KR20230130751A

KR20230130751A - 마스크 플레이트 및 마스크 장치

Info

Publication number: KR20230130751A
Application number: KR1020237028901A
Authority: KR
Inventors: 빙 한
Original assignee: 쿤산 고-비젼녹스 옵토-일렉트로닉스 씨오., 엘티디.
Priority date: 2021-11-29
Filing date: 2022-07-20
Publication date: 2023-09-12
Also published as: TWI837751B; TW202246547A; CN114134460A; CN114134460B; JP2024509238A; WO2023093089A1

Abstract

본 출원의 실시예는 증착 대기 기판을 증착하기 위한 마스크 플레이트를 제공하는 바, 마스크 플레이트는 패널 영역을 포함하고, 패널 영역은 증착부 및 비증착부를 포함하며, 적어도 일부 상기 비증착부는 제1 방향에서의 상기 증착부의 일측에 위치하고, 상기 비증착부는 제1 부분 및 적어도 하나의 제2 부분을 포함하며, 제1 부분과 증착부의 인접한 경계선은 둘러싸여서 비증착 영역을 형성하고, 적어도 하나의 제2 부분은 비증착 영역 내에 위치하며, 증착부, 제1 부분 및 제2 부분 중 경계가 인접하는 양자의 질량 공간비는 상이하며, 질량 공간비는 각 부재 자체의 질량과 자체가 차지하는 공간의 총 체적의 비의 값이다. 제1 부분과 증착부의 질량 공간비가 상이하므로, 제1 부분과 증착부 사이에도 재료가 급변하는 경계를 형성할 수 있으며, 이러한 재료가 급변하는 경계는 마스크 플레이트의 내변형 성능을 향상시킬 수 있으며, 제품 증착시 마스크 플레이트와 증착 대기 기판이 효과적으로 접촉하지 못하여 발생하는 증착 불량 문제를 개선할 수 있다.

Description

마스크 플레이트 및 마스크 장치

본 출원은 2021년 11월 29일에 제출된 발명의 명칭이 "마스크 플레이트”인 중국 특허 출원 제202111434210.8호의 우선권을 주장하는 바, 해당 출원의 모든 내용은 인용을 통해 본문에 통합된다.

본 출원은 표시 장비 제조 기술 분야에 관한 것으로, 특히 마스크 플레이트 및 마스크 장치에 관한 것이다.

표시 기술의 발전에 따라, 점점 더 많은 표시 패널과 표시 장치가 사람들의 일상 생활과 작업에 적용되고 있다. 사용자 체험을 향상시키기 위해, 기존의 표시 패널 구조에는 일반적으로 센서 모듈 예컨대 카메라, 적외선 센서 등이 집적되어 있다.

현재 높은 화면 비율을 만족시키기 위해, 일반적으로 표시 패널의 일단의 중간 영역에 광투과성 천공 영역을 배치하고, 천공 영역 내에 센서 모듈을 배치한다. 현단계 표시 패널의 제조에서는 일반적으로 금속 마스크 플레이트를 사용하여 유기 발광 재료를 증착한다. 표시 패널의 형상 변화로 인해 일부 특수 형태 제품의 마스크 플레이트의 설계 복잡성이 점차 높아지고, 마스크 플레이트는 변형 및 구겨지기 쉬우며, 제품 증착시 마스크 플레이트와 증착 대기 기판이 효과적으로 접촉하지 못하여 증착 불량이 발생하게 된다.

본 출원의 실시예는 증착 수율을 향상시키기 위한 마스크 플레이트 및 마스크 장치를 제공한다.

본 출원의 제1 양태의 실시예는 증착 대기 기판을 증착하기 위한 마스크 플레이트를 제공하는 바, 마스크 플레이트는 패널 영역을 포함하고, 패널 영역은 증착부 및 비증착부를 포함하며, 적어도 일부 비증착부는 제1 방향에서의 증착부의 일측에 위치하고, 비증착부는 제1 부분 및 적어도 하나의 제2 부분을 포함하며, 제1 부분과 증착부의 인접한 분계선은 둘러싸여서 비증착 영역을 형성하고, 적어도 하나의 제2 부분은 비증착 영역 내에 위치하며, 증착부, 제1 부분 및 제2 부분 중 경계가 인접하는 양자의 질량 공간비는 상이하며, 질량 공간비는 각 부재 자체의 질량과 자체가 차지하는 공간의 총 체적의 비의 값이다.

본 출원의 제1 양태의 실시형태에 따르면, 증착부, 제1 부분 및 제2 부분 중 경계가 인접하는 임의의 양자의 질량 공간비는 상이하며, 제1 부분과 증착부의 경계에 인접한 위치에 제1 분계선이 형성되고, 제1 분계선은 직선 또는 곡선으로 연장되는 제1 급변선을 포함하며, 제1 급변선의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 제1 방향은 서로 평행되거나 또는 양자의 협각이 예각을 이룬다.

본 출원의 제1 양태의 전술한 어느 하나의 실시형태에 따르면, 제1 부분과 2 부분의 경계에 인접한 위치에 제2 분계선이 형성되고, 적어도 일부 제2 분계선은 직선 또는 곡선으로 연장되며, 적어도 일부 제2 분계선의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 적어도 일부 제1 분계선의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향은 서로 평행되거나, 적어도 일부 제2 분계선의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 적어도 일부 제1 분계선의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향의 협각은 예각이다.

본 출원의 제1 양태의 전술한 어느 하나의 실시형태에 따르면, 제1 분계선은 직선 또는 곡선으로 연장되는 제2 급변선을 더 포함하며, 제2 급변선의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향은 제1 방향과 수직되고, 제2 분계선은 제2 급변선과 인접하는 제2 서브 라인을 포함하며, 제2 서브 라인은 직선 또는 곡선으로 연장되고, 제2 서브 라인의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 제2 급변선 또는 제2 급변선의 접선의 연장 방향은 서로 평행되거나, 제2 서브 라인의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 제2 급변선 또는 제2 급변선의 접선의 연장 방향의 협각은 예각이다.

본 출원의 제1 양태의 전술한 어느 하나의 실시형태에 따르면, 제2 서브 라인은 서로 이격되게 분포되는 복수의 단선을 포함한다.

