KR20240019729A - 피가공물의 연삭 방법 - Google Patents

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게이시 신타니
요시카즈 스즈키
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

본 발명은 TAIKO 연삭 기술로 피가공물을 연삭할 때에, 연삭 휠을 교환하지 않고 링폭의 변경 등을 가능하게 하는 것을 과제로 한다.
복수의 연삭 지석의 외주측면으로 규정되는 원의 직경이 피가공물의 반경 이하인 연삭 휠과 피가공물의 표면측을 유지한 척테이블을 척테이블의 회전축의 축선을 따라 상대적으로 접근시킴으로써 피가공물의 이면측을 연삭하는 회전축 방향 연삭 단계와, 연삭 휠과 척테이블을 척테이블의 직경 방향으로 상대적으로 이동시킴으로써 피가공물의 이면측을 연삭하는 직경 방향 연삭 단계를 구비하고, 직경 방향 연삭 단계는, 복수의 연삭 지석의 바닥면의 이동 궤적과 척테이블의 축선이 중복되지 않는 위치로부터 중복되는 위치로 이동시키는 내측 방향 연삭 단계와, 이동 궤적과 축선이 중복되는 위치로부터 중복되지 않는 위치로 이동시키는 외측 방향 연삭 단계 중 어느 한쪽 또는 양쪽을 포함하는 피가공물의 연삭 방법을 제공한다.

Description

피가공물의 연삭 방법{METHOD FOR GRINDING WORKPIECE}
본 발명은, 디바이스 영역과, 디바이스 영역을 둘러싸는 외주 잉여 영역을 표면측에 갖는 피가공물의 이면측을 연삭하여 오목부를 형성함으로써, 원형 박판부와, 원형 박판부를 둘러싸는 고리형 볼록부를 형성하는 피가공물의 연삭 방법에 관한 것이다.
복수의 IC(Integrated Circuit) 칩이 하나의 패키지에 밀봉된 SiP(System in Package) 등의 보급에 따라, 복수의 IC가 형성되어 있는 웨이퍼 등의 원판형의 피가공물을 수율좋게 박화(薄化)할 수 있는 연삭 기술이 요구되고 있다.
피가공물을 박화하는 연삭 기술의 하나로서, TAIKO(등록상표)라고 칭해지는 연삭 기술(이하, 편의적으로 TAIKO 연삭 기술로 약기함)이 알려져 있다. TAIKO 연삭 기술에서는, IC 등의 디바이스가 형성되어 있는 디바이스 영역을 표면측에 갖는 피가공물에 있어서, 디바이스 영역에 대응하는 이면측의 원형 영역을 연삭한다.
특히, 원형 영역을 연삭함으로써 이면측에 원판형의 오목부를 형성하고, 오목부의 외주부를 둘러싸도록 고리형 볼록부를 남긴다(예컨대, 특허문헌 1 참조). 고리형 볼록부를 남기는 것에 의해, 이면측 전체를 일정하게 박화한 경우에 비교하여 피가공물의 강도를 높게 할 수 있기 때문에, 박화 후의 피가공물의 휘어짐이나 반송시의 피가공물의 균열 등을 억제할 수 있다.
TAIKO 연삭 기술로 피가공물을 연삭할 때에는, 우선, 피가공물의 표면측을 척테이블로 흡인 유지한다. 그리고, 척테이블을 소정의 회전수로 회전시키고, 원환형의 연삭 휠이 장착된 스핀들을 갖는 연삭 유닛을 척테이블을 향해 하강시키면서 연삭 휠을 회전시킨다.
연삭 휠은 원환형의 베이스를 갖는다. 베이스의 하면측에는, 복수의 연삭 지석이 베이스의 둘레 방향을 따라서 대략 등간격으로 배치되어 있다. 베이스의 상면측이 원판형의 마운트에 고정됨으로써, 연삭 휠은 마운트를 통해 스핀들에 장착된다.
TAIKO 연삭 기술로 피가공물을 연삭하기 위해서는, 통상, 복수의 연삭 지석의 바닥면의 궤적으로 규정되는 연삭면이 척테이블의 회전 중심의 바로 위를 통과하고, 또한, 연삭면의 외주 가장자리가 고리형 볼록부의 내주에 위치하도록, 소정 직경의 연삭 휠이 선정된다.
그 때문에, 고리형 볼록부의 폭(즉, 링폭)을 변경하는 경우나, 상이한 직경을 갖는 피가공물을 TAIKO 연삭 기술로 연삭하는 경우에는, 그 때마다, 링폭이나 피가공물의 직경에 따른 소정의 직경을 갖는 연삭 휠이 마운트에 장착된다.
그러나, 연삭 휠의 교환은, 통상, 작업자에 의해 수작업으로 행해지기 때문에, 연삭 휠의 교환을 행하면, 공정수가 증가하여, TAIKO 연삭 기술로 피가공물을 연삭할 때의 작업 효율을 저하시킨다고 하는 문제가 있다.
특허문헌 1 : 일본특허공개 제2007-19461호 공보
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, TAIKO 연삭 기술로 피가공물을 연삭할 때에, 연삭 휠을 교환하지 않고, 링폭의 변경이나 상이한 직경을 갖는 피가공물의 연삭을 수행 가능한 연삭 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일양태에 의하면, 디바이스 영역과, 상기 디바이스 영역을 둘러싸는 외주 잉여 영역을 표면측에 갖는 피가공물의 이면측을 연삭하여 오목부를 형성함으로써, 원형 박판부와, 상기 원형 박판부를 둘러싸는 고리형 볼록부를 형성하는 피가공물의 연삭 방법으로서, 소정의 회전축의 둘레에 회전 가능한 척테이블의 유지면으로 상기 피가공물의 상기 표면측을 유지하는 유지 단계와, 고리형의 베이스와, 상기 베이스의 한 면에 고리형으로 배치된 복수의 연삭 지석을 포함하는 연삭 휠로서, 상기 복수의 연삭 지석의 외주측면으로 규정되는 원의 직경이 상기 피가공물의 반경 이하인 상기 연삭 휠이 선단부에 장착된 스핀들을 갖는 연삭 유닛과, 상기 척테이블을 상기 척테이블의 상기 소정의 회전축의 축선을 따라 상대적으로 접근시킴으로써 상기 피가공물의 상기 이면측을 연삭하는 회전축 방향 연삭 단계와, 상기 연삭 유닛과 상기 척테이블을 상기 축선과 직교하는 상기 척테이블의 직경 방향으로 상대적으로 이동시킴으로써 상기 피가공물의 상기 이면측을 연삭하는 직경 방향 연삭 단계를 구비하고, 상기 직경 방향 연삭 단계는, 상기 스핀들의 회전에 따르는 상기 복수의 연삭 지석의 바닥면의 이동 궤적과, 상기 척테이블의 상기 축선이 중복되지 않는 위치로부터 중복되는 위치로, 상기 연삭 유닛과 상기 척테이블을 상대적으로 이동시키면서 상기 피가공물을 연삭하는 내측 방향 연삭 단계와, 상기 이동 궤적과 상기 축선이 중복되는 위치로부터 중복되지 않는 위치로, 상기 연삭 유닛과 상기 척테이블을 상대적으로 이동시키면서 상기 피가공물을 연삭하는 외측 방향 연삭 단계 중 어느 한쪽 또는 양쪽을 포함하는 피가공물의 연삭 방법이 제공된다.
