KR20240081838A

KR20240081838A - 기판 안착 장치, 기판 안착 방법, 및 기판 처리 장치

Info

Publication number: KR20240081838A
Application number: KR1020220165492A
Authority: KR
Inventors: 신경식; 이승환; 이경돈
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2022-12-01
Filing date: 2022-12-01
Publication date: 2024-06-10
Also published as: KR102715759B1; US20240186167A1; CN118136565A

Abstract

기판 처리 장치는 기판이 안착되는 기판 안착부와, 상기 기판 안착부로 상기 기판을 로딩하거나 또는 상기 기판 안착부로부터 상기 기판을 언로딩하도록 구비되는 기판 이송부, 및 상기 기판 안착부에 안착되는 상기 기판을 가열 처리하도록 구비되거나 또는 상기 기판을 냉각 처리하도록 구비되는 기판 처리부를 포함하되, 상기 기판 안착부는 상기 기판이 안착되는 플레이트와, 상기 플레이트에 안착되는 상기 기판이 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 슬라이딩되도록 함으로써 상기 기판이 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 위치할 수 있게 안내하는 안내부, 및 진공 흡인을 이용한 상기 안내부의 움직임을 통하여 상기 플레이트에 놓이는 상기 기판을 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 정렬시키는 정렬부로 이루어질 수 있다.

Description

기판 안착 장치, 기판 안착 방법, 및 기판 처리 장치{APPARATUS FOR PLACING SUBSTRATE, METHOD FOR PLACING SUBSTRATE, AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE}

본 발명은 기판 안착 장치, 기판 안착 방법, 및 기판 처리 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 기판의 안착시 플레이트의 중심 영역 쪽으로 위치할 수 있게 안내하는 구조를 갖도록 이루어지는 기판 안착 장치, 기판 안착 방법, 및 기판 처리 장치에 관한 것이다.

반도체 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서는 기판 안착 장치의 플레이트에 기판을 안착시킨 상태에서 기판을 가열시키는 가열 공정, 기판을 냉각시키는 냉각 공정 등과 같은 단위 공정들을 수행할 수 있다.

언급한 단위 공정들의 수행시 기판이 플레이트에 충분하게 안착되지 않거나, 정해진 위치에 안착되지 않을 경우에는 공정 불량의 원인으로 작용할 수 있다.

이에, 기판을 플레이트의 중심 영역 쪽으로 슬라이딩시키는 안내부를 플레이트의 주연 영역에 구비하여 플레이트에 기판의 안착시 플레이트의 중심 영역 쪽으로 위치하도록 하고 있다.

다만, 기판의 안착시 안내부에서의 슬라이딩만으로는 기판이 플레이트의 중심 영역 쪽으로 충분하게 위치하지 못하는 상황이 발생할 수도 있을 것이고, 더욱이 기판을 플레이트의 중심 영역에 충분하게 위치시키지 못한 상태에서 로봇암 등을 사용하여 기판을 로딩/언로딩할 경우에는 기판의 이송에 따른 공정 불량이 발생할 수도 있을 것이다.