본 출원의 제1 양태의 전술한 어느 하나의 실시형태에 따르면, 제2 분계선은 제1 급변선과 인접하는 제1 서브 라인을 포함하며, 제1 서브 라인은 직선 또는 곡선으로 연장되고, 제1 서브 라인의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 제1 급변선 또는 제1 급변선의 접선의 연장 방향은 서로 평행되거나, 제1 서브 라인의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 제1 급변선 또는 제1 급변선의 접선의 연장 방향의 협각은 예각이다.

본 출원의 제1 양태의 전술한 어느 하나의 실시형태에 따르면, 적어도 하나의 제2 부분은 복수의 제2 부분을 포함하며, 복수의 제2 부분은 비증착 영역 내에서 이격되게 분포된다.

본 출원의 제1 양태의 전술한 어느 하나의 실시형태에 따르면, 복수의 제2 부분은 제1 방향을 따라 연장되고, 증착부를 균등하게 분할하는 중심선에 대해 대칭적으로 분포된다.

본 출원의 제1 양태의 전술한 어느 하나의 실시형태에 따르면, 제2 부분 자체는 제1 방향으로 연장되는 축선에 대해 축대칭으로 배치된다.

본 출원의 제1 양태의 전술한 어느 하나의 실시형태에 따르면, 인접하는 두 개의 제2 부분의 인접하는 경계선은 서로 평행되게 배치되거나 협각이 예각이다.

본 출원의 제1 양태의 전술한 어느 하나의 실시형태에 따르면, 제2 부분은 복수의 개구를 포함하며, 개구는 마스크 플레이트의 두께 방향을 따라 제2 부분을 관통하여 배치되거나, 개구는 제2 부분의 표면이 함몰되어 형성된다.

본 출원은 또한 마스크 장치를 제공하는 바, 마스크 장치는 프레임 및 프레임에 배치된 상술한 어느 하나의 제1 양태의 실시예에 따른 마스크 플레이트를 포함한다.

본 출원의 실시예에 따른 마스크 플레이트에서, 마스크 플레이트는 패널 영역을 포함하며, 패널 영역은 완전한 표시 패널을 증착하는 데 사용된다. 패널 영역은 증착부와 비증착부를 포함하며, 증착부는 표시 패널의 정상적인 표시 영역을 증착하는 데 사용될 수 있고, 비증착부는 표시 패널의 천공 영역을 증착하는 데 사용될 수 있다. 비증착부는 제1 부분과 제2 부분을 포함하며, 적어도 하나의 제2 부분은 제1 부분으로 둘러싸여 형성된 비증착 영역 내에 위치하고, 제1 부분과 제2 부분의 질량 공간비는 상이하므로, 제1 부분과 제2 부분 사이에 재료가 급변하는 경계를 형성할 수 있다. 제1 부분과 증착부의 질량 공간비가 상이하므로, 제1 부분과 증착부 사이에도 재료가 급변하는 경계를 형성할 수 있고, 이러한 재료가 급변하는 경계는 마스크 플레이트의 내변형 성능을 향상시킬 수 있으며, 마스크 플레이트의 다른 위치가 받는 힘을 보다 균일하게 하고, 구겨짐이 생기기 쉽지 않으며, 제품 증착시 마스크 플레이트와 증착 대기 기판이 효과적으로 접촉하지 못하여 발생하는 증착 불량 문제를 개선할 수 있다.

본 출원의 다른 특성, 목적 및 장점은 아래의 첨부된 도면을 참조하여 비제한적인 실시예에 대한 상세한 설명으로부터 더 명확해질 것이며, 여기서 동일하거나 유사한 부호는 동일하거나 유사한 특성을 나타낸다.
도 1은 표시 패널의 구조 모식도이다.
도 2는 본 출원의 제1 양태의 실시예에 따른 마스크 플레이트의 구조 모식도이다.
도 3은 도 2 중 I 부위의 부분 확대 구조 모식도이다.
도 4는 본 출원의 제1 양태의 다른 실시예에서의 도 2 중 I 부위의 부분 확대 구조 모식도이다.
도 5는 본 출원의 제1 양태의 또 다른 실시예에서의 도 2 중 I 부위의 부분 확대 구조 모식도이다.
도 6은 본 출원의 제2 양태의 실시예에 따른 마스크 장치의 구조 모식도이다.

아래에서는 본 출원의 다양한 양태의 특징과 예시적인 실시예를 상세히 설명한다. 아래의 상세한 설명에서, 본 출원의 전반적인 이해를 제고하기 위해, 수많은 특정 세부 사항들이 제시된다. 하지만, 본 출원이 이러한 특정 세부 사항의 일부 세부 사항 없이도 실행될 수 있다는 것은 당업자에게 자명하다. 아래의 실시예에 대한 설명은 단지 본 출원의 예를 보여줌으로써 본 출원에 대한 더 나은 이해를 제공한기 위한 것이다. 도면 및 아래의 설명에서, 본 출원을 불필요하게 모호하게 하지 않기 위해, 공지된 구조와 기술의 적어도 일부는 도시되지 않는다. 또한, 구조의 일부 치수는 명확성을 위하여 과장될 수 있다. 또한, 아래에 설명되는 특징, 구조 또는 특성은 임의의 적절한 방식으로 하나 이상의 실시예에서 결합될 수 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 도 1은 표시 패널(30)의 구조 모식도이다. 표시 패널(30)은 표시 영역(31) 및 비표시 영역(32)을 포함하며, 비표시 영역(32)은 예를 들어 천공 영역일 수 있으며, 비표시 영역(32)은 카메라, 수화기 등 부품을 배치하는 데 사용된다.

마스크 플레이트를 사용하여 표시 패널(30)을 증착 형성하는 과정에서, 마스크 플레이트에서의 표시 패널(30)을 증착하기 위한 패널 영역(MA) 내에는 일반적으로 증착 영역과 비증착 영역이 배치되고, 비증착 영역은 일반적으로 차폐판 구조이며, 마스크 플레이트를 당길때, 증착 영역과 비증착 영역이 받는 힘이 다르므로 변형되어 구겨지며, 제품 증착시 마스크 플레이트와 증착 대기 기판이 효과적으로 접촉할 수 없어 증착 불량 현상이 발생한다.

