KR850002848A - 무질서화된 피복물과 코팅방법 - Google Patents

무질서화된 피복물과 코팅방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

무질서화된 피복물과 코팅방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따라 코팅된 기어 허브의 사시도. 제2도는 본 발명에 따라 코팅된 인써어트 공구의 사시도. 제3도는 본 발명에 따라 코팅된 베어링 핀의 사시도.

Claims (28)

  1. 무질서화된 붕소와 탄소의 층을 특징으로 하는 기판에 적용되는 코팅.
  2. 청구범위 제1항에 있어서, 상기 코팅은 스퍼터링으로 형성되는 것을 특징으로 하는 코팅.
  3. 청구범위 제1항에 있어서, 상기 코팅은 dc 마그네트론 스퍼터링으로 형성되는 것을 특징으로 하는 코팅.
  4. 청구범위 제1항에서 3항까지의 항들중 어느 한 항에 있어서, 피복의 적어도 일부분은 바이어스 스퍼터링으로 형성되는 것을 특징으로 하는 코팅.
  5. 청구범위 제1항에서 3항까지의 항들중 어느 한 항에 있어서, 상기 코팅은 최소한 일부분이 스퍼터링되는 동안에 이용되는 바이어스 전압으로 dc 마그네트론 스퍼텅링에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 코팅.
  6. 청구범위 전기한 항들중 어느 한 항에 있어서, 상기 무질서화된 붕소와 탄소는 비정질 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅.
  7. 청구범위 전기한 항들중 어느 한 항에 있어서, 무질서화된 붕소와 탄소는 다결정질 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅.
  8. 청구범위 전기한 항들중 어느 한 항에 있어서, 무질서화된 자가 붕소와 탄소는 미세결정질물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅.
  9. 청구범위 제1항에서 5항까지의 항들중 어느 한 항에 있어서, 붕소와 탄소는 거의 비정질인 것을 특징으로 하는 코팅.
  10. 청구범위 전기한 항들중 어느 한 항에 있어서, 상기 코팅은 무질서화된 붕소 탄화물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 코팅.
  11. 청구범위 제1항에서 9항까지의 항들중 어느 한 항에 있어서, 상기 코팅은 X가 약 0.60-0.09인 원자 기초의 BxC1-x의 조성물인 것을 특징으로 하는 코팅.
  12. 무질서화된 붕소와 탄소의 층을 기판에 용착시키는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  13. 청구범위 제12항에 있어서, 상기 용착은 스퍼터링으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  14. 청구범위 제12항에 있어서, 상기 용착은 dc 마그네트론 스퍼터링으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  15. 청구범위 제12항에 있어서, 코팅의 적어도 일부분은 바이어스 퍼터링으로 형성되는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  16. 청구범위 제12항에 있어서, 상기 용착은 바이어스 전압을 지닌 dc 마그네트론 스퍼터링으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  17. 청구범위 제12항에서 16항까지의 항들중 어느 한 항에 있어서, 상기 무질서화된 붕소와 탄소는 비정질 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  18. 청구범위 제12항에서 17항까지의 항들중 어느 한 항에 있어서, 상기 무질서화된 붕소와 탄소는 다결정질 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  19. 청구범위 제12항에서 18항까지의 항들중 어느 한 항에 있어서, 무질서화된 붕소와 탄소는 미세결정질 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  20. 청구범위 제12항에서 16항까지의 항들중 어느 한 항에 있어서, 상기 붕소와 탄소는 거의 비정질인 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  21. 청구범위 제12항에서 16항까지의 항들중 어느 한 항에 있어서, 상기 피복물은 무질서화된 붕소 탄화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  22. 청구범위 제12항에서 21항까지의 항들중 어느 한 항에 있어서, 상기 피복물은 X가 약 0.60-0.09인 원자 기초의 BxC1-x의 조성을 지니는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  23. 청구범위 제12항에서 21항까지의 항들중 어느 한 항에 있어서, 피복물의 두께는 약 0.20-8μ의 범위인 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  24. 공구의 작업면의 최소한 일부분 위에 내마모성 피복물층을 지니는 공구로 피가공물을 가공하며, 상기 내마모성 편복물층은 무질서화된 붕소와 탄소의 층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 피가공물을 가공하는 방법.
  25. 청구범위 제24항에 있어서, 상기 피복물층은 스퍼터링으로 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  26. 청구범위 제24항과 25항의 어느 한항에 있어서, 상기 무질서화된 붕소와 탄소물질은 비정질, 미세결정질 및 다결정질 및 다결정질상으로 이루어진 그룹으로부터 선정된 적어도 한 상을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  27. 청구범위 제24항과 26항까지의 항들중 어느 한항에 있어서, 상기 피복물은 무질서화된 붕소 탄화물로 이루어진 것을 특징으로 하는 방법.
  28. 청구범위 제24항과 27항까지의 항들중 어느 한항에 있어서, 상기 피복물은 X가 약 0.60-0.09인 원자를 기초로 하여 BxC1-x의 조성을 지니는 것을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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