KR20240091338A - 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치 및 반도체 디바이스 - Google Patents

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진롱 리
지엔구오 리
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베이징 나우라 마이크로일렉트로닉스 이큅먼트 씨오., 엘티디.
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Abstract

본 발명은 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치 및 반도체 디바이스를 제공한다. 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 웨이퍼 보트를 보관하는 데 사용된다. 이의 2개의 대향하도록 설치된 운반 플랫폼은 웨이퍼 보트의 길이 방향의 양단을 각각 운반하는 데 사용된다. 각 운반 플랫폼에 설치된 제1 위치결정 구조는 웨이퍼 보트의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부가 타단의 2개의 위치결정부를 향하거나 등지는 양측면과 구름 접촉하여, 웨이퍼 보트의 그 길이 방향에서 웨이퍼 보트 임시 보관 장치와의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행하는 데 사용된다. 각 운반 플랫폼에 설치되는 제2 위치결정 구조는 웨이퍼 보트의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부가 서로 향하거나 등지는 양측면과 구름 접촉하여, 웨이퍼 보트의 그 너비 방향에서 웨이퍼 보트 임시 보관 장치와의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행하는 데 사용된다. 본 발명에서 제공하는 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치 및 반도체 디바이스는 웨이퍼의 오염을 감소시켜 웨이퍼의 청결도를 향상시킬 수 있다.

Description

반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치 및 반도체 디바이스
본 발명은 반도체 디바이스 기술 분야에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치 및 반도체 디바이스에 관한 것이다.
수평 플라즈마 강화 화학 기상 증착(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD) 디바이스는 고온 조건에서 웨이퍼의 표면에 실리콘 질화 박막을 증착 형성할 수 있다. 고온 반응 후, 웨이퍼를 운반하는 데 사용되는 웨이퍼 보트는 웨이퍼 보트 임시 보관 장치에서 냉각되어야 한다. 웨이퍼 보트가 실온에 가깝게 냉각된 후, 매니퓰레이터에서 웨이퍼 보트를 작동시켜 플립-칩핑(flip-chipping)을 수행한다.
종래의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 웨이퍼 보트를 임시 보관할 때, 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 위치결정 구조에 구비된 위치결정면이 먼저 웨이퍼 보트의 위치결정부의 위치결정면과 슬라이딩 접촉된다. 웨이퍼 보트와 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 상대적 위치에 대한 위치결정을 수행한 후, 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 운반 플랫폼이 다시 웨이퍼 보트의 양단과 접촉된다. 웨이퍼 보트를 운반한 후, 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 냉각 어셈블리가 웨이퍼 보트에 냉풍을 블로잉하여 웨이퍼 보트를 냉각시킨다.
그러나, 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 위치결정 구조는 웨이퍼 보트의 위치결정부와 면과 면이 슬라이딩 접촉되고 복수의 웨이퍼 보트의 재질이 흑연이다. 따라서 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 위치결정 구조와 웨이퍼 보트의 위치결정부가 접촉하게 되면, 흑연 재질의 웨이퍼 보트의 위치결정부에 흑연 입자가 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 위치결정 구조에 의해 마찰이 일어날 수 있다. 냉각 어셈블리가 웨이퍼 보트에 냉풍을 블로잉하면, 마찰된 흑연 입자가 웨이퍼 보트로 블로잉되어, 웨이퍼 보트에 의해 운반된 웨이퍼가 흑연 입자에 의해 오염되므로 웨이퍼의 청결도가 저하된다.
본 발명은 목적은 종래 기술의 기술적 문제 중 적어도 하나를 해결하기 위하여 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치 및 반도체 디바이스를 제공하는 데에 있다. 이는 웨이퍼의 오염을 감소시키고 웨이퍼의 청정도를 향상시킬 수 있다.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치를 제공하며, 이는 웨이퍼 보트를 보관하는 데 사용된다. 상기 웨이퍼 보트는 그 길이 방향의 양단에 모두 2개의 위치결정부가 설치된다. 각 단부의 2개의 상기 위치결정부는 상기 웨이퍼 보트의 너비 방향으로 이격 설치된다. 상기 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 2개의 대향하도록 설치된 운반 플랫폼을 포함하며 상기 웨이퍼 보트의 그 길이 방향의 양단을 각각 운반하는 데 사용된다. 상기 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 각각의 상기 운반 플랫폼에 설치된 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조를 더 포함한다.
상기 제1 위치결정 구조는 상기 웨이퍼 보트의 길이 방향의 일단의 2개의 상기 위치결정부가 타단의 2개의 상기 위치결정부를 향하거나 등지는 양측면과 구름 접촉하여, 상기 웨이퍼 보트의 그 길이 방향에서 상기 웨이퍼 보트 임시 보관 장치와의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행하는 데 사용된다.
상기 제2 위치결정 구조는 상기 웨이퍼 보트의 길이 방향의 일단의 2개의 상기 위치결정부가 서로 향하거나 등지는 양측면과 구름 접촉하여, 상기 웨이퍼 보트의 그 너비 방향에서 상기 웨이퍼 보트 임시 보관 장치와의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행하는 데 사용된다.
선택적으로, 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에서, 2개의 상기 제1 위치결정 구조 사이의 거리는 2개의 상기 제2 위치결정 구조 사이의 거리보다 짧다. 상기 제1 위치결정 구조는 상기 웨이퍼 보트의 길이 방향의 일단의 2개의 상기 위치결정부가 타단의 2개의 상기 위치결정부를 향하는 양측면과 구름 접촉하는 데 사용된다. 상기 제2 위치결정 구조는 상기 웨이퍼 보트의 길이 방향의 일단의 2개의 상기 위치결정부가 서로 향하는 양측면과 구름 접촉하는 데 사용된다.
선택적으로, 제1 위치결정 구조는 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에 수직으로 이격 설치된 2개의 제1 롤러를 포함한다. 2개의 상기 제1 롤러는 모두 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에 수직으로 둘러싸며 상기 운반 플랫폼과 회전 가능하도록 연결되어, 상기 웨이퍼 보트의 길이 방향의 일단의 2개의 상기 위치결정부가 타단의 2개의 상기 위치결정부를 향하거나 등지는 양측면과 각각 구름 접촉하는 데 사용된다.
선택적으로, 제1 위치결정 구조는 2개의 제1 연결 부재 및 2개의 제1 회전축을 더 포함한다. 2개의 상기 제1 연결 부재는 모두 상기 운반 플랫폼과 연결되며 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에 수직으로 이격 설치된다. 2개의 상기 제1 회전축은 2개의 상기 제1 연결 부재에 각각 관통 설치된다. 각각의 상기 제1 회전축의 축 방향은 모두 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향과 수직이다. 2개의 상기 제1 롤러는 상기 제1 회전축의 축선을 중심으로 회전 가능하게 2개의 상기 제1 회전축을 각각 씌우도록 설치된다.
선택적으로, 상기 제2 위치결정 구조는 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에 수직으로 이격 설치된 2개의 제2 롤러를 포함한다. 2개의 상기 제2 롤러는 모두 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에 평행하게 둘러싸며 상기 운반 플랫폼과 회전 가능하도록 연결된다. 또한 상기 웨이퍼 보트의 길이 방향의 일단의 2개의 상기 위치결정부가 서로 향하거나 등지는 양측면과 각각 구름 접촉하는 데 사용된다.
선택적으로, 상기 제2 위치결정 구조는 2개의 제2 연결 부재 및 2개의 제2 회전축을 더 포함한다. 2개의 상기 제2 연결 부재는 모두 상기 운반 플랫폼과 연결되며 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에 수직으로 이격 설치된다. 2개의 상기 제2 회전축은 2개의 상기 제2 연결 부재에 각각 관통 설치된다. 각각의 상기 제2 회전축의 축 방향은 모두 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향과 평행하다. 2개의 상기 제2 롤러는 상기 제2 회전축의 축선을 중심으로 회전 가능하게 2개의 상기 제2 회전축을 각각 씌우도록 설치된다.
선택적으로, 상기 운반 플랫폼에는 제1 나사산 연결공이 설치된다. 상기 제2 연결 부재에는 연결장공이 설치된다. 상기 연결장공의 장축은 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에 수직이다. 상기 제2 위치결정 구조는 제1 나사산 연결 부재를 더 포함한다. 상기 제1 나사산 연결 부재는 상기 연결장공을 관통하여 상기 제1 나사산 연결공과 나사산 연결된다. 상기 제1 나사산 연결 부재는 상기 연결장공과의 그 장축 방향에서의 상대적 위치를 조절함으로써, 상기 제2 연결 부재와 상기 운반 플랫폼의 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에 수직인 상대적 위치를 조절할 수 있다.
선택적으로, 상기 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 2개의 제1 지지 기둥, 2개의 제1 지지판 및 2개의 제2 지지판을 더 포함한다. 2개의 상기 제1 지지 기둥의 판면에 수직인 축선은 평행하다. 2개의 상기 제1 지지판은 2개의 상기 제1 지지 기둥과 각각 연결된다. 상기 제1 지지판의 축선은 상기 제1 지지 기둥의 축선과 수직이다. 2개의 상기 제2 지지판은 2개의 상기 제1 지지판과 각각 연결된다. 상기 제2 지지판의 판면에 수직인 축선은 상기 제1 지지판의 판면에 수직인 축선과 수직이며, 상기 제1 지지 기둥의 축선과 수직이다. 2개의 상기 운반 플랫폼은 2개의 상기 제2 지지판과 각각 연결된다.
선택적으로, 상기 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 조절축, 제1 고정 부재 및 제2 고정 부재를 더 포함한다. 상기 제1 고정 부재는 상기 제2 지지판과 연결되며 상기 제2 고정 부재와 착탈 가능하도록 연결된다. 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재에는 제1 오목홈과 제2 오목홈이 각각 개설된다. 상기 제1 오목홈과 상기 제2 오목홈은 서로 맞추어져 조절공을 형성할 수 있다. 상기 조절공의 축 방향은 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향과 평행하다.
상기 조절축은 상기 운반 플랫폼과 연결되며 상기 조절공에 관통 설치된다. 상기 조절축은 상기 조절공과의 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에 평행한 상대적 위치를 조절함으로써, 2개의 상기 운반 플랫폼 사이의 거리를 조절할 수 있다.
선택적으로, 상기 운반 플랫폼에는 높이차 보상 부재가 더 설치된다. 상기 높이차 보상 부재는 그 중 하나의 상기 운반 플랫폼에 설치된다. 상기 높이차 보상 부재의 상표면은 상기 운반 플랫폼의 상표면보다 높다.