상술한 기술적 과제를 해결하기 위해 본 출원을 제안하며, 본 출원을 더 잘 이해하기 위해, 아래에서는 도 2 내지 도 5를 결부하여 본 출원의 실시예의 마스크 플레이트 및 마스크 장치를 상세하게 설명한다.

도 2와 도 3을 참조하면, 도 2는 본 출원의 제1 양태의 실시예에 따른 마스크 플레이트(10)의 구조 모식도이다. 도 3은 도 2 중 I 부위의 부분 확대 구조 모식도이다.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 출원 실시예의 마스크 플레이트(10)는 증착 대기 기판을 증착하는 데 사용되고, 마스크 플레이트(10)는 패널 영역(MA)을 포함한다. 상기 패널 영역(MA)은 증착부(100) 및 증착부(100)에 배치된 비증착부(200)를 포함한다. 상기 비증착부(200)의 적어도 일부는 제1 방향에서 상기 증착부(100)의 일측에 배치되며, 즉 적어도 일부 비증착부(200)는 제1 방향에서의 증착부(100)의 일측에 위치한다. 제1 방향은 예를 들어 도 1에 도시된 종방향일 수도 있고, 도 2와 도 3에 도시된 횡방향일 수도 있다. 비증착부(200)의 일부, 또는 비증착부(200)의 본체 부분, 또한 비증착부(200)의 전체가 도 1의 종방향에서 증착부(100)의 일측에 위치할 수 있으며, 상기 비증착부(200)의 일부, 또는 비증착부(200)의 본체 부분, 또한 비증착부(200)의 전체가 도 2와 도 3의 횡방향에서 증착부(100)의 일측에 위치할 수 있다.

비증착부(200)는 제1 부분(210)과 제2 부분(220)을 포함하며, 제1 부분(210)과 증착부(100)의 인접한 분계선에 의해 둘러싸여 비증착 영역을 형성하고, 적어도 하나의 제2 부분(220)은 상기 비증착 영역 내에 위치한다. 상기 증착부(100), 제1 부분(210) 및 제2 부분(220)은 적어도 한 셋트의 경계가 인접하고 또한 그 질량 공간비가 상이한 두 개를 구비한다. 다시 말해서, 상기 증착부(100), 제1 부분(210) 및 제2 부분(220) 삼자에 있어서, 적어도 한 셋트의 소자를 구비하며, 예를 들어 증착부(100)와 제1 부분(210)일 수 있으며, 상기 증착부(100)와 제1 부분(210)은 인접하고 질량 공간비가 상이하다. 또는, 적어도 한 셋트의 소자를 구비하며, 예를 들어 제1 부분(210)과 제2 부분(220)일 수 있으며, 상기 제1 부분(210)과 제2 부분(220)은 인접하고 또한 질량 공간비가 상이하다.

선택적으로, 상기 증착부(100), 제1 부분(210) 및 제2 부분(220) 삼자에 있어서, 임의의 경계가 인접하는 양자의 질량 공간비는 상이하다. 즉, 상기 증착부(100)와 제1 부분(210)은 인접하고 질량 공간비가 상이하며, 제1 부분(210)과 제2 부분(220)은 인접하고 질량 공간비가 상이하다. 상기 질량 공간비는 각 부재 자체의 질량과 자체가 차지하는 공간의 총 체적의 비의 값이다. 차지하는 총 체적은 실체 부분의 체적 및 실체 내에 배치된 공동 부분의 체적을 포함한다.

패널 영역(MA)은 마스크 플레이트(10)에 있어서 단일 표시 패널(30)을 증착 형성하기 위한 영역이다. 증착부(100)는 표시 패널(30)의 표시 영역(31)을 증착 형성하는 데 사용되고, 비증착 영역은 표시 패널(30)의 비표시 영역(32)을 형성하는 데 사용된다. 마스크 플레이트(10)에는 하나의 패널 영역(MA)만 배치되거나 복수의 패널 영역(MA)이 배치될 수 있으며, 예를 들어 복수의 패널 영역(MA)은 마스크 플레이트(10) 상에서 행과 열로 분포된다.

증착부(100), 제1 부분(210) 및 제2 부분(220) 중 임의의 경계가 인접하는 양자의 질량 공간비가 상이하다는 것은, 증착부(100)와 제1 부분(210)의 경계가 인접할 경우, 증착부(100)와 제1 부분(210)의 질량 공간비가 상이하고, 제1 부분(210)과 제2 부분(220)의 경계가 인접할 경우, 제1 부분(210)과 제2 부분(220)의 질량 공간비가 상이하다는 것을 가리킨다. 증착부(100)는 표시 패널(30)의 표시 영역(31)을 증착 형성하는 데 사용되며, 예를 들어 마스크 플레이트(10)가 정밀 마스크 플레이트인 경우, 증착부(100)는 복수의 증착 개구(도시되지 않음)를 가지며, 증착 개구를 통해 표시 패널(30)의 서브 픽셀을 형성할 수 있다.

증착부(100)의 질량 공간비는 증착부(100)의 총 질량을 증착부(100)의 외윤곽이 차지하는 공간의 총 체적으로 나눈 값을 가리킨다. 예를 들어 증착부(100)에 증착 개구가 배치될 때, 증착부(100)의 외윤곽이 차지하는 공간의 총 크기는 증착부(100)에서의 증착 개구가 차지하는 공간 체적을 포함한다.

마찬가지로, 제1 부분(210)의 질량 공간비는 제1 부분(210)의 총 질량을 제1 부분(210)의 외윤곽이 차지하는 공간의 총 체적으로 나눈 값을 가리킨다. 제2 부분(220)의 질량 공간비는 제2 부분(220)의 총 질량을 제2 부분(220)의 외윤곽이 차지하는 공간의 총 체적으로 나눈 값을 가리킨다.