한국공개특허 10-2009-0048202호

본 발명의 일 과제는 플레이트에 안착되는 기판을 플레이트의 중심 영역 쪽으로 충분하게 위치시키기 위한 기판 안착 장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 과제는 플레이트에 안착되는 기판을 플레이트의 중심 영역 쪽으로 충분하게 위치시키기 위한 기판 안착 방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 과제는 본 발명의 일 과제는 플레이트에 안착되는 기판을 플레이트의 중심 영역 쪽으로 충분하게 위치시키기 위한 기판 안착부를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 기판 안착 장치는 기판이 안착되는 플레이트와, 상기 플레이트에 안착되는 상기 기판이 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 슬라이딩되도록 함으로써 상기 기판이 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 위치할 수 있게 안내하는 안내부, 및 진공 흡인을 이용한 상기 안내부의 움직임을 통하여 상기 플레이트에 안착되는 상기 기판을 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 정렬시키는 정렬부를 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 안내부는 상기 기판이 슬라이딩될 수 있게 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 하향 경사지는 구조를 갖는 경사부, 및 상기 안내부의 움직임을 통한 상기 기판의 정렬시 상기 기판의 측면과 면접할 수 있게 상기 경사부로부터 상기 플레이트를 향하여 수직하게 연장되는 구조를 갖는 측벽부로 이루어질 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 안내부는 2n(n은 자연수)개가 서로 마주하게 배치되도록 구비될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 안내부는 2n개가 등간격을 갖도록 배치될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 정렬부는 상기 플레이트의 중심 영역으로부터 상기 안내부가 배치되는 상기 플레이트의 주연 영역까지로 연장되는 유로와, 상기 플레이트의 주연 영역으로부터 상기 플레이트의 중심 영역으로 진공 흡인이 이루어지게 상기 유로를 통하여 진공 흡인력을 공급하는 진공 공급부, 및 상기 진공 흡인시 상기 안내부가 상기 플레이트의 주연 영역으로부터 상기 플레이트의 중심 영역으로 움직일 수 있는 경로를 제공하는 경로 제공부를 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 경로 제공부는 상기 플레이트의 주연 영역으로 연장되는 유로와 연통하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 정렬부에 의해 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 움직인 상기 안내부를 상기 기판을 슬라이딩시키는 위치인 상기 플레이트의 주연 영역 쪽으로 원위치시키는 원위치부를 더 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 원위치부는 탄성력에 의해 상기 안내부를 원위치시킬 수 있게 상기 안내부에 결속되는 용수철로 이루어질 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 원위치부는 양압에 의해 상기 안내부를 원위치시킬 수 있게 상기 안내부를 향하여 에어를 분사하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.

상기 본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 기판 안착 방법은 플레이트에 기판을 안착시키는 단계와, 상기 플레이트에 안착되는 상기 기판이 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 슬라이딩되도록 함으로써 상기 기판이 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 위치할 수 있게 안내하는 단계, 및 상기 기판의 안내시 진공 흡인을 이용한 움직임을 통하여 상기 플레이트에 안착되는 상기 기판을 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 정렬시키는 단계를 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 기판의 슬라이딩은 상기 플레이트에 안착되는 기판을 상기 기판 안착부를 관통하여 상승시킨 리프트 핀을 하강시킴에 의해 이루어질 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 기판의 정렬시 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 움직인 안내부를 상기 기판을 슬라이딩시키는 위치인 상기 플레이트의 주연 영역 쪽으로 원위치시키는 단계를 더 포함할 수 있다.

상기 본 발명의 또 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치는 기판이 안착되는 기판 안착부와, 상기 기판 안착부로 상기 기판을 로딩하거나 또는 상기 기판 안착부로부터 상기 기판을 언로딩하도록 구비되는 기판 이송부, 및 상기 기판 안착부에 안착되는 상기 기판을 가열 처리하도록 구비되거나 또는 상기 기판을 냉각 처리하도록 구비되는 기판 처리부를 포함하되, 상기 기판 안착부는 상기 기판이 안착되는 플레이트와, 상기 플레이트에 안착되는 상기 기판이 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 슬라이딩되도록 함으로써 상기 기판이 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 위치할 수 있게 안내하는 안내부, 및 진공 흡인을 이용한 상기 안내부의 움직임을 통하여 상기 플레이트에 놓이는 상기 기판을 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 정렬시키는 정렬부로 이루어질 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 기판 안착부를 관통하여 상승 및 하강하도록 구비되는 리프트 핀을 더 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 원위치부는 탄성력에 의해 상기 안내부를 원위치시킬 수 있게 상기 안내부에 결속되는 용수철 또는/및 양압에 의해 상기 안내부를 원위치시킬 수 있게 상기 안내부를 향하여 에어를 분사하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 안착 장치, 기판 안착 방법, 및 기판 처리 장치는 안내부와 함께 정렬부를 구비하도록 함으로써 플레이트에 안착되는 기판을 플레이트의 중심 영역 쪽으로 보다 충분하게 위치시킬 수 있기 때문에 플레이트에서의 기판이 안착되는 안착 위치로 인한 공정 불량을 최소화할 수 있을 것이다.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 안착 장치, 기판 안착 방법, 및 기판 처리 장치는 플레이트에서의 기판의 안착 위치로 인한 공정 불량의 최소화를 통하여 반도체 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조 공정에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.