선택적으로, 상기 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 검출 부재를 더 포함한다. 상기 검출 부재는 상기 제1 지지판에 설치되며 상기 운반 플랫폼에 상기 웨이퍼 보트가 운반되는지 여부를 검출하는 데 사용된다. 상기 검출 부재는 상기 운반 플랫폼에 운반되는 상기 웨이퍼 보트와의 사이에 소정 단열 거리가 구비된다.
선택적으로, 상기 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 액냉 부재, 공냉 부재 및 필터 부재를 더 포함한다. 상기 액냉 부재는 그 주위의 가스를 냉각하는 데 사용된다. 상기 공냉 부재는 상기 액냉 부재에 상대적으로 상기 운반 플랫폼에 근접하며, 상기 액냉 부재에 의해 냉각된 가스를 상기 운반 플랫폼에 운반되는 상기 웨이퍼 보트에 블로잉하는 데 사용된다. 상기 필터 부재는 상기 액냉 부재와 공냉 부재 사이에 설치된다. 또한 상기 공냉 부재가 상기 운반 플랫폼에 운반되는 상기 웨이퍼 보트에 블로잉하는 가스를 필터링하는 데 사용된다.
선택적으로, 상기 공냉 부재는 팬 및 지지 브라켓을 포함한다. 상기 팬은 상기 지지 브라켓의 상방에 설치되어 상기 액냉 부재에 의해 냉각된 가스를 상기 운반 플랫폼에 운반되는 상기 웨이퍼 보트에 블로잉하는 데 사용된다. 상기 지지 브라켓의 하방에는 상기 필터 부재를 수용하는 수용홈이 설치된다. 상기 지지 브라켓에는 상기 팬 및 상기 수용홈과 각각 연통되는 통풍구가 설치된다. 상기 수용홈은 상기 필터 부재의 픽 앤 플레이스를 위한 제1 픽 앤 플레이스 개구를 구비한다.
선택적으로, 상기 팬은 복수개이고, 복수의 상기 팬은 복수의 팬 세트로 나뉜다. 각각의 상기 팬 세트는 적어도 하나의 상기 팬을 포함한다. 상기 지지 브라켓은 복수개이고, 상기 공냉 부재는 지지 프레임을 더 포함한다. 복수의 상기 팬 세트는 복수의 상기 지지 브라켓에 일대일 대응하도록 설치된다. 상기 지지 프레임에는 복수의 상기 지지 브라켓을 일대일 대응하도록 장착하기 위한 복수의 장착 공간이 개설된다. 상기 지지 프레임에는 복수의 상기 장착 공간 및 복수의 상기 제1 픽 앤 플레이스 개구와 일대일 대응하도록 연통되는 복수의 제2 픽 앤 플레이스 개구가 개설된다. 각각의 상기 제2 픽 앤 플레이스 개구는 상기 필터 부재의 픽 앤 플레이스에 사용된다.
선택적으로, 상기 공냉 부재는 팬 보호 부재를 더 포함한다. 상기 팬 보호 부재는 상기 팬의 상방을 덮고, 상기 팬 보호 부재에 상기 팬을 노출시키기 위한 노출구가 개설된다.
선택적으로, 상기 액냉 부재는 액냉 본체, 액냉 브라켓, 액체 유입관 및 액체 배출관을 포함한다. 상기 액냉 본체는 상기 액냉 브라켓과 연결된다. 상기 액체 유입관은 상기 액냉 본체와 연통되어, 상기 액냉 본체에 냉각액을 수송하는 데 사용된다. 상기 액체 배출관은 상기 액냉 본체와 연통되어, 상기 액냉 본체로부터 승온된 상기 냉각액을 배출시키는 데 사용된다.
본 발명은 반도체 디바이스를 더 제공하며, 여기에는 본 발명에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치가 포함된다. 상기 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 상기 웨이퍼 보트를 임시 보관하는 데 사용된다.
본 발명의 유익한 효과는 하기와 같다.
본 발명에서 제공하는 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는, 웨이퍼 보트가 웨이퍼 보트 임시 보관 장치로 이동하면, 각 운반 플랫폼에 설치된 제1 위치결정 구조를 통해 웨이퍼 보트의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부가 타단의 2개의 위치결정부를 향하거나 등지는 양측면과 구름 접촉한다. 2개의 운반 플랫폼에 설치된 제1 위치결정 구조를 통해 웨이퍼 보트의 그 길이 방향에서 웨이퍼 보트 임시 보관 장치와의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행한다. 또한 각 운반 플랫폼에 설치된 제2 위치결정 구조를 통해 웨이퍼 보트의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부가 서로 향하거나 등지는 양측면과 구름 접촉한다. 2개의 운반 플랫폼에 설치된 제2 위치결정 구조를 통해 웨이퍼 보트의 그 너비 방향에서 웨이퍼 보트 임시 보관 장치와의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행한다. 따라서 웨이퍼 보트와 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행한다. 그런 다음 대향하도록 설치된 2개의 운반 플랫폼을 통해 웨이퍼 보트 길이 방향의 양단을 각각 운반하여 웨이퍼 보트를 운반한다. 본 발명에서 제공하는 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는, 웨이퍼 보트와 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행하는 과정에서, 2개의 운반 플랫폼의 제1 위치결정 구조와 제2 위치결정 구조가 모두 웨이퍼 보트의 위치결정부와 구름 접촉된다. 이는 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조와 웨이퍼 보트의 위치결정부가 슬라이딩 접촉되는 것에 비해, 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조와 웨이퍼 보트의 위치결정부의 마찰력을 감소시킬 수 있다. 따라서 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조와 웨이퍼 보트의 위치결정부의 마찰력으로 인한 입자 오염물을 줄일 수 있다. 나아가 공냉을 통해 웨이퍼 보트를 냉각할 때, 웨이퍼 보트에 의해 운반되는 웨이퍼의 오염을 감소시켜 웨이퍼의 청결도를 향상시킬 수 있다.
본 발명에서 제공하는 반도체 디바이스는 본 발명에서 제공하는 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치를 통해 웨이퍼 보트를 임시 보관한다. 따라서 웨이퍼의 오염을 감소시켜 웨이퍼의 청결도를 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치에 의해 임시 보관되는 웨이퍼 보트의 구조도이다.
도 2는 도 1에서 M 지점의 부분 확대 구조도이다.
도 3은 도 1에서 N 지점의 부분 확대 구조도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 구조도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 저장 장치의 운반 플랫폼, 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조의 구조도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 저장 장치의 운반 플랫폼, 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조의 저면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 저장 장치의 웨이퍼 보트 임시 저장 장치, 운반 플랫폼, 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조의 구조도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 저장 장치의 웨이퍼 보트 임시 저장 장치, 운반 플랫폼, 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조의 저면도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치 및 검출 부재의 구조도이다.
도 10은 웨이퍼 보트가 웨이퍼 보트 임시 저장 장치에 비스듬하게 운반되는 구조도이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치에 복수의 웨이퍼 보트가 저장된 구조도이다.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 액냉 부재, 공냉 부재 및 필터 부재의 구조도이다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 팬, 지지 브라켓 및 필터 부재의 구조도이다.
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 팬, 지지 브라켓, 지지 프레임 및 필터 부재의 구조도이다.
도 15는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 지지 프레임의 구조도이다.
도 16은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 저장 장치의 지지 프레임이 제2 연결 부재를 통해 제2 지지판과 연결된 구조도이다.
도 17은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 액냉 부재의 구조도이다.
본 발명이 속한 기술분야의 당업자가 본 발명의 기술적 해결책을 보다 잘 이해할 수 있도록, 이하에서는 첨부 도면을 참조하여 본 발명에서 제공하는 웨이퍼 보트 임시 보관 장치 및 반도체 디바이스를 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치에 임시 보관이 가능한 웨이퍼 보트(01)를 소개한다. 이러한 웨이퍼 보트(01)는 그 길이 방향의 양단에 2개의 위치결정부(011)가 각각 설치된다. 또한 각 단부의 2개의 위치결정부(011)는 웨이퍼 보트(01)의 너비 방향으로 이격 설치된다. 즉, 웨이퍼 보트(01)는 그 길이 방향의 일단에 2개의 위치결정부(011)가 설치되고, 타단에도 2개의 위치결정부(011)가 설치된다. 웨이퍼 보트(01)의 그 길이 방향의 일단에 설치된 2개의 위치결정부(011)는 웨이퍼 보트(01)는 너비 방향으로 이격 설치된다. 타단에 설치된 2개의 위치결정부(011)도 웨이퍼 보트(01)의 너비 방향으로 이격 설치된다. 웨이퍼 보트(01)는 그 길이 방향으로 위치결정부(011)가 설치된 양단 사이의 부분이 웨이퍼를 운반하는 데 사용된다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 언급된 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 타단의 2개의 위치결정부(011)를 향하는 양측면은 도 2에서 측면 A에 도시된 바와 같다. 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 타단의 2개의 위치결정부(011)를 등지는 양측면은 도 3에서 측면 B에 도시된 바와 같다. 즉, 측면 A와 측면 B는 서로 등지고 있다. 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 서로 향하는 양측면은 도 2 및 도 3에서 측면 C에 도시된 바와 같다. 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 서로 등지는 양측면은 도 2 및 도 3에서 측면 D에 도시된 바와 같다. 즉, 측면 C와 측면 D는 서로 등지고 있다. 구체적인 일 실시예에 있어서, 각 위치결정부(011)는 전술한 4개 측면 A 내지 D로 구성된 사각뿔체이다. 측면 C와 측면 D가 교차하며 협각을 형성하고, 측면 A와 측면 B는 서로 평행하다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예는 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치를 제공하며, 이는 웨이퍼 보트(01)를 임시 보관하는 데 사용된다. 웨이퍼 보트(01)는 그 길이 방향의 양단에 모두 2개의 위치결정부(011)가 설치된다. 각 단부의 2개의 위치결정부(011)는 웨이퍼 보트(01)의 너비 방향으로 이격 설치된다. 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 2개의 대향하도록 설치된 운반 플랫폼(11)을 포함하며, 웨이퍼 보트(01)의 그 길이 방향의 양단을 각각 운반하는 데 사용된다. 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 각 운반 플랫폼(11)에 설치된 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조를 더 포함한다. 동일한 운반 플랫폼(11)에 위치한 제1 위치결정 구조와 제2 위치결정 구조는 각도를 이루도록 설치된다. 특히 웨이퍼 보트(01)를 임시 보관하고, 그 각 단부의 2개의 위치결정부(011)의 위치를 결정하기 위하여, 동일한 운반 플랫폼(11)에 위치한 제1 위치결정 구조와 제2 위치결정 구조는 서로 수직으로 설치된다. 여기에서 제1 위치결정 구조는 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 타단의 2개의 위치결정부(011)를 향하거나 등지는 양측면과 구름 접촉하여, 웨이퍼 보트(01)의 그 길이 방향에서 웨이퍼 보트 임시 보관 장치와의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행하는 데 사용된다. 상기 제2 위치결정 구조는 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 서로 향하거나 등지는 양측면과 구름 접촉하여, 웨이퍼 보트(01)의 그 너비 방향에서 웨이퍼 보트 임시 보관 장치와의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행하는 데 사용된다.