본 출원의 실시예에 따른 마스크 플레이트(10)에서, 마스크 플레이트(10)는 패널 영역(MA)을 포함하며, 패널 영역(MA)은 완전한 표시 패널(30)을 증착하는 데 사용된다. 패널 영역(MA)은 증착부(100) 및 비증착부(200)를 포함하며, 증착부(100)는 표시 패널(30)의 정상적인 표시 영역(31)을 증착하는 데 사용될 수 있고, 비증착부(200)는 표시 패널(30) 중의 천공 영역을 증착하는 데 사용될 수 있다. 비증착부(200)는 제1 부분(210) 및 제2 부분(220)을 포함하며, 적어도 하나의 제2 부분(220)은 제1 부분(210)에 의해 둘러싸여 형성한 비증착 영역 내에 위치하고, 제1 부분(210)과 제2 부분(220)의 질량 공간비는 상이하므로, 제1 부분(210)과 제2 부분(220) 사이에 재료 급변 경계를 형성할 수 있다. 제1 부분(210)과 증착부(100)의 질량 공간비는 상이하므로, 제1 부분(210)과 증착부(100) 사이에도 재료가 급변하는 경계를 형성할 수 있으며, 이러한 재료 급변 경계는 마스크 플레이트(10)의 내변형 성능을 향상시킬 수 있고, 마스크 플레이트(10)의 다른 위치가 받는 힘을 보다 균일하게 하며, 구김이 생기기 어렵고, 제품 증착시 마스크 플레이트(10)와 증착 대기 기판이 효과적으로 접촉하지 못하여 발생하는 증착 불량 문제를 개선할 수 있다.

선택적으로, 증착부(100), 제1 부분(210) 및 제2 부분(220)의 재료는 동일할 수 있으며, 증착부(100)에 증착 개구, 오목홈 등을 개설하는 방식을 통해 증착부(100)의 질량 공간비를 줄일 수 있고, 제2 부분(220)에 관통홀 또는 오목홈 등을 개설하는 방식을 통해 제2 부분(220)의 질량 공간비를 줄일 수도 있다.

도 3 내지 도 5를 함께 참조하면, 도 4는 본 출원의 제1 양태의 다른 실시예에서의 도 2 중 I 부위의 부분 확대 구조 모식도이다. 도 5는 본 출원의 제1 양태 또 다른 실시예에서의 도 2 중 I 부위의 부분 확대 구조 모식도이다.

일부 선택적인 실시예에서, 제1 부분(210)과 증착부(100)의 경계에 인접하는 위치에 제1 분계선(300)을 형성하고, 제1 분계선(300)은 직선 또는 곡선으로 연장되는 제1 급변선(310)을 포함하며, 상기 제1 급변선(310)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 상기 제1 방향은 서로 평행되거나 양자 사이의 협각은 예각이다. 예를 들어, 제1 급변선(310)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 상기 제1 방향의 협각은 45도보다 작은 예각일 수 있으며, 예를 들어 제1 급변선(310)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 상기 제1 방향의 협각은 30도보다 작은 예각이고, 최적하게는 0도이다. 이 위치의 협각이 작을 수록, 응력 분산 효과가 더욱 양호하며, 내변형 성능이 더욱 양호하다.

선택적으로, 도 4를 계속하여 참조하면, 제1 급변선(310)이 직선인 경우, 제1 급변선(310)의 연장 방향과 제1 방향의 협각은 예각이다. 다른 실시예에서, 제1 급변선(310)이 직선인 경우, 제1 급변선(310)의 연장 방향과 제1 방향은 서로 평행될 수도 있다. 도 4는 제1 급변선(310)이 직선인 것을 예로서 설명하며, 다른 실시예에서, 제1 급변선(310)은 곡선일 수도 있다.

제1 급변선(310)이 곡선인 경우, 제1 급변선(310)의 접선의 연장 방향과 제1 방향의 협각은 예각이다. 또는 도 5를 계속하여 참조하면, 제1 급변선(310)이 곡선인 경우, 제1 급변선(310)의 접선의 연장 방향과 제1 방향은 서로 평행된다.

상기 비증착부(200)의 적어도 일부는 제1 방향에서 상기 증착부(100)의 일측에 위치한다. 동시에, 상기 제1 급변선(310)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 상기 제1 방향은 서로 평행되거나 또는 양자 사이의 협각은 예각을 나타낸다. 제1 방향을 따라 마스크 플레이트(10)가 당겨질 때, 즉 장력 방향이 상기 제1 방향일 때, 상기 비증착부(200)와 상기 증착부(100)는 인장 방향을 따라 분리되는 경향이 있다. 제1 급변선(310)과 제1 방향 사이의 협각이 비교적 작기 때문에, 제1 급변선(310)을 이와 같이 배치하면, 그 위에 받는 응력 변형을 줄이고 제1 방향에서의 마스크 플레이트(10)의 내변형 성능을 향상시킬 수 있어 마스크 플레이트(10)는 쉽게 구겨지지 않는다.

일부 선택적인 실시예에서, 도 3과 도 4를 계속하여 참조하면, 제1 부분(210)과 제2 부분(220)의 경계에 인접하는 위치에 제2 분계선(400)을 형성하고, 적어도 일부 제2 분계선(400)은 직선 또는 곡선을 따라 연장하며, 적어도 일부 제2 분계선(400)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 적어도 일부 제1 분계선(300)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향은 서로 평행되거나, 적어도 일부 제2 분계선(400)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 적어도 일부 제1 분계선(300)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향의 협각은 예각이다. 예를 들어, 적어도 일부 제2 분계선(400)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 적어도 일부 제1 분계선(300)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향의 협각은 45도보다 작은 예각일 수 있다. 예를 들어 적어도 일부 제2 분계선(400)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 적어도 일부 제1 분계선(300)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향의 협각은 30도보다 작은 예각일 수 있다. 이 위치의 협각이 작을 수록, 응력 분산 효과가 더욱 양호하며, 내변형 성능이 더욱 양호하다. 적어도 일부 제2 분계선(400)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 적어도 일부 제1 분계선(300)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향의 협각은 0도이며, 즉 적어도 일부 제2 분계선(400)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 적어도 일부 제1 분계선(300)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향이 서로 평행인 것은 최적의 실시형태이다.

제1 분계선(300)과 제2 분계선(400)이 모두 직선인 경우, 적어도 일부 제2 분계선(400)의 연장 방향과 적어도 일부 제1 분계선(300)의 연장 방향은 서로 평행되거나, 적어도 일부 제2 분계선(400)의 연장 방향과 적어도 일부 제1 분계선(300)의 연장 방향의 협각은 예각이다. 일부 제1 분계선(300)과 일부 제2 분계선(400)이 서로 평행될 때, 해당 일부 제1 분계선(300)의 상이한 위치로부터 해당 일부 제2 분계선(400)의 상이한 위치까지의 거리는 동일하다.