다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치에서의 기판 안착부를 설명하기 위한 도면들이다.
도 4 내지 도 7은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치의 기판 안착부를 사용하는 사용예들을 설명하기 위한 도면들이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치에서의 리프트 핀을 설명하기 위한 도면들이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는 반도체 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에 적용하기 위한 것으로써, 그 예로서는 기판(W)을 가열시키는 가열 공정에 적용하기 위한 것, 기판(W)을 냉각시키는 냉각 공정에 적용하기 위한 것 등일 수 있을 것이다.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는 기판 안착부(기판 안착 장치)(11), 기판 이송부(13), 기판 처리부(15) 등을 포함하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.

본 발명의 기판 처리 장치(100)에서의 기판 안착부(11)는 가열 공정, 냉각 공정 등과 같은 단위 공정의 수행시 기판(W)이 안착되는 부재로써, 상세한 설명은 후술하기로 한다.

본 발명의 기판 처리 장치(100)에서의 기판 이송부(13)는 기판 안착부(11)로 기판(W)을 로딩하거나 또는 기판 안착부(11)로부터 기판(W)을 언로딩하도록 구비되는 것으로써, 주로 기판 이면의 주연 부분을 지지하는 핸드부, 핸드부와 연결되는 다관절 구조를 갖는 로봇암 등을 포함하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.

본 발명에서의 기판 처리부(15)는 기판 안착부(11)에 안착되는 기판(W)을 가열 처리하도록 구비되거나 또는 기판(W)을 냉각 처리하도록 구비되는 것으로써, 그 예로서는 가열 공정, 냉각 공정 등과 같은 단위 공정의 수행을 위한 처리 공간을 제공하도록 이루어지는 공정 챔버 등을 수 있을 것이다.

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는 기판 이송부(13)를 사용하여 기판 안착부(11)에 기판(W)을 로딩시킨 다음 기판 처리부(15)에 가열 공정, 냉각 공정 등과 같은 단위 공정에 부합되는 공정 분위기를 조성하여 처리 공정을 수행하도록 이루어질 수 있을 것이다.

다만, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)를 사용하는 단위 공정의 수행시 기판(W)이 기판 안착부(11)에 충분하게 안착되지 않거나, 정해진 위치에 안착되지 않을 경우에는 공정 불량의 원인으로 작용할 수 있을 것이다.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)에서의 기판 안착부(11)는 기판(W)이 정해진 위치에 보다 충분하게 안착되는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.

이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치에서의 기판 안착부에 대하여 구체적으로 설명하기로 한다.

도 2 및 도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치에서의 기판 안착부를 설명하기 위한 도면들이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)에서의 기판 안착부(11)는 플레이트(21), 안내부(23), 정렬부(25), 원위치부 등을 포함하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.

본 발명의 기판 안착부(11)에서의 플레이트(21)는 언급한 가열 공정, 냉각 공정 등과 같은 단위 공정의 수행시 기판이 안착되는 부재로써, 기판 크기보다 큰 크기의 평판 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.

본 발명의 기판 안착부(11)에서의 안내부(23)는 플레이트(21)에 안착되는 기판을 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 슬라이딩시키도록 구비되는 것으로써, 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로의 슬라이딩을 통하여 플레이트(21)의 정해진 위치에 기판을 보다 충분하게 안착시키도록 이루어질 수 있다.

본 발명에서의 안내부(23)는 플레이트(21)의 주연 영역 쪽에 구비될 수 있는 것으로써, 기판이 슬라이딩될 수 있게 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 하향 경사지는 구조를 갖는 경사부(31), 경사부(31)로부터 플레이트(21)를 향하여 수직하게 연장되는 구조를 갖는 측벽부(33) 등을 포함하도록 이루어질 수 있다.

본 발명의 기판 안착부(11)에서의 정렬부(25)는 플레이트(21)에 안착되는 기판을 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 정렬시키도록 구비될 수 있는 것으로써, 플레이트(21)의 주연 영역 쪽에 구비되는 안내부(23)를 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 움직일 수 있는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.

