KR20230161637A - 프로버 진단 시스템 - Google Patents

Abstract

프로버 진단 시스템이 제공된다. 본 발명의 일 측면에 따른 프로버 진단 시스템은 척을 이동시켜 웨이퍼를 프로브카드에 접촉시킴으로써 상기 웨이퍼를 검사하는 프로버의 상태를 판단하는 프로버 진단 시스템에 있어서, 상기 웨이퍼의 검사 과정에서 상기 프로버로부터 시간에 따라 발생하는 소리를 센싱하여 소리 데이터를 생성하는 소리 센서부; 상기 소리 데이터가 저장되는 데이터 저장부; 및 상기 소리 데이터를 통하여 상기 프로버의 비정상 작동 여부를 판단하는 정보처리부; 를 포함할 수 있다.

Description

프로버 진단 시스템{System for diagnosing a prober}

본 발명은 프로버 진단 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 프로버의 비정상 작동을 진단할 수 있는 프로버 진단 시스템에 관한 것이다.

다수의 반도체 소자가 형성된 웨이퍼에 있어서, 각 반도체 소자의 전기적 특성 검사를 하기 위해, 웨이퍼 검사 장치로서 프로버가 이용되고 있다. 프로버는 웨이퍼와 대향하는 원판형 프로브카드를 구비하고, 프로브카드는 웨이퍼의 반도체 소자의 각 전극 패드나 각 솔더 범프와 대향하도록 배치되는 복수의 기둥형 접촉단자인 콘택트 프로브를 구비한다.

프로버에서는 프로브 카드의 각 콘택트 프로브가 반도체 소자의 전극 패드나 솔더 범프와 접촉하고 각 콘택트 프로브에서 각 전극 패드나 각 솔더 범프에 접속된 반도체 소자의 전기 회로로 검사 신호를 흐르게 함으로써 전기 회로의 도통 상태 등을 검사한다.

이때, 웨이퍼에 형성되는 반도체 소자는 집적되어 형성되므로 이러한 반도체 소자를 검사하는 과정에서 고가의 반도체 소자가 파손될 수 있다. 이를 방지하고자 프로버는 정밀 제어되어 반도체 소자를 검사하여야 한다.

또한, 프로버의 감사 정확도가 높게 유지되지 못하면 불량 반도체 소자를 출하하게 되고, 반도체 소자를 이용한 전자기기의 불량을 야기하여 생산 비용의 부담이 증가하게 되는 문제도 있다.

위와 같은 특성 때문에 프로버가 정상적으로 작동되고 있는지를 실시간으로 확인할 수 있는 프로버 진단 시스템에 대한 요구가 대두되고 있다.

본 발명의 목적은 소리를 통해 프로버의 비정상 작동여부를 판단할 수 있는 프로버 진단 시스템을 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 목적은 정상 작동 시 소정의 공정과 동일한 공정 과정을 특정하고 특정된 공정 과정의 소리를 비교하여 프로버의 비정상 작동여부 판단의 정확성을 높일 수 있는 프로버 진단 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 척을 이동시켜 웨이퍼를 프로브카드에 접촉시킴으로써 상기 웨이퍼를 검사하는 프로버의 상태를 판단하는 프로버 진단 시스템에 있어서, 상기 웨이퍼의 검사 과정에서 상기 프로버로부터 시간에 따라 발생하는 소리를 센싱하여 소리 데이터를 생성하는 소리 센서부; 상기 소리 데이터가 저장되는 데이터 저장부; 및 상기 소리 데이터를 통하여 상기 프로버의 비정상 작동 여부를 판단하는 정보처리부; 를 포함하는, 프로버 진단 시스템이 제공된다.

이때, 상기 데이터 저장부에는 상기 프로버가 정상 작동 시 상기 웨이퍼의 검사 과정에서 상기 프로버로부터 시간에 따라 발생하는 소리를 상기 소리 센서부로 센싱하여 생성된 기본 소리 데이터가 저장되고, 상기 정보처리부는 상기 소리 데이터와 상기 기본 소리 데이터를 비교하여 시간에 따라 발생하는 소리가 상이한 경우 상기 프로버가 비정상적으로 작동된다고 판단할 수 있다.

이때, 상기 정보처리부는 상기 소리 데이터와 상기 기본 소리 데이터를 비교하여 시간에 따라 발생하는 소리의 크기 값 또는 진동수 또는 파동 패턴을 비교함으로써 상기 프로버의 비정상 작동 여부를 판단할 수 있다.

이때, 상기 소리 데이터 및 상기 기본 소리 데이터로 저장되는 소리는 상기 척의 동작에 따라 발생하는 척 동작 소리를 포함할 수 있다.

이때, 상기 프로버는 상기 척으로 웨이퍼를 공급하는 로더를 더 포함하고, 상기 소리 데이터 및 상기 기본 소리 데이터로 저장되는 소리는 상기 로더의 동작에 따라 발생하는 로더 동작 소리를 더 포함할 수 있다.

이때, 상기 웨이퍼의 검사 과정에서 상기 척의 시간에 따른 가속도를 센싱하여 가속도 데이터를 생성하는 가속도 센서부; 를 더 포함하고, 상기 데이터 저장부에는 상기 가속도 데이터 및 정상 작동 시 상기 웨이퍼의 검사 과정에서 상기 척의 시간에 따른 가속도를 상기 가속도 센서부로 센싱하여 생성된 기본 가속도 데이터가 더 저장되고, 상기 정보처리부는 상기 가속도 데이터와 상기 기본 가속도 데이터를 비교하여 상기 가속도 데이터의 시간 구간과 상기 기본 가속도 데이터의 시간 구간을 일치시키고, 상기 시간 구간의 상기 소리 데이터와 상기 시간 구간의 상기 기본 소리 데이터를 비교하여 상기 프로버의 비정상 작동을 판별할 수 있다.

