KR860700241A - 표준 계면밀봉 장치 - Google Patents

표준 계면밀봉 장치

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내용 없음

Description

표준 계면밀봉 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제14도는 제13도의 박스도어와 포트도어가 결합되고 포트가 개방된 상태를 보인 절결종단면도.

Claims (19)

  1. 소재를 수용하고 제1 및 제2 밀봉부를 형성하기 위한 제1 및 제2 접촉부를 갖는 박스, 제2 및 제3 밀봉부를 형성하기 위한 제2 및 제3 접촉부를 갖는 박스도어, 상기 박스와 박스도어를 수용하고 상기 박스도어와 소재들을 청정부로 이송하는 포트수단, 제1 및 제4 밀봉부를 형성하는 제1 및 제4 접촉부가 구비된 상기 포트수단, 제2 및 제4 밀봉부를 형성하기 위한 제2 및 제4 접촉부를 구비한 포트도어, 상기 박스와 박스도어 사이의 제2 접촉부에서 제2 밀봉부가 형성분리 되도록 박스도어를 박스에 견고하게 밀착시키는 박스도어 래치수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 제조되어질 소재를 깨끗하게 유지시키는 표준 계면 밀봉장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 접촉부가 공간부내에 형성되고, 상기 제1 및 제2 접촉부 사이의 공간에서 상기 박스도어 래치 수단이 작동하는 것을 특징으로 하는 표준 계면 밀봉장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기한 박스가 제2 접촉부에 의하여 한정되는 박스 개구부를 갖으며 그 박스도어는 제2 접촉부에서 제2 밀봉부을 형성함에 의해서 상기 개구부를 폐쇄하도록 작용하는 한편 상기 박스도어가 상기 개구부 둘레에 연장되는 제1, 제3 접촉부 사이에 연장되는 제1벽을 갖고, 제2 접촉부를 지지하고 제1벽에 연관되는 제2벽을 가지며, 상기 제1, 제2벽이 상기 제2 접촉부에 의해서 둘러 싸이는 내부 공간을 한정함과 아울러, 상기 박스도어 래치 수단이 상기 박스도어를 박스 개구부가 폐쇄되도록 상기 박스에 대하여 정지 상태로 유지하기 위하여 제1벽을 통하여 박스 내부로 연장되는 잠금수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 표준 계면 밀봉장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 박스도어 래치 수단이 상기 내부공간내에 위치하는 것을 특징으로 하는 표준 계면 밀봉장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 래치 수단이 상기 박스와 박스도어를 잠그기 위한 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 표준 계면 밀봉장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 도어 래치 수단이 상기 스프링을 작동시키도록 전기적으로 구동되는 엑튜에이터를 포함하고 그 엑튜에이터의 작동에 의해 상기 스프링이 상기 박스에서 빠지게 됨에 따라 상기 박스도어가 상기 박스에서 분리되는 것을 특징으로 하는 표준 계면 밀봉장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 스프링이 일정 크기의 구멍을 갖고, 상기 엑튜에이터 수단이 그 구멍에 삽입되는 핀을 갖으며, 그 엑튜에이터의 작동에 따라 박스와 박스도어의 결합 상태가 해제되는 것을 특징으로 하는 표준 계면 밀봉장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 박스도어가 제1벽에 대한 스프링 밀봉부를 구비하고, 상기 스프링이 상기 스프링 밀봉부를 통하여 연장되는 팁을 갖으며, 상기 포트 도어와 상기 박스도어가 그들의 밀봉분을 형성하도록 폐쇄됨에 따라 상기 내부공간이 고립되는 것을 특징으로 하는 표준 계면 밀봉장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 밀봉부들이 형성되는 때에 제1, 제2, 제3 및 제4 밀봉부 사이의 공간들이 상기 스프링 팁에 의하여 관통되는 중간 접촉부를 한정하고 따라서 중간 접촉부의 오염이 최소로 되는 것을 특징으로 하는 표준 계면 밀봉장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 박스도어가 H형 단면을 갖고, 제2 접촉부가 상기 H형 박스도어의 수직벽의 상단부로써 한정되며 제3 접촉부가 상기 H형 박스도어의 상기 수직벽의 바닥에 한정됨과 아울러 제1, 제2 접촉부가 평행한 평면으로 되는 것을 특징으로 하는 표준 계면 밀봉장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 박스도어와 포트도어가 상기 제3 밀봉부가 형성되는 때에 그 포트도어와 박스도어가 일치하도록 대응되는 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 표준 계면 밀봉장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 박스가 박스 대응 수단을 갖고, 상기 포트 수단이 박스 대응 수단에 적합한 포트 대응수단을 갖으며, 따라서 상기 박스가 상기 대응수단들의 작동에 의하여 상기 포트 플레이트와 대응되는 것을 특징으로 하는 표준 계면 밀봉장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 박스의 제1 및 제2 접촉부들이 하나의 박스 오프세트를 갖고, 상기 박스의 제2 및 제3 접촉부들이 하나의 박스도어 오프세트를 갖으며, 상기 박스 오프세트가 박스도어 오프세트와 동일함에 따라 상기 박스도어가 상기 박스 개구부를 폐쇄하도록 제2 밀봉부를 형성하는 때 제1, 제3 접촉부가 동일 평면에 견고하게 접촉되는 것을 특징으로 하는 표준 계면 밀봉장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 박스와 포트 플레이트 사이에 위치하는 제1 밀봉 물질을 포함하고, 상기 제2 접촉부에서 상기 박스와 박스도어 사이에 포함된 제2 밀봉물질을 포함함과 아울러 상기 박스도어와 포트도어 사이의 상기 제3 접촉부에 위치되는 제3 밀봉물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 표준 계면 밀봉장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제4의 밀봉물질이 0-링인 것을 특징으로 하는 표준 계면 밀봉장치.
  16. 제14항에 있어서, 상기 제1, 제3 밀봉물질이 물결모양의 프라스틱인 것을 특징으로 하는 표준 계면 밀봉장치.
  17. 제14항에 있어서, 상기 제2 밀봉물질이 상기 박스의 제2 접촉부와 박스도어의 제2 접촉부의 래버린스 패킹에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 표준 계면 밀봉장치.
  18. 제1항에 있어서, 상기 박스를 상기 포트에 밀착하여 잠그는 박스 래치 수단에 의하여 결합 분리되는 것을 특징으로 하는 표준 계면 밀봉장치.
  19. 제1항에 있어서, 상기 포트 수단이 반도체 웨이퍼들을 보호하기 위한 캐노피를 구비한 반도체 제조장치에 포함되고, 상기 소재들이 반도체 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 표준 계면 밀봉장치.
    ※참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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