본 발명에서의 정렬부(25)는 진공 흡인을 이용하여 안내부(23)가 움직일 수 있게 구비될 수 있는 것으로써, 플레이트(21)의 주연 영역으로부터 플레이트(21)의 중심 영역으로 진공 흡인이 이루어지도록 구비될 수 있을 것이다.

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는 안내부(23)에서의 경사부(31)에 의해 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 기판을 슬라이딩시킴과 아울러 정렬부(25)를 사용한 안내부(23)의 움직임을 통하여 안내부(23)에서의 측벽부(33)에 면접되는 기판의 측면, 즉 기판을 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 움직이도록 함으로써 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 기판이 안착될 수 있게 정렬시킬 수 있다.

다시 말해, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는 안내부(23) 및 정렬부(25)를 구비함으로써 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 기판을 슬라이딩 및 정렬시킴으로써 플레이트(21)의 정해진 위치에 기판을 보다 충분하게 안착시키도록 이루어질 수 있다.

본 발명에서의 안내부(23)는 플레이트(21)의 주연 영역 어느 한쪽에만 배치될 경우 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 기판을 충분하게 슬라이딩시키지 못할 수도 있을 것이고, 나아가 안내부(23)의 움직임을 통한 기판의 정렬시 기판의 움직임을 기판 측면 양쪽에서 지지하지 못하기 때문에 플레이트(21)의 주연 영역 양쪽에 서로 마주하게 배치되는 구조를 갖도록 구비되어야 할 것이다.

본 발명에서의 안내부(23)는 2n(n은 자연수)개, 즉 짝수개가 서로 마주하게 배치되도록 구비될 수 있는 것으로써, 2n개가 등간격을 갖도록 배치되도록 구비될 수 있을 것이다.

예를 들면, 플레이트(21)가 원형 구조를 갖고, 안내부(23)가 4개가 구비될 경우 90° 간격마다 배치되도록 이루어질 수 있을 것이고, 안내부(23)가 6개가 구비될 경우 60° 간격마다 배치되도록 이루어질 수 있을 것이고, 안내부(23)가 8개가 구비될 경우 45° 간격마다 배치되도록 이루어질 수 있을 것이다.

언급한 바에 따르면, 본 발명의 기판 안착부(11)에서의 정렬부(25)는 플레이트(21)의 주연 영역에 배치되는 안내부(23)를 진공 흡인을 통하여 플레이트(21)의 중심 영역으로 움직이도록 하는 것으로써, 유로(27), 진공 공급부(29), 경로 제공부(35) 등을 포함하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

본 발명의 정렬부(25)에서의 유로(27)는 플레이트(21)의 중심 영역으로부터 안내부(23)가 배치되는 플레이트(21)의 주연 영역까지로 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 플레이트(21)가 원형 구조를 가짐과 아울러 안내부(23)가 서로 마주하게 배치될 경우 유로(27)는 지름을 따라 형성되는 구조일 수 있을 것이다.

본 발명의 정렬부(25)에서의 진공 공급부(29)는 유로(27)를 통하여 진공 흡인력을 공급하도록 구비되는 것으로써, 그 예로서는 플레이트(21)의 중심 영역에서의 유로(27)와 연결되는 진공 펌프 등일 수 있다.

이에, 본 발명에서는 플레이트(21)의 중심 영역에서의 유로(27)로부터 플레이트(21)의 주연 영역에서의 유로(27)까지로 진공 흡인력을 공급함에 의해 플레이트(21)의 주연 영역에 배치되는 안내부(23)를 플레이트(21)의 중심 영역으로 움직이도록 할 수 있는 것이다.

본 발명의 정렬부(25)에서의 경로 제공부(35)는 안내부(23)의 움직임시 안내부(23)가 움직이는 경로를 제공하도록 구비되는 것으로써, 안내부(23)가 플레이트(21)의 주연 영역으로부터 플레이트(21)의 중심 영역으로 움직일 수 있는 경로를 제공하도록 구비될 수 있을 것이고, 그리고 안내부(23)가 플레이트(21)의 주연 영역에 배치 구비되기 때문에 경로 제공부(35)는 플레이트(21)의 주연 영역으로 연장되는 유로(27)와 연통하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

따라서 본 발명에서는 플레이트(21)에 기판의 안착시 안내부(23)의 경사면을 따라 기판이 슬라이딩됨에 따라 기판이 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 위치할 수 있게 안내함과 더불어 정렬부(25)를 사용한 안내부(23)의 움직임을 통하여 안내부(23)의 측벽부(33)에 면접하는 기판을 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 정렬시키도록 함으로써 플레이트(21)에 안착되는 기판을 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 보다 충분하게 위치시킬 수 있을 것이다.