제1 분계선(300)과 제2 분계선(400)이 모두 곡선인 경우, 적어도 일부 제2 분계선(400)의 접선의 연장 방향과 적어도 일부 제1 분계선(300)의 접선의 연장 방향은 서로 평행되거나, 적어도 일부 제2 분계선(400)의 접선의 연장 방향과 적어도 일부 제1 분계선(300)의 접선의 연장 방향의 협각은 예각이다. 일부 제1 분계선(300)의 접선의 연장 방향과 일부 제2 분계선(400)의 접선의 연장 방향이 서로 평행될 때, 해당 일부 제1 분계선(300)의 상이한 위치로부터 해당 일부 제2 분계선(400)의 상이한 위치까지의 거리는 동일하다.

이러한 선택적인 실시예에서, 제1 방향을 따라 마스크 플레이트(10)가 당겨질 때, 적어도 일부 제2 분계선(400)은 제1 분계선(300)이 견디는 인장력을 분담할 수 있고, 제1 방향에서의 마스크 플레이트(10)의 내변형 성능을 향상시킬 수 있어 마스크 플레이트(10)는 쉽게 구겨지지 않는다.

도 3과 도 4를 계속하여 참조하면, 일부 선택적인 실시예에서, 제1 분계선(300)은 직선 또는 곡선으로 연장되는 제2 급변선(320)을 더 포함하며, 제2 급변선(320)의 연장 방향 또는 그 접선의 방향과 상기 제1 방향은 수직된다. 제2 분계선(400)은 제2 급변선(320)과 인접하는 제2 서브 라인(420)을 더 포함하며, 제2 서브 라인(420)은 직선 또는 곡선으로 연장되고, 제2 서브 라인(420)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 제2 급변선(320) 또는 제2 급변선(320)의 접선의 연장 방향은 서로 평행되거나, 제2 서브 라인(420)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 제2 급변선(320) 또는 제2 급변선(320)의 접선의 연장 방향의 협각은 예각이다.

제2 급변선(320)과 제2 서브 라인(420)이 모두 직선인 경우, 제2 서브 라인(420)의 연장 방향과 제2 급변선(320)의 연장 방향은 서로 평행되거나, 제2 서브 라인(420)의 연장 방향과 제2 급변선(320)의 연장 방향의 협각은 예각이다.

제2 급변선(320)과 제2 서브 라인(420)이 모두 곡선인 경우, 제2 서브 라인(420)의 접선의 연장 방향과 제2 급변선(320)의 접선의 연장 방향은 서로 평행되거나, 제2 서브 라인(420)의 접선의 연장 방향과 제2 급변선(320)의 접선의 연장 방향의 협각은 예각이다.

이러한 선택적인 실시예에서, 제2 서브 라인(420)은 제2 급변선(320)이 받는 힘을 분담하여, 나아가 마스크 플레이트(10)의 변형 및 구겨지는 문제를 개선할 수 있다.

선택적으로, 제2 서브 라인(420)은 서로 이격되게 분포되는 복수의 단선(421)을 포함한다. 동일한 제2 서브 라인(420)의 응력 집중을 분산시키고, 마스크 플레이트(10)의 변형 및 구겨지는 문제를 더욱 개선할 수 있다.

제2 서브 라인(420)이 복수의 이격되게 분포되는 단선(421)을 포함하는 배치 방식은 다양한 바, 예를 들어 복수의 제2 부분(220)은 비증착 영역에 이격되게 분포되고, 제2 부분(220)은 단선(421)을 형성하기 위한 가장자리를 포함하며, 복수의 이격되게 분포되는 해당 가장자리는 복수의 단선(421)을 포함하는 제2 서브 라인(420)을 형성할 수 있다.

도 3 내지 도 5를 계속하여 참조하면, 일부 선택적인 실시예에서, 제2 분계선(400)은 제1 급변선(310)과 인접하는 제1 서브 라인(410)을 포함하며, 제1 서브 라인(410)은 직선 또는 곡선으로 연장되고, 제1 서브 라인(410)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 제1 급변선(310) 또는 제1 급변선(310)의 접선의 연장 방향은 서로 평행되거나, 제1 서브 라인(410)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 제1 급변선(310) 또는 제1 급변선(310)의 접선의 연장 방향의 협각은 예각이다. 예를 들어, 제1 서브 라인(410)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 제1 급변선(310) 또는 제1 급변선(310)의 접선의 연장 방향의 협각은 45도보다 작은 예각일 수 있다. 예를 들어 제1 서브 라인(410)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 제1 급변선(310) 또는 제1 급변선(310)의 접선의 연장 방향의 협각은 30도보다 작은 예각이다. 이 위치의 협각이 작을 수록, 응력 분산 효과가 더욱 양호하며, 내변형 성능이 더욱 양호하다. 제1 서브 라인(410)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 제1 급변선(310) 또는 제1 급변선(310)의 접선의 연장 방향의 협각은 0도이며, 즉 제1 서브 라인(410)의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 제1 급변선(310) 또는 제1 급변선(310)의 접선의 연장 방향이 서로 평행인 것은 최적의 실시형태이다.

도 3과 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 급변선(310)과 제1 서브 라인(410)이 모두 직선인 경우, 제1 서브 라인(410)의 연장 방향과 제1 급변선(310)의 연장 방향은 서로 평행된다. 또는, 다른 실시예에서, 제1 서브 라인(410)의 연장 방향과 제1 급변선(310)의 연장 방향의 협각은 예각이다.

도 5에 도시된 바와 같이, 제1 급변선(310)과 제1 서브 라인(410)이 모두 곡선인 경우, 제1 서브 라인(410)의 접선의 연장 방향과 제1 급변선(310)의 접선의 연장 방향은 서로 평행된다. 또는, 다른 실시예에서, 제1 서브 라인(410)의 접선의 연장 방향과 제1 급변선(310)의 접선의 연장 방향의 협각은 예각이다.

이러한 선택적인 실시예에서, 제1 서브 라인(410)은 제1 급변선(310)이 받는 힘을 분담하여, 나아가 마스크 플레이트(10)의 변형 및 구겨지는 문제를 개선할 수 있다.

