JPS63179066A - 巻付けロ−ル - Google Patents
巻付けロ−ルInfo
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- JPS63179066A JPS63179066A JP1010987A JP1010987A JPS63179066A JP S63179066 A JPS63179066 A JP S63179066A JP 1010987 A JP1010987 A JP 1010987A JP 1010987 A JP1010987 A JP 1010987A JP S63179066 A JPS63179066 A JP S63179066A
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- roll
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- pipes
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- Pending
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は連続式真空蒸着装置の蒸着部に適用される巻付
ロールに関し、その他真空シール装置のシールロールや
連続式焼鈍設備のハースロール等にも適用できるロール
構造に関する。
ロールに関し、その他真空シール装置のシールロールや
連続式焼鈍設備のハースロール等にも適用できるロール
構造に関する。
銅帯等の基板に連続的に例えば亜鉛等の金属をめっきす
る手段として連続式真空蒸着装置が使用されているが、
従来の巻付ロールが適用されている従来の連続式真空蒸
着装置の概略構成を第２図によって説明する。
る手段として連続式真空蒸着装置が使用されているが、
従来の巻付ロールが適用されている従来の連続式真空蒸
着装置の概略構成を第２図によって説明する。
図中、１は銅帯（蒸着基板）、２は複数のシール室から
なる真空シール装置、３は蒸着室、４は鋼帯１をガイド
して通板させる巻付ロール、５は巻付ロール４を加熱す
るヒータである。７は浴槽で内部には溶融金属（亜鉛等
）６が存在し、該金１／ｉ４６の蒸気６ａを真空条件下
で発生させ、矢印２で示すようにダクト（チャンネル）
８で鋼帯１まで導く。鋼帯１に蒸着させるに必要な金属
蒸気量（蒸発量）Ｆｉ、浴槽７内に設置したヒータ９の
電力と、浴槽７出口に設置したシャッタ１０を例えばシ
リンダ等の開閉装置σ１１で開閉して開口部１２０面積
とを変えることにより制御できるように構成されている
。
なる真空シール装置、３は蒸着室、４は鋼帯１をガイド
して通板させる巻付ロール、５は巻付ロール４を加熱す
るヒータである。７は浴槽で内部には溶融金属（亜鉛等
）６が存在し、該金１／ｉ４６の蒸気６ａを真空条件下
で発生させ、矢印２で示すようにダクト（チャンネル）
８で鋼帯１まで導く。鋼帯１に蒸着させるに必要な金属
蒸気量（蒸発量）Ｆｉ、浴槽７内に設置したヒータ９の
電力と、浴槽７出口に設置したシャッタ１０を例えばシ
リンダ等の開閉装置σ１１で開閉して開口部１２０面積
とを変えることにより制御できるように構成されている
。
上記の浴槽７内の溶融金属６は蒸着室３下部の溶解炉１
３から圧力差によりスノーケル１４を介して吸引、供給
されている。
３から圧力差によりスノーケル１４を介して吸引、供給
されている。
蒸着室３は、管１５及び弁１６ｔ−介して真空ポンプ１
７に接続され、通常、溶融金属６の飽和蒸気圧力より低
い圧力に窒素（Ｎｚ）等の不活性ガスにより保持されて
いる。
７に接続され、通常、溶融金属６の飽和蒸気圧力より低
い圧力に窒素（Ｎｚ）等の不活性ガスにより保持されて
いる。
以上の構成において、運転に際しては製造指令（′Ａ種
、板幅、板厚、通板速度、目標蒸着量等）に基づいて設
定された蒸着速度（単位面積、単位時間当りの蒸着量）
に対応して蒸着室３の圧力を設定すると共に、蒸着金属
の所要蒸発量に対応させてヒータ９■電力とシャッタ１
０（Ｄ開度を調整することにより、銅帯１表面の蒸着量
すなわち蒸着膜厚を目標値に制御する。
、板幅、板厚、通板速度、目標蒸着量等）に基づいて設
定された蒸着速度（単位面積、単位時間当りの蒸着量）
に対応して蒸着室３の圧力を設定すると共に、蒸着金属
の所要蒸発量に対応させてヒータ９■電力とシャッタ１
０（Ｄ開度を調整することにより、銅帯１表面の蒸着量
すなわち蒸着膜厚を目標値に制御する。
ところで、上記し念従来の巻付ロール４では、亜鉛蒸気
がロール表面に蒸着しないように、ロール内部にヒータ
５を設はロールを約５００℃に加熱している。
がロール表面に蒸着しないように、ロール内部にヒータ
５を設はロールを約５００℃に加熱している。
第３図は、この巻付ロール４の横断面を示す図で、ロー
ル４の内部に配置され九ヒータ５はロール全長にわたっ
ているのに対して、銅帯１０幅は各種寸法の銅帯を取り
扱う九めロールよりもせまく、しかもロール４が約５０
０℃であるのに対して、鋼帯１の温度はめつき前適正温
度である２００〜２５０Ｃである。
ル４の内部に配置され九ヒータ５はロール全長にわたっ
ているのに対して、銅帯１０幅は各種寸法の銅帯を取り
扱う九めロールよりもせまく、しかもロール４が約５０
０℃であるのに対して、鋼帯１の温度はめつき前適正温
度である２００〜２５０Ｃである。
従って、第３図に示し念ようにロール４表面のうち中央
部の鋼帯１に接触する部分Ａ部は温度が低く、ロール４
端の鋼帯１に接触しない部分Ｂ部は温度が高くなってし
まう。
部の鋼帯１に接触する部分Ａ部は温度が低く、ロール４
端の鋼帯１に接触しない部分Ｂ部は温度が高くなってし
まう。
しかも、鋼帯１に接触しているＡ部の内でも接触面圧の
不均等によって温度差があるため、ロール４全体に熱変
形が生じ、ロール曲り、振動を生じて鋼帯１の破断ある
いはめつき而への傷の原因となっていた。
不均等によって温度差があるため、ロール４全体に熱変