그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는 안내부(23) 및 정렬부(25)를 사용하여 기판을 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 보다 충분하게 위치시킨 후 처리 공정을 수행할 수 있을 것이고, 나아가 처리 공정이 이루어진 기판을 플레이트(21)로부터 언로딩시킴과 아울러 처리 공정을 수행해야 할 기판을 플레이트(21)로 로딩시키도록 이루어질 수 있을 것이다.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는 계속적으로 로딩이 이루어지는 기판을 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 보다 충분하게 위치시킬 수 있게 안내부(23)를 원위치시키도록 구비될 수 있을 것이다.

도 4 내지 도 7은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치의 기판 안착부를 사용하는 사용예들을 설명하기 위한 도면들이다.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)에서의 원위치부(41, 61)는 정렬부(25)에 의해 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 움직인 안내부(23)를 기판을 슬라이딩시키는 위치인 플레이트(21)의 주연 영역 쪽으로 원위치시키도록 구비될 수 있다.

즉, 본 발명의 기판 처리 장치(100)에서의 원위치부(41, 61)는 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 위치시킨 안내부(23)를 원래 위치인 플레이트(21)의 주연 영역 쪽으로 복귀시키도록 구비될 수 있는 것이다.

먼저 도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명에서의 원위치부(41)는 탄성력에 의해 안내부(23)를 원위치시킬 수 있도록 구비될 수 있는 것으로써, 그 예로서는 안내부(23)에 결속되는 용수철 등으로 이루어질 수 있을 것이다.

이에, 도 4에서와 같이 기판의 정렬시 진공 흡인력을 제공함에 의해 안내부(23)를 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 움직이도록 할 수 있을 것이고, 그리고 기판의 정렬을 수행한 다음에는 도 5에서와 같이 안내부(23)에 가해지는 진공 흡인력을 해제시킴으로써 원위치부(41)가 제공하는 용수철의 복원력에 의해 안내부(23)가 원래 위치인 플레이트(21)의 주연 영역 쪽으로 복귀하도록 할 수 있을 것이다.

그리고 도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명에서의 원위치부(61)는 양압에 의해 안내부(23)를 원위치시킬 수 있도록 구비될 수 있는 것으로써, 안내부(23)를 향하여 에어를 분사하는 구조를 이루어질 수 있을 것이다.

따라서 도 6에서와 같이 기판의 정렬시 진공 흡인력을 제공함에 의해 안내부(23)를 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 움직이도록 할 수 있을 것이고, 그리고 기판의 정렬을 수행한 다음에는 도 7에서와 같이 안내부(23)에 가해지는 진공 흡인력을 해제시킴과 아울러 안내부(23)를 향하여 에어를 분사함에 의해 안내부(23)가 원래 위치인 플레이트(21)의 주연 영역 쪽으로 복귀하도록 할 수 있을 것이다.

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는 계속적으로 로딩이 이루어지는 기판을 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 보다 충분하게 위치시킬 수 있게 안내부(23)를 원위치시키도록 구비될 수 있을 것이다.

도 8 및 도 9는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치에서의 리프트 핀을 설명하기 위한 도면들이다.

도 8 및 도 9를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)에서의 리프트 핀(81)은 기판 안착부(11)를 관통하여 상승 및 하강하도록 구비될 수 있다.

본 발명의 기판 처리 장치(100)에서의 리프트 핀(81)은 기판(W)의 로딩시에는 기판 안착부(11)를 관통하여 상승한 다음 기판(W)을 지지한 상태에서 하강하도록 구비될 수 있을 것이고, 그리고 기판(W)의 언로딩시에는 기판 안착부(11)를 관통하여 상승하도록 구비될 수 있을 것이다.