일부 선택적인 실시예에서, 도 3과 도 4를 계속하여 참조하면, 적어도 하나의 제2 부분(220)은 복수의 제2 부분(220)을 포함하며, 즉 제2 부분(220)은 복수이고, 복수의 제2 부분(220)은 비증착 영역 내에 이격되게 분포된다.

이러한 선택적인 실시예에서, 복수의 제2 부분(220)을 배치함으로써, 한편으로는, 복수의 제2 부분(220)과 제1 부분(210) 사이에 복수의 재료가 급변하는 급변선을 형성할 수 있고, 나아가 마스크 플레이트(10)의 변형 및 구겨짐을 개선할 수 있다. 다른 한편으로는, 복수의 제2 부분(220)이 비증착 영역 내에 이격되게 분포되어, 마스크 플레이트(10)가 당겨질 때, 비증착 영역이 받는 힘을 개선할 수 있다.

일부 선택적인 실시예에서, 도 3과 도 4를 계속하여 참조하면, 마스크 플레이트(10)는 제1 방향을 따라 연장되어 증착부(100)를 균등하게 분할하는 중심선(P)을 포함하며, 복수의 제2 부분(220)은 해당 중심선(P)에 대해 대칭적으로 분포되어 마스크 플레이트(10)의 상이한 영역의 구조 강도가 일치하도록 한다. 마스크 플레이트(10)가 제1 방향을 따라 당겨질 때, 마스크 플레이트(10)가 받는 힘을 더욱 균형시키고, 힘의 불균형으로 인한 응력 축적이 개선되며, 나아가 마스크 플레이트(10)의 변형 및 구겨짐이 개선된다. 도 3과 도 4에서는 일점쇄선으로 중심선(P)의 위치를 나타내며, 일점쇄선은 본 출원의 실시예에 따른 마스크 플레이트(10)의 구조적 제한을 구성하지 않는다.

일부 선택적인 실시예에서, 도 3과 도 4를 계속하여 참조하면, 제2 부분(220) 자체는 제1 방향으로 연장되는 축선에 따라 축대칭으로 배치된다. 마스크 플레이트(10)가 제1 방향을 따라 당겨질 때, 마스크 플레이트(10)가 받는 힘을 더욱 균형시키고, 힘의 불균형으로 인한 응력 축적이 개선되며, 나아가 마스크 플레이트(10)의 변형 및 구겨짐이 개선된다.

일부 선택적인 실시예에서, 제2 부분(220)의 개수가 복수일 때, 인접하는 두 개의 제2 부분(220)의 인접하는 경계선은 예각을 나타내며, 예를 들어 인접하는 두 개의 제2 부분(220)의 인접하는 경계선은 서로 평행되게 배치될 수도 있다. 인접하는 두 개의 제2 부분(220)의 인접하는 경계선은 인접하는 두 개의 제2 부분(220)의 서로 근접하는 두 개의 경계선을 가리키는 바, 예를 들어 도 3에서 첫번째 제2 부분(220)의 하부 경계선과 두번째 제2 부분(220)의 상부 경계선이다. 인접하는 두 개의 제2 부분(220)의 인접하는 경계선을 서로 평행되게 배치함으로써 두 개의 경계선이 받는 힘을 균형시키고, 마스크 플레이트(10)의 내변형 성능을 향상시키며, 나아가 마스크 플레이트(10)의 변형 및 구겨지는 문제를 개선할 수 있다.

일부 선택적인 실시예에서, 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 부분(220)은 복수의 관통하여 배치된 개구(211)를 포함한다. 개구(211)는 제2 부분(220)의 질량 공간비를 감소시키고, 제2 부분(220)과 제1 부분(210) 사이에 재료가 급변하는 경계를 형성하며, 나아가 마스크 플레이트(10)의 내변형 성능을 향상시키고, 마스크 플레이트(10)의 구겨짐을 개선할 수 있다. 개구(211) 형상의 배치 방식은 다양한 바, 개구(211)는 원형 구멍, 타원형 구멍, 다각형 구멍 및 이들의 조합일 수 있다.

선택적으로, 개구(211)의 배치 방식은 다양한 바, 예를 들어 개구(211)는 마스크 플레이트의 두께 방향을 따라 제2 부분(220)을 관통하게 배치되거나, 개구(211)는 제2 부분(220)의 표면이 함몰되어 형성된다.

또한, 이러한 선택적인 실시예에서, 증착부(100)는 표시 패널(30)의 표시 영역(31)을 증착 형성하는 데 사용되기 때문에, 증착부(100)에 증착 개구를 가지면, 증착부(100)의 질량 공간비가 낮아지고, 제1 부분(210)에 대해 패턴화 처리를 수행하지 않더라도 증착부(100)와 제1 부분(210) 사이에 재료가 급변하는 경계를 형성할 수 있다. 제2 부분(220)에 개구(211)를 배치한 후, 제1 부분(210)에 대해 패턴화 처리를 수행하지 않더라도 제1 부분(210)과 제2 부분(220) 사이에 재료가 급변하는 경계를 형성할 수 있다. 따라서 증착부(100), 제1 부분(210) 및 제2 부분(220) 중 인접하는 양자, 예를 들어 증착부(100), 제1 부분(210) 및 제2 부분(220) 중 임의의 인접하는 양자 사이의 질량 공간비는 상이하며, 제조 방법이 간단하고 편리하다.

선택적으로, 도 3과 도 4를 계속하여 참조하면, 제1 부분(210)과 제2 부분(220)은 모두 다각형이므로 더 많은 제1 분계선(300)과 제2 분계선(400)이 서로 평행되게 배치될 수 있다. 제1 부분(210)과 제2 부분(220)의 형상은 동일하거나 상이하며, 예를 들어 제2 부분(220)은 삼각형일 수 있고, 제1 부분(210)은 사각형일 수 있으며, 제1 부분(210)과 제2 부분(220)이 모두 다각형이고 제1 부분(210)과 제2 부분(220)이 모두 직선 형상의 외부 가장자리선을 가지며 나아가 더 많은 제1 분계선(300)과 제2 분계선(400)이 서로 평행되게 배치되기만 하면 된다.

