KR890002990A - 바이폴라 트랜지스터의 제조방법 - Google Patents
바이폴라 트랜지스터의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 (A)-(F)도는 본 발명에 따른 제조공정도.
Claims (1)
- 반도체장치의 제조방법에 있어서, 실리콘 반도체기판(1)상에 제 1 산화막(2)을 형성하고 제 1 포토레지스트 패턴(3)을 형성하여 소정부위(4)의 제 1 산화막을 에칭하는 제 1 공정과, 상기 제 1 포트레지스트 패턴(3)을 마스크로하여 베이스 형성을 위한 제 1 이온주입을 하는 제 2 공정과, 제 2 포토레지스트 패턴(6)을 형성하여 에미터 형성을 위한 제 2 이온주입을 하는 제 3 공정과, 상기 주입된 이온을 확산시켜 에미터(8) 및 베이스(9)영역을 형성하는 제 4 공정과, 금속전극(11)(11')(11)을 형성하는 제 5 공정과, 보호막층을 형성하는 제 6 공정을 구비하여 상기 공정들의 연속으로 이루어짐을 특징으로 하는 바이폴라 트랜지스터의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019870008416A KR890002990A (ko) | 1987-07-31 | 1987-07-31 | 바이폴라 트랜지스터의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019870008416A KR890002990A (ko) | 1987-07-31 | 1987-07-31 | 바이폴라 트랜지스터의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR890002990A true KR890002990A (ko) | 1989-04-12 |
Family
ID=68279969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019870008416A KR890002990A (ko) | 1987-07-31 | 1987-07-31 | 바이폴라 트랜지스터의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR890002990A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9849954B1 (en) | 2016-06-13 | 2017-12-26 | Korea Institute Of Ocean Science & Technology | Glass sphere type pressure housing including titanium band and a multi-joint underwater robot system for deep sea exploration using the same |
-
1987
- 1987-07-31 KR KR1019870008416A patent/KR890002990A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9849954B1 (en) | 2016-06-13 | 2017-12-26 | Korea Institute Of Ocean Science & Technology | Glass sphere type pressure housing including titanium band and a multi-joint underwater robot system for deep sea exploration using the same |
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