구체적으로, 제1 위치결정 구조는 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 타단의 2개의 위치결정부(011)를 향하는 양측면과 구름 접촉하는 데 사용된다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 위치결정 구조와 위치결정부(011)의 양측면 A가 구름 접촉된다. 또는 제1 위치결정 구조는 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 타단의 2개의 위치결정부(011)를 등지는 양측면과 구름 접촉하는 데 사용된다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 위치결정 구조와 위치결정부(011)의 양측면 B가 구름 접촉된다. 상기 설치를 통해, 제1 위치결정 구조는 웨이퍼 보트(01)의 그 길이 방향에서 웨이퍼 보트 임시 보관 장치와의 상대적 위치에 대한 위치결정을 구현한다.
제2 위치결정 구조는 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 서로 향하는 양측면과 구름 접촉한다. 즉, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 위치결정 구조와 위치결정부(011)의 양측면 C가 구름 접촉된다. 또는 제2 위치결정 구조는 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 서로 등지는 양측면과 구름 접촉한다. 즉, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 위치결정 구조와 위치결정부(011)의 양측면 D가 구름 접촉된다. 상기 설치를 통해, 제2 위치결정 구조는 웨이퍼 보트(01)의 그 너비 방향에서 웨이퍼 보트 임시 보관 장치와의 상대적 위치에 대한 위치결정을 구현한다.
본 발명의 실시예에서 제공하는 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는, 웨이퍼 보트(01)가 웨이퍼 보트 임시 보관 장치로 이동하면, 각 운반 플랫폼(11)에 설치된 제1 위치결정 구조를 통해 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 타단의 2개의 위치결정부(011)를 향하거나 등지는 양측면과 구름 접촉한다. 2개의 운반 플랫폼(11)에 설치된 제1 위치결정 구조를 통해 웨이퍼 보트(01)의 그 길이 방향에서 웨이퍼 보트 임시 보관 장치와의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행한다. 또한 각 운반 플랫폼(11)에 설치된 제2 위치결정 구조를 통해 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 서로 향하거나 등지는 양측면과 구름 접촉한다. 2개의 운반 플랫폼(11)에 설치된 제2 위치결정 구조를 통해 웨이퍼 보트(01)의 그 너비 방향에서 웨이퍼 보트 임시 보관 장치와의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행한다. 따라서 웨이퍼 보트(01)와 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행한다. 또한 상대적으로 설치된 2개의 운반 플랫폼(11)를 통해 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 양단을 각각 운반하여 웨이퍼 보트(01)를 운반한다. 본 발명의 실시예에서 제공하는 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는, 웨이퍼 보트(01)와 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행하는 과정에서, 2개의 운반 플랫폼(11)의 제1 위치결정 구조와 제2 위치결정 구조가 모두 웨이퍼 보트(01)의 위치결정부(011)와 구름 접촉된다. 이는 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조와 웨이퍼 보트(01)의 위치결정부(011)가 슬라이딩 접촉되는 것에 비해, 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조와 웨이퍼 보트(01)의 위치결정부(011)의 마찰력을 감소시킬 수 있다. 따라서 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조와 웨이퍼 보트(01)의 위치결정부(011)의 마찰력으로 인한 입자 오염물을 줄일 수 있다. 나아가 공냉을 통해 웨이퍼 보트(01)를 냉각할 때, 웨이퍼 보트(01)에 의해 운반되는 웨이퍼의 오염을 감소시켜 웨이퍼의 청결도를 향상시킬 수 있다.
즉, 웨이퍼 보트(01)가 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 보트 임시 보관 장치로 이동하여 임시 보관되면, 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 타단의 2개의 위치결정부(011)를 향하거나 등지는 양측면이 2개의 운반 플랫폼(11) 중 하나의 운반 플랫폼(11)의 제1 위치결정 구조와 구름 접촉된다. 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 타단의 2개의 위치결정부(011)가 일단의 2개의 위치결정부(011)를 향하거나 등지는 양측면은 2개의 운반 플랫폼(11) 중 다른 하나의 운반 플랫폼(11)의 제1 위치결정 구조와 구름 접촉된다. 또한 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 서로 향하거나 등지는 양측면은 2개의 운반 플랫폼(11) 중 하나의 운반 플랫폼(11)의 제2 위치결정 구조와 구름 접촉된다. 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 타단의 2개의 위치결정부(011)가 서로 향하거나 등지는 양측면은 2개의 운반 플랫폼(11) 중 다른 하나의 운반 플랫폼(11)의 제2 위치결정 구조와 구름 접촉된다. 2개의 운반 플랫폼(11)의 제1 위치결정 구조를 통해 웨이퍼 보트(01)의 그 길이 방향에서 웨이퍼 보트 임시 보관 장치와의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행한다. 또한 2개의 운반 플랫폼(11)의 제2 위치결정 구조를 통해 웨이퍼 보트(01)의 그 너비 방향에서 웨이퍼 보트 임시 보관 장치와의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행한다. 따라서 2개의 운반 플랫폼(11)의 제1 위치결정 구조와 제2 위치결정 구조를 통해 웨이퍼 보트(01)와 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행한다. 그 다음 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단은 2개의 운반 플랫폼(11) 중 하나와 접촉된다. 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 타단은 2개의 운반 플랫폼(11) 중 다른 하나와 접촉된다. 2개의 운반 플랫폼(11)을 통해 웨이퍼 보트(01)를 운반하여, 웨이퍼 보트(01)가 웨이퍼 보트 임시 보관 장치에 운반되도록 한다.
웨이퍼 보트(01)의 위치결정부(011)는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 2개의 운반 플랫폼(11)의 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조와 접촉된다. 2개의 운반 플랫폼(11)의 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조를 통해 웨이퍼 보트(01)와 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행하면, 웨이퍼 보트(01)의 위치결정부(011)는 2개의 운반 플랫폼(11)의 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조와 구름 접촉된다. 따라서 이는 웨이퍼 보트(01)의 위치결정부(011)와 종래의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 위치결정 구조가 슬라이딩 접촉되는 것에 비해, 웨이퍼 보트(01)의 위치결정부(011)가 받는 마찰력을 감소시킬 수 있다. 따라서 흑연 재질의 웨이퍼 보트(01)에서 제1 위치결정 구조와 제2 위치결정 구조에 의해 마찰되는 흑연 입자를 감소시킬 수 있다. 나아가 공랭을 통해 웨이퍼 보트(01)를 냉각할 때, 웨이퍼 보트(01)에 의해 운반되는 웨이퍼의 오염을 줄이고 웨이퍼의 청결도를 향상시킬 수 있다.
본 발명의 비교적 바람직한 실시예에 있어서, 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에서, 2개의 제1 위치결정 구조 사이의 거리는 2개의 제2 위치결정 구조 사이의 거리보다 짧다. 제1 위치결정 구조는 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 타단의 2개의 위치결정부(011)를 향하는 양측면과 구름 접촉하는 데 사용된다. 제2 위치결정 구조는 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 서로 향하는 양측면과 구름 접촉하는 데 사용될 수 있다.
웨이퍼 보트(01)가 웨이퍼 보트 임시 보관 장치로 이동하여 임시 보관되면, 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 타단의 2개의 위치결정부(011)를 향한 양측면이 제1 위치결정 구조와 구름 접촉된다. 웨이퍼 보트(01)의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 서로 향하는 양측면은 제2 위치결정 구조와 구름 접촉된다. 이처럼 제1 위치결정 구조와 제2 위치결정 구조가 웨이퍼 보트(01)와 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행한다. 또한 웨이퍼 보트(01)가 운반 플랫폼(11)에 운반되면, 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향에서 위치결정부(011)가 설치된 양단 사이의 웨이퍼를 운반하는 데 사용되는 부분이 2개의 제1 위치결정 구조 사이에 위치한다. 2개의 제2 위치결정 구조 사이의 거리는 2개의 제1 위치결정 구조 사이의 거리보다 길다. 따라서 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향에서 위치결정부(011)가 설치된 양단 사이의 웨이퍼를 운반하는 데 사용되는 부분도 2개의 제2 위치결정 구조 사이에 위치한다. 따라서 제1 위치결정 구조와 제2 위치결정 구조가 웨이퍼 보트(01)에 의해 운반되는 웨이퍼를 손상시키는 것을 방지하여, 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 사용 안정성을 향상시킨다. 또한 이러한 설계는 운반 플랫폼(11)이 웨이퍼 보트(01)를 운반하는 위치가 웨이퍼 보트(01)의 중심에 근접하도록 하여, 운반 플랫폼(11)이 안정적으로 웨이퍼 보트(01)를 운반할 수 있도록 한다. 따라서 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 사용 안정성을 향상시킨다.
도 5 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 비교적 바람직한 실시예에 있어서, 제1 위치결정 구조는 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로 이격 설치된 2개의 제1 롤러(33)를 포함한다. 2개의 제1 롤러(33)는 모두 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로 둘러싸며 운반 플랫폼(11)과 회전 가능하도록 연결되어, 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 타단의 2개의 위치결정부(011)를 향하는 양측면(즉, 측면 A)과 각각 구름 접촉하는 데 사용된다. 또는 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 타단의 2개의 위치결정부(011)를 등지는 양측면(즉, 측면 B)과 각각 구름 접촉하는 데 사용된다.