이때, 상기 웨이퍼의 검사 과정은 상기 척의 소정의 작동을 포함하고, 상기 정보처리부는 상기 소정의 작동이 수행되는 시간 구간의 상기 가속도 데이터를 상기 기본 가속도 데이터와 비교함으로써 상기 프로버가 정상 작동 시 상기 척의 상기 소정의 작동이 수행되는 소정의 시간 구간을 특정하고, 상기 소정의 시간 구간의 상기 소리 데이터와 상기 소정의 시간 구간의 상기 기본 소리 데이터를 비교함으로써 상기 소정의 작동의 정상작동 여부를 판단할 수 있다.

이때, 상기 소정의 작동은 척이 상기 척에 안착된 상기 웨이퍼를 정렬시키는 동작 또는 상기 척이 상기 웨이퍼를 검사하기 위하여 이동하는 동작일 수 있다.

이때, 상기 프로버는 상기 척으로 웨이퍼를 공급하는 로더를 더 포함하고, 상기 웨이퍼의 검사 과정에서 상기 로더의 시간에 따른 가속도를 센싱하여 가속도 데이터를 생성하는 가속도 센서부; 를 더 포함하고, 상기 데이터 저장부에는 상기 가속도 데이터 및 정상 작동 시 상기 웨이퍼의 검사 과정에서 상기 로더의 시간에 따른 가속도를 상기 가속도 센서부로 센싱하여 생성된 기본 가속도 데이터가 더 저장되고, 상기 정보처리부는 상기 가속도 데이터와 상기 기본 가속도 데이터를 비교하여 상기 가속도 데이터의 시간 구간과 상기 기본 가속도 데이터의 시간 구간을 일치시키고, 상기 시간 구간의 상기 소리 데이터와 상기 시간 구간의 상기 기본 소리 데이터를 비교하여 상기 프로버의 비정상 작동을 판별할 수 있다.

이때, 상기 웨이퍼의 검사 과정은 상기 로더의 소정의 작동을 포함하고, 상기 정보처리부는 상기 소정의 작동이 수행되는 시간 구간의 상기 가속도 데이터를 상기 기본 가속도 데이터와 비교함으로써 상기 프로버가 정상 작동 시 상기 로더의 상기 소정의 작동이 수행되는 소정의 시간 구간을 특정하고, 상기 소정의 시간 구간의 상기 소리 데이터와 상기 소정의 시간 구간의 상기 기본 소리 데이터를 비교함으로써 상기 소정의 작동의 정상작동 여부를 판단할 수 있다.

이때, 상기 소정의 작동은 상기 로더가 카세트에 저장된 상기 웨이퍼를 로더에 옮기는 동작, 상기 로더가 상기 웨이퍼를 상기 로더에서 상기 카세트로 옮기는 동작, 로더가 웨이퍼를 프리 얼라이너에 옮기는 동작, 로더가 웨이퍼를 척에 옮기는 동작 및 로더가 웨이퍼를 상기 척으로부터 상기 로더로 옮기는 동작 중 어느 하나일 수 있다.

이때, 상기 웨이퍼의 검사 과정에서 시간에 따라 변하는 상기 프로버의 온도 또는 습도를 센싱하여 보조 데이터를 생성하는 보조 센서부; 를 더 포함하고, 상기 데이터 저장부에는 상기 보조 데이터가 더 저장되고, 상기 정보처리부는 상기 보조 데이터를 통하여 상기 프로버의 비정상 작동 여부를 판단할 수 있다.

이때, 상기 데이터 저장부에는 상기 프로버가 정상 작동 시 상기 웨이퍼의 검사 과정에서 시간에 따라 변하는 상기 프로버의 온도 또는 습도를 상기 보조 센서부로 센싱하여 생성된 기본 보조 데이터가 더 저장되고, 상기 정보처리부는 상기 보조 데이터와 상기 기본 보조 데이터를 비교하여 시간에 따라 변화하는 상기 프로버의 온도 또는 습도가 상이한 경우 상기 프로버가 비정상적으로 작동된다고 판단할 수 있다.

이때, 상기 정보처리부는 상기 프로버의 비정상 작동을 판별 시 로그 데이터를 생성하여 데이터 저장부에 저장할 수 있다.

이때, 상기 로그 데이터를 시각적으로 출력하는 출력부; 를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템은, 프로버 작동 시 발생하는 소리를 센싱하는 소리 센서부를 구비함으로써, 소리를 통해 프로버의 비정상 작동여부를 판단할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템은, 프로버 작동 시 척 또는 로더의 가속도를 센싱하는 가속도 센서부를 구비함으로써, 정상 작동 시 소정의 공정과 동일한 공정 과정을 특정하고 특정된 공정 과정의 소리를 비교하여 프로버의 비정상 작동여부 판단의 정확성을 높일 수 있다.

본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 설명 또는 청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템이 구비되는 프로버를 도시한 측면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템이 구비되는 프로버의 로더를 도시한 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템이 구비되는 프로버의 작동을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템을 도시한 도면이다.
도 5 (a)는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템의 소리 센서부가 정상 작동 시 센싱한 소리 데이터로서 소리의 크기를 시간에 따라 나타낸 그래프이고, 도 5 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템의 소리 센서부가 비정상 작동 시 센싱한 소리 데이터로서 소리의 크기를 시간에 따라 나타낸 그래프이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템의 가속도 센서부가 정상 작동 시 센싱한 가속도 데이터로서 가속도를 시간에 따라 나타낸 그래프이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템의 소리 센서부가 정상 작동 시 센싱한 소리 데이터로서 스펙트로그램으로 소리의 진동수를 시간에 따라 나타낸 그래프이다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 도면에서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 단어와 용어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정 해석되지 않고, 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 발명자가 용어와 개념을 정의할 수 있는 원칙에 따라 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.

