KR870003953A - 소결된 실리콘 카바이드 세라믹 재질 및 그의 제조공정 - Google Patents

소결된 실리콘 카바이드 세라믹 재질 및 그의 제조공정 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

소결된 실리콘 카바이드 세라믹 재질 및 그의 제조공정
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
단일 도면은 소정의 소결된(sintered) 실리콘 카바이드 몸체에 대한 소결 온도대 전기 저항의 그라프도.

Claims (29)

  1. 본래는 다결정 소결된 실리콘 카바이드로 구성된 소결 몸체로 이루어지고, 적어도 그레인의 일부 사이에서 붕소 및 질소 양자를 포함한 결합되지 않은 탄소 영역을 가지며, 그리고 실리콘 카바이드, 붕소 질화 침전물의 그레인내에서 제공되는 것을 특징으로 하는 세라믹 재질.
  2. 1.0퍼센트 이하의 결합되지 않은 탄소, 0.3 내지 1.0퍼센트의 붕소, 0.03 내지 0.8퍼센트의 질소 및 균형을 이룬 실리콘 카바이드로 구성된 소결 몸체로 이루어지는데, 상기 소결된 몸체는 적어도 2.95g/㎤의 밀도와, 25℃에서 적어도 108ohm ㎝의 D.C.전기 저항을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 절연 세라믹재질.
  3. 제1항에 있어서, 1.0퍼센트 이하의 결합되지 않은 탄소, 0.3 내지 1.0퍼센트의 붕소, 0.03 내지 0.8퍼센트의 질소 및, 균형을 이룬 실리콘 카바이드로 구성되는데, 상기 소결된 몸체는 적어도 2.95g/㎤의 밀도를 갖는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  4. 제2항에 있어서, 적어도 55w/mk의 열 전도성을 갖는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  5. 제3항에 있어서, 적어도 55w/mk의 열 전도성을 갖는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  6. 제2항에 있어서, 부가적으로 0.5퍼센트 이하의 산소로 구성되는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  7. 제1항에 있어서, 적어도 3.0g/㎤의 밀도를 갖는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  8. 제4항에 있어서, 적어도 3.0g/㎤의 밀도를 갖는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  9. 제2항에 있어서, 0.6퍼센트 이하의 질소와 0.8퍼센트 붕소로 구성되는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  10. 제3항에 있어서, 0.6퍼센트 이하의 질소와 0.8퍼센트 붕소로 구성되는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  11. 제3항에 있어서, 0.03 내지 0.45퍼센트의 질소와, 0.50 내지 0.85퍼센트의 붕소를 가지며, 상기 소결된 몸체는 25℃에서 적어도 1010ohm ㎝의 D.C. 전기 항을 갖는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  12. 제1항에 있어서, 상기 실리콘 카바이드는 원래 알파형 실리콘 카바이드로 구성되는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  13. 제2항에 있어서, 상기 실리콘 카바이드는 원래 알파형 실리콘 카바이드로 구성되는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  14. 제1항에 있어서, 적어도 3.10g/㎤의 밀도, 적어도 1011ohm ㎝의 전기 저항 및, 적어도 65w/mk의 열 전도성을 갖는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  15. 제2항에 있어서, 적어도 3.10g/㎤의 밀도, 적어도 1011ohm ㎝의 전기 저항 및, 적어도 65w/mk의 열 전도성을 갖는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  16. 제1항에 있어서, 10MHZ 및 25℃에서, 약 25 이하의 유전 상수 및, 약 0.2 이하의 손실율 갖는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  17. 