바람직하게는, 상기 직경 방향 연삭 단계에서는, 상기 내측 방향 연삭 단계와 상기 외측 방향 연삭 단계를 교대로 반복하여 상기 피가공물을 연삭한다.
바람직하게는, 상기 회전축 방향 연삭 단계 및 상기 직경 방향 연삭 단계를 동시에 행함으로써 상기 피가공물을 연삭하고, 상기 직경 방향 연삭 단계는, 상기 내측 방향 연삭 단계 및 상기 외측 방향 연삭 단계의 양쪽을 포함한다.
바람직하게는, 상기 유지 단계에서는, 요철이 10 μm 미만의 평탄성을 갖는 상기 유지면으로 상기 피가공물을 유지하고, 상기 회전축 방향 연삭 단계 및 상기 직경 방향 연삭 단계에서는, 상기 유지면으로 유지된 상기 피가공물을 연삭한다.
바람직하게는, 상기 회전축 방향 연삭 단계 및 상기 직경 방향 연삭 단계에서는, 상기 연삭 유닛의 상기 스핀들의 축선을 상기 척테이블의 상기 축선과 평행하지 않게 배치한 상태로, 상기 피가공물을 연삭한다.
본 발명의 일양태에 따른 피가공물의 연삭 방법은, 연삭 유닛과 척테이블을 척테이블의 소정의 회전축의 축선을 따라 상대적으로 접근시키는 회전축 방향 연삭 단계와, 연삭 유닛과 척테이블을 척테이블의 직경 방향으로 상대적으로 이동시키는 직경 방향 연삭 단계를 구비한다. 직경 방향 연삭 단계는, 내측 방향 연삭 단계와 외측 방향 연삭 단계 중 어느 한쪽 또는 양쪽을 포함한다.
내측 방향 연삭 단계에서는, 복수의 연삭 지석의 바닥면의 이동 궤적과 척테이블의 회전축의 축선이 중복되지 않는 위치로부터 중복되는 위치로, 연삭 유닛과 척테이블을 상대적으로 이동시킨다. 또한, 외측 방향 연삭 단계에서는, 이동 궤적과 축선이 중복되는 위치로부터 중복되지 않는 위치로, 연삭 유닛과 척테이블을 상대적으로 이동시킨다.
이와 같이, 내측 방향 연삭 단계 및 외측 방향 연삭 단계 중 어느 한쪽 또는 양쪽에 있어서, 척테이블의 직경 방향에서 연삭 유닛과 척테이블을 상대적으로 이동시키면서 피가공물을 연삭하기 때문에, 연삭 휠을 교환하지 않고, 링폭의 변경이나 상이한 직경을 갖는 피가공물의 연삭을 수행할 수 있다.
도 1은 제1 실시형태에서의 피가공물의 연삭 방법의 흐름도이다.
도 2는 피가공물에 접착되는 보호 부재와, 피가공물을 도시하는 사시도이다.
도 3의 (A)는 유지 단계의 일부 단면 측면도이며, 도 3의 (B)는 유지 단계의 사시도이다.
도 4는 TAIKO 연삭 기술에서 통상 사용되는 척테이블의 단면도이다.
도 5는 회전축 방향 연삭 단계를 도시하는 일부 단면 측면도이다.
도 6의 (A)는 내측 방향 연삭 단계의 일부 단면 측면도이며, 도 6의 (B)는 내측 방향 연삭 단계의 사시도이다.
도 7은 연삭 종료 후의 피가공물의 일부 단면 측면도이다.
도 8은 제2 실시형태에서의 피가공물의 연삭 방법의 흐름도이다.
도 9는 회전축 방향 연삭 단계를 도시하는 일부 단면 측면도이다.
도 10의 (A)는 외측 방향 연삭 단계의 일부 단면 측면도이며, 도 10의 (B)는 외측 방향 연삭 단계의 사시도이다.
도 11은 제3 실시형태에서의 피가공물의 연삭 방법의 흐름도이다.
도 12는 내측 방향 연삭 단계 및 외측 방향 연삭 단계를 도시하는 일부 단면 측면도이다.
도 13은 제4 실시형태에서의 피가공물의 연삭 방법의 흐름도이다.
도 14는 회전축 방향 연삭 단계 및 직경 방향 연삭 단계를 도시하는 일부 단면 측면도이다.
도 15의 (A)는 제5 실시형태에서의 회전축 방향 연삭 단계 및 직경 방향 연삭 단계를 도시하는 일부 단면 측면도이며, 도 15의 (B)는 제5 실시형태에서의 회전축 방향 연삭 단계 및 직경 방향 연삭 단계를 도시하는 상면도이다.
첨부 도면을 참조하여 본 발명의 일양태에 따른 실시형태에 대해 설명한다. 도 1은, 제1 실시형태에서의 피가공물(11)(도 2 등 참조)의 연삭 방법의 흐름도이다. 본 실시형태에서는, 도 1에 도시하는 각 단계에 따라서 피가공물(11)을 연삭한다.
따라서, 우선은 도 2를 참조하여 피가공물(11)에 대해 설명한다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 피가공물(11)은, 단결정 실리콘으로 형성된 원판형의 웨이퍼(13)를 갖는다. 웨이퍼(13)의 표면(13a)측에는, 복수의 분할 예정 라인(스트리트)(15)이 격자형으로 설정되어 있다.