제1 롤러(33)와 운반 플랫폼(11)의 회전 연결을 구현하는 방식은 다양하다. 예를 들어, 제1 위치결정 구조는 2개의 제1 연결 부재(31) 및 2개의 제1 회전축(32)을 더 포함한다. 2개의 제1 연결 부재(31)는 모두 운반 플랫폼(11)과 연결되며 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로 이격 설치된다. 2개의 제1 회전축(32)은 2개의 제1 연결 부재(31)에 각각 관통 설치된다. 각각의 제1 회전축(32)의 축 방향은 모두 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향과 수직이다. 2개의 제1 롤러(33)는 제1 회전축(32)의 축선을 중심으로 회전 가능하게 2개의 제1 회전축(32)을 각각 씌우도록 설치된다.
이러한 설계는 2개의 제1 롤러(33)가 각각 2개의 회전축과 2개의 연결 부재를 통해 운반 플랫폼(11)과 연결되도록 할 수 있다. 또한 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로 이격 설치되도록 할 수 있다. 웨이퍼 보트(01)가 웨이퍼 보트 임시 보관 장치로 이동하여 임시 보관되면, 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 타단의 2개의 위치결정부(011)를 향한 양측면(즉, 측면 A)이 하나의 운반 플랫폼(11)의 제1 위치결정 구조의 2개의 제1 롤러(33)와 각각 접촉된다. 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 타단의 2개의 위치결정부(011)가 일단의 2개의 위치결정부(011)를 향하는 양측면(즉, 측면 A)은 다른 하나의 운반 플랫폼(11)의 제1 위치결정 구조의 2개의 제1 롤러(33)와 각각 접촉된다. 제1 회전축(32)의 축 방향과 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향이 수직이고, 제1 롤러(33)가 제1 회전축(32)의 축선을 중심으로 회전하며 제1 회전축(32)을 씌우도록 설치된다. 따라서 제1 롤러(33)가 위치결정부(011)의 작용력 하에서 제1 회전축(32)의 회전축을 중심으로 회전할 수 있다. 이는 웨이퍼 보트(01) 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 타단의 2개의 위치결정부(011)를 향하는 양측면과 구름 접촉되도록 구현한다.
도 5 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 비교적 바람직한 실시예에 있어서, 제2 위치결정 구조는 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로 이격 설치된 2개의 제2 롤러(23)를 포함한다. 2개의 제2 롤러(23)는 모두 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 평행하게 둘러싸며 운반 플랫폼(11)과 회전 가능하도록 연결되어, 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 서로 향하는 양측면(즉, 측면 C)과 각각 구름 접촉하는 데 사용된다. 또는 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 서로 등지는 양측면(즉, 측면 D)과 각각 구름 접촉하는 데 사용된다.
제2 롤러(23)와 운반 플랫폼(11)의 회전 연결을 구현하는 방식은 다양하다. 예를 들어, 제2 위치결정 구조는 2개의 제2 연결 부재(21) 및 2개의 제2 회전축(22)을 더 포함한다. 2개의 제2 연결 부재(21)는 모두 운반 플랫폼(11)과 연결되며 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로 이격 설치된다. 2개의 제2 회전축(22)은 2개의 제2 연결 부재(21)에 각각 관통 설치된다. 각각의 제2 회전축(22)의 축 방향은 모두 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향과 평행하다. 2개의 제2 롤러(23)는 제2 회전축(22)의 축선을 중심으로 회전 가능하게 2개의 제2 회전축(22)을 각각 씌우도록 설치되며, 웨이퍼 보트(01) 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 서로 향하는 양측면(도 2에서 측면 C)과 각각 구름 접촉하는 데 사용된다.
이러한 설계는 2개의 제2 롤러(23)가 각각 2개의 제2 회전축(22)과 2개의 연결 부재를 통해 운반 플랫폼(11)과 연결되도록 할 수 있다. 또한 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로 이격 설치되도록 할 수 있다. 웨이퍼 보트(01)가 웨이퍼 보트 임시 보관 장치로 이동하여 임시 보관되면, 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 서로 향하는 양측면(즉, 측면 C)이 하나의 운반 플랫폼(11)의 제2 위치결정 구조의 2개의 제2 롤러(23)와 각각 접촉된다. 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 타단의 2개의 위치결정부(011)가 서로 향하는 양측면(즉, 측면 C)은 다른 하나의 운반 플랫폼(11)의 제2 위치결정 구조의 2개의 제2 롤러(23)와 각각 접촉된다. 제2 회전축(22)의 축 방향과 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향이 수직이고, 제2 롤러(23)가 제2 회전축(22)의 축선을 중심으로 회전하며 제2 회전축(22)을 씌우도록 설치된다. 따라서 제2 롤러(23)가 위치결정부(011)의 작용력 하에서 제2 회전축(22)의 회전축을 중심으로 회전할 수 있다. 이는 웨이퍼 보트(01) 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)가 서로 향하는 양측면과 구름 접촉되도록 구현한다.
본 발명의 비교적 바람직한 실시예에 있어서, 제2 연결 부재(21)는 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로, 다른 하나의 제2 연결 부재(21)에 근접하거나 멀도록 운반 플랫폼(11)과 조절 가능하게 연결될 수 있다.
이러한 설계는 상이한 웨이퍼 보트(01)로 인해, 웨이퍼 보트(01)의 너비 방향으로 이격 설치된 2개의 위치결정부(011) 사이의 거리가 상이하다. 제2 연결 부재(21)를 조절함으로써, 제2 연결 부재(21)가 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로 다른 제2 연결 부재(21)에 근접하거나 멀어지도록 한다(도 8의 제2 연결 부재(21)에 화살표로 표시). 2개의 제2 연결 부재(21)의 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로 이격된 거리를 조절하여, 2개의 제2 연결 부재(21)와 각각 연결된 2개의 제2 롤러(23)가 웨이퍼 보트(01)의 너비 방향에서 상이한 거리로 이격된 2개의 위치결정부(011)에 적응할 수 있도록 한다. 이는 웨이퍼 보트 임시 보관 장치를 상이한 웨이퍼 보트(01)에 적용할 수 있도록 하므로, 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 적응성이 향상된다.
예를 들어, 하나의 제2 연결 부재(21)를 조절함으로써, 상기 제2 연결 부재(21)가 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로 다른 제2 연결 부재(21)에 근접하도록 한다. 2개의 제2 연결 부재(21)의 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로 이격된 거리를 감소시켜, 2개의 제2 연결 부재(21)와 각각 연결된 2개의 제2 롤러(23)가 웨이퍼 보트(01)의 너비 방향에서 비교적 짧은 거리로 이격된 2개의 위치결정부(011)에 적응할 수 있도록 한다. 또한 하나의 제2 연결 부재(21)를 조절함으로써, 상기 제2 연결 부재(21)가 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로 다른 제2 연결 부재(21)에서 멀어지도록 한다. 2개의 제2 연결 부재(21)의 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로 이격된 거리를 증가시켜, 2개의 제2 연결 부재(21)와 각각 연결된 2개의 제2 롤러(23)가 웨이퍼 보트(01)의 너비 방향에서 비교적 긴 거리로 이격된 2개의 위치결정부(011)에 적응할 수 있도록 한다.
도 6 및 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 비교적 바람직한 실시예에 있어서, 운반 플랫폼(11)에는 제1 나사산 연결공이 설치될 수 있다. 제2 연결 부재(21)에는 연결장공(211)이 설치된다. 상기 연결장공(211)의 장축은 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직이다. 제2 위치결정 구조는 제1 나사산 연결 부재(25)를 더 포함할 수 있다. 연결장공(211)의 장축은 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직이다. 제1 나사산 연결 부재(25)는 연결장공(211)을 관통하여 제1 나사산 연결공과 나사산 연결된다. 또한 제1 나사산 연결 부재(25)는 연결장공(211)과의 그 장축 방향에서의 상대적 위치를 조절함으로써, 제2 연결 부재(21)와 운반 플랫폼(11)의 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직인 상대적 위치를 조절할 수 있다.
2개의 제2 연결 부재(21)의 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로 이격된 거리를 조절해야 하는 경우, 제1 나사산 연결 부재(25)를 느슨하게 하여, 제2 연결 부재(21)가 운반 플랫폼(11)에 상대적으로 움직일 수 있도록 할 수 있다. 제2 연결 부재(21)에 설치된 연결장공(211)의 장축은 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직이다. 따라서 이때 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로 제2 연결 부재(21)를 이동시켜, 제2 연결 부재(21)가 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로 다른 제2 연결 부재(21)에 근접하거나 멀어지도록 할 수 있다. 2개의 제2 연결 부재(21)의 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로 이격된 거리를 적합한 위치로 조절하는 경우, 제1 나사산 연결 부재(25)를 조여 제2 연결 부재(21)와 운반 플랫폼(11)을 조일 수 있다. 이를 통해 제2 연결 부재(21)가 운반 플랫폼(11)에 상대적으로 움직이지 못하도록 한다. 따라서 2개의 제2 연결 부재(21)의 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 수직으로 이격된 거리의 조절을 완료할 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 선택적으로, 제1 위치결정 구조는 잠금 링(34)을 더 포함할 수 있다. 제1 회전축(32)의 일단에는 잠금 링(34)을 삽입하기 위한 환형 홈이 설치된다. 잠금 링(34)은 상기 환형 홈에 삽입되며 제1 회전축(32)을 씌우도록 설치된 제1 롤러(33)의 일단과 맞닿아, 제1 롤러(33)를 제1 회전축(32)에 잠근다.
도 4, 도 7 내지 도 9, 도 11 및 도 16에 도시된 바와 같이, 본 발명의 비교적 바람직한 실시예에 있어서, 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 2개의 제1 지지 기둥(41), 2개의 제1 지지판(42) 및 2개의 제2 지지판(43)을 더 포함한다. 2개의 제1 지지 기둥(41)의 축선은 평행하다. 2개의 제1 지지판(42)은 2개의 제1 지지 기둥(41)과 각각 연결된다. 제1 지지판(42)의 판면에 수직인 축선은 제1 지지 기둥(41)의 축선과 수직이다. 2개의 제2 지지판(43)은 2개의 제1 지지판(42)과 각각 연결된다. 제2 지지판(43)의 판면에 수직인 축선은 제1 지지판(42)의 판면에 수직인 축선과 수직이며, 제1 지지 기둥(41)의 축선과 수직이다. 2개의 운반 플랫폼(11)은 2개의 제2 지지판(43)과 각각 연결된다. 상기 판면은 지지판의 외표면 중 면적이 가장 넓은 면을 의미한다.