그러므로 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 해당하고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로 해당 구성은 본 발명의 출원시점에서 이를 대체할 다양한 균등물과 변형예가 있을 수 있다.

본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 설명하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 다른 구성 요소와 바로 접하여 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 배치되는 것뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 구성 요소가 배치되는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소와 "연결"되어 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 서로 직접 연결되는 것뿐만 아니라 간접적으로 서로 연결되는 경우도 포함한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템이 구비되는 프로버를 도시한 측면도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템이 구비되는 프로버의 로더를 도시한 측면도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템이 구비되는 프로버의 작동을 도시한 도면이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템을 도시한 도면이다. 도 5 (a)는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템의 소리 센서부가 정상 작동 시 센싱한 소리 데이터로서 소리의 크기를 시간에 따라 나타낸 그래프이고, 도 5 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템의 소리 센서부가 비정상 작동 시 센싱한 소리 데이터로서 소리의 크기를 시간에 따라 나타낸 그래프이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템의 가속도 센서부가 정상 작동 시 센싱한 가속도 데이터로서 가속도를 시간에 따라 나타낸 그래프이다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템의 소리 센서부가 정상 작동 시 센싱한 소리 데이터로서 스펙트로그램으로 소리의 진동수를 시간에 따라 나타낸 그래프이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템(1)은 프로버(100)의 비정상 작동 판단하기 위한 시스템이다. 이때, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템(1)이 사용되는 프로버(100)는 웨이퍼(2)에 형성된 다수의 반도체 소자의 전기적 특성 검사하는 장치이다.

이를 위하여, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 프로버(100)는 척(120), 프로브카드(110) 및 로더(130)를 포함한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 척(120)은 웨이퍼(2)를 지지한 채로 검사를 위해 웨이퍼(2)를 이동하거나 정렬하는 역할을 한다. 웨이퍼(2)는 원판형으로 형성되며, 척(120)은 웨이퍼(2)를 지지할 수 있으면 형상에 제한이 있는 것은 아니다. 예를 들면, 척(120)의 웨이퍼(2)가 안착되는 상면이 웨이퍼(2)의 하면의 형상에 대응되는 원형으로 형성될 수 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 척(120)은 웨이퍼(2)가 안착된 상태로 웨이퍼(2)와 함께 이동하고 웨이퍼(2)를 정렬시키기 위하여 6 자유도로 운동할 수 있다. 이때, 척(120)이 6 자유도로 운동할 수 있게 하는 구조에는 제한이 없으며, 공지된 다양한 방식이 적용될 수 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(2)는 척(120)에 의하여 지지된 채로 프로브카드(110)의 접촉부(111)에 접촉하게 된다. 이때, 프로브카드(110)의 접촉부(111)는 웨이퍼(2)에 형성된 반도체 소자의 전극 패드나 솔더 범프에 접촉된다.

프로브카드(110)는 접촉부(111)를 통해 웨이퍼(2)에 형성된 반도체 소자의 전기 회로로 검사 신호를 흐르게 함으로써 전기 회로의 도통 상태 등을 검사할 수 있다.

이때, 웨이퍼(2)에는 복수의 반도체 소자가 형성되므로, 프로브카드(110)에 형성된 접촉부(111)에 각 반도체 소자를 순차적으로 연결시키기 위하여, 척(120)은 고정 배치되는 프로브카드(110)를 기준으로 이동하게 된다.

한편, 프로버(100)는 검사 전후 웨이퍼(2)를 이송하기 위하여, 로더(130)를 포함한다. 로더(130)는 웨이퍼(2)의 일 측을 지지하여 웨이퍼(2)의 손상 없이 웨이퍼(2)를 척(120)으로 공급하거나 척(120)으로부터 회수하게 된다.

또한 도 3에 도시된 바와 같이, 로더(130)는 복수의 웨이퍼(2)가 저장된 카세트(140)로부터 웨이퍼(2)를 순차적으로 꺼내 프리 얼라이너(150)로 공급하고, 다시 회수하여 척으로 공급할 수 있다.

프리 얼라이너(150)는 반도체 소자를 검사하기 전 웨이퍼(2)의 위치를 맞추기 위한 장치이다. 프리 얼라이너(150)를 이용하여 웨이퍼(2)의 위치를 맞추는 방식은 공지된 방식을 이용할 수 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 프로버(100)를 통해 웨이퍼(2)에 형성된 반도체 소자를 검사하는 과정은 로더(130)를 통해 카세트(140)로부터 웨이퍼(2)를 꺼내는 제1 과정(P1), 로더(130)를 통해 웨이퍼(2)를 프리 얼라이너(150)로 이송하는 제2 과정(P2), 로더(130)를 통해 프리 얼라이너(150)로부터 웨이퍼(2)를 회수하는 제3 과정(P3), 로더(130)를 통해 웨이퍼(2)를 척(120)으로 공급하는 제4 과정(P4), 척(120)에서 웨이퍼(2)를 정렬하는 제5 과정(P5), 척(120)을 통해 웨이퍼(2)를 이송하며 웨이퍼(2)에 형성되는 복수의 반도체 소자를 순차적으로 각각 프로브카드(110)에 접촉시키면서 이동하는 제6 과정(P6), 복수의 반도체 소자의 검사가 완료된 웨이퍼(2)를 척(120)으로부터 회수하는 제7 과정(P7), 검사가 완료된 웨이퍼(2)를 카세트(140)로 이송하는 제8 과정(P8)을 포함한다.

이때, 로더(130)를 통해 웨이퍼(2)에 형성된 반도체 소자를 검사하는 과정은 상술한 과정에 한정되는 것은 아니고, 필요에 따라 일부 과정이 생략될 수도 있고 다른 과정이 추가될 수도 있다. 본 실시예에 대한 설명에서는 프로버(100)가 제1 과정(P1) 부터 제8 과정(P8)을 통해 웨이퍼(2)를 검사하는 것으로 설명한다.