복수의 분할 예정 라인(15)으로 구획된 직사각형 영역의 각각에는, IC(Integrated Circuit) 등의 디바이스(17)가 형성되어 있다. 표면(13a)측에 있어서 복수의 디바이스(17)가 형성되어 있는 영역은, 디바이스 영역(13a1)으로 칭해진다. 또, 피가공물(11)에 있어서, 디바이스(17)의 종류, 수량, 형상, 구조, 크기, 배치 등에 제한은 없다.
디바이스 영역(13a1)의 주위를 둘러싸는 표면(13a)측의 영역은, 외주 잉여 영역(13a2)으로 칭해진다. 또, 웨이퍼(13)의 표면(13a)측은, 피가공물(11)의 표면측으로 바꿔도 좋고, 웨이퍼(13)의 이면(13b)측은, 피가공물(11)의 이면측으로 바꿔도 좋다. 단, 웨이퍼(13)의 표면(13a) 및 디바이스(17)를 덮도록, 금속 배선층, 층간 절연막 등을 갖는 기능층(도시하지 않음)이 형성되는 경우도 있다.
피가공물(11)을 연삭할 때에는, 디바이스 영역(13a1)에 대응하는 이면(13b)측의 원형 영역을 연삭하는 것에 의해, 웨이퍼(13)의 일부를 박화한다. 또, 이 원형 영역은, 웨이퍼(13)의 외경보다 작은 직경을 가지며, 웨이퍼(13)와 동심형이다.
웨이퍼(13)를 연삭하기 전에는, 웨이퍼(13)와 대략 동일한 직경의 수지제의 보호 부재(19)를 표면(13a)측에 접착한다. 도 2는, 웨이퍼(13)의 표면(13a)측에 접착되는 보호 부재(19)와, 피가공물(11)을 도시하는 사시도이다.
보호 부재(19)는, 예컨대, 기재층 및 점착층을 갖는 원형의 테이프이며, 상기 테이프의 점착층이 표면(13a)측에 접착된다. 보호 부재(19)를 표면(13a)측에 접착함으로써, 연삭시의 디바이스(17)에 대한 충격을 완화할 수 있다.
또, 보호 부재(19)는, 점착층을 갖지 않고 기재층만을 가져도 좋다. 이 경우, 보호 부재(19)는 표면(13a)측에 열압착된다. 표면(13a)측에 보호 부재(19)를 열압착함으로써, 보호 부재(19)를 박리했을 때에 표면(13a)측에 점착층이 부분적으로 잔류하는 것을 방지할 수 있다.
보호 부재(19)를 표면(13a)측에 접착한 후, 연삭 장치(2)의 척테이블(4)(도 3의 (A) 참조)로 표면(13a)측을 흡인 유지한다(유지 단계(S10)). 도 3의 (A)는, 유지 단계(S10)의 일부 단면 측면도이며, 도 3의 (B)는, 유지 단계(S10)의 사시도이다. 도 3의 (A) 및 도 3의 (B)에 도시하는 Z축 방향은, 연삭 장치(2)의 높이 방향(즉, 연직 방향)과 평행하다.
척테이블(4)은, 비다공질의 세라믹스로 형성된 원판형의 프레임체(6)를 갖는다. 프레임체(6)의 상면측에는 원형의 오목부가 형성되어 있다. 이 오목부에는, 다공질의 세라믹스로 형성된 원판형의 다공질판(8)이 고정되어 있다.
프레임체(6)의 상면과 다공질판(8)의 상면은, 대략 단차가 없는 면으로 되어 있고, 대략 평탄한 유지면(4a)을 형성하고 있다. 유지면(4a)은, TAIKO 연삭 기술에서 통상 사용되는 척테이블(12)(도 4 참조)의 유지면(12a)에 비교하여 높은 평탄성을 갖는다.
도 4는, TAIKO 연삭 기술에서 통상 사용되는 척테이블(12)의 단면도이다. 도 4는, 척테이블(12)의 직경 방향의 중심부(12a1)를 통과하고, 또한, 척테이블(12)의 바닥면에 직교하는 평면에서의 척테이블(12)의 단면을 도시하고 있다.
척테이블(12)도, 프레임체(14) 및 다공질판(16)을 갖는다. 프레임체(14)의 상면과 다공질판(16)의 상면은, 대략 단차가 없는 면으로 되어 있고, 피가공물(11)을 흡인 유지하는 유지면(12a)을 구성하고 있다.
그러나, 유지면(12a)에서는, 척테이블(12)의 직경 방향에서의 중심부(12a1) 및 외주부(12a2)가, 다른 영역에 비교하여 돌출되어 있고, 단면시에서의 유지면(12a)은 소위 쌍오목형상을 갖는다.
중심부(12a1) 및 외주부(12a2)는, 가장 함몰한 바닥부(12a3)를 기준으로, 척테이블(12)의 두께 방향에서 10 μm 이상 30 μm 이하의 소정 길이(12b)만큼 돌출되어 있다.
이것에 대하여, 도 3의 (A)에 도시하는 본 실시형태의 척테이블(4)의 유지면(4a)은 대략 평탄하며, 그 요철이 10 μm 미만이다. TAIKO 연삭 기술에 있어서 대략 평탄한 유지면(4a)으로 피가공물(11)을 흡인 유지하는 것은, 본건의 특징의 하나이다.
유지면(4a)의 요철은, 척테이블(4)의 직경 방향(4b)(도 6의 (A) 참조)의 중심을 통과하고, 또한, 척테이블(12)의 바닥면에 직교하는 평면에서의 척테이블(4)의 단면에 있어서, 예컨대, 윤곽 곡선의 산술 평균 거칠기(Ra)로 평가된다.
산술 평균 거칠기(Ra)는, 예컨대, JIS(Japanese Industrial Standards) B0601 : 2013로 규정된다. 본 실시형태의 유지면(4a)의 Ra는 2.99 μm(즉, 10 μm 미만)이다.
도 3의 (A)에 도시하는 바와 같이, 프레임체(6)의 오목부의 바닥부에는 방사형으로 유로(6b)가 형성되어 있고, 또한, 프레임체(6)의 직경 방향의 중심부를 관통하도록 원기둥형의 유로(6c)가 형성되어 있다. 유로(6c)에는, 전자 밸브 등의 밸브(도시하지 않음)를 통해, 진공 펌프 등의 흡인원(도시하지 않음)이 접속하고 있다.
