CN114134460A - 掩膜板 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供一种掩膜板，掩膜板用于蒸镀待蒸镀基板，掩膜板包括面板区域，面板区域包括蒸镀部和非蒸镀部，至少部分所述非蒸镀部位于所述蒸镀部在第一方向上的一侧，所述非蒸镀部包括第一分部和至少一个第二分部，第一分部与蒸镀部相邻的边界线围合形成非蒸镀区域，至少一个第二分部位于非蒸镀区域内，蒸镀部、第一分部和第二分部中边界相邻的两者的质量空间比不同，质量空间比为各部件自身的质量与自身所占空间的总体积的比值。第一分部与蒸镀部的质量空间比不同，使得第一分部和蒸镀部之间也能够形成材料突变界限，这些材料突变界限能够提高掩膜板的抗形变能力，能够改善产品蒸镀时掩膜板与待蒸镀基板无法有效接触而导致的蒸镀不良问题。

Description

掩膜板

技术领域

本申请涉及显示设备制备技术领域，尤其涉及一种掩膜板。

背景技术

随着显示技术的发展，越来越多的显示面板和显示装置被应用于人们的日常生活和工作中。为了提高用户体验，现有的显示面板结构中通常集成传感器模块，例如摄像头、红外感测器等。

目前，为满足较高的屏占比，通常在显示面板的一端的中间区域设置透光的挖孔区，在挖孔区内设置传感器模块。现阶段显示面板的制备中通常采用金属掩膜板进行蒸镀有机发光材料。由于显示面板形状的变化，导致某些特殊形态产品的掩膜版设计复杂程度逐步升高，掩膜板极易变形褶皱，导致产品蒸镀时出现掩膜板与待蒸镀基板无法有效接触，出现蒸镀不良现象。

发明内容

本申请实施例提供一种掩膜板，旨在提高蒸镀良率。

本申请第一方面的实施例提供了一种掩膜板，用于蒸镀待蒸镀基板，掩膜板包括面板区域，面板区域包括蒸镀部和非蒸镀部，至少部分非蒸镀部位于蒸镀部在第一方向上的一侧，非蒸镀部包括第一分部和至少一个第二分部，第一分部与蒸镀部相邻的边界线围合形成非蒸镀区域，至少一个第二分部位于非蒸镀区域内，蒸镀部、第一分部和第二分部中边界相邻的两者的质量空间比不同，质量空间比为各部件自身的质量与自身所占空间的总体积的比值。

根据本申请第一方面的实施方式，蒸镀部、第一分部和第二分部中边界相邻的任意两者的质量空间比不同，第一分部与蒸镀部的边界相邻处形成第一分界线，第一分界线包括呈直线或曲线延伸的第一突变线，第一突变线的延伸方向或其切线的延伸方向与第一方向平行或两者的夹角呈锐角。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，第一分部和第二分部的边界相邻处形成第二分界线，至少部分第二分界线呈直线或曲线延伸，至少部分第二分界线的延伸方向或其切线的延伸方向与至少部分第一分界线的延伸方向或其切线的延伸方向相互平行，或至少部分第二分界线的延伸方向或其切线的延伸方向与至少部分第一分界线的延伸方向或其切线的延伸方向的夹角为锐角。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，第一分界线还包括呈直线或曲线延伸的第二突变线，第二突变线的延伸方向或其切线延伸方向与第一方向垂直，所第二分界线包括与第二突变线相邻的第二子线，第二子线呈直线或曲线延伸，第二子线的延伸方向或其切线的延伸方向与第二突变线或第二突变线的切线的延伸方向相互平行，或者，第二子线的延伸方向或其切线的延伸方向与第二突变线或第二突变线的切线的延伸方向的夹角为锐角。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，第二子线包括相互间隔分布的多个短线。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，所第二分界线包括与第一突变线相邻的第一子线第一子线呈直线或曲线延伸，第一子线的延伸方向或其切线的延伸方向与第一突变线或第一突变线的切线的延伸方向相互平行，或第一子线的延伸方向或其切线的延伸方向与第一突变线或第一突变线的切线的延伸方向的夹角为锐角。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，至少一个第二分部包括多个第二分部，多个第二分部在非蒸镀区域内间隔分布。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，多个第二分部关于沿第一方向延伸且平分蒸镀部的中心线对称分布。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，第二分部自身关于与沿第一方向延伸的轴线呈轴对称设置。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，相邻两个第二分部的相邻边界线相互平行设置或夹角呈锐角。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，第一分部包括多个开口，开口沿掩膜板的厚度方向贯穿第一分部设置；或者开口由第一分部的表面凹陷形成。