이때, 프로버(100)의 웨이퍼 검사 과정이 정상적을 이루어지는지 확인하기 위하여, 프로버(100)에는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템(1)이 구비된다.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템(1)은 소리 센서부(10), 가속도 센서부(20), 데이터 저장부(40) 및 정보처리부(50)를 포함한다.

소리 센서부(10)는 웨이퍼(2)의 검사 과정에서 프로버(100)로부터 시간에 따라 발생하는 소리를 센싱하여 소리 데이터(41)를 생성한다.

이때, 소리 센서부(10)는 파동의 일종인 소리를 감지하여 전기적 신호로 바꿀 수 있는 것이면, 사용되는 센서에 제한이 있는 것은 아니다. 즉, 프로버(100)가 작동 중에 발생시키는 소리의 종류에 따라 소리 센서부(10)는 다른 종류의 센서를 구비할 수 있다.

이때, 소리 센서부(10)가 센싱하는 소리는 척(120)의 동작에 따라 발생하는 척 동작 소리 및 로더(130)의 동작에 따라 발생하는 로더 동작 소리를 포함한다.

즉, 소리 센서부(10)는 로더(130)가 전술한 제1 과정(P1), 제2 과정(P2), 제3 과정(P3), 제4 과정(P4), 제7 과정(P7) 및 제8 과정(P8)을 수행하기 위하여 전후 좌우 상하로 움직이거나 회전할 때 발생하는 소리를 센싱하여 소리 데이터(41)를 생성할 수 있다.

또한, 소리 센서부(10)는 척(120)이 전술한 제5 과정(P5) 및 제6 과정(P6)을 수행하기 위하여 전후 좌우 상하로 움직이거나 회전하는 소리를 센싱하여 소리 데이터(41)를 생성할 수 있다.

이때, 도 5 (a) 및 도 5(b)에 도시된 바와 같이, 소리 센서부(10)에서 수집하는 소리에 대한 정보는 소리의 크기(amplitude)일 수 있고, 도 7에 도시된 바와 같이, 소리의 진동수(frequency)일 수 있다.

이때, 도 7에 도시된 바와 같이, 소리 센서부(10)가 소리의 진동수를 수집하는 경우, 소리 센서부(10)가 수집하는 소리의 진동수 정보를 후술하는 정보처리부(50)가 음향 신호 분석에서 사용되는 스펙트로그램으로 표현하여 데이터 저장부(40)에 저장할 수 있다. 이와 같은 스펙트로그램은 시간영역의 신호를 특정 길이로 잘라 FFT(fast Fourier transform)처리를 하여 얻을 수 있다. 스펙트로그램을 이용하는 방식은 공지된 것이므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

소리 센서부(10)는 복수 개가 구비될 수 있다. 예를 들면, 척(120)의 동작 소리를 센싱하기 위한 소리 센서부(10)와 로더(130)의 동작 소리를 센싱하기 위한 소리 센서부(10)가 구비될 수 있다. 나아가 필요에 따라 추가적인 소리 센서부(10)를 더 구비할 수 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 소리 센서부(10)는 척(120)의 동작 소리를 센싱하기 위하여 척(120)에 직접 고정되거나 척(120)과 인접하게 배치될 수 있다. 마찬가지로, 도 2에 도시된 바와 같이, 소리 센서부(10)는 로더(130)의 동작 소리를 센싱하기 위하여 로더(130)에 직접 고정되거나 로더(130)와 인접하게 배치될 수 있다. 다만, 소리 센서부(10)는 척(120) 또는 로더(130)의 동작 소리를 센싱할 수 있으며 배치되는 위치에 제한이 있는 것은 아니다.

데이터 저장부(40)는 전기적 신호로 변환된 데이터가 저장되는 일종의 저장 매체이다. 예를 들면, 데이터 저장부(40)는 하드디스크 드라이브, 솔리드 스테이트 드라이브 등일 수 있다.

도 4에 도시된 바와 같이, 데이터 저장부(40)는 소리 센서부(10)에 연결된다. 이때, 소리 센서부(10)는 유선으로 데이터 저장부(40)에 연결될 수도 있고, 무선 통신을 이용하여 데이터 저장부(40)에 연결될 수도 있다.

이때, 데이터 저장부(40)와 소리 센서부(10)는 후술하는 정보처리부(50)를 통하여 연결될 수 있다. 이에 따라, 정보처리부(50)가 소리 센서부(10)로부터 생성된 소리 데이터(41)를 필요에 따라 전처리하여 데이터 저장부(40)에 저장할 수 있게 된다.

본 실시예에서는 데이터 저장부(40)와 소리 센서부(10)가 무선 통신으로 연결되는 것으로 설명한다. 데이터 저장부(40)와 소리 센서부(10)가 무선으로 연결되는 경우, 척(120)의 이동과 로더(130)의 이동을 방해하지 않을 뿐만 아니라, 프로버(100) 자체의 크기를 작게 형성할 수 있다는 이점이 있다.

도 4에 도시된 바와 같이, 데이터 저장부(40)에는 소리 센서부(10)가 센싱하여 생성한 소리 데이터(41)가 저장된다. 이때, 소리 데이터(41)는 프로버(100)가 작동을 할 때마다 생성되어 데이터 저장부(40)에 저장된다.

또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 데이터 저장부(40)에는 프로버(100)가 정상 작동 시 웨이퍼(2)의 검사 과정에서 프로버(100)로부터 시간에 따라 발생하는 소리를 소리 센서부(10)로 센싱하여 생성된 기본 소리 데이터(42)가 미리 저장된다.