흡인원을 동작시킨 상태로 밸브를 개방 상태로 하면, 유지면(4a)에는 부압이 전달되고, 피가공물(11)은 유지면(4a)으로 흡인 유지된다. 프레임체(6)의 하면측에는, 원기둥형의 회전축(소정의 회전축)(10)이 고정되어 있다. 회전축(10)의 길이 방향은, Z축 방향에 대략 평행하고, 유지면(4a)에 대략 직교하고 있다.
회전축(10)의 하단부 근방에는, 종동 풀리(도시하지 않음)가 고정되어 있다. 또한, 척테이블(4)의 하측에는, 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)이 설치되어 있다. 회전 구동원의 출력축에는 구동 풀리(도시하지 않음)가 고정되어 있다.
구동 풀리 및 종동 풀리에는, 톱니가 있는 무단 벨트(도시하지 않음)가 걸쳐 있다. 회전 구동원의 동력이 회전축(10)에 전달되면, 척테이블(4)은 회전축(10)의 둘레에 회전한다. 회전축(10)의 길이 방향은, Z축 방향과 대략 평행하게 배치되어 있다.
유지 단계(S10)의 후, 유지면(4a)으로 흡인 유지된 웨이퍼(13)의 이면(13b)측을 연삭 유닛(20)으로 연삭한다(도 5 참조). 도 5에 도시하는 바와 같이, 연삭 유닛(20)은, 원통형의 스핀들 하우징(도시하지 않음)을 갖는다.
스핀들 하우징에는, 볼나사식의 Z축 방향 이동 기구(도시하지 않음)가 연결되어 있고, 연삭 유닛(20)은, Z축 방향 이동 기구에 의해 Z축 방향을 따라 이동한다. 스핀들 하우징의 내측에는, 원기둥형의 스핀들(22)의 일부가 회전 가능하게 수용되어 있다.
스핀들 하우징 및 스핀들(22)의 길이 방향은, Z축 방향을 따라 배치되어 있다. 도 5에서는, 스핀들(22)에 더하여, 스핀들(22)의 회전 중심(예컨대, 스핀들(22)의 길이 방향에 직교하는 단면에서의 도심(圖心))을 통과하고 Z축 방향에 대략 평행한 축선(22b)을 도시한다.
스핀들(22)의 상측의 일부에는, 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)이 설치되어 있다. 스핀들(22)의 하단부(선단부)(22a)는, 스핀들 하우징의 하단보다 하측으로 돌출되어 있다. 스핀들(22)의 하단부(22a)에는, 유지면(4a)보다 직경이 작은 원판형의 마운트(24)가 고정되어 있다.
마운트(24)의 하면측에는, 원환형의 연삭 휠(26)이 장착되어 있다. 즉, 스핀들(22)의 하단부(22a)에는, 마운트(24)를 통해 연삭 휠(26)이 장착되어 있다.
연삭 휠(26)은, 알루미늄 합금 등의 금속으로 형성된 원환형의 휠 베이스(베이스)(26a)를 갖는다. 휠 베이스(26a)의 하면(한 면)(26a1)측에는, 휠 베이스(26a)의 둘레 방향을 따라 복수의 연삭 지석(26b)이 대략 등간격으로 고리형으로 배치되어 있다.
각 연삭 지석(26b)은, cBN(cubic boron nitride), 다이아몬드 등으로 형성된 지립과, 지립을 고정하기 위한 비트리파이드 본드, 레진 본드 등의 본드재를 갖는다.
스핀들(22)을 회전시켰을 때, 복수의 연삭 지석(26b)의 바닥면(26b1)의 이동 궤적으로 규정되는 원환형의 영역은, 웨이퍼(13)의 이면(13b)을 연삭하는 연삭면(26b2)이 된다. 또, 도 5에서는, 연삭면(26b2)의 Z축 방향의 위치를 도시한다.
연삭면(26b2)의 직경(외경)은, 축선(22b)에 직교하는 평면에 있어서 복수의 연삭 지석(26b)의 외주측면으로 규정되는 원의 직경(26b3)에 대응한다. 복수의 연삭 지석(26b)의 직경(26b3)은, 피가공물(11)의 반경(11a) 이하이다.
휠 베이스(26a)에 있어서 연삭 지석(26b)보다 내주측에는, 연삭 지석(26b) 등에 대하여 순수 등의 연삭수를 공급 가능한 복수의 개구(도시하지 않음)가, 휠 베이스(26a)의 둘레 방향을 따라 대략 등간격으로 형성되어 있다. 연삭시에는, 냉각이나 연삭 부스러기의 제거에 연삭수가 이용된다.
Z축 방향 이동 기구에 의해 연삭 유닛(20)과 척테이블(4)을, 척테이블(4)의 회전축(10)의 축선(10a)을 따라 상대적으로 접근시킴으로써, 웨이퍼(13)의 이면(13b)측이 연삭된다(회전축 방향 연삭 단계(S20)).
도 5는, 회전축 방향 연삭 단계(S20)를 도시하는 일부 단면 측면도이다. 도 5 이후에서는, 척테이블(4)의 회전축(10)을 축선(10a)으로 간략화하여 도시한다. 또, 축선(10a)은, 회전축(10)의 회전 중심(예컨대, 회전축(10)의 길이 방향에 직교하는 단면에서의 도심)을 통과하고 Z축 방향에 대략 평행한 직선이다.
본 실시형태에서는, 연삭 휠(26)을 4000 rpm으로 회전시키고, 척테이블(4)을 300 rpm으로 회전시킴과 더불어, Z축 방향을 따라 0.6 μm/s로 연삭 유닛(20)을 하강시킨다(즉, 연삭 이송한다). 또, 연삭수의 유량은, 예컨대 4.0 L/min으로 한다.
전술한 바와 같이, 복수의 연삭 지석(26b)의 직경(26b3)은 피가공물(11)의 반경(11a) 이하이다. 또한, 연삭 유닛(20)을 연삭 이송할 때, 척테이블(4)의 위치는, 도 5에 도시하는 바와 같이, 연삭 휠(26)의 연삭면(26b2)이, 척테이블(4)의 축선(10a)과 중복되지 않는 위치(PA)가 되도록 조정되어 있다.