다른 일부 선택적인 실시예에서, 제1 부분(210)과 제2 부분(220)은 모두 호형변을 가지며, 더 많은 제1 분계선(300)과 제2 분계선(400)은 서로 평행될 수 있다.

선택적으로, 도 3과 도 4를 계속하여 참조하면, 비증착 영역의 형상은 사다리꼴이고, 제2 부분(220)의 형상은 삼각형이며, 복수의 제2 부분(220)은 비증착 영역 내에 이격되어 분포되고, 제1 분계선(300)과 근접하게 배치되는 제2 부분(220)의 일변은 제1 분계선(300)과 평행되게 배치되며, 마스크 플레이트(10)을 당길 때, 해당 제2 부분(220)의 상기 일변은 제1 분계선(300)이 받는 힘을 분담하여 마스크 플레이트(10)가 받는 힘을 더욱 균형시킬 수 있다. 다른 실시예에서, 비증착 영역의 형상은 직사각형 등일 수도 있으며, 제1 부분(210)의 형상은 사각형, 오각형 등 형상일 수 있다. 선택적으로, 제2 부분(220)의 형상은 사다리꼴, 다각형, 원호형 또는 다른 도형일 수도 있다.

선택적으로, 일부 제2 부분(220)의 변은 제2 분계선(400)과 평행되게 베치되며, 마스크 플레이트(10)가 당겨질 때, 해당 변이 제2 분계선(400)이 받는 힘을 분담하여 마스크 플레이트(10)가 받는 힘을 더욱 균형시킬 수 있다.

선택적으로, 두 개 이상의 제2 부분(220)의 가장자리는 제2 분계선(400)과 평행되게 배치되며, 즉 제2 서브 라인(420)은 복수의 단선(421)을 포함하고, 각 제2 부분(220)에서 제2 분계선(400)과 평행되게 배치된 변은 단선(421)을 형성하며, 복수의 단선(421)은 제2 서브 라인(420)을 형성한다.

선택적으로, 복수의 제2 부분(220)은 제2 방향을 따라 일렬로 분포된다. 다른 실시예에서, 복수의 제2 부분(220)은 복수의 행 복수의 열로 분포될 수도 있다. 선택적으로, 제2 방향은 제1 방향과 서로 교차하며, 예를 들어 제2 방향은 제1 방향과 수직으로 교차한다.

선택적으로, 제2 부분(220)은 이등변 삼각형이고, 복수의 제2 부분(220)의 형상은 동일하므로, 제2 부분(220)은 비증착 영역에 비교적 균일하게 분포될 수 있고, 제2 부분(220)에서의 대향하는 두 개의 변은 평행되게 배치된다.

선택적으로, 제2 부분(220)의 개수는 홀수이고, 제2 방향에서의 일열의 중간 위치에 위치하는 제2 부분(220)은 중심선(P)에 대해 대칭으로 배치된다. 또는, 제2 부분(220)의 개수는 짝수이고, 복수의 제2 부분(220)은 중심선(P) 에 대해 대칭으로 배치된다.

선택적으로, 제1 부분(210), 제2 부분(220) 및 증착부(100) 중 임의의 둘 사이의 재료는 상이하며, 즉 제1 부분(210), 제2 부분(220) 및 증착부(100)의 재료는 서로 다르다. 여기서 제1 부분(210), 제2 부분(220) 및 증착부(100) 중 임의의 둘 사이의 재료가 상이하다는 것은 제1 부분(210), 제2 부분(220) 및 증착부(100) 중 재료의 종류는 동일하나 비율이 상이하거나, 또는 제1 부분(210), 제2 부분(220) 및 증착부(100) 중 재료의 종류가 상이한 것일 수 있으며, 제1 부분(210)과 제2 부분(220) 사이에 재료 급변선을 형성하고, 제2 부분(220)과 증착부(100) 사이에 재료 급변선을 형성할 수만 있으면 된다.

도 6을 참조하면, 도 6은 본 출원의 제2 양태의 실시예에 따른 마스크 장치의 구조 모식도이다.

도 6에 도시된 바와 같이, 본 출원의 제2 양태의 실시예에 따른 마스크 장치는 프레임(20) 및 프레임(20)에 배치된 마스크 플레이트(10)를 포함한다. 마스크 플레이트(10)는 상술한 어느 하나의 제1 양태의 실시예에 따른 마스크 플레이트(10)일 수 있다. 본 출원의 제2 양태의 실시예에 따른 마스크 장치는 상술한 어느 하나의 제1 양태의 실시예에 따른 마스크 플레이트(10)를 포함하므로, 본 출원의 제2 양태의 실시예에 따른 마스크 장치는 상술한 어느 하나의 제1 양태의 실시예에 따른 마스크 플레이트(10)가 갖는 유익한 효과를 가지며, 여기서는 반복하여 설명하지 않는다.

선택적으로, 마스크 장치의 프레임(20) 내에는 하나의 마스크 플레이트(10)를 배치할 수 있거나, 또는 마스크 장치의 프레임(20) 내에는 두 개 이상의 마스크 플레이트(10)를 배치할 수 있다.

본 출원은 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 출원의 범위를 벗어나지 않는 한 다양한 개선이 가능하고 그 구성 요소를 등가물로 대체할 수 있다. 특히, 구조적 충돌이 없는 한 각 실시예에서 언급된 다양한 기술적 특징은 임의의 방식으로 조합될 수 있다. 본 출원은 본 명세서에 개시된 특정 실시예에 한정되지 않고 특허청구범위의 범위 내에 속하는 모든 기술적 해결 수단을 포함한다.