즉, 기본 소리 데이터(42)는 프로버(100)가 정상적으로 작동되는 과정에서 프로버(100)의 작동, 즉 척(120)의 동작이나 로더(130)의 동작에 따라 발생하는 소리를 미리 저장해 놓은 데이터이다. 기본 소리 데이터(42)는 후술하는 정보처리부(50)가 최근에 생성된 소리 데이터(41)를 비교하게 되는 대상이 된다. 이에 대하여는 정보처리부(50)와 함께 후술한다.

도 4에 도시된 바와 같이, 정보처리부(50)는 데이터 저장부(40)에 연결된다. 정보처리부(50)는 데이터 저장부(40)에 저장된 데이터를 이용하여 프로버(100)의 비정상 작동 여부를 판별한다. 이때, 정보처리부(50)는 일종의 정보처리장치(CPU)일 수 있다.

정보처리부(50)는 소리 데이터(41)를 통하여, 프로버(100)의 비정상 작동여부를 판단할 수 있다. 이를 보다 상세히 설명하면, 도 5 (a)에 도시된 바와 같이, 프로버(100)가 정상 작동 중인 경우 소리를 센싱하면 소정의 크기 범위 내의 소리가 센싱된다.

반면, 프로버(100)가 비정상 작동 중인 경우, 도 5 (b)에 도시된 바와 같이, 소리 센서부(10)가 센싱한 소리 데이터(41)는 소정의 크기 범위를 벗어난 소리가 감지된다. 이에 따라, 정보처리부(50)는 소리 데이터(41)에서 소정의 크기 범위를 벗어난 소리가 감지된 경우, 감지된 시간을 기록한 로그 데이터(47)를 생성하여 데이터 저장부(40)에 저장하게 된다.

한편, 프로버(100)가 정상 작동 중 발생하는 소리임에도 도 5(b)에 도시된 바와 같이 소정의 크기 범위를 벗어나는 값을 가지는 경우에는 정보처리부(50)가 상술한 방식으로 프로버(100)의 비정상 작동을 판단할 수 없게 된다.

따라서, 정보처리부(50)는 프로버(100)가 작동 중 발생하는 소리의 파형에 상관없이 프로버(100)의 비정상 작동 여부를 판별하기 위하여, 데이터 저장부(40)에 저장된 소리 데이터(41)와 기본 소리 데이터(42)를 비교하여 프로버(100)의 비정상 작동 여부를 판별한다.

이를 보다 상세히 설명하면, 정보처리부(50)는 미리 준비된 기본 소리 데이터(42)를 기준으로 당시 작동 중인 프로버(100)로부터 센싱된 소리 데이터(41)를 분석한다. 이때, 소리 데이터(41)가 기본 소리 데이터(42)와 상이한 경우, 정보처리부(50)는 프로버(100)가 비정상 작동되고 있다고 판단한다.

이때, 소리 데이터(41)가 기본 소리 데이터(42)와 상이한 경우란, 소리 데이터(41)가 기본 소리 데이터(42)와 완전히 같은 값을 가지는 것이 아니라, 소리 데이터(41)와 기본 소리 데이터(42) 사이의 차이가 소정의 오차범위를 벗어나는 것으로 규정한다. 다만, 프로버(100) 오작동 판별의 정확도가 높이 요구되는 특수 웨이퍼(2)의 경우에는 오차율을 낮춰 판별할 수 있다.

정보처리부(50)는 소리 데이터(41)와 기본 소리 데이터(42)를 비교하여 오차율이 미리 정해진 범위를 초과하는 경우, 감지된 시간을 기록한 로그 데이터(47)를 생성하여 데이터 저장부(40)에 저장하게 된다.

한편, 전술한 바와 같은 방법으로 정보처리부(50)가 비정상 작동을 판별하는 경우, 정보처리부(50)는 프로버(100)가 하나의 검사 사이클을 수행하는 과정에서 특정 시간에 비정상 작동이 발생되었다는 것을 알 수 있게 된다.

다만, 이 경우 프로버(100)의 검사 과정 전체를 기준으로 소리 데이터(41)와 기본 소리 데이터(42)를 비교하게 되므로, 경우에 따라 소리 데이터(41)와 기본 소리 데이터(42)의 각 시작 시점을 맞춰야 할 때가 발생할 수 있다. 즉, 시작 시점이 다른 상태에서 양 데이터를 비교할 경우, 양 데이터간 차이가 발생할 수밖에 없으므로 비교할 데이터의 시작 시점을 맞춰야 한다.

이를 위하여, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 척(120) 또는 로더(130)에 가속도 센서부(20)가 구비된다. 가속도 센서부(20)는 소리 센서부(10)와 하나의 모듈로서 척(120) 또는 로더(130)에 부착되거나 별도의 모듈로서 각각 척(120) 또는 로더(130)에 부착될 수 있다.

가속도 센서부(20)는 척(120) 또는 로더(130)의 가속도를 센싱하므로, 척(120) 또는 로더(130)에 직접 부착된다. 가속도 센서부(20)는 척(120) 또는 로더(130)의 전후 좌우 상하 방향의 직선 가속도와, 전후 좌우 상하 방향으로 연장된 축을 회전축으로 하는 회전 가속도를 센싱하여 가속도 데이터(43)를 생성한다.

도 4에 도시된 바와 같이, 가속도 센서부(20)는 데이터 저장부(40)에 연결되며,생성된 가속도 데이터(43)는 데이터 저장부(40)에 저장된다. 이때, 가속도 데이터(43)는 정보처리부(50)를 통하여 데이터 저장부(40)에 저장될 수 있으며, 정보처리부(50)는 필요에 따라 가속도 데이터(43)를 전처리하여 데이터 저장부(40)에 저장할 수 있다.

한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 기본 소리 데이터(42)와 마찬가지로 데이터 저장부(40)에는 기본 가속도 데이터(44)가 미리 저장된다. 기본 가속도 데이터(44)는 프로버(100)가 정상 작동 시 웨이퍼(2)의 검사 과정에서 척(120)의 시간에 따른 가속도를 가속도 센서부(20)로 센싱하여 생성된다.