그 때문에, 도 6의 (A)에 도시하는 바와 같이, 연삭면(26b2)을 이면(13b)으로부터 목적으로 하는 소정의 깊이(11b)까지 연삭 이송하면, 이면(13b)측의 중앙부에 원기둥형의 돌기부(11c)(즉, 미연삭 영역)가 형성된다. 돌기부(11c)를 형성한 후, 연삭 유닛(20)의 연삭 이송을 정지한다.
그리고, 연삭 유닛(20)과, 척테이블(4)을 척테이블(4)의 직경 방향(4b)으로 상대적으로 이동시킴으로써, 이면(13b)측의 돌기부(11c)를 연삭하여 제거한다(직경 방향 연삭 단계(S30)).
도 6의 (A)에 도시하는 바와 같이, 척테이블(4)의 직경 방향(4b)은 회전축(10)의 축선(10a)과 직교한다. 또, 직경 방향(4b)은, 연삭 장치(2)에서의 Z축 방향에 직교하는 X축 방향(도시하지 않음)과 대략 평행하다.
직경 방향 연삭 단계(S30)에서는, 척테이블(4) 및 연삭 휠(26)을 각각 회전시키면서, 예컨대, 척테이블(4)을 직경 방향(4b)의 외측으로 이동시킴으로써, 연삭 휠(26)을 직경 방향(4b)의 내측으로 이동시킨다.
이것에 의해, 전술한 위치(PA)로부터, 연삭면(26b2)과 축선(10a)이 중복되는 위치(PB)에, 연삭 휠(26)을 유지면(4a)의 중심측으로 이동시키면서, 연삭 지석(26b)의 외주측면에서 돌기부(11c)를 제거한다(즉, 이면(13b)측을 연삭한다)(내측 방향 연삭 단계).
도 6의 (A)는, 내측 방향 연삭 단계의 일부 단면 측면도이며, 도 6의 (B)는, 내측 방향 연삭 단계의 사시도이다. 위치(PA)로부터 위치(PB)로 이동시킬 때의 이동 속도는, 예컨대 1.0 μm/s로 한다.
본 실시형태에서는, 회전축 방향 연삭 단계(S20)와, 직경 방향 연삭 단계(내측 방향 연삭 단계)(S30)를 순차적으로 행함으로써, 웨이퍼(13)가 소정의 두께까지 연삭되기 때문에(S40에서 YES), 연삭을 종료한다(도 1 참조).
이것에 대하여, 1회째에서의 연삭 이송량이 목적으로 하는 소정의 깊이(11b)보다 얕은 경우에는(S40에서 NO), 다시 회전축 방향 연삭 단계(S20)와, 직경 방향 연삭 단계(내측 방향 연삭 단계)(S30)를 반복한다(도 1 참조).
도 7은, 연삭 종료 후의 피가공물(11)의 일부 단면 측면도이다. 이면(13b)측에 오목부(13b1)를 형성함으로써, 피가공물(11)에는, 디바이스 영역(13a1)을 포함하는 원형 박판부(11d)와, 원형 박판부(11d)의 외주부를 둘러싸는 고리형 볼록부(11e)가 형성된다.
본 실시형태에서는, 복수의 연삭 지석(26b)의 직경(26b3)이 피가공물(11)의 반경(11a) 이하이지만, 내측 방향 연삭 단계에서, 척테이블(4)의 직경 방향(4b)에 있어서 연삭 유닛(20)과 척테이블(4)을 상대적으로 이동시키기 때문에, 연삭 휠(26)을 교환하지 않고, 피가공물(11)의 연삭을 수행할 수 있다.
또, 본 실시형태의 연삭 방법을 적용하면, 회전축 방향 연삭 단계(S20)에서 피가공물(11)에 대한 연삭 휠(26)의 위치를 변경함으로써, 고리형 볼록부(11e)의 링폭을 변경할 수 있고, 피가공물(11)과는 상이한 직경을 갖는 다른 피가공물(11)의 연삭도 할 수 있다.
(제2 실시형태)
다음으로, 도 8, 도 9, 도 10의 (A) 및 도 10의 (B)를 참조하여 제2 실시형태에 대해 설명한다. 도 8은, 제2 실시형태에서의 피가공물(11)의 연삭 방법의 흐름도이다.
제2 실시형태에서도, 유지 단계(S10)를 거쳐 회전축 방향 연삭 단계(S20)를 행한다. 도 9는, 제2 실시형태의 회전축 방향 연삭 단계(S20)를 도시하는 일부 단면 측면도이다.
단, 본 실시형태의 회전축 방향 연삭 단계(S20)에서는, 도 9에 도시하는 바와 같이, 연삭 휠(26)의 연삭면(26b2)이, 척테이블(4)의 축선(10a)과 중복되는 위치(PB)가 되도록 척테이블(4)의 위치를 조정한 뒤에, 연삭 유닛(20)을 연삭 이송한다.
본 실시형태에서는, 연삭 휠(26)을 4000 rpm으로 회전시키고, 척테이블(4)을 300 rpm으로 회전시킴과 더불어, Z축 방향을 따라 0.6 μm/s로 연삭 유닛(20)을 연삭 이송한다. 또, 연삭수의 유량은, 예컨대 4.0 L/min으로 한다.
도 10의 (A)에 도시하는 바와 같이, 연삭 휠(26)을 이면(13b)으로부터 소정의 깊이(11b)까지 연삭 이송한 후, 연삭 유닛(20)의 연삭 이송을 정지한다. 그리고, 회전축 방향 연삭 단계(S20)의 후, 직경 방향 연삭 단계(S32)를 행한다.
직경 방향 연삭 단계(S32)에서는, 전술한 위치(PB)로부터, 연삭면(26b2)과 축선(10a)이 중복되지 않는 위치(PA)로, 연삭 휠(26)을 유지면(4a)의 외측으로 상대적으로 이동시키면서 이면(13b)측을 연삭한다(외측 방향 연삭 단계).
척테이블(4) 및 연삭 휠(26)을 각각 회전시키면서, 예컨대, 척테이블(4)을 직경 방향(4b)의 내측으로 이동시킴으로써, 연삭 휠(26)을 직경 방향(4b)의 외측으로 이동시킨다.
위치(PB)로부터 위치(PA)로 이동시킬 때의 이동 속도는, 예컨대 1.0 μm/s로 한다. 도 10의 (A)는, 외측 방향 연삭 단계의 일부 단면 측면도이며, 도 10의 (B)는, 외측 방향 연삭 단계의 사시도이다.