이에, 상승한 상태에 있는 리프트 핀(81)을 하강시킬 때 안내부(23)에서의 경사부(31)를 따라 기판(W)이 슬라이딩될 수 있기 때문에 기판(W)이 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 위치하도록 보다 용이하게 안내할 수 있을 것이다.

이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치를 사용하는 기판 안착 방법에 대하여 설명하기로 한다.

먼저, 본 발명의 기판 안착 방법에서는 플레이트(21)에 기판을 안착시키는데, 플레이트(21)에 안착되는 기판이 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 슬라이딩되도록 함으로써 기판이 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 위치할 수 있게 안내하도록 이루어질 수 있다.

그리고 기판의 안내시 진공 흡인을 이용한 움직임을 통하여 플레이트(21)에 안착되는 기판을 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 정렬시키도록 이루어질 수 있다.

언급한 기판의 슬라이딩은 플레이트(21)에 안착되는 기판을 기판 안착부(11)를 관통하여 상승시킨 리프트 핀을 하강시킴에 의해 이루어질 수 있을 것이다.

아울러, 본 발명의 기판 안착 방법에서는 기판의 정렬시 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 움직인 안내부(23)를 기판을 슬라이딩시키는 위치인 플레이트(21)의 주연 영역 쪽으로 원위치시키도록 이루어질 수 있을 것이다.

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 안착 방법은 플레이트(21)의 중심 영역 쪽으로 기판을 슬라이딩 및 정렬시키도록 함으로써 플레이트(21)의 정해진 위치에 기판을 보다 충분하게 안착시키도록 이루어질 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 안착 장치, 기판 안착 방법, 그리고 기판 처리 장치는 반도체 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에 적용할 수 있는 것으로써, 특히 원형 구조를 갖는 웨이퍼 기판을 대상으로 하는 집적회로 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.

따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 안착 장치, 기판 안착 방법, 그리고 기판 처리 장치는 메모리 소자, 비메모리 소자, 시스템 반도체 등의 제조 공정에 보다 적극적이고, 용이하게 적용할 수 있을 것이다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

11 : 기판 안착부 13 : 기판 이송부
15 : 기판 처리부 21 : 플레이트
23 : 안내부 25 : 정렬부
27 : 유로 29 : 진공 공급부
31 : 경사부 33 : 측벽부
35 : 경로 제공부 41, 61 : 원위치부
81 : 리프트 핀 100 : 기판 처리 장치