形が生じ、ロール曲り、振動を生じて鋼帯１の破断ある
いはめつき而への傷の原因となっていた。
本発明は、このような欠点のない巻付ロールを提供する
ものである。
ものである。
本発明は、その両端部がロール軸中心方向に屈曲するヒ
ートパイプを、シェル内部ロール軸方向に複数本設けて
なる巻付はロールに関するものである。
ートパイプを、シェル内部ロール軸方向に複数本設けて
なる巻付はロールに関するものである。
本発明では、シェル内部ロール軸方向に設けられ念ヒー
トパイプがロール端部の高温部からロール中央の低温部
に熱を輸送し、各ヒートパイプ近傍のロール温度をその
軸方向に均一化する。
トパイプがロール端部の高温部からロール中央の低温部
に熱を輸送し、各ヒートパイプ近傍のロール温度をその
軸方向に均一化する。
次だし、ヒートパイプ内部には一般に不凝縮ガスが存在
し、ヒートパイプ作動中には、その不凝縮ガスはヒート
パイプ凝縮部に集まるなめ、不凝縮ガスの集まった部分
すなわち本例ではロール中央の低温部はヒートパイプ全
体の作動温度より数十度〜数百度低くなる虞れがある。
し、ヒートパイプ作動中には、その不凝縮ガスはヒート
パイプ凝縮部に集まるなめ、不凝縮ガスの集まった部分
すなわち本例ではロール中央の低温部はヒートパイプ全
体の作動温度より数十度〜数百度低くなる虞れがある。
そこで本発明ではヒートパイプの両端部倉ロール軸中心
方向に屈曲した構造として温度の均一化を図るのである
。すなわち、ロール軸端は軸受支持する念め一般に水冷
されるが、この水冷を軸端のみならずロール中心軸全体
に行う構造とすれば、ロール端部中心軸付近はロール表
面付近より温度が低くなる。従って、上記ヒートパイプ
の屈曲先端部付近がヒートパイプ全体で最も低温となる
ため、この部分に不凝縮ガスが集まり、ロール表面付近
のヒートパイプ真直部には不凝縮ガスがなくなり、と−
ドパイブ真直部は均−観度となるのである。
方向に屈曲した構造として温度の均一化を図るのである
。すなわち、ロール軸端は軸受支持する念め一般に水冷
されるが、この水冷を軸端のみならずロール中心軸全体
に行う構造とすれば、ロール端部中心軸付近はロール表
面付近より温度が低くなる。従って、上記ヒートパイプ
の屈曲先端部付近がヒートパイプ全体で最も低温となる
ため、この部分に不凝縮ガスが集まり、ロール表面付近
のヒートパイプ真直部には不凝縮ガスがなくなり、と−
ドパイブ真直部は均−観度となるのである。
第１図（４）とそのムーム線断面図である第１図（Ｂ）
は本発明による巻付ロールの一例を示す図である。
は本発明による巻付ロールの一例を示す図である。
図において、４はロールシェル、１８はヒートパイプ、
２１は該ヒートパイプの両端部に設けられたロール軸心
方向に屈曲する部分、５はロールシェル４を加熱するヒ
ータである。
２１は該ヒートパイプの両端部に設けられたロール軸心
方向に屈曲する部分、５はロールシェル４を加熱するヒ
ータである。
各ヒートパイプ１８は、その屈曲部２１以外には不凝縮
ガスが滞溜し々いので、各ヒートノ（イブ１８の真直部
は同一温度で作動する。このためロール４表面全面の温
度が均一化となる。
ガスが滞溜し々いので、各ヒートノ（イブ１８の真直部
は同一温度で作動する。このためロール４表面全面の温
度が均一化となる。
本発明によればロールシェル内のヒートパイプ真直部が
同一温度で作動するため、ロール表面全体がほぼ均一温
度となり、ロールの熱変形が防止され、銅帯の破断、め
っき面の傷の発生が防止される。
同一温度で作動するため、ロール表面全体がほぼ均一温
度となり、ロールの熱変形が防止され、銅帯の破断、め
っき面の傷の発生が防止される。
第１図（４）、（Ｂ）Ｆｉ本発明の一実施例としての巻
付クールの構造図で、第１図＠）は第１図（Ａ）のＡ−
Ａ線断面図、第２図は従来の巻付ロールの適用列を説明
するための連続式真空蒸看装置の説明図、第３図は従来
の巻付ロールの構造図である。
付クールの構造図で、第１図＠）は第１図（Ａ）のＡ−
Ａ線断面図、第２図は従来の巻付ロールの適用列を説明
するための連続式真空蒸看装置の説明図、第３図は従来
の巻付ロールの構造図である。
Claims (1)
- その両端部がロール軸中心方向に屈曲するヒートパイプ
を、シェル内部ロール軸方向に複数本設けてなる巻付け
ロール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1010987A JPS63179066A (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 | 巻付けロ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1010987A JPS63179066A (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 | 巻付けロ−ル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63179066A true JPS63179066A (ja) | 1988-07-23 |
Family
ID=11741147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1010987A Pending JPS63179066A (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 | 巻付けロ−ル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63179066A (ja) |
-
1987
- 1987-01-21 JP JP1010987A patent/JPS63179066A/ja active Pending
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