본 실시형태에서도, 연삭 휠(26)을 교환하지 않고, 피가공물(11)의 연삭을 수행할 수 있다. 또한, 본 실시형태의 연삭 방법을 적용하면, 고리형 볼록부(11e)의 링폭을 변경할 수 있고, 피가공물(11)과는 상이한 직경을 갖는 다른 피가공물(11)의 연삭도 할 수 있다.
(제3 실시형태)
다음으로, 도 11 및 도 12를 참조하여 제3 실시형태에 대해 설명한다. 도 11은, 제3 실시형태에서의 피가공물(11)의 연삭 방법의 흐름도이다. 제3 실시형태에서도, 유지 단계(S10)를 거쳐 회전축 방향 연삭 단계(S20)를 행한다.
본 실시형태의 회전축 방향 연삭 단계(S20)에서는, 위치(PA)와 위치(PB)의 사이에 연삭 유닛(20)이 위치하도록 척테이블(4)의 위치를 조정한 뒤에 연삭 유닛(20)을 연삭 이송한다. 그리고, 도 12에 도시하는 바와 같이, 연삭 휠(26)을 소정의 깊이(11b)보다 얕은 깊이(11b1)까지 연삭면(26b2)을 연삭 이송한 후, 연삭 이송을 정지한다.
계속되는 직경 방향 연삭 단계(S34)에서는, 연삭 유닛(20)을 척테이블(4)의 직경 방향(4b)을 따라 상대적으로 이동시킨다. 예컨대, 우선, 연삭 유닛(20)을 위치(PB)까지 상대적으로 직경 방향(4b)의 내측으로 이동시킨다(내측 방향 연삭 단계).
이어서, 연삭 유닛(20)을 위치(PB)로부터 위치(PA)까지 상대적으로 직경 방향(4b)의 외측으로 이동시킨다(외측 방향 연삭 단계). 도 12는, 직경 방향 연삭 단계(S34)에서의 내측 방향 연삭 단계 및 외측 방향 연삭 단계를 도시하는 일부 단면 측면도이다.
또, 직경 방향 연삭 단계(S34)에서는, 내측 방향 연삭 단계 및 외측 방향 연삭 단계의 양쪽을 1회 행해도 좋고, 복수회 행해도 좋다. 복수회 행하는 경우는, 내측 방향 연삭 단계 및 외측 방향 연삭 단계를 교대로 반복한다.
또한, 교대로 반복하는 경우, 내측 방향 연삭 단계 및 외측 방향 연삭 단계 중 어느 쪽을 먼저 행해도 좋다. 이와 같이 하여, 목적으로 하는 소정의 깊이(11b)가 될 때까지(즉, S40에서 YES가 될 때까지) 이면(13b)측을 연삭하여, 피가공물(11)에 원형 박판부(11d) 및 고리형 볼록부(11e)를 형성한다.
본 실시형태에서도, 연삭 휠(26)을 교환하지 않고, 피가공물(11)의 연삭을 수행할 수 있다. 또한, 본 실시형태의 연삭 방법을 적용하면, 고리형 볼록부(11e)의 링폭을 변경할 수 있고, 피가공물(11)과는 상이한 직경을 갖는 다른 피가공물(11)의 연삭도 할 수 있다.
또, 1회째의 회전축 방향 연삭 단계(S20)에서 연삭 휠(26)을 목적으로 하는 소정의 깊이(11b)까지 연삭 이송한 후, 직경 방향 연삭 단계(S34)를 행함으로써, 원형 박판부(11d) 및 고리형 볼록부(11e)를 형성해도 좋다.
(제4 실시형태)
다음으로, 도 13 및 도 14를 참조하여 제4 실시형태에 대해 설명한다. 도 13은, 제4 실시형태에서의 피가공물(11)의 연삭 방법의 흐름도이다. 제4 실시형태에서는, 유지 단계(S10)의 후, 회전축 방향 연삭 단계 및 직경 방향 연삭 단계(S22)를 행한다.
즉, 유지 단계(S10)의 후, 회전축 방향 연삭 단계 및 직경 방향 연삭 단계를 동시에 행함으로써 웨이퍼(13)의 이면(13b)측을 연삭한다. 구체적으로는, Z축 방향 이동 기구로 연삭 유닛(20)을 연삭 이송하면서, 척테이블(4)을 직경 방향(4b)을 따라 요동시킴으로써, 내측 방향 연삭 단계 및 외측 방향 연삭 단계의 양쪽을 행한다(도 14 참조).
도 14는, 회전축 방향 연삭 단계 및 직경 방향 연삭 단계(S22)를 도시하는 일부 단면 측면도이다. 또, 직경 방향 연삭 단계에서는, 내측 방향 연삭 단계 및 외측 방향 연삭 단계의 양쪽을 1회 행해도 좋고, 복수회 행해도 좋다. 복수회 행하는 경우는, 내측 방향 연삭 단계 및 외측 방향 연삭 단계를 교대로 반복한다.
이와 같이 하여, 목적으로 하는 소정의 깊이(11b)가 될 때까지(즉, S40에서 YES가 될 때까지) 이면(13b)측을 연삭하여, 피가공물(11)에 원형 박판부(11d) 및 고리형 볼록부(11e)를 형성한다.
본 실시형태에서도, 연삭 휠(26)을 교환하지 않고, 피가공물(11)의 연삭을 수행할 수 있다. 또한, 본 실시형태의 연삭 방법을 적용하면, 고리형 볼록부(11e)의 링폭을 변경할 수 있고, 피가공물(11)과는 상이한 직경을 갖는 다른 피가공물(11)의 연삭도 할 수 있다.
(제5 실시형태)
다음으로, 도 15의 (A) 및 도 15의 (B)를 참조하여 제5 실시형태에 대해 설명한다. 제5 실시형태에서는, 제4 실시형태(도 13 참조)와 마찬가지로, 유지 단계(S10)의 후, 회전축 방향 연삭 단계 및 직경 방향 연삭 단계(S22)를 행한다.
단, 제5 실시형태에서는, 스핀들(22)의 축선(22b)(즉, 스핀들(22)의 길이 방향)을 척테이블(4)의 회전축(10)의 축선(10a)에 대하여 평행하지 않게 배치한 상태로, 웨이퍼(13)의 이면(13b)측을 연삭한다.