2개의 제1 지지 기둥(41)이 수직으로 거치되면, 2개의 제1 지지 기둥(41)의 축선은 수직 방향과 평행하다. 제1 지지판(42)의 판면에 수직인 축선은 제1 지지 기둥(41)의 축선과 수직이다. 따라서 이때 제1 지지판(42)의 판면에 수직인 축선은 수평 방향과 평행하다. 제2 지지판(43)의 판면에 수직인 축선은 제1 지지판(42)의 판면에 수직인 축선과 수직이며 제1 지지 기둥(41)의 축선과 수직이다. 따라서 이때 제2 지지판(43)의 판면에 수직인 축선은 수평 방향과 평행하고 제1 지지판(42)의 판면에 수직인 축선과 수평 방향에서 수직이다. 즉, 제2 지지판(43)의 판면에 수직인 축선과 제1 지지판(42)의 판면에 수직인 축선은 "L"자형을 나타낸다. 2개의 운반 플랫폼(11)은 각각 2개의 제2 지지판(43)과 연결되며 대향하도록 설치된다. 2개의 제1 지지 기둥(41)은 2개의 제1 지지판(42)과 2개의 제2 지지판(43)을 각각 지지함으로써, 2개의 운반 플랫폼(11)을 지지하여 2개의 운반 플랫폼(11)이 웨이퍼 보트(01)를 운반할 수 있도록 한다.
도 4, 도 7, 도 9, 도 11 및 도 16에 도시된 바와 같이, 선택적으로, 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 2개의 제1 연결 부재(45)를 더 포함할 수 있다. 2개의 제1 연결 부재(45)는 각각 2개의 제1 지지 기둥(41)과 연결되며, 각각 2개의 제1 지지판(42)과 연결된다. 즉, 2개의 제1 지지판(42)은 각각 2개의 제1 연결 부재(45)를 통해 2개의 제1 지지 기둥(41)과 각각 연결된다.
도 11에 도시된 바와 같이, 선택적으로, 각각의 제1 지지 기둥(41)의 축 방향으로 모두 복수의 제1 지지판(42) 및 복수의 제2 지지판(43)이 설치될 수 있다. 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 복수의 운반 세트를 포함할 수 있다. 각각의 운반 세트는 모두 대향하도록 설치된 2개의 운반 플랫폼(11)을 포함한다. 운반 세트의 수량은 제1 지지 기둥(41) 축 방향의 제2 지지판(43)의 수량과 동일하다. 각 운반 세트의 운반 플랫폼(11)은 복수의 제2 지지판(43)과 일대일 대응하도록 연결된다. 각 운반 세트는 모두 웨이퍼 보트(01)를 운반하는 데 사용된다. 복수의 운반 플랫폼(11) 세트를 통해 동시에 복수의 웨이퍼 보트(01)를 운반할 수 있어, 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 임시 보관 능력이 향상된다.
도 11에 도시된 바와 같이, 선택적으로, 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 2개의 제2 지지 기둥(44)을 더 포함할 수 있다. 그 중 하나의 제2 지지 기둥(44)의 양단은 각각 2개의 제1 지지 기둥(41)의 일단과 연결되고, 다른 제2 지지 기둥(44)의 양단은 각각 2개의 제1 지지 기둥(41)의 타단과 연결된다. 이처럼 2개의 제1 지지 기둥(41)과 2개의 제2 지지 기둥(44)이 하나의 프레임을 형성하여, 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 안정성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 비교적 바람직한 실시예에 있어서, 운반 플랫폼(11)은 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향으로, 다른 운반 플랫폼(11)에 근접하거나 멀어지도록 제2 지지판(43)과 조절 가능하게 연결될 수 있다.
이러한 설계는 상이한 웨이퍼 보트(01)로 인해, 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 일단의 2개의 위치결정부(011)와 타단의 2개의 위치결정부(011) 사이의 거리가 상이하다. 운반 플랫폼(11)을 조절함으로써, 하나의 운반 플랫폼(11)이 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향으로 다른 운반 플랫폼(11)에 근접하거나 멀어지도록 한다(도 8의 운반 플랫폼(11)에 화살표로 표시). 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에서 2개의 운반 플랫폼(11) 사이의 거리를 조절하여, 하나의 운반 플랫폼(11)과 연결된 2개의 제1 롤러(33) 및 다른 운반 플랫폼(11)과 연결된 2개의 제1 롤러(33)가, 웨이퍼 보트(01) 길이 방향에서 상이한 거리로 이격된 2개의 위치결정부(011)에 적응할 수 있도록 한다. 이는 웨이퍼 보트 임시 보관 장치를 상이한 웨이퍼 보트(01)에 적용할 수 있도록 하므로, 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 적응성이 향상된다.
예를 들어, 하나의 운반 플랫폼(11)을 조절함으로써, 상기 운반 플랫폼(11)이 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에서 다른 운반 플랫폼(11)에 근접하도록 하여, 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에서 2개의 운반 플랫폼(11) 사이의 거리를 감소시킬 수 있다. 이를 통해 하나의 운반 플랫폼(11)과 연결된 2개의 제1 롤러(33) 및 다른 하나의 운반 플랫폼(11)과 연결된 2개의 제1 롤러(33)가, 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향으로 비교적 짧은 거리로 이격된 2개의 위치결정부(011)에 적응할 수 있도록 한다. 또한 하나의 운반 플랫폼(11)을 조절함으로써, 상기 운반 플랫폼(11)이 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에서 다른 운반 플랫폼(11)으로부터 멀어지도록 하여, 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에서 2개의 운반 플랫폼(11) 사이의 거리를 증가시킬 수 있다. 이를 통해 하나의 운반 플랫폼(11)과 연결된 2개의 제1 롤러(33) 및 다른 하나의 운반 플랫폼(11)과 연결된 2개의 제1 롤러(33)가, 웨이퍼 보트(01) 길이 방향으로 비교적 긴 거리로 이격된 2개의 위치결정부(011)에 적응할 수 있도록 한다.
도 5 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 비교적 바람직한 실시예에 있어서, 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 조절축(13), 제1 고정 부재(14) 및 제2 고정 부재(15)를 더 포함할 수 있다. 제1 고정 부재(14)는 제2 지지판(43)과 연결되며 제2 고정 부재(15)와 착탈 가능하도록 연결된다. 제1 고정 부재(14)와 제2 고정 부재(15)에는 제1 오목홈과 제2 오목홈이 각각 개설된다. 상기 제1 오목홈과 제2 오목홈은 맞추어져 조절공을 형성할 수 있다. 상기 조절공의 축 방향은 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향과 평행하다. 조절축(13)은 운반 플랫폼(11)과 연결되며 상기 조절공에 관통 설치된다. 조절축(13)은 상기 조절공과의 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에 평행한 상대적 위치를 조절함으로써, 2개의 운반 플랫폼(11) 사이의 거리를 조절할 수 있다.
2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에서 2개의 운반 플랫폼(11) 사이의 거리를 조절해야 하는 경우, 제2 고정 부재(15)와 제1 고정 부재(14)를 분해하여, 제2 오목홈과 제1 오목홈을 분리할 수 있다. 즉, 조절공이 조절축(13)의 클램핑을 해제하여, 운반 플랫폼(11)과 연결된 조절축(13)이 조절공에 상대적으로 이동할 수 있도록 한다. 조절축(13)의 축 방향은 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향과 평행하다. 따라서 이때, 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에서 조절축(13)을 이동시켜, 조절축(13)과 연결된 하나의 운반 플랫폼(11)이 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에서 다른 운반 플랫폼(11)에 근접하거나 멀어지도록 할 수 있다. 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에서 2개의 운반 플랫폼(11) 사이의 거리를 적합한 위치로 조절하면, 제2 고정 부재(15)와 제1 고정 부재(14)를 연결하여, 제2 오목홈과 제1 오목홈이 조절공을 형성하도록 할 수 있다. 조절공을 통해 조절축(13)을 클램핑하여, 운반 플랫폼(11)과 연결된 조절축(13)이 조절공에 상대적으로 이동할 수 없도록 한다. 따라서 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향에서 2개의 운반 플랫폼(11) 사이의 거리 조절을 완료한다.
도 6 및 도 8에 도시된 바와 같이, 선택적으로, 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 제3 연결 부재(16) 및 잠금 부재(17)를 더 포함할 수 있다. 제3 연결 부재(16)는 운반 플랫폼(11)과 연결된다. 조절축(13)은 제3 연결 부재(16)에 관통되며 제3 연결 부재(16)와 연결된다. 잠금 부재(17)는 제3 연결 부재(16)를 관통하며 제2 연결 부재(21)와 맞닿아 제3 연결 부재(16)의 위치를 잠근다.
도 5 및 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 비교적 바람직한 실시예에 있어서, 운반 플랫폼(11)에는 높이차 보상 부재(12)가 더 설치될 수 있다. 높이차 보상 부재(12)는 그 중 하나의 운반 플랫폼(11)에 설치된다. 높이차 보상 부재(12)의 상표면은 운반 플랫폼(11)의 상표면보다 높다.
이러한 설계는 가공 오차 및 설치 오차로 인해 대향하도록 설치된 2개의 운반 플랫폼(11)이 동일한 수평 높이에 위치하도록 보장할 수 없어, 대향하도록 설치된 2개의 운반 플랫폼(11)이 웨이퍼 보트(01) 길이 방향의 양단을 각각 운반하게 된다. 웨이퍼 보트(01)를 운반할 때, 웨이퍼 보트(01)가 기울어져(도 10에 도시된 바와 같음), 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 위치결정부(011)가 설치된 양단 사이의 웨이퍼를 운반하는 데 사용되는 부분이 운반 플랫폼(11)과 접촉될 수 있다. 즉, 운반 플랫폼(11)이 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향의 위치결정부(011)가 설치된 양단 사이의 웨이퍼를 운반하는 데 사용되는 부분이 접촉되어, 웨이퍼 보트(01)를 운반하게 된다. 이 경우 웨이퍼 보트(01)에 의해 운반되는 웨이퍼가 운반 플랫폼(11)에 접촉되어, 웨이퍼 보트(01)에 의해 운반되는 웨이퍼가 운반 플랫폼(11)의 외력으로 인해 파손될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는, 그 중 하나의 운반 플랫폼(11)에 높이차 보상 부재(12)를 설치한다. 높이차 보상 부재(12)를 통해 대향하도록 설치된 2개의 운반 플랫폼(11)의 수평 높이 오차를 보상하여, 웨이퍼 보트(01)를 2개의 운반 플랫폼(11)에 수평으로 거치시킬 수 있다. 선택적으로, 높이차 보상 부재(12)를 그 중 하나의 운반 플랫폼(11)에 설치하고, 2개의 운반 플랫폼(11)의 대향하는 방향으로 다른 운반 플랫폼(11)에서 멀어지는 일측에 위치시킨다. 이를 통해 높이차 보상 부재(12)가 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향으로 위치결정부(011)가 설치된 양단 사이의 웨이퍼를 운반하는 데 사용되는 부분에서 멀어지도록 하여, 높이차 보상 부재(12)가 웨이퍼 보트(01)의 길이 방향으로 위치결정부(011)가 설치된 양단 사이의 웨이퍼를 운반하는 데 사용되는 부분과 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 따라서 높이차 보상 부재(12)가 웨이퍼 보트(01)에 의해 운반되는 웨이퍼와 접촉하여, 웨이퍼 보트(01)에 의해 운반되는 웨이퍼를 파손시키는 것을 방지하므로, 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 안정성이 향상된다.