本申请还提供一种掩膜装置，包括：框架，上述任一第一方面实施例提供的掩膜板，设置于框架。

在本申请实施例提供的掩膜板中，掩膜板包括面板区域，面板区域用于蒸镀完整的显示面板。面板区域包括蒸镀部和非蒸镀部，蒸镀部可以用于蒸镀显示面板的正常显示区域，非蒸镀部可以用于蒸镀显示面板中的挖孔区。非蒸镀部包括第一分部和第二分部，且至少一个第二分部位于第一分部围合形成的非蒸镀区内，第一分部和第二分部的质量空间比不同，使得第一分部和第二分部之间能够形成材料突变界限。第一分部与蒸镀部的质量空间比不同，使得第一分部和蒸镀部之间也能够形成材料突变界限，这些材料突变界限能够提高掩膜板的抗形变能力，且使得掩膜板不同位置的受力更加均衡，不易产生褶皱，能够改善产品蒸镀时掩膜板与待蒸镀基板无法有效接触而导致的蒸镀不良问题。

附图说明

通过阅读以下参照附图对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显，其中，相同或相似的附图标记表示相同或相似的特征。

图1是相关技术中一种显示面板的结构示意图；

图2是本申请第一方面实施例提供的一种掩膜板的结构示意图；

图3是图2中I处的局部放大结构示意图；

图4是本申请第一方面另一实施例中图2中I处的局部放大结构示意图；

图5是本申请第一方面又一一实施例中图2中I处的局部放大结构示意图；

图6是本申请第二方面的实施例提供的一种掩膜装置的结构示意图。

附图标记说明：

10、掩膜板；20、框架；30、显示面板；31、显示区域；32、非显示区域；

100、蒸镀部；

200、非蒸镀部；210、第一分部；220、第二分部；211、开口；

300、第一分界线；310、第一突变线；320、第二突变线；

400、第二分界线；410、第一子线；420、第二子线；421、短线；

MA、面板区域；P、中心线；。

具体实施方式

下面将详细描述本申请的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本申请的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本申请可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本申请的示例来提供对本申请的更好的理解。在附图和下面的描述中，至少部分的公知结构和技术没有被示出，以便避免对本申请造成不必要的模糊；并且，为了清晰，可能夸大了部分结构的尺寸。此外，下文中所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有说明，“多个”的含义是两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

下述描述中出现的方位词均为图中示出的方向，并不是对本申请的实施例的具体结构进行限定。在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可视具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

如图1所示，图1为相关技术中的一种显示面板30的结构示意图。显示面板30包括显示区域31和非显示区域32，非显示区域32例如可以为挖孔区，非显示区域32用于放置摄像头、听筒等零部件。

在利用掩膜板蒸镀形成显示面板30的过程中，掩膜板上用于蒸镀显示面板30的面板区域MA内通常要设置蒸镀区域和非蒸镀区域，非蒸镀区域通常为遮挡板结构，在张拉掩膜板时，会导致蒸镀区域和非蒸镀区域之间受力不同而变形褶皱，导致产品蒸镀时出现掩膜板与待蒸镀基板无法有效接触，出现蒸镀不良现象。

为了解决上述技术问题提出本申请，为了更好地理解本申请，下面结合图2至图5对本申请实施例的掩膜板及掩膜装置进行详细描述。

请参阅图2和图3，图2是本申请第一方面实施例提供的一种掩膜板10的结构示意图。图3是图2中I处的局部放大结构示意图。

如图2和图3所示，本申请实施例的掩膜板10用于蒸镀待蒸镀基板，掩膜板10包括面板区域MA。所述面板区域MA包括蒸镀部100和设置于蒸镀部100非蒸镀部200。所述非蒸镀部200至少部分在第一方向上设置于所述蒸镀部100的一侧，即至少部分非蒸镀部200位于蒸镀部100在第一方向上的一侧。第一方向例如可以是图1所示的纵向，图2和图3所示的横方向。非蒸镀部200的一部分、或者是非蒸镀部200的主体部分、也可以是非蒸镀部200的全部在图1纵向上位于蒸镀部100的一侧，所述非蒸镀部200的一部分、或者是非蒸镀部200的主体部分、也可以是非蒸镀部200的全部在图2和图3的横方向上位于蒸镀部100的一侧。