10: 마스크 플레이트; 20: 프레임; 30: 표시 패널; 31: 표시 영역; 32: 비표시 영역
100: 증착부
200: 비증착부; 210: 제1 부분; 220: 제2 부분; 211: 개구
300: 제1 분계선; 310: 제1 급변선; 320: 제2 급변선
400: 제2 분계선; 410: 제1 서브 라인; 420: 제2 서브 라인; 421: 단선
MA: 패널 영역; P: 중심선

Claims

증착 대기 기판을 증착하기 위한 마스크 플레이트에 있어서,
상기 마스크 플레이트는 패널 영역을 포함하고, 상기 패널 영역은 증착부 및 비증착부를 포함하며, 적어도 일부 상기 비증착부는 제1 방향에서의 상기 증착부의 일측에 위치하고, 상기 비증착부는 제1 부분 및 적어도 하나의 제2 부분을 포함하며, 상기 제1 부분과 상기 증착부의 인접한 경계선은 둘러싸여서 비증착 영역을 형성하고, 상기 적어도 하나의 상기 제2 부분은 상기 비증착 영역 내에 위치하며, 상기 증착부, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분 중 경계가 인접하는 양자의 질량 공간비는 상이하며, 상기 질량 공간비는 각 부재 자체의 질량과 자체가 차지하는 공간의 총 체적의 비의 값인 것인, 마스크 플레이트.
제1항에 있어서,
상기 증착부, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분 중 경계가 인접하는 임의의 양자의 질량 공간비는 상이하며, 상기 제1 부분과 상기 증착부의 경계에 인접한 위치에 제1 분계선이 형성되고, 상기 제1 분계선은 직선 또는 곡선으로 연장되는 제1 급변선을 포함하며, 상기 제1 급변선의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 상기 제1 방향은 서로 평행되거나 또는 양자의 협각이 예각을 이루는 것인, 마스크 플레이트.
제2항에 있어서,
상기 비증착 영역의 형상은 사다리꼴이고, 상기 제2 부분의 형상은 삼각형이며, 복수의 상기 제2 부분은 상기 비증착 영역 내에서 이격되게 분포되고, 상기 제1 분계선에 근접하게 배치된 상기 제2 부분의 일변과 상기 제1 분계선은 서로 평행되게 배치되는 것인, 마스크 플레이트.
제3항에 있어서,
상기 제2 부분은 이등변 삼각형이고, 복수의 상기 제2 부분의 형상은 동일한 것인, 마스크 플레이트.
제2항에 있어서,
상기 제1 부분과 상기 제2 부분의 경계에 인접한 위치에 제2 분계선이 형성되고, 적어도 일부 상기 제2 분계선은 직선 또는 곡선으로 연장되며, 적어도 일부 상기 제2 분계선의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 적어도 일부 상기 제1 분계선의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향은 서로 평행되거나, 적어도 일부 상기 제2 분계선의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 적어도 일부 상기 제1 분계선의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향의 협각은 예각인 것인, 마스크 플레이트.
제5항에 있어서,
일부 상기 제2 부분의 변과 상기 제2 분계선은 서로 평행되게 배치되는 것인, 마스크 플레이트.
제6항에 있어서,
두 개 이상의 상기 제2 부분의 적어도 일부 변과 상기 제2 분계선은 서로 평행되게 배치되는 것인, 마스크 플레이트.
제5항에 있어서,
상기 제1 분계선은 직선 또는 곡선으로 연장되는 제2 급변선을 더 포함하며, 상기 제2 급변선의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향은 상기 제1 방향과 수직되고, 상기 제2 분계선은 상기 제2 급변선과 인접하는 제2 서브 라인을 포함하며, 상기 제2 서브 라인은 직선 또는 곡선으로 연장되고, 상기 제2 서브 라인의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 상기 제2 급변선 또는 상기 제2 급변선의 접선의 연장 방향은 서로 평행되거나, 상기 제2 서브 라인의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 상기 제2 급변선 또는 상기 제2 급변선의 접선의 연장 방향의 협각은 예각인 것인, 마스크 플레이트.
제8항에 있어서,
상기 제2 서브 라인은 서로 이격되게 분포되는 복수의 단선을 포함하는, 마스크 플레이트.
제9항에 있어서,
복수의 상기 제2 부분은 상기 비증착 영역에 이격되게 분포되고, 상기 제2 부분은 상기 단선을 형성하기 위한 가장자리를 포함하며, 복수의 이격되게 분포된 해당 가장자리는 복수의 상기 단선을 포함하는 상기 제2 서브 라인을 형성하는 데 사용되는 것인, 마스크 플레이트.
제5항에 있어서,
상기 제2 분계선은 상기 제1 급변선과 인접하는 제1 서브 라인을 포함하며, 상기 제1 서브 라인은 직선 또는 곡선으로 연장되고, 상기 제1 서브 라인의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 상기 제1 급변선 또는 상기 제1 급변선의 접선의 연장 방향은 서로 평행되거나, 상기 제1 서브 라인의 연장 방향 또는 그 접선의 연장 방향과 상기 제1 급변선 또는 상기 제1 급변선의 접선의 연장 방향의 협각은 예각인 것인, 마스크 플레이트.
제5항에 있어서,
상기 적어도 하나의 제2 부분은 복수의 상기 제2 부분을 포함하며, 상기 복수의 상기 제2 부분은 상기 비증착 영역 내에서 이격되게 분포되는 것인, 마스크 플레이트.
제12항에 있어서,
복수의 상기 제2 부분은 상기 제1 방향을 따라 연장되고, 상기 증착부를 균등하게 분할하는 중심선에 대해 대칭적으로 분포되는 것인, 마스크 플레이트.
제12항에 있어서,
상기 제2 부분 자체는 상기 제1 방향으로 연장되는 축선에 대해 축대칭으로 배치되는 것인, 마스크 플레이트.
제12항에 있어서,
인접하는 두 개의 상기 제2 부분의 인접하는 경계선은 서로 평행되게 배치되거나 협각이 예각인 것인, 마스크 플레이트.
제1항에 있어서,
상기 제2 부분은 복수의 개구를 포함하며, 상기 개구는 상기 마스크 플레이트의 두께 방향을 따라 상기 제2 부분을 관통하여 배치되거나, 상기 개구는 상기 제2 부분의 표면이 함몰되어 형성된 것인, 마스크 플레이트.
제1항에 있어서,
상기 제1 부분과 상기 제2 부분은 모두 다각형인 것인, 마스크 플레이트.
제1항에 있어서,
상기 증착부, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분 중 적어도 둘의 재료는 동일한 것인, 마스크 플레이트.
제1항에 있어서,
복수의 상기 제2 부분은 제2 방향을 따라 일렬로 분포되는 것인, 마스크 플레이트.
마스크 장치에 있어서,
프레임 및 상기 프레임에 배치된 마스크 플레이트를 포함하며,
상기 마스크 플레이트는 제1항 내지 제19항 중 어느 한 항의 마스크 플레이트인 것인, 마스크 장치.