도 5 및 도 7에 도시된 바와 같이, 선택적으로, 높이차 보상 부재(12)는 높이차 보상판을 포함할 수 있다. 상기 높이차 보상판의 상표면은 웨이퍼 보트(01)의 일단과 접촉시키는 데 사용된다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 비교적 바람직한 실시예에 있어서, 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 검출 부재(5)를 더 포함할 수 있다. 검출 부재(5)는 제1 지지판(42)에 설치되며, 운반 플랫폼(11)에 웨이퍼 보트(01)가 운반되는지 여부를 검출하는 데 사용된다. 검출 부재(5)와 운반 플랫폼(11)에 운반되는 웨이퍼 보트(01) 사이에는 소정 단열 거리가 구비된다.
검출 부재(5)를 통해 운반 플랫폼(11)에 웨이퍼 보트(01)가 운반되는지 여부를 검출한다. 이는 운반 플랫폼(11)에 웨이퍼 보트(01)가 운반될 때, 여전히 운반 플랫폼(11)에 웨이퍼 보트(01)가 이송되어 2개의 웨이퍼 보트(01)가 충돌하고 이로 인해 웨이퍼 보트(01) 및 웨이퍼 보트(01)에 운반되는 웨이퍼가 손상되는 상황이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 사용 안정성이 향상된다. 또한 검출 부재(5)와 운반 플랫폼(11)에 운반되는 웨이퍼 보트(01) 사이에 소정 단열 거리를 구비함으로써, 반도체 공정 종료 후 웨이퍼 보트(01)의 고온 열로 인해 검출 부재(5)가 손상되는 것을 방지할 수 있다. 나아가 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 사용 안정성을 향상시킬 수 있다.
선택적으로, 소정 단열 거리는 80밀리미터(mm) 이상일 수 있다.
도 7 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 비교적 바람직한 실시예에 있어서, 검출 부재(5)는 광전 센서(51)를 포함할 수 있다. 이러한 설계는 광전 센서(51)가 웨이퍼 보트(01)와 접촉하지 않고 운반 플랫폼(11)에 웨이퍼 보트(01)가 운반되는지 여부를 검출할 수 있다. 따라서 반도체 공정 종료 후 웨이퍼 보트(01)의 고온 열로 인해 검출 부재(5)가 손상되는 것을 방지할 수 있기 때문이다. 나아가 웨이퍼 보트 임시 보관 장치의 사용 안정성이 향상된다.
도 7 및 도 9에 도시된 바와 같이, 선택적으로, 광전 센서(51)는 제1 지지판(42)과 제2 지지판(43)의 연결 지점에 위치할 수 있다.
도 7 및 도 9에 도시된 바와 같이, 선택적으로, 검출 부재(5)는 검출 지지 부재(52)를 더 포함할 수 있다. 검출 지지 부재(52)는 제1 지지판(42)에 설치된다. 광전 센서(51)는 검출 지지 부재(52)와 연결되며, 검출 지지 부재(52)는 광전 센서(51)를 지지하는 데 사용된다.
도 11 내지 도 17에 도시된 바와 같이, 본 발명의 비교적 바람직한 실시예에 있어서, 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 액냉 부재(9), 공냉 부재 및 필터 부재(7)를 더 포함할 수 있다. 액냉 부재(9)는 그 주위의 가스를 냉각하는 데 사용된다. 공냉 부재는 액냉 부재(9)에 상대적으로 운반 플랫폼(11)에 더욱 근접하며, 액냉 부재(9)에 의해 냉각된 가스를 운반 플랫폼(11)에 운반되는 웨이퍼 보트(01)에 블로잉하는 데 사용된다. 필터 부재(7)는 액냉 부재(9)와 공냉 부재 사이에 설치된다. 또한 공냉 부재가 운반 플랫폼(11)에 운반되는 웨이퍼 보트(01)에 블로잉하는 가스를 필터링하는 데 사용된다.
액냉 부재(9)와 공냉 부재를 통해 운반 플랫폼(11)에 운반되는 웨이퍼 보트(01)를 냉각하여, 반도체 공정 종료 후 고온 웨이퍼 보트(01)의 온도를 낮출 수 있다. 즉, 반도체 공정 종료 후, 웨이퍼 보트(01)는 운반 플랫폼(11)으로 이동한다. 액냉 부재(9)와 공냉 부재는 운반 플랫폼(11)에 운반되는 웨이퍼 보트(01)를 냉각시켜, 웨이퍼 보트(01)의 온도를 낮춘다.
액냉 부재(9)는 그 주위의 가스와 열을 교환하여 그 주위의 가스를 냉각시킬 수 있다. 공냉 부재는 액냉 부재(9)에 상대적으로 운반 플랫폼(11)에 가깝다. 공냉 부재는 액냉 부재(9)에 의해 냉각된 가스를 운반 플랫폼(11)에 운반되는 웨이퍼 보트(01)에 블로잉시켜, 액냉 부재(9)에 의해 냉각된 가스와 웨이퍼 보트(01)를 열교환시켜 웨이퍼 보트(01)를 냉각시킨다. 필터 부재(7)는 액냉 부재(9)와 공냉 부재 사이에 설치된다. 이처럼 액냉 부재(9) 주위가 액냉 부재(9)에 의해 냉각된 가스에 의해 공냉 부재를 통해 웨이퍼 보트(01)로 블로잉되는 과정에서, 필터 부재(7)를 거쳐 필터 부재(7)에 의해 필터링될 수 있다.
이와 같이, 웨이퍼 보트(01)가 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조와 마찰하여 입자 오염물을 생성하더라도, 필터 부재(7)를 통해 가스와 함께 공냉 부재에 의해 블로잉된 입자 오염물을 가스와 함께 웨이퍼 보트(01)에 도달하기 전에 필터링하여, 입자 오염물이 웨이퍼 보트(01)에 도달하는 것을 방지할 수 있다. 또한 본 출원의 발명자는 웨이퍼 보트 임시 보관 장치 주위에 웨이퍼 보트(01)와 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조의 마찰에 의해 입자 오염물이 떨어지는 것을 제외한 나머지 입자 오염물이 존재할 수도 있음을 발견하였다. 필터 부재(7)를 통해 가스와 함께 공냉 부재에 의해 블로잉된 웨이퍼 보트(01)와 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조의 마찰에 의해 생성된 입자 오염물이 떨어지는 것을 제외한 나머지 입자 오염물을 가스와 함께 웨이퍼 보트(01)에 도달하기 전에 필터링할 수 있다. 이를 통해 웨이퍼 보트(01)와 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조의 마찰에 의해 생성된 입자 오염물이 떨어지는 것을 제외한 나머지 입자 오염물이 웨이퍼 보트(01)에 도달하는 것을 방지할 수 있다. 따라서 웨이퍼 보트(01)에 운반되는 웨이퍼의 오염을 더욱 줄여 웨이퍼의 청결도를 더욱 향상시킬 수 있다.
도 11에 도시된 바와 같이, 선택적으로, 액냉 부재(9), 공냉 부재 및 필터 부재(7)는 운반 플랫폼(11)에 대응하는 운반 플랫폼(11)의 하방에 설치될 수 있다.
도 4 및 도 11에 도시된 바와 같이, 선택적으로, 액냉 부재(9), 공냉 부재 및 필터 부재(7)는 제2 지지판(43)과 연결될 수 있다.
도 11에 도시된 바와 같이, 선택적으로, 제1 지지 기둥(41)의 축 방향으로 복수의 제1 지지판(42) 및 복수의 제2 지지판(43)이 설치되고, 웨이퍼 보트 임시 보관 장치에 복수의 운반 세트가 포함되고, 각 운반 세트에 모두 대향하도록 설치된 2개의 운반 플랫폼(11)이 포함되고, 운반 세트의 수량이 제1 지지 기둥(41) 축 방향의 제2 지지판(43)의 수량과 동일하고, 각 운반 세트의 운반 플랫폼(11)이 복수의 제2 지지판(43)과 일대일 대응하도록 연결되는 경우, 액냉 부재(9), 공냉 부재 및 필터 부재(7)의 수량은 모두 복수개일 수 있다. 복수의 액냉 부재(9), 복수의 공냉 부재 및 복수의 필터 부재(7)는 복수의 제2 지지판(43)과 일대일 대응하도록 연결되며, 운반 플랫폼(11)에 운반되는 웨이퍼 보트(01)를 일대일 대응하도록 냉각하는 데 사용된다.
선택적으로, 액냉 부재(9), 공냉 부재 및 필터 부재(7)의 총 높이는 90mm 이하일 수 있다. 이는 액냉 부재(9), 공냉 부재 및 필터 부재(7)의 높이 방향으로의 점용 공간을 감소시켜, 운반 플랫폼(11)의 웨이퍼 보트(01) 운반을 위한 더 큰 공간을 제공한다.
본 발명의 비교적 바람직한 실시예에 있어서, 필터 부재(7)에는 면이 포함될 수 있다. 면 내부의 갭이 비교적 작아, 입자 오염물을 차단할 수 있을 뿐만 아니라, 공냉 부재에서 웨이퍼 보트(01)로 불로잉하는 가스가 통과할 수 있도록 한다. 또한 면은 입자 오염물을 흡착할 수도 있다. 이는 필터망보다 더욱 우수한 필터링 효과를 나타낼 수 있다. 따라서 웨이퍼 보트(01)에서 운반되는 웨이퍼의 오염을 더욱 감소시키고 웨이퍼의 청결도를 더욱 향상시킬 수 있다.