즉, 기본 가속도 데이터(44)는 프로버(100)가 정상적으로 작동되는 과정에서 프로버(100)의 작동, 즉 척(120)의 동작이나 로더(130)의 시간에 따른 가속도를 미리 저장해 놓은 데이터이다. 이때, 기본 가속도 데이터(44)는 도 6에 도시된 바와 같이 전후, 좌우, 상하 방향의 직선 가속도 데이터와, 전후, 좌우, 상하 방향으로 연장된 축을 회전축으로 하는 회전 가속도 데이터를 포함할 수 있다.

기본 가속도 데이터(44)는 최근에 생성된 가속도 데이터(43)의 비교 대상이 된다. 즉, 정보처리부(50)는 가속도 데이터(43)와 기본 가속도 데이터(44)를 비교하여 가속도 데이터(43)의 시간 구간과 기본 가속도 데이터(44)의 시간 구간을 일치시킬 수 있게 된다. 이때, 가속도 데이터(43)의 시간 구간과 기본 가속도 데이터(44)의 시간 구간을 일치시키는 과정에 대하여는 후술한다.

한편, 전술한 바와 같이, 프로버(100)가 웨이퍼(2)를 검사하는 과정은 제1 과정(P1) 내지 제8 과정(P8)을 포함한다. 각 과정에 따라 척(120) 또는 로더(130)는 특정한 동작을 수행하게 되며 이에 따라 특유의 소리가 발생한다.

이때, 각 과정에서 척(120) 또는 로더(130)의 비정상 작동 여부를 판별하기 위하여는 각 과정에 해당하는 시간 구간을 특정할 필요가 있다.

시간 구간을 특정하는 것을 도 6을 통하여 설명하면, 척(120)이 전방 및 좌측 방향으로 이동하는 경우에는 t1, 척(120)이 후방으로 이동 후 멈추는 경우에는 t2, 척(120)이 좌측 방향으로 이동 후 멈추는 경우에는 t3, 척(120)이 전방으로 이동 후 멈추는 경우에는 t4, 척(120)이 우측 및 후방으로 이동 후 후방으로는 멈추고 우측 방향으로 추가 이동 후 멈추는 경우에는 t5, 척(120)이 순차적으로 상측, 전방, 전방, 상측, 전방, 하측, 전방 및 좌측 방향으로 이동 후 멈추는 경우에는 t6로 시간 구간이 특정된다.

이때, 시간 구간으로서 t1 내지 t6은 설명으로 위하여 구획한 것이고 각 시간 구간이 제1 과정(P1) 내지 제8 과정(P8)에 일대일 매칭이 되어야 하는 것은 아니다. 즉, 제1 과정(P1)에 t1 내지 t6의 시간 구간이 모두 포함될 수도 있다.

다만, 설명의 편의상 제5 과정(P5)의 시간 구간을 t1이라고 규정하면, 정보처리부(50)는 가속도 데이터(43)에서 척(120)의 가속도 패턴을 통해 t1 시간 구간을 특정할 수 있게 된다.

정보처리부(50)는 제5 과정(P5)을 시간 구간을 특정한 후 기본 가속도 데이터(44)에 포함된 가속도 패턴과 제5 과정(P5)의 가속도 패턴을 비교하게 된다. 이에 따라, 기본 가속도 데이터(44)에서 제5 과정(P5)을 수행할 때의 시간 구간을 특정할 수 있게 된다. 즉, 가속도 데이터(43)의 센싱 시작 시점과 기본 가속도 데이터(44)의 센싱 시작 시점 사이 차이가 있더라도, 가속도 패턴을 기준으로 가속도 데이터(43)에서의 시간 구간 t1과 기본 가속도 데이터(44)에서의 시간 구간 t1을 일치시킬 수 있게 된다.

이때, 정보처리부(50)는 소리 데이터(41)와 기본 소리 데이터(42)를 특정된 시간 구간 t1에서 비교하게 된다. 이때, 소리 데이터(41)와 기본 소리 데이터(42) 사이 오차율이 소정의 범위를 벗어나는 경우에는 제5 과정(P5)에 포함된 척(120)의 작동이 비정상적으로 수행되고 있다고 판단하게 된다.

이때, 소리 데이터(41)와 기본 소리 데이터(42)는 도 7에 도시된 바와 같이, 스펙트로그램으로 표현될 수 있으므로, 정보처리부(50)는 시간 구간 t1에서 소리 데이터(41)와 기본 소리 데이터(42)의 시각적 패턴의 유사도를 통하여 제5 과정(P5)의 비정상 작동여부를 판단할 수 있다.

한편, 정보처리부(50)가 비정상 작동을 판별하면 정보처리부(50)는 제5 과정(P5)에서 비정상 작동이 있었음을 로그 데이터(47)로 기록하여 데이터 저장부(40)에 저장하게 된다.

이와 같은 판단은 제1 과정(P1) 내지 제8 과정(P8)에서 모두 수행될 수 있으며, 각 과정별로 척(120) 또는 로더(130)의 가속도 패턴을 이용하여 시간 구간을 특정할 수 있게 된다.

특히, 위와 같이 각 과정의 시간 구간을 특정하여 비교할 수 있게 되면, 과정 별로 정상작동을 위한 오차율의 범위를 다르게 설명하여 비정상 작동여부를 판단할 수 있게 된다. 이에 따라 각 과정 별로 정밀 제어가 요구되는 정도가 다른 경우, 각 과정마다 오차율을 다르게 설정할 수 있게 된다.

한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템(1)은 보조 센서부(30)를 더 포함할 수 있다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 보조 센서부(30)는 가속도 센서부(20)와 마찬가지로 척(120) 또는 로더(130)에 구비된다. 보조 센서부(30)는 소리 센서부(10) 및 가속도 센서부(20)와 하나의 모듈로서 척(120) 또는 로더(130)에 부착되거나 별도의 모듈로서 각각 척(120) 또는 로더(130)에 부착될 수 있다.