非蒸镀部200包括第一分部210和第二分部220，第一分部210与蒸镀部100相邻的边界线围合形成非蒸镀区域，至少一个第二分部220位于所述非蒸镀区域内。所述蒸镀部100、第一分部210和第二分部220中至少具备一组边界相邻的两者其质量空间比不同。即，所述蒸镀部100与第一分部210的质量空间比不同。第一分部210与第二分部220的质量空间比不同。可选的，所述蒸镀部100、第一分部210和第二分部220中任意边界相邻的两者的质量空间比不同。即，所述蒸镀部100与第一分部210的质量空间比不同。且，第一分部210与第二分部220的质量空间比亦不同。所述质量空间比为各部件自身的质量与自身所占空间的总体积的比值。所占空间的总体积包括实体部分的体积及设置于实体内的空腔部分的体积。

面板区域MA为掩膜板10用于蒸镀形成单个显示面板30的区域。蒸镀部100用于蒸镀形成显示面板30的显示区域31，非蒸镀区域用于形成显示面板30的非显示区域32。掩膜板10上可以只有一个面板区域MA，或者掩膜板10上设置有多个面板区域MA，例如多个面板区域MA在掩膜板10上成行成列分布。

蒸镀部100、第一分部210和第二分部220中任边界相邻的两者的质量空间比不同是指：如果蒸镀部100和第一分部210的边界相邻，蒸镀部100和第一分部210的质量空间比不同；如果第一分部210和第二分部220的边界相邻，第一分部210和第二分部220的质量空间比不同。蒸镀部100用于蒸镀形成显示面板30的显示区域31，例如当掩膜板10为精密掩膜板时，蒸镀部100具有多个蒸镀开口(图中未示出)，通过蒸镀开口可以形成显示面板30的子像素。

蒸镀部100的质量空间比是指蒸镀部100的总质量除以蒸镀部100外轮廓所占据的空间总体积。例如当蒸镀部100上设置有蒸镀开口时，蒸镀部100外轮廓所占据的空间总尺寸包括蒸镀部100上蒸镀开口所占据的空间体积。

同理，第一分部210的质量空间比是指第一分部210的总质量除以第一分部210外轮廓所占据的空间总体积。第二分部220的质量空间比是指第二分部220的总质量除以第二分部220外轮廓所占据的空间总体积。

在本申请实施例提供的掩膜板10中，掩膜板10包括面板区域MA，面板区域MA用于蒸镀完整的显示面板30。面板区域MA包括蒸镀部100和非蒸镀部200，蒸镀部100可以用于蒸镀显示面板30的正常显示区域31，非蒸镀部200可以用于蒸镀显示面板30中的挖孔区。非蒸镀部200包括第一分部210和第二分部220，且至少一个第二分部220位于第一分部210围合形成的非蒸镀区内，第一分部210和第二分部220的质量空间比不同，使得第一分部210和第二分部220之间能够形成材料突变界限。第一分部210与蒸镀部100的质量空间比不同，使得第一分部210和蒸镀部100之间也能够形成材料突变界限，这些材料突变界限能够提高掩膜板10的抗形变能力，且使得掩膜板10不同位置的受力更加均衡，不易产生褶皱，能够改善产品蒸镀时掩膜板10与待蒸镀基板无法有效接触而导致的蒸镀不良问题。

可选的，蒸镀部100、第一分部210和第二分部220的材料可以相同，可以通过在蒸镀部100上开设蒸镀开口、凹槽等方式降低蒸镀部100的质量空间比，也可以通过在第二分部220上开设通孔或凹槽等方式降低第二分部220的质量空间比。

请一并参阅图3至图5，图4是本申请第一方面另一实施例中图2中I处的局部放大结构示意图。图5是是本申请第一方面又一实施例中图2中I处的局部放大结构示意图。

在一些可选的实施例中，第一分部210与蒸镀部100的边界相邻处形成第一分界线300，第一分界线300包括呈直线或曲线延伸的第一突变线310，所述第一突变线310的延伸方向或其切线的延伸方向与所述第一方向平行或两者的夹角呈锐角，例如，第一突变线310的延伸方向或其切线的延伸方向与所述第一方向的夹角可以是小于45度的锐角，例如第一突变线310的延伸方向或其切线的延伸方向与所述第一方向的夹角为小于30度的锐角，最佳为0度。此处的夹角越小，应力分散的效果越好，抗变形的能力越好。

可选的，请继续参阅图4，当第一突变线310呈直线时，第一突变线310的延伸方向与第一方向的夹角呈锐角。在其他实施例中，当第一突变线310呈直线时，第一突变线310的延伸方向与第一方向也可以相互平行。图4以第一突变线310呈直线为例进行举例说明，在其他实施例中，第一突变线310还可以为曲线。

