KR880013424A - 플라즈머 장치 - Google Patents

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겐이치 나츠이
유키오 구로사와
다다시 사토
히로아키 고지마
야스노리 오노
도모에 구로사와
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미타 가츠시게
가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32357—Generation remote from the workpiece, e.g. down-stream

Abstract

내용 없음

Description

플라즈머 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본원 발명의 실시예의 플라즈머 장치의 종단면도, 제3도는 본원발명의 영구자석의 다른 배치 실시예의 평면도, 제3,4도는 본원 발명의 영구자석의 또다른 배치 실시예의 종단면도.

Claims (9)

  1. 희박개스를 충진한 플라즈머 발생실에 마이크로바를 도입하고, 자계발생 수단에 의해 이 마이크로파의 진행방향과 같은 방향의 자계를 상기 실내에 적용시켜서, 실내에 플라즈머를 발생시키는 플라즈머 장치에 있어서, 상기 자계의 강도가 상기 마이크로파의 진향방향에 직각인 상기 실 단면에 있어서, 상기 실 주변부가 상기 실 중심부보다 강해지도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈머 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 자계발생 장치가 상기 실외에 배치된 영구자석인 것을 특징으로 하는 플라즈머 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 영구자석은 극성이 다른 자극이 1조이상 플라즈머 발생부를 향하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈머 장치.
  4. 제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 자계의 강도가 상기 실내의 최소한 일부에서 상기 마이크로파의 주파수로 전자 사이 클로트론 공명을 발생시키는데 충분한 크기인 것을 특징으로 하는 플라즈머 장치.
  5. 제1항 내지 제4항중 어느 한항에 있어서, 상기 플라즈머 발생실의 마니크로파의 진향방향에 직각인 단면적인 상기 실의 마이크로파 도입부에서 상기 마이크로파 진행방향으로 대략 연속적으로 증대하고 있는것을 특징으로 하는 플라즈머 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 실에 연통하여, 상기 실의 최대단면적보다도 큰 단면적을 가진 플라즈머 보존실이 설치되고, 이 보존실의 의주에 따라서 인접하는 자극이 서로 반대의 극성이 되도록 배치한 복수개의 영구자석이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈머 장치.
  7. 제1항 내지 제5항중 어느 한항에 있어서, 상기 플라즈머 발생실에 인접하여 주 플라즈머 발생실을 상기 양 실사이에 상기 희박개스가 유통할 수 있도록, 또한 양 실사이를 전기적 절언을 유지하도록 설치하고, 양 실사이에 서로 대향하는 제1전극과 제2전극으로 된 전자 인출전극을 설치하고, 상기 제1전극을 상기 플라즈머 발생실측에 위치시키며, 또한 이 실에 전기적으로 접속하고, 상기 제2전극을 상기 주 플라즈머 발생실측에 위치시키며, 또한 이 살에 전기적으로 접속하고, 상기 제1전극과 제2전극 사이에 상기 제2전극이 플러스가 되는 전위차를 부여하고, 따라서 상기 플라즈머 발생실에서 전자를 상기 주 플라즈머 발생실로 인출하고, 이 주 플라즈머 생성실내의 상기 희박개스에 충돌시켜서 저은의 플라즈머를 발생시키는 것을 특징으로 하는 플라즈머 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 주 플라즈머 발생실의 그 의주에 자석의 N극과 S극이 고대로 상기 주 플라즈머 발생실의 안쪽을 향하도록 복수개의 영구자석이 배치된 것을 특징으로 하는 플라즈머 장치.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 전자인출 전극이 상기 주플라즈머 발생실내에 돌출하여 들어가 있는 것을 특징으로 하는 플라즈머 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880003778A 1987-04-08 1988-04-04 플라즈머 장치 KR880013424A (ko)

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