예컨대, 스핀들(22)의 축선(22b)이 회전축(10)의 축선(10a)에 대하여 소정 각도만큼 기울어진 상태를 유지하면서, 연삭 유닛(20)의 연삭 이송과 척테이블(4)의 요동이 행해진다.
도 15의 (A)는, 제5 실시형태에서의 회전축 방향 연삭 단계 및 직경 방향 연삭 단계(S22)를 도시하는 일부 단면 측면도이다. 또, 도 15의 (A)에서는, 스핀들(22)의 기울기를 명시하기 위해, 축선(10a)과 평행한 직선(10a1)을 스핀들(22) 근방에 기재하고 있다.
회전축 방향 연삭 단계 및 직경 방향 연삭 단계(S22)에서는, 연삭 휠(26)을 하측으로 연삭 이송하면서, 척테이블(4)을 직경 방향(4b)을 따라 요동시킴으로써, 웨이퍼(13)의 이면(13b)측을 연삭한다.
또, 회전축 방향 연삭 단계 및 직경 방향 연삭 단계(S22)에서는, 내측 방향 연삭 단계 및 외측 방향 연삭 단계를 교대로 반복하면서, 내측 방향 연삭 단계 및 외측 방향 연삭 단계의 양쪽을 복수회 행한다.
특히, 제5 실시형태에서는, 복수의 연삭 지석(26b)의 연삭면(26b2) 대신에, 하나의 연삭 지석(26b)의 바닥면(26b1)에서의 원호형의 외주 가장자리(26b4)에 의해, 웨이퍼(13)의 이면(13b)측을 연삭한다.
그 때문에, 도 15의 (B)에 도시하는 바와 같이, 연삭 지석(26b)의 바닥면(26b1)의 원호형의 외주 가장자리(26b4)를, 이면(13b)의 중심(PC)과, 고리형 볼록부(11e)의 내주 가장자리에 대응하는 원형 박판부(11d)의 외주의 한 점(PD)의 사이에서 왕복시킨다.
연삭의 진행에 따라, 이면(13b)의 중심(PC)은 서서히 표면(13a)으로 이동한다. 마찬가지로, 원형 박판부(11d)의 외주의 한 점(PD)도, 연삭의 진행에 따라 서서히 표면(13a)으로 이동한다. 외주의 한 점(PD)은, 스핀들(22)의 축선(22b) 및 회전축(10)의 축선(10a)으로 규정되는 평면에 있어서, 원형 박판부(11d) 및 고리형 볼록부(11e)의 경계에 위치한다.
도 15의 (B)는, 제5 실시형태에서의 회전축 방향 연삭 단계 및 직경 방향 연삭 단계(S22)를 도시하는 상면도이다. 도 15의 (B)에서는, 연삭 지석(26b)의 바닥면(26b1)의 원호형의 외주 가장자리(26b4)를 굵은 선으로 과장하여 도시하고 있다.
원호형의 외주 가장자리(26b4)는, 예컨대, 하나의 연삭 지석(26b)의 바닥면(26b1)의 외주부에 대응하지만, 반드시 그 전체가 연삭에 기여하는 것은 아니다. 예컨대, 원호형의 외주 가장자리(26b4) 중 가장 하단에 위치하는 일부의 영역(즉, 가공점)만이 연삭에 기여하는 경우도 있다. 또한, 연삭시에는 연삭 휠(26)은 회전하기 때문에, 복수의 연삭 지석(26b) 중 하나의 연삭 지석(26b)이, 시간에 따라서 순차적으로 연삭에 기여한다.
외주 가장자리(26b4)의 왕복 이동은, 예컨대, 척테이블(4)을 직경 방향(4b)을 따라 요동시킴으로써 실현되지만, 유지면(4a)의 중심과 이면(13b)의 중심(PC)의 위치 어긋남을 고려하여, 중심(PC)보다 외주의 한 점(PD)과는 반대측의 외측 위치까지, 원호형의 외주 가장자리(26b4)를 이동시켜도 좋다.
어느 경우든, 목적으로 하는 소정의 깊이(11b)가 될 때까지(즉, S40에서 YES가 될 때까지) 이면(13b)측을 연삭하여, 피가공물(11)에 원형 박판부(11d) 및 고리형 볼록부(11e)를 형성한다.
본 실시형태에서도, 연삭 휠(26)을 교환하지 않고, 피가공물(11)의 연삭을 수행할 수 있다. 또한, 본 실시형태의 연삭 방법을 적용하면, 고리형 볼록부(11e)의 링폭을 변경할 수 있고, 피가공물(11)과는 상이한 직경을 갖는 다른 피가공물(11)의 연삭도 할 수 있다.
또, 단위시간당의 피가공물(11)의 연삭 체적을 대략 일정하게 하기 위해, 외주 가장자리(26b4)의 위치에 따라서, 척테이블(4)의 회전수, 스핀들(22)의 회전수, 및, 척테이블(4)의 직경 방향(4b)의 이동 속도를 조정해도 좋다.
예컨대, 가공점이 중심(PC)에 있을 때, 척테이블(4)의 회전수를 300 rpm, 스핀들(22)의 회전수를 4000 rpm, 및, 척테이블(4)의 직경 방향(4b)의 이동 속도를 1.0 mm/s로 한다.
이것에 대하여, 가공점이 외주의 한 점(PD)에 있을 때, 척테이블(4)의 회전수를 100 rpm, 스핀들(22)의 회전수를 6000 rpm, 및, 척테이블(4)의 직경 방향(4b)의 이동 속도를 0.1 mm/s로 한다.
가공점이 중심(PC) 및 외주의 한 점(PD)의 사이에 있는 경우에는 외주 가장자리(26b4)의 위치에 따라서, 척테이블(4)의 회전수를 100 rpm 이상 300 rpm 이하의 범위에서, 스핀들(22)의 회전수를 4000 rpm 이상 6000 rpm 이하의 범위에서, 척테이블(4)의 직경 방향(4b)의 이동 속도를 0.1 mm/s 이상 1.0 mm/s 이하의 범위에서, 변화시켜도 좋다.
이것에 의해, 단위시간당의 연삭 체적을 대략 일정하게 할 수 있기 때문에, 척테이블(4) 및 스핀들(22)의 회전수와, 척테이블(4)의 직경 방향(4b)의 이동 속도를 외주 가장자리(26b4)의 위치에 상관없이 일정하게 하는 경우에 비교하여, 연삭 후의 원형 박판부(11d)의 평탄성을 향상시킬 수 있다. 즉, TTV(Total Thickness Variation)를 양호하게 할 수 있다.