보조 센서부(30)는 웨이퍼(2)의 검사 과정에서 시간에 따라 변하는 프로버(100)의 온도 또는 습도를 센싱하여 보조 데이터(45)를 생성한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 보조 센서부(30)는 데이터 저장부(40)에 연결되며, 생성된 보조 데이터(45)는 데이터 저장부(40)에 저장된다.

이때, 보조 데이터(45)는 정보처리부(50)를 통하여 데이터 저장부(40)에 저장될 수 있으며, 정보처리부(50)는 필요에 따라 보조 데이터(45)를 전처리하여 데이터 저장부(40)에 저장할 수 있다.

한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 기본 소리 데이터(42)와 마찬가지로 데이터 저장부(40)에는 기본 보조 데이터(46)가 미리 저장된다. 기본 보조 데이터(46)는 프로버(100)가 정상 작동 시 웨이퍼(2)의 검사 과정에서 시간에 따라 변하는 프로버(100)의 온도 또는 습도를 보조 센서부(30)로 센싱하여 생성된다. 즉, 기본 보조 데이터(46)는 프로버(100)가 정상적으로 작동되는 과정에서 프로버(100)의 온도 또는 습도를 미리 저장해 놓은 데이터이다.

기본 보조 데이터(46)는 최근에 생성된 보조 데이터(45)의 비교 대상이 된다. 정보처리부(50)는 보조 데이터(45)와 기본 보조 데이터(46)를 비교하여 동일 시간의 보조 데이터(45)와 기본 보조 데이터(46) 사이에 오차율이 소정의 범위를 초과할 경우 프로버(100)의 비정상 작동을 판별하게 된다.

이때, 전술한 바와 같이, 보조 센서부(30)에 의하여 센싱된 온도 또는 습도는 프로버(100)의 비정상 작동 여부를 판별하기 위한 보조 지표로서의 역할을 할 수 있다.

즉, 가속도 센서부(20)를 통해 생성된 가속도 데이터(43)를 통하여 특정 과정에 대한 시간 구간을 특정하고, 특정된 시간 구간에서 소리 데이터(41)와 기본 소리 데이터(42)를 비교할 뿐만 아니라, 보조 데이터(45)와 기본 보조 데이터(46)를 비교함으로써 특정 과정에서의 프로버(100)의 비정상 작동을 이중으로 진단하게 된다. 이를 통해, 프로버(100)의 비정상 작동 진단의 신뢰성을 높일 수 있게 된다.

한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버 진단 시스템(1)은 출력부(60)를 더 포함할 수 있다.

출력부(60)는 정보처리부(50)가 프로버(100)의 비정상 작동을 판별할 때마다 기록된 로그 데이터(47)를 출력하여 사용자가 프로버(100)로 웨이퍼(2)를 검사하는 과정에서 비정상 작동이 언제 일어나는 지를 확인할 수 있게 한다.

출력부(60)는 사용자에게 로그 데이터(47)를 출력할 수 있으면 공지된 다양한 장치가 사용될 수 있다. 예를 들면, 디스플레이 또는 프린터일 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술한 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.

1 프로버 진단 시스템 46 기본 보조 데이터
2 웨이퍼 47 로그 데이터
10 소리 센서부 50 정보처리부
20 가속도 센서부 60 출력부
30 보조 센서부 100 프로버
31 온도 센서 110 프로브카드
32 습도 센서 111 접촉부
40 데이터 저장부 120 척
41 소리 데이터 130 로더
42 기본 소리 데이터 131 웨이퍼 핸드
43 가속도 데이터 140 카세트
44 기본 가속도 데이터 150 프리 얼라이너
45 보조 데이터

Claims (15)

