向に複
数本設けてなる巻付はロールに関するものである。
〔作用］
本発明ではシェル内部ロール軸方向に設けられたヒート
パイプがロール端部の高温部からロー’に中央の低温部
に熱を輸送し、各ヒートパイプ近傍のロール温度をその
軸方向に均一化する。
パイプがロール端部の高温部からロー’に中央の低温部
に熱を輸送し、各ヒートパイプ近傍のロール温度をその
軸方向に均一化する。
ただし、ヒートパイプ内部には一般に不凝縮ガスが存在
し、ヒートパイプ作動中には、その不凝縮ガスはヒート
パイプ凝縮部に集まるなめ、不凝縮ガスの集まった部分
すなわち本例ではロール中央の低温部はヒートパイプ全
体の作動温度より数十度〜級百度低くなる虞れがある。
し、ヒートパイプ作動中には、その不凝縮ガスはヒート
パイプ凝縮部に集まるなめ、不凝縮ガスの集まった部分
すなわち本例ではロール中央の低温部はヒートパイプ全
体の作動温度より数十度〜級百度低くなる虞れがある。
そこで本発明ではヒートパイプの中央部にロール軸中心
方向に突起部を設け、温度の均一化を図るのである。す
なわち、ロール軸端は軸受支持するため一般に水冷され
るが、この水冷を軸端のみならずロール中心軸全体に行
う構造とすれば、ロール中心軸付近はロール表面付近よ
り温度が低くなる。従って、上記ヒートパイプの突起部
先端付近がヒートパイプ全体で最も低温となる九め、こ
の部分に不凝縮ガスが集り、ロール表面付近のヒートパ
イプ真直部には不凝縮ガスがなくなり、ヒートパイプ真
直部は均一温度となるのである。
方向に突起部を設け、温度の均一化を図るのである。す
なわち、ロール軸端は軸受支持するため一般に水冷され
るが、この水冷を軸端のみならずロール中心軸全体に行
う構造とすれば、ロール中心軸付近はロール表面付近よ
り温度が低くなる。従って、上記ヒートパイプの突起部
先端付近がヒートパイプ全体で最も低温となる九め、こ
の部分に不凝縮ガスが集り、ロール表面付近のヒートパ
イプ真直部には不凝縮ガスがなくなり、ヒートパイプ真
直部は均一温度となるのである。
〔実施例］
第１図ｃＡ）とその人−ム線断面図である第１図＠）は
本発明による巻付ロールの一実施例を示す図である。
本発明による巻付ロールの一実施例を示す図である。
図において、４はロールシェル、１Ｂはヒートパイプ、
２１は該ヒートパイプ１８の中央部に設けられたロール
軸心方向に向う突起部、１８′はヒートパイプの真直部
、５はロールシェル４を加熱するヒータである。
２１は該ヒートパイプ１８の中央部に設けられたロール
軸心方向に向う突起部、１８′はヒートパイプの真直部
、５はロールシェル４を加熱するヒータである。
各ヒートパイプ１８は、その突起部２１以外には不凝縮
ガスが滞溜しないので、各ヒートパイプ１８の真直部１
８′は同一温度で作動する。
ガスが滞溜しないので、各ヒートパイプ１８の真直部１
８′は同一温度で作動する。
このためロール４表面全面の温度が均一化となる。
本発明によれば、ロールシェル内部のヒートパイプ真直
部が同一温度で作動する念め、ロール表面全体がほぼ均
一温度となり、ロールの熱変形が防止され、銅帯の破断
、めっき面の傷の発生が防止される。
部が同一温度で作動する念め、ロール表面全体がほぼ均
一温度となり、ロールの熱変形が防止され、銅帯の破断
、めっき面の傷の発生が防止される。
第１図（４）、（Ｂ）＃ｉ本発明の一実施例としての巻
付ロールの構造図で、第１図＠）は第１図（Ａ）のムー
Ａ線断面図、第２図は従来の巻付ロールの適用例を説明
するための連続式真空蒸着装置の説明図、第３図は従来
の巻付ロールの構造図である。
付ロールの構造図で、第１図＠）は第１図（Ａ）のムー
Ａ線断面図、第２図は従来の巻付ロールの適用例を説明
するための連続式真空蒸着装置の説明図、第３図は従来
の巻付ロールの構造図である。
Claims (1)
- その中央部においてロール軸心方向に突起部を有するヒ
ートパイプを、シェル内部ロール軸方向に複数本設けて
なる巻付けロール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1010887A JPS63179065A (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 | 巻付けロ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1010887A JPS63179065A (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 | 巻付けロ−ル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63179065A true JPS63179065A (ja) | 1988-07-23 |
Family
ID=11741121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1010887A Pending JPS63179065A (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 | 巻付けロ−ル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63179065A (ja) |
-
1987
- 1987-01-21 JP JP1010887A patent/JPS63179065A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4552092A (en) | Vacuum vapor deposition system | |
| US20140050850A1 (en) | Vacuum apparatus, method for cooling heat source in vacuum, and thin film manufacturing method | |
| KR100264945B1 (ko) | 박판스트립의 연속제조 방법 및 장치 | |
| JP3569439B2 (ja) | 連続溶融めっき方法及びその装置 | |
| KR890004043B1 (ko) | 진공증착장치 | |
| US4643131A (en) | Combined continuous plating apparatus for hot-dip plating and vacuum deposition plating | |
| JPS63179065A (ja) | 巻付けロ−ル | |
| EP4162093A1 (en) | Temperature-controlled shield for an evaporation source, material deposition apparatus and method for depositing a material onto a substrate | |
| JPS63179066A (ja) | 巻付けロ−ル | |
| BE898270A (fr) | Four de fusion pour la vitrification de déchets très radioactifs. | |
| JPS63179063A (ja) | 巻付けロ−ル | |
| JPS63238273A (ja) | ヒ−トパイプロ−ル | |
| JPS63179064A (ja) | 巻付けロ−ル | |
| JPS63238272A (ja) | 超音波測定装置の探触子支持具 | |
| JPS59177369A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPH0437879Y2 (ja) | ||
| TWI839614B (zh) | 液體材料驟蒸發坩堝、蒸氣沉積設備及用於塗覆真空腔室內的基板的方法 | |
| US5547450A (en) | Hearth roller with suppressed heat crown | |
| RU2006100290A (ru) | Способ и установка для охлаждения металлической ленты при ее протягивании | |
| KR101049843B1 (ko) | 허스롤 장치 | |
| US20210381097A1 (en) | Vapor deposition apparatus and method for coating a substrate in a vacuum chamber | |
| JPS6139393B2 (ja) | ||
| JPH06279836A (ja) | 連続焼鈍炉用ハースロール | |
| JPS58130273A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPH03277756A (ja) | 溶融亜鉛めっき装置のスナウト内の異物発生抑制方法およびスナウト装置 |