KR840007710A - 전자소자 제작방법 - Google Patents

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KR840007710A
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이. 유진 이니스
에어 프로덕츠 케미칼즈 인코오포레이티드
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    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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    • C03C27/00—Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing
    • C03C27/02—Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing by fusing glass directly to metal
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Abstract

내용 없음.

Description

전자소자 제작방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 산화제를 물로 행한 실험에서 로대의 N2-H2분위기의 이슬점에 의한 코바합금의 입계산화층 깊이를 도시한 그래프.
제2도는 산화제를 물로채택하고 이슬점과 벨트속도를 달리했을시 입계산화층 깊이를 도시한 그래프.

Claims (14)

  1. 금속에 용융유리를 밀봉하는 전자 소자제작 방법에 있어서, 산화되지 않은 합금을 로대에서 온도를 상승시킨 분위기로 탈탄시키고, 탈탄시킨 금속을 시간-온도 조건을 조절해가면서 적어도 2마이크로의 입계산화층 깊이만큼 균일하게 연속적으로 산화시키고, 산화된 금속을 다시 가열 밀봉하는 것으로서 상기한 로대의 산화분위기가 산화제를 함유한 매개가스로 이루어지되 산화층이 Fe2O3는 최소로 되고 Fe3O4가 주로 생성되어 산소가 감소되는 양만큼 수소양이 자유롭게 함유되는 것을 특징으로 하는 전자 소자 제작방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기한 로대의 분위기가 주로 불활성가스로 이루어진 것을 특징으로 하는 전자 소자 제작방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기한 산화제가 물인 것을 특징으로 하는 전자소자 제작방법.
  4. 제3항에 있어서, 물과 수소의 체적비가 5.0 이상이 아닌 것을 특징으로 하는 전자 소자 제작방법.
  5. 제1항에 있어서, 로대의 분위기에서 함유된 수소의 체적백분율이 0.25%인 것을 특징으로 하는 전자소자 제작방법.
  6. 제1항에 있어서, 합금(금수)을 산화시킬때로를 통과하는 동안 9분을 주기로 화씨 1400 -1940 (섭씨 760-1060)온도 범위에서 행하는 것을 특징으로 하는 전자소자 제작방법.
  7. 제1항에 있어서, 로대 산화분위기의 이슬점이 화씨 37(섭씨 28)도에서 42(섭씨 5.5)도 사이인 것을 특징으로 하는 전자소자 제작방법.
  8. 제1항에 있어서, 산화분위기가 수소가 체적백분율 25%, 물이 체적백분율 0.6-1.0% 그외 나머지가 질소로 이루어진 것을 특징으로 하는 전자소자 제작방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기한 합금이 철에 니켈과 고발트를 소량 함유한 금속인 것을 특징으로 하는 전자소자 제작방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기한 합금이 철에 28-30% 니켈, 15-18% 코발트, 그외 망간과 다른 성분들이 함유된 것을 특징으로 하는 전자소자 제작방법.
  11. 제1항에 있어서, 상기한 로대 분위기가 0.25체적 백분율의 수소가 함유된 불활성 가스인 것을 특징으로 하는 전자소자 제작방법.
  12. 제1항이 있어서, 상기한 산화제가 이산화탄소인 것을 특징으로 하는 전자소자 제작방법.
  13. 제1항에 있어서, 상기한 산화분위기가 0.25-9.9체적 백분율의 수소와 1-99체적백분율의 이산화탄소이고 그외 나머지가 불활성가스로 이루어진 것을 특징으로 하는 전자소자 제작방법.
  14. 금속에 용융유리를 밀봉하는 전자소자 제작방법에 있어서, 산화되지 않은 합금을 로대에서 온도를 상승시킨 분위기로 탈탄시키고, 탈탄시킨 금속을 시간-온도 조건을 조절해가면서 2 대지 10마이크론의 입계산화층 깊이 만큼 균일하게 연속으로 산화시키고, 산화시킨 금속을 다시 가열밀봉하는 것으로서, 로대의 산화분위기가 체적백분율 0.25%의 수소, 0.6 -1%의 물, 그외 질소 가스로 충전된 것을 특징으로 하는 전자소자 제작방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019840000765A 1983-02-18 1984-02-17 금속과 유리의 밀봉에 의한 전자부품의 제작 방법 KR880001255B1 (ko)

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