도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이, 본 발명의 비교적 바람직한 실시예에 있어서, 공냉 부재는 팬(81) 및 지지 브라켓(82)을 포함할 수 있다. 팬(81)은 지지 브라켓(82)의 상방에 설치되며, 액냉 부재(9)에 의해 냉각되는 가스를 운반 플랫폼(11)에 운반되는 웨이퍼 보트(01)에 블로잉하는 데 사용된다. 지지 브라켓(82)의 하방에는 필터 부재(7)를 수용하기 위한 수용홈(821)이 설치된다. 지지 브라켓(82)에는 각각 팬(81) 및 수용홈(821)과 연통되는 통풍구가 설치된다. 수용홈(821)은 필터 부재(7)의 픽 앤 플레이스를 위한 제1 픽 앤 플레이스 개구가 구비된다.
즉, 필터 부재(7)는 수용홈(821)에 수용된다. 팬(81)은 지지 브라켓(82)의 상방에 설치된다. 공냉 부재가 액냉 부재(9)에 의해 냉각된 가스를 웨이퍼 보트(01)에 블로잉하면, 팬(81)은 동력을 제공하여 액냉 부재(9)에 의해 냉각된 가스를 필터 부재(7)의 하방에서 필터 부재(7)의 상방으로 블로잉한다. 가스는 필터 부재(7)의 하방에서 필터 부재(7)의 상방으로 이동하는 과정에서, 수용홈(821)의 홈 개구, 필터 부재(7)와 통풍구를 순차적으로 지나며, 가스는 필터 부재(7)를 지날 때 필터 부재(7)에 의해 필터링된다. 따라서 필터 부재(7)를 통해 가스와 함께 유동하는 입자 오염물을 필터링할 수 있다. 수용홈(821)에는 필터 부재(7)의 픽 앤 플레이스를 위한 제1 픽 앤 플레이스 개구가 구비된다. 제1 픽 앤 플레이스 개구를 통해 오래된 필터 부재(7)를 수용홈(821) 내에서 꺼내고 새로운 필터 부재(7)를 수용홈(821) 내에 넣을 수 있다. 따라서 필터 부재(7)의 교체가 용이하다.
도 12 내지 도 15에 도시된 바와 같이, 본 발명의 비교적 바람직한 실시예에 있어서, 팬(81)은 복수개일 수 있고, 복수의 팬(81)은 복수의 팬 세트로 나뉜다. 각 팬 세트는 적어도 하나의 팬(81)을 포함한다. 지지 브라켓(82)은 복수개이고, 공냉 부재는 지지 프레임(83)을 더 포함한다. 복수의 팬 세트는 복수의 지지 브라켓(82)에 일대일 대응하도록 설치된다. 지지 프레임(83)에는 복수의 지지 브라켓(82)을 일대일 대응하도록 장착하기 위한 복수의 장착 공간이 개설된다. 지지 프레임(83)에는 복수의 장착 공간 및 복수의 제1 픽 앤 플레이스 개구와 일대일 대응하도록 연통되는 복수의 제2 픽 앤 플레이스 개구가 개설된다. 각 제2 픽 앤 플레이스 개구는 필터 부재(7)의 픽 앤 플레이스에 사용된다.
복수개를 설치함으로써 공냉 부재가 웨이퍼 보트(01)에 블로잉하는 가스의 양을 증가시켜, 웨이퍼 보트(01) 냉각 효과를 향상시키고, 웨이퍼 보트(01)의 냉각 시간을 단축시키며, 작업 효율을 향상시킬 수 있다.
예를 들어, 도 12 내지 도 15에 도시된 바와 같이, 팬(81)은 12개일 수 있고, 12개의 팬(81)은 3개의 팬 세트로 나뉜다. 각 팬 세트는 모두 4개의 팬(81)을 포함한다. 각 팬 세트의 4개의 팬(81)은 1개의 지지 브라켓(82)에 설치된다. 지지 프레임(83)에는 3개의 지지 브라켓(82)을 일대일 대응하도록 장착하기 위한 3개의 장착 공간이 개설된다. 지지 프레임(83)에는 3개의 장착 공간 및 3개의 지지 브라켓(82)의 3개의 제1 픽 앤 플레이스 개구와 일대일 대응하도록 연통되는 3개의 제2 픽 앤 플레이스 개구가 개설된다. 각 제2 픽 앤 플레이스 개구를 통해 오래된 필터 부재(7)를 수용홈(821) 내에서 꺼내고 새로운 필터 부재(7)를 수용홈(821) 내에 넣을 수 있다. 따라서 필터 부재(7)의 교체가 용이하다.
그러나, 팬(81)의 수량, 팬 세트의 수량, 각 팬 세트의 팬(81)의 수량, 지지 브라켓(82)의 수량, 지지 프레임(83)의 장착 공간의 수량 및 제2 픽 앤 플레이스 개구의 수량은 이에 한정되지 않는다.
도 4 및 도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명의 비교적 바람직한 실시예에 있어서, 공냉 부재는 팬 보호 부재(85)를 더 포함할 수 있다. 팬 보호 부재(85)는 팬(81)의 상방을 덮는다. 또한 팬 보호 부재(85)에는 팬(81)을 노출시키기 위한 노출구(86)가 개설된다.
팬(81)에 의해 웨이퍼 보트(01)에 블로잉되는 가스는 노출구(86)를 통해 웨이퍼 보트(01)에 블로잉된다.
도 15 및 도 16에 도시된 바와 같이, 선택적으로, 지지 프레임(83) 길이 방향의 양단에는 제2 연결 부재(84)가 설치될 수 있으며, 제2 연결 부재(84)는 제2 지지판(43)과 연결될 수 있다.
이와 같이 지지 프레임(83)을 제2 연결 부재(84)를 통해 제2 지지판(43)과 연결할 수 있다. 따라서 액냉 부재(9), 공냉 부재 및 필터 부재(7)를 제2 지지판(43)과 연결할 수 있다.
도 12 및 도 17에 도시된 바와 같이, 본 발명의 비교적 바람직한 실시예에 있어서, 액냉 부재(9)는 액냉 본체(91), 액냉 브라켓(92), 액체 유입관(93) 및 액체 배출관(94)을 포함할 수 있다. 액냉 본체(91)는 액냉 브라켓(92)과 연결된다. 액체 유입관(93)은 액냉 본체(91)와 연통되어, 액냉 본체(91)에 냉각액을 수송하는 데 사용된다. 액체 배출관(94)은 액냉 본체(91)와 연통되며, 액냉 본체(91)로부터 승온된 냉각액을 배출시키는 데 사용된다.
액체 유입관(93)은 액냉 본체(91)에 냉각액을 수송한다. 냉각액은 액냉 본체(91)에서 액냉 본체(91) 주위의 가스와 열교환하여, 액냉 본체(91) 주위의 가스를 냉각시킨다. 냉각액과 액냉 본체(91) 주위의 가스의 열교환 과정에서, 액냉 본체(91) 주위의 가스 열로 인해 냉각액의 온도가 상승한다. 승온된 냉각액은 더 이상 액냉 본체(91) 주위의 가스를 냉각할 필요가 없다. 액체 배출관(94)을 통해 액냉 본체(91)로부터 승온된 냉각액을 배출시킨다. 액체 유입관(93)은 계속해서 액냉 본체(91)에 냉각액을 이송할 수 있으며, 액냉 본체(91)의 냉각액을 계속해서 액냉 본체(91) 주위의 가스와 열교환시킬 수 있다. 이를 통해 지속적으로 액냉 본체(91) 주위의 가스를 냉각시킨다.
도 4에 도시된 바와 같이, 선택적으로, 액냉 브라켓(92)은 지지 프레임(83)과 연결되며, 지지 프레임(83)의 하방에 위치할 수 있다.
도 4, 도 12 및 도 17에 도시된 바와 같이, 본 발명의 비교적 바람직한 실시예에 있어서, 액냉 부재(9)는 액체 유입 온오프 밸브(95) 및 액체 배출 온오프 밸브(96)를 더 포함할 수 있다. 액체 유입 온오프 밸브(95)는 액체 유입관(93)에 설치되어, 액체 유입관(93)의 온오프를 제어하는 데 사용된다. 액체 배출 온오프 밸브(96)는 액체 배출관(94)에 설치되어 액체 배출관(94)의 온오프를 제어하는 데 사용된다.
이와 같이 실제 상황에 따라, 액체 유입 온오프 밸브(95)를 통해 액체 유입관(93)의 온오프를 제어함으로써, 냉각액이 액체 유입관(93)을 통해 액냉 본체(91)로 이송되는지 여부를 제어할 수 있다. 또한 액체 배출 온오프 밸브(96)를 통해 액체 배출관(94)의 온오프를 제어함으로써, 액냉 본체(91)의 냉각액이 액체 배출관(94)을 통해 배출되는지 여부를 제어할 수 있다.
선택적으로, 액체 유입 온오프 밸브(95)는 볼 밸브를 포함할 수 있다.
선택적으로, 액체 배출 온오프 밸브(96)는 볼 밸브를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예는 반도체 디바이스를 더 제공하며, 여기에는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치가 포함된다. 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 웨이퍼 보트(01)를 임시 보관하는 데 사용된다.
본 발명의 실시예에서 제공하는 반도체 디바이스는 본 발명의 실시예에서 제공하는 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치를 통해 웨이퍼 보트(01)를 임시 보관한다. 따라서 웨이퍼의 오염을 감소시켜 웨이퍼의 청결도를 향상시킬 수 있다.
요약하면, 본 발명의 실시예에서 제공하는 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치 및 반도체 디바이스는 웨이퍼의 오염을 감소시켜 웨이퍼의 청결도를 향상시킬 수 있다.
상기 실시예는 본 발명의 원리를 설명하기 위해 사용된 예시적인 실시예일 뿐이며, 본 발명은 이에 한정되지 않음을 이해할 수 있다. 본 발명이 속한 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 사상과 본질을 벗어나지 않고 다양한 수정 및 개선을 진행할 수 있다. 이러한 수정 및 개선은 본 발명의 보호 범위로 간주된다.