제2항에 있어서, 10MHZ 및 25℃에서, 약 25 이하의 유전 상수 및, 약 0.2 이하의 손실율을 갖는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  18. 제1항에 있어서, 약 2250℃ 또는 그 이상의 온도로, 질소기압내에서 무압축 소결로 생성되는데, 형상된 몸체는 소결하기 전에 적어도 약 1.45g/㎤의 밀도를 가지며, 상기 형상된 몸체는 또한, 2.5퍼센트의 결합되지 않은 탄소까지 원래의 위치로 분해하기에 충분한 양의 탄소 또는 소스 재질, B4C로서 산정된 약 0.4 내지 2.0퍼센트의 붕소 카바이드; 양호하게도 알파 위상인 균형을 이룬 실리콘 카바이드 및, 25퍼센트 이하의 일시 접합제로 구성되는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  19. 제2항에 있어서, 약 2250℃ 또는 그 이상의 온도로, 질소기압내에서 무압축 소결로 생성되는데, 형상된 몸체는 소결하기 전에 적어도 약 1.45g/㎤의 밀도를 가지며, 상기 형상된 몸체는 또한, 2.5퍼센트의 결합되지 않은 탄소까지 원래의 위치로 분해하기에 충분한 양의 탄소 또는 탄소 소스 재질, B4C로서 산정된 약 0.4 내지 2.0퍼센트의 붕소 카바이드; 양호하게도 알파 위상인 균형을 이룬 실리콘 카바이드 및, 25퍼센트 이하의 일시 접합제로 구성되는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  20. 제18항에 있어서, 소결부는 약 2275℃ 및 2350℃ 사이에서 전도되는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  21. 제1항에 있어서, 25℃와 108MHZ 또는 그 이상에서, 15 이하의 유전 상수를 갖는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  22. 제2항에 있어서, 25℃와, 108MHZ 또는 그 이상에서, 15 이하의 유전 상수를 갖는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  23. 제1항에 있어서, 106HZ 및 25℃에서, 0.2 이하의 손실율을 갖는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  24. 제2항에 있어서, 106HZ 및 25℃에서, 0.2 이하의 손실율을 갖는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  25. 제1항에 있어서, 25℃와, 108HZ 또는 그 이상에서, 0.1 이하의 손실율을 갖는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  26. 제2항에 있어서, 25℃와, 108HZ 또는 그 이상에서, 0.1 이하의 손실율을 갖는 것을 특징으로 하는 소결된 몸체.
  27. 25℃에서 적어도 108ohm ㎝의 D.C. 전기 저항을 갖는 실리콘 카바이드 세라믹 몸체의 제조 공정이 제공되는데, 상기 제조 공정은, 소결하기 전에, 적어도 약 1.45g/㎝의 밀도를 가지며, 본래 아래와 같이 구성되는 형태를 갖춘 몸체를 형성하는 단계와, ⅰ) 2.5퍼센트의 결합되지 않은 탄소까지 원래의 위치로 분해하기에 충분한 양의 탄소 또는 탄소 소스 재질, ⅱ) B4C로서 산정된 약 0.4 내지 2.0퍼센트의 붕소 카바이드; ⅲ) 양호하게도 알파 위상인 균형을 이룬 실리콘 카바이드 및, ⅳ) 25퍼센트 이하의 일시 접합제. 적어도 2.95g/㎤의 밀도와, 2500℃에서 적어도 108ohm ㎝의 전기 저항을 갖는 소결된 몸체를 상기 형태를 갖춘 몸체를 생산하기에 충분한 시간동안에, 약2250℃ 또는 그 이상의 온도에서 질소 기압의 거의 무압축 상태하에 소결하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 카바이드 세라믹 몸체 제조 공정.
  28. 제27항에 있어서, 상기 형상된 몸체는 원래 2퍼센트 이하의 결합되지 않은 탄소, 약 0.5 내지 1.5의 퍼센트의 붕소 카바이드, 약 2275℃ 및 2350℃ 사이에서 상기 먼저 형상된 목적물의 소결로 구성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 카바이드 세라믹 몸체 제조 공정.
  29. 제28항에 있어서, 유출 질소는 소결 고정시에 볼륨에 의해 적어도 50퍼센트의 양으로 유발되는 것을 특징으로 하는 실리콘 카바이드 세라믹 몸체 제조 공정.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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