1. 척을 이동시켜 웨이퍼를 프로브카드에 접촉시킴으로써 상기 웨이퍼를 검사하는 프로버의 상태를 판단하는 프로버 진단 시스템에 있어서,
   상기 웨이퍼의 검사 과정에서 상기 프로버로부터 시간에 따라 발생하는 소리를 센싱하여 소리 데이터를 생성하는 소리 센서부;
   상기 소리 데이터가 저장되는 데이터 저장부; 및
   상기 소리 데이터를 통하여 상기 프로버의 비정상 작동 여부를 판단하는 정보처리부; 를 포함하는, 프로버 진단 시스템.
2. 제1 항에 있어서,
   상기 데이터 저장부에는 상기 프로버가 정상 작동 시 상기 웨이퍼의 검사 과정에서 상기 프로버로부터 시간에 따라 발생하는 소리를 상기 소리 센서부로 센싱하여 생성된 기본 소리 데이터가 저장되고,
   상기 정보처리부는
   상기 소리 데이터와 상기 기본 소리 데이터를 비교하여 시간에 따라 발생하는 소리가 상이한 경우 상기 프로버가 비정상적으로 작동된다고 판단하는, 프로버 진단 시스템.
3. 제2 항에 있어서,
   상기 정보처리부는 상기 소리 데이터와 상기 기본 소리 데이터를 비교하여 시간에 따라 발생하는 소리의 크기 값 또는 진동수 또는 파동 패턴을 비교함으로써 상기 프로버의 비정상 작동 여부를 판단하는, 프로버 진단 시스템.
4. 제2 항에 있어서,
   상기 소리 데이터 및 상기 기본 소리 데이터로 저장되는 소리는 상기 척의 동작에 따라 발생하는 척 동작 소리를 포함하는, 프로버 진단 시스템.
5. 제4 항에 있어서,
   상기 프로버는 상기 척으로 웨이퍼를 공급하는 로더를 더 포함하고,
   상기 소리 데이터 및 상기 기본 소리 데이터로 저장되는 소리는 상기 로더의 동작에 따라 발생하는 로더 동작 소리를 더 포함하는, 프로버 진단 시스템.
6. 제2 항에 있어서,
   상기 웨이퍼의 검사 과정에서 상기 척의 시간에 따른 가속도를 센싱하여 가속도 데이터를 생성하는 가속도 센서부; 를 더 포함하고,
   상기 데이터 저장부에는
   상기 가속도 데이터 및 정상 작동 시 상기 웨이퍼의 검사 과정에서 상기 척의 시간에 따른 가속도를 상기 가속도 센서부로 센싱하여 생성된 기본 가속도 데이터가 더 저장되고,
   상기 정보처리부는
   상기 가속도 데이터와 상기 기본 가속도 데이터를 비교하여 상기 가속도 데이터의 시간 구간과 상기 기본 가속도 데이터의 시간 구간을 일치시키고, 상기 시간 구간의 상기 소리 데이터와 상기 시간 구간의 상기 기본 소리 데이터를 비교하여 상기 프로버의 비정상 작동을 판별하는, 프로버 진단 시스템.
7. 제6 항에 있어서,
   상기 웨이퍼의 검사 과정은 상기 척의 소정의 작동을 포함하고,
   상기 정보처리부는
   상기 소정의 작동이 수행되는 시간 구간의 상기 가속도 데이터를 상기 기본 가속도 데이터와 비교함으로써 상기 프로버가 정상 작동 시 상기 척의 상기 소정의 작동이 수행되는 소정의 시간 구간을 특정하고, 상기 소정의 시간 구간의 상기 소리 데이터와 상기 소정의 시간 구간의 상기 기본 소리 데이터를 비교함으로써 상기 소정의 작동의 정상작동 여부를 판단하는, 프로버 진단 시스템.
8. 제7 항에 있어서,
   상기 소정의 작동은 척이 상기 척에 안착된 상기 웨이퍼를 정렬시키는 동작 또는 상기 척이 상기 웨이퍼를 검사하기 위하여 이동하는 동작인, 프로버 진단 시스템.
9. 제2 항에 있어서,
   상기 프로버는 상기 척으로 웨이퍼를 공급하는 로더를 더 포함하고,
   상기 웨이퍼의 검사 과정에서 상기 로더의 시간에 따른 가속도를 센싱하여 가속도 데이터를 생성하는 가속도 센서부; 를 더 포함하고,
   상기 데이터 저장부에는
   상기 가속도 데이터 및 정상 작동 시 상기 웨이퍼의 검사 과정에서 상기 로더의 시간에 따른 가속도를 상기 가속도 센서부로 센싱하여 생성된 기본 가속도 데이터가 더 저장되고,
   상기 정보처리부는
   상기 가속도 데이터와 상기 기본 가속도 데이터를 비교하여 상기 가속도 데이터의 시간 구간과 상기 기본 가속도 데이터의 시간 구간을 일치시키고, 상기 시간 구간의 상기 소리 데이터와 상기 시간 구간의 상기 기본 소리 데이터를 비교하여 상기 프로버의 비정상 작동을 판별하는, 프로버 진단 시스템.
10. 제9 항에 있어서,
    상기 웨이퍼의 검사 과정은 상기 로더의 소정의 작동을 포함하고,
    상기 정보처리부는
    상기 소정의 작동이 수행되는 시간 구간의 상기 가속도 데이터를 상기 기본 가속도 데이터와 비교함으로써 상기 프로버가 정상 작동 시 상기 로더의 상기 소정의 작동이 수행되는 소정의 시간 구간을 특정하고, 상기 소정의 시간 구간의 상기 소리 데이터와 상기 소정의 시간 구간의 상기 기본 소리 데이터를 비교함으로써 상기 소정의 작동의 정상작동 여부를 판단하는, 프로버 진단 시스템.
11. 제9 항에 있어서,
    상기 소정의 작동은 상기 로더가 카세트에 저장된 상기 웨이퍼를 로더에 옮기는 동작, 상기 로더가 상기 웨이퍼를 상기 로더에서 상기 카세트로 옮기는 동작, 로더가 웨이퍼를 프리 얼라이너에 옮기는 동작, 로더가 웨이퍼를 척에 옮기는 동작 및 로더가 웨이퍼를 상기 척으로부터 상기 로더로 옮기는 동작 중 어느 하나인, 프로버 진단 시스템.
12. 제2 항에 있어서,
    상기 웨이퍼의 검사 과정에서 시간에 따라 변하는 상기 프로버의 온도 또는 습도를 센싱하여 보조 데이터를 생성하는 보조 센서부; 를 더 포함하고,
    상기 데이터 저장부에는 상기 보조 데이터가 더 저장되고,
    상기 정보처리부는 상기 보조 데이터를 통하여 상기 프로버의 비정상 작동 여부를 판단하는, 프로버 진단 시스템.
13. 제12 항에 있어서,
    상기 데이터 저장부에는 상기 프로버가 정상 작동 시 상기 웨이퍼의 검사 과정에서 시간에 따라 변하는 상기 프로버의 온도 또는 습도를 상기 보조 센서부로 센싱하여 생성된 기본 보조 데이터가 더 저장되고,
    상기 정보처리부는
    상기 보조 데이터와 상기 기본 보조 데이터를 비교하여 시간에 따라 변화하는 상기 프로버의 온도 또는 습도가 상이한 경우 상기 프로버가 비정상적으로 작동된다고 판단하는, 프로버 진단 시스템.
14. 제1 항에 있어서,
    상기 정보처리부는 상기 프로버의 비정상 작동을 판별 시 로그 데이터를 생성하여 데이터 저장부에 저장하는, 프로버 진단 시스템.
15. 제14 항에 있어서,
    상기 로그 데이터를 시각적으로 출력하는 출력부; 를 더 포함하는 프로버 진단 시스템.

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