Claims

기판이 안착되는 플레이트;
상기 플레이트에 안착되는 상기 기판이 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 슬라이딩되도록 함으로써 상기 기판이 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 위치할 수 있게 안내하는 안내부; 및
진공 흡인을 이용한 상기 안내부의 움직임을 통하여 상기 플레이트에 안착되는 상기 기판을 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 정렬시키는 정렬부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 안착 장치.
제1 항에 있어서,
상기 안내부는 상기 기판이 슬라이딩될 수 있게 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 하향 경사지는 구조를 갖는 경사부, 및 상기 안내부의 움직임을 통한 상기 기판의 정렬시 상기 기판의 측면과 면접할 수 있게 상기 경사부로부터 상기 플레이트를 향하여 수직하게 연장되는 구조를 갖는 측벽부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 안착 장치.
제1 항에 있어서,
상기 안내부는 2n(n은 자연수)개가 서로 마주하게 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 안착 장치.
제3 항에 있어서,
상기 안내부는 2n개가 등간격을 갖도록 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 안착 장치.
제1 항에 있어서,
상기 정렬부는 상기 플레이트의 중심 영역으로부터 상기 안내부가 배치되는 상기 플레이트의 주연 영역까지로 연장되는 유로와, 상기 플레이트의 주연 영역으로부터 상기 플레이트의 중심 영역으로 진공 흡인이 이루어지게 상기 유로를 통하여 진공 흡인력을 공급하는 진공 공급부, 및 상기 진공 흡인시 상기 안내부가 상기 플레이트의 주연 영역으로부터 상기 플레이트의 중심 영역으로 움직일 수 있는 경로를 제공하는 경로 제공부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 안착 장치.
제5 항에 있어서,
상기 경로 제공부는 상기 플레이트의 주연 영역으로 연장되는 유로와 연통하는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 안착 장치.
제1 항에 있어서,
상기 정렬부에 의해 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 움직인 상기 안내부를 상기 기판을 슬라이딩시키는 위치인 상기 플레이트의 주연 영역 쪽으로 원위치시키는 원위치부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 안착 장치.
제7 항에 있어서,
상기 원위치부는 탄성력에 의해 상기 안내부를 원위치시킬 수 있게 상기 안내부에 결속되는 용수철로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 안착 장치.
제7 항에 있어서,
상기 원위치부는 양압에 의해 상기 안내부를 원위치시킬 수 있게 상기 안내부를 향하여 에어를 분사하는 구조를 갖도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 안착 장치.
플레이트에 기판을 안착시키는 단계;
상기 플레이트에 안착되는 상기 기판이 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 슬라이딩되도록 함으로써 상기 기판이 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 위치할 수 있게 안내하는 단계; 및
상기 기판의 안내시 진공 흡인을 이용한 움직임을 통하여 상기 플레이트에 안착되는 상기 기판을 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 정렬시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 안착 방법.
제10 항에 있어서,
상기 기판의 슬라이딩은 상기 플레이트에 안착되는 기판을 상기 기판 안착부를 관통하여 상승시킨 리프트 핀을 하강시킴에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 안착 방법.
제10 항에 있어서,
상기 기판의 정렬시 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 움직인 안내부를 상기 기판을 슬라이딩시키는 위치인 상기 플레이트의 주연 영역 쪽으로 원위치시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
기판이 안착되는 기판 안착부;
상기 기판 안착부로 상기 기판을 로딩하거나 또는 상기 기판 안착부로부터 상기 기판을 언로딩하도록 구비되는 기판 이송부; 및
상기 기판 안착부에 안착되는 상기 기판을 가열 처리하도록 구비되거나 또는 상기 기판을 냉각 처리하도록 구비되는 기판 처리부를 포함하되,
상기 기판 안착부는 상기 기판이 안착되는 플레이트와, 상기 플레이트에 안착되는 상기 기판이 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 슬라이딩되도록 함으로써 상기 기판이 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 위치할 수 있게 안내하는 안내부, 및 진공 흡인을 이용한 상기 안내부의 움직임을 통하여 상기 플레이트에 놓이는 상기 기판을 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 정렬시키는 정렬부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제13 항에 있어서,
상기 기판 안착부를 관통하여 상승 및 하강하도록 구비되는 리프트 핀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제13 항에 있어서,
상기 안내부는 상기 기판이 슬라이딩될 수 있게 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 하향 경사지는 구조를 갖는 경사부, 및 상기 안내부의 움직임을 통한 상기 기판의 정렬시 상기 기판의 측면과 면접할 수 있게 상기 경사부로부터 상기 플레이트를 향하여 수직하게 연장되는 구조를 갖는 측벽부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제13 항에 있어서,
상기 안내부는 2n(n은 자연수)개가 서로 마주하게 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제13 항에 있어서,
상기 정렬부는 상기 플레이트의 중심 영역으로부터 상기 안내부가 배치되는 상기 플레이트의 주연 영역까지로 연장되는 유로와, 상기 플레이트의 주연 영역으로부터 상기 플레이트의 중심 영역으로 진공 흡인이 이루어지게 상기 유로를 통하여 진공 흡인력을 공급하는 진공 공급부, 및 상기 진공 흡인시 상기 안내부가 상기 플레이트의 주연 영역으로부터 상기 플레이트의 중심 영역으로 움직일 수 있는 경로를 제공하는 경로 제공부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제17 항에 있어서,
상기 경로 제공부는 상기 플레이트의 주연 영역으로 연장되는 유로와 연통하는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제13 항에 있어서,
상기 정렬부에 의해 상기 플레이트의 중심 영역 쪽으로 움직인 상기 안내부를 상기 기판을 슬라이딩시키는 위치인 상기 플레이트의 주연 영역 쪽으로 원위치시키는 원위치부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제19 항에 있어서,
상기 원위치부는 탄성력에 의해 상기 안내부를 원위치시킬 수 있게 상기 안내부에 결속되는 용수철 또는/및 양압에 의해 상기 안내부를 원위치시킬 수 있게 상기 안내부를 향하여 에어를 분사하는 구조를 갖도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.