Claims (17)

  1. 웨이퍼 보트를 보관하기 위한 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치에 있어서,
    상기 웨이퍼 보트는 그 길이 방향의 양단에 모두 2개의 위치결정부가 설치되고, 각 단부의 2개의 상기 위치결정부는 상기 웨이퍼 보트의 너비 방향으로 이격 설치되고, 상기 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 2개의 대향하도록 설치된 운반 플랫폼을 포함하며, 상기 웨이퍼 보트의 그 길이 방향의 양단을 각각 운반하는 데 사용되고, 상기 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 각각의 상기 운반 플랫폼에 설치된 제1 위치결정 구조 및 제2 위치결정 구조를 더 포함하고,
    상기 제1 위치결정 구조는 상기 웨이퍼 보트의 길이 방향의 일단의 2개의 상기 위치결정부가 타단의 2개의 상기 위치결정부를 향하거나 등지는 양측면과 구름 접촉하여, 상기 웨이퍼 보트의 그 길이 방향에서 상기 웨이퍼 보트 임시 보관 장치와의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행하는 데 사용되고,
    상기 제2 위치결정 구조는 상기 웨이퍼 보트의 길이 방향의 일단의 2개의 상기 위치결정부가 서로 향하거나 등지는 양측면과 구름 접촉하여, 상기 웨이퍼 보트의 그 너비 방향에서 상기 웨이퍼 보트 임시 보관 장치와의 상대적 위치에 대해 위치결정을 수행하는 데 사용되는 것을 특징으로 하는, 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에서, 2개의 상기 제1 위치결정 구조 사이의 거리는 2개의 상기 제2 위치결정 구조 사이의 거리보다 짧고, 상기 제1 위치결정 구조는 상기 웨이퍼 보트의 길이 방향의 일단의 2개의 상기 위치결정부가 타단의 2개의 상기 위치결정부를 향하는 양측면과 구름 접촉하는 데 사용되고, 상기 제2 위치결정 구조는 상기 웨이퍼 보트의 길이 방향의 일단의 2개의 상기 위치결정부가 서로 향하는 양측면과 구름 접촉하는 데 사용되는 것을 특징으로 하는, 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 위치결정 구조는 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에 수직으로 이격 설치된 2개의 제1 롤러를 포함하고, 2개의 상기 제1 롤러는 모두 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에 수직으로 둘러싸며 상기 운반 플랫폼과 회전 가능하도록 연결되어, 상기 웨이퍼 보트의 길이 방향의 일단의 2개의 상기 위치결정부가 타단의 2개의 상기 위치결정부를 향하거나 등지는 양측면과 각각 구름 접촉하는 데 사용되는 것을 특징으로 하는, 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 위치결정 구조는 2개의 제1 연결 부재 및 2개의 제1 회전축을 더 포함하고, 2개의 상기 제1 연결 부재는 모두 상기 운반 플랫폼과 연결되며 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에 수직으로 이격 설치되고, 2개의 상기 제1 회전축은 2개의 상기 제1 연결 부재에 각각 관통 설치되고, 각각의 상기 제1 회전축의 축 방향은 모두 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향과 수직이고, 2개의 상기 제1 롤러는 상기 제1 회전축의 축선을 중심으로 회전 가능하게 2개의 상기 제1 회전축을 각각 씌우도록 설치되는 것을 특징으로 하는, 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제2 위치결정 구조는 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에 수직으로 이격 설치된 2개의 제2 롤러를 포함하고, 2개의 상기 제2 롤러는 모두 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에 평행하게 둘러싸며 상기 운반 플랫폼과 회전 가능하도록 연결되어, 상기 웨이퍼 보트의 길이 방향의 일단의 2개의 상기 위치결정부가 서로 향하거나 등지는 양측면과 각각 구름 접촉하는 데 사용되는 것을 특징으로 하는, 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제2 위치결정 구조는 2개의 제2 연결 부재 및 2개의 제2 회전축을 더 포함하고, 2개의 상기 제2 연결 부재는 모두 상기 운반 플랫폼과 연결되며 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에 수직으로 이격 설치되고, 2개의 상기 제2 회전축은 2개의 상기 제2 연결 부재에 각각 관통 설치되고, 각각의 상기 제2 회전축의 축 방향은 모두 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향과 평행하고, 2개의 상기 제2 롤러는 상기 제2 회전축의 축선을 중심으로 회전 가능하게 2개의 상기 제2 회전축을 각각 씌우도록 설치되는 것을 특징으로 하는, 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 운반 플랫폼에는 제1 나사산 연결공이 설치되고, 상기 제2 연결 부재에는 연결장공이 설치되고, 상기 연결장공의 장축은 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에 수직이고, 상기 제2 위치결정 구조는 제1 나사산 연결 부재를 더 포함하고, 상기 제1 나사산 연결 부재는 상기 연결장공을 관통하여 상기 제1 나사산 연결공과 나사산 연결되고, 상기 제1 나사산 연결 부재는 상기 연결장공과의 그 장축 방향에서의 상대적 위치를 조절함으로써, 상기 제2 연결 부재와 상기 운반 플랫폼의 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에 수직인 상대적 위치를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는, 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 2개의 제1 지지 기둥, 2개의 제1 지지판 및 2개의 제2 지지판을 더 포함하고, 2개의 상기 제1 지지 기둥의 축선은 평행하고, 2개의 상기 제1 지지판은 2개의 상기 제1 지지 기둥과 각각 연결되고, 상기 제1 지지판의 판면에 수직인 축선은 상기 제1 지지 기둥의 축선과 수직이고, 2개의 상기 제2 지지판은 2개의 상기 제1 지지판과 각각 연결되고, 상기 제2 지지판의 판면에 수직인 축선은 상기 제1 지지판의 판면에 수직인 축선과 수직이며, 상기 제1 지지 기둥의 축선과 수직이고, 2개의 상기 운반 플랫폼은 2개의 상기 제2 지지판과 각각 연결되는 것을 특징으로 하는, 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 조절축, 제1 고정 부재 및 제2 고정 부재를 더 포함하고, 상기 제1 고정 부재는 상기 제2 지지판과 연결되며 상기 제2 고정 부재와 착탈 가능하도록 연결되고, 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재에는 제1 오목홈과 제2 오목홈이 각각 개설되고, 상기 제1 오목홈과 상기 제2 오목홈은 서로 맞추어져 조절공을 형성할 수 있고, 상기 조절공의 축 방향은 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향과 평행하고,
    상기 조절축은 상기 운반 플랫폼과 연결되며 상기 조절공에 관통 설치되고, 상기 조절축은 상기 조절공과의 2개의 상기 운반 플랫폼의 대향하는 방향에 평행한 상대적 위치를 조절함으로써, 2개의 상기 운반 플랫폼 사이의 거리를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는, 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 운반 플랫폼에는 높이차 보상 부재가 더 설치되고, 상기 높이차 보상 부재는 그 중 하나의 상기 운반 플랫폼에 설치되고, 상기 높이차 보상 부재의 상표면이 상기 운반 플랫폼의 상표면보다 높은 것을 특징으로 하는, 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 검출 부재를 더 포함하고, 상기 검출 부재는 상기 제1 지지판에 설치되며 상기 운반 플랫폼에 상기 웨이퍼 보트가 운반되는지 여부를 검출하는 데 사용되고, 상기 검출 부재는 상기 운반 플랫폼에 운반되는 상기 웨이퍼 보트와의 사이에 소정 단열 거리가 구비되는 것을 특징으로 하는, 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 액냉 부재, 공냉 부재 및 필터 부재를 더 포함하고, 상기 액냉 부재는 그 주위의 가스를 냉각하는 데 사용되고, 상기 공냉 부재는 상기 액냉 부재에 상대적으로 상기 운반 플랫폼에 근접하며, 상기 액냉 부재에 의해 냉각된 가스를 상기 운반 플랫폼에 운반되는 상기 웨이퍼 보트에 블로잉하는 데 사용되고, 상기 필터 부재는 상기 액냉 부재와 공냉 부재 사이에 설치되며, 상기 공냉 부재가 상기 운반 플랫폼에 운반되는 상기 웨이퍼 보트에 블로잉하는 가스를 필터링하는 데 사용되는 것을 특징으로 하는, 반도체 디바이스이 웨이퍼 보트 임시 보관 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 공냉 부재는 팬 및 지지 브라켓을 포함하고, 상기 팬은 상기 지지 브라켓의 상방에 설치되어 상기 액냉 부재에 의해 냉각된 가스를 상기 운반 플랫폼에 운반되는 상기 웨이퍼 보트에 블로잉하는 데 사용되고, 상기 지지 브라켓의 하방에는 상기 필터 부재를 수용하는 수용홈이 설치되고, 상기 지지 브라켓에는 상기 팬 및 상기 수용홈과 각각 연통되는 통풍구가 설치되고, 상기 수용홈은 상기 필터 부재의 픽 앤 플레이스를 위한 제1 픽 앤 플레이스 개구를 구비하는 것을 특징으로 하는, 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 팬은 복수개이고, 복수의 상기 팬은 복수의 팬 세트로 나뉘고, 각각의 상기 팬 세트는 적어도 하나의 상기 팬을 포함하고, 상기 지지 브라켓은 복수개이고, 상기 공냉 부재는 지지 프레임을 더 포함하고, 복수의 상기 팬 세트는 복수의 상기 지지 브라켓에 일대일 대응하도록 설치되고, 상기 지지 프레임에는 복수의 상기 지지 브라켓을 일대일 대응하도록 장착하기 위한 복수의 장착 공간이 개설되고, 상기 지지 프레임에는 복수의 상기 장착 공간 및 복수의 상기 제1 픽 앤 플레이스 개구와 일대일 대응하도록 연통되는 복수의 제2 픽 앤 플레이스 개구가 개설되고, 각각의 상기 제2 픽 앤 플레이스 개구는 상기 필터 부재의 픽 앤 플레이스에 사용되는 것을 특징으로 하는, 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 공냉 부재는 팬 보호 부재를 더 포함하고, 상기 팬 보호 부재는 상기 팬의 상방을 덮고, 상기 팬 보호 부재에 상기 팬을 노출시키기 위한 노출구가 개설되는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치.
  16. 제12항에 있어서,
    상기 액냉 부재는 액냉 본체, 액냉 브라켓, 액체 유입관 및 액체 배출관을 포함하고, 상기 액냉 본체는 상기 액냉 브라켓과 연결되고, 상기 액체 유입관은 상기 액냉 본체와 연통되어, 상기 액냉 본체에 냉각액을 수송하는 데 사용되고, 상기 액체 배출관은 상기 액냉 본체와 연통되어, 상기 액냉 본체로부터 승온된 상기 냉각액을 배출시키는 데 사용되는 것을 특징으로 하는, 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치.
  17. 반도체 디바이스에 있어서,
    제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 따른 반도체 디바이스의 웨이퍼 보트 임시 보관 장치를 포함하고, 상기 웨이퍼 보트 임시 보관 장치는 상기 웨이퍼 보트를 임시 보관하는 데 사용되는 것을 특징으로 하는, 반도체 디바이스.
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