기타, 전술한 실시형태에 따른 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적으로 하는 범위를 일탈하지 않는 한 적절하게 변경하여 실시할 수 있다. 예컨대, 제1 내지 제4 실시형태(제5 실시형태를 제외함)에서는, 도 4에 도시하는 쌍오목형상의 유지면(12a)을 갖는 척테이블(12)을 이용하여 웨이퍼(13)를 연삭할 수도 있다.
단, 쌍오목형상의 유지면(12a)을 갖는 척테이블(12)을 이용하는 경우, 가공 영역(즉, 복수의 연삭 지석(26b)과, 웨이퍼(13)의 이면(13b)측의 접촉 영역)이 원호형이 되도록, 스핀들(22)(축선(22b)) 및 척테이블(4)의 회전축(10)(축선(10a))의 적어도 한쪽을 기울인다.
그런데, 제5 실시형태에서도, 제1 실시형태(도 1), 제2 실시형태(도 8), 제3 실시형태(도 11)와 같이, 회전축 방향 연삭 단계(S20)과, 직경 방향 연삭 단계(S30)(S32, S34)을 따로따로 행해도 좋다.
2 : 연삭 장치, 4 : 척테이블, 4a : 유지면, 4b : 직경 방향
6 : 프레임체, 6b, 6c : 유로, 8 : 다공질판
10 : 회전축(소정의 회전축), 10a : 축선, 10a1 : 직선
11 : 피가공물, 11a : 반경, 11b, 11b1 : 깊이, 11c : 돌기부
11d : 원형 박판부, 11e : 고리형 볼록부
12 : 척테이블, 12a : 유지면
12a1 : 중심부, 12a2 : 외주부, 12a3 : 바닥부, 12b : 길이
13 : 웨이퍼, 13a : 표면, 13a1 : 디바이스 영역, 13a2 : 외주 잉여 영역
13b : 이면, 13b1 : 오목부
14 : 프레임체, 16 : 다공질판
15 : 분할 예정 라인, 17 : 디바이스, 19 : 보호 부재
20 : 연삭 유닛, 22 : 스핀들, 22a : 하단부(선단부), 22b : 축선
24 : 마운트
26 : 연삭 휠, 26a : 휠 베이스(베이스), 26a1 : 하면(한 면)
26b : 연삭 지석, 26b1 : 바닥면, 26b2 : 연삭면, 26b3 : 직경, 26b4 : 외주 가장자리
PA, PB : 위치, PC : 중심, PD : 외주의 한 점
S10 : 유지 단계, S20 : 회전축 방향 연삭 단계
S22 : 회전축 방향 연삭 단계 및 직경 방향 연삭 단계
S30, S32, S34 : 직경 방향 연삭 단계

Claims (5)

  1. 디바이스 영역과, 상기 디바이스 영역을 둘러싸는 외주 잉여 영역을 표면측에 갖는 피가공물의 이면측을 연삭하여 오목부를 형성함으로써, 원형 박판부와, 상기 원형 박판부를 둘러싸는 고리형 볼록부를 형성하는 피가공물의 연삭 방법으로서,
    미리 정해진 회전축의 둘레에 회전 가능한 척테이블의 유지면으로 상기 피가공물의 상기 표면측을 유지하는 유지 단계와,
    고리형의 베이스와, 상기 베이스의 한 면에 고리형으로 배치된 복수의 연삭 지석을 포함하는 연삭 휠로서, 상기 복수의 연삭 지석의 외주측면으로 규정되는 원의 직경이 상기 피가공물의 반경 이하인 상기 연삭 휠이 선단부에 장착된 스핀들을 갖는 연삭 유닛과, 상기 척테이블을 상기 척테이블의 상기 미리 정해진 회전축의 축선을 따라 상대적으로 접근시킴으로써 상기 피가공물의 상기 이면측을 연삭하는 회전축 방향 연삭 단계와,
    상기 연삭 유닛과 상기 척테이블을 상기 축선과 직교하는 상기 척테이블의 직경 방향으로 상대적으로 이동시킴으로써 상기 피가공물의 상기 이면측을 연삭하는 직경 방향 연삭 단계
    를 포함하고,
    상기 직경 방향 연삭 단계는,
    상기 스핀들의 회전에 따르는 상기 복수의 연삭 지석의 바닥면의 이동 궤적과, 상기 척테이블의 상기 축선이 중복되지 않는 위치로부터 중복되는 위치로, 상기 연삭 유닛과 상기 척테이블을 상대적으로 이동시키면서 상기 피가공물을 연삭하는 내측 방향 연삭 단계와,
    상기 이동 궤적과, 상기 축선이 중복되는 위치로부터 중복되지 않는 위치로, 상기 연삭 유닛과 상기 척테이블을 상대적으로 이동시키면서 상기 피가공물을 연삭하는 외측 방향 연삭 단계 중 어느 한쪽 또는 양쪽을 포함하는 것을 특징으로 하는 피가공물의 연삭 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 직경 방향 연삭 단계에서는, 상기 내측 방향 연삭 단계와, 상기 외측 방향 연삭 단계를 교대로 반복하여 상기 피가공물을 연삭하는 것을 특징으로 하는 피가공물의 연삭 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 회전축 방향 연삭 단계 및 상기 직경 방향 연삭 단계를 동시에 행함으로써 상기 피가공물을 연삭하고,
    상기 직경 방향 연삭 단계는, 상기 내측 방향 연삭 단계 및 상기 외측 방향 연삭 단계의 양쪽을 포함하는 것을 특징으로 하는 피가공물의 연삭 방법.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유지 단계에서는, 요철이 10 μm 미만의 평탄성을 갖는 상기 유지면으로 상기 피가공물을 유지하고,
    상기 회전축 방향 연삭 단계 및 상기 직경 방향 연삭 단계에서는, 상기 유지면으로 유지된 상기 피가공물을 연삭하는 것을 특징으로 하는 피가공물의 연삭 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 회전축 방향 연삭 단계 및 상기 직경 방향 연삭 단계에서는, 상기 연삭 유닛의 상기 스핀들의 축선을 상기 척테이블의 상기 축선과 평행하지 않게 배치한 상태로, 상기 피가공물을 연삭하는 것을 특징으로 하는 피가공물의 연삭 방법.
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