当第一突变线310呈曲线时，第一突变线310的切线的延伸方向与第一方向的夹角呈锐角。或者请继续参阅图5，当第一突变线310呈曲线时，第一突变线310的切线的延伸方向与第一方向平行。

所述非蒸镀部100至少部分在第一方向上设置于所述蒸镀部200的一侧。同时，所述第一突变线310的延伸方向或其切线的延伸方向与所述第一方向平行或两者的夹角呈锐角。当沿着第一方向张拉掩膜板10时，即，张力方向为所述第一方向时，所述非蒸镀部100与所述蒸镀部200沿着拉力方向有分离的趋势。由于第一突变线310与第一方向之间的夹角较小，第一突变线310如此设置能够降低其上所受的应力应变，提高掩膜板10在第一方向上的抗变形能力，使得掩膜板10更不易发生褶皱。

在一些可选的实施例中，请继续参阅图3和图4，第一分部210和第二分部220的边界相邻处形成第二分界线400，至少部分第二分界线400呈直线或曲线延伸，至少部分第二分界线400的延伸方向或其且切线的延伸方向与至少部分第一分界线300的延伸方向或其且切线的延伸方向相互平行，或至少部分第二分界线400的延伸方向或其且切线的延伸方向与至少部分第一分界线300的延伸方向或其且切线的延伸方向的夹角为锐角，例如，至少部分第二分界线400的延伸方向或其且切线的延伸方向与至少部分第一分界线300的延伸方向或其且切线的延伸方向的夹角可以是小于45度的锐角，例如至少部分第二分界线400的延伸方向或其且切线的延伸方向与至少部分第一分界线300的延伸方向或其且切线的延伸方向的夹角为小于30度的锐角。此处的夹角越小，应力分散的效果越好，抗变形的能力越好。至少部分第二分界线400的延伸方向或其且切线的延伸方向与至少部分第一分界线300的延伸方向或其且切线的延伸方向的夹角为0度，即至少部分第二分界线400的延伸方向或其且切线的延伸方向与至少部分第一分界线300的延伸方向或其且切线的延伸方向相互平行是最佳实施方式。

当第一分界线300和第二分界线400均呈直线时，至少部分第二分界线400的延伸方向与至少部分第一分界线300的延伸方向平行，或者，至少部分第二分界线400的延伸方向与至少部分第一分界线300的延伸方向的夹角为锐角。当部分第一分界线300和部分第二分界线400相互平行时，该部分第一分界线300的不同位置至该部分第二分界线400不同位置的距离相等。

当第一分界线300和第二分界线400均呈曲线时，至少部分第二分界线400的切线的延伸方向与至少部分第一分界线300的切线的延伸方向平行，或者，至少部分第二分界线400的切线的延伸方向与至少部分第一分界线300的切线的延伸方向的夹角为锐角。当部分第一分界线300的切线的延伸方向和部分第二分界线400的切线的延伸方向相互平行时，该部分第一分界线300的不同位置至该部分第二分界线400不同位置的距离相等。

在这些可选的实施例中，当沿第一方向张拉掩膜板10时，至少部分第二分界线40能够分担第一分界线30承受的拉力，能够提高掩膜板10在第一方向上的抗变形能力，使得掩膜板10更不易发生褶皱。

请继续参阅图3和图4，在一些可选的实施例中，第一分界线300还包括呈直线或曲线延伸的第二突变线320，第二突变线320的延伸方向或其切线方向与所述第一方向垂直。第二分界线400还包括与第二突变线320相邻的第二子线420，第二子线420呈直线或曲线延伸，第二子线420的延伸方向或其切线的延伸方向与第二突变线320或第二突变线320的切线的延伸方向相互平行，或者第二子线420的延伸方向或其切线的延伸方向与第二突变线320或第二突变线320的切线的延伸方向的夹角为锐角。

当第二突变线320和第二子线420均呈直线时，第二子线420的延伸方向与第二突变线320的延伸方向平行，或者，第二子线420的延伸方向与第二突变线320的延伸方向的夹角为锐角。

当第二突变线320和第二子线420均呈曲线时，第二子线420的切线的延伸方向与第二突变线320的切线的延伸方向平行，或者，第二子线420的切线的延伸方向与第二突变线320的切线的延伸方向的夹角为锐角。

在这些可选的实施例中，第二子线420能够分担第二突变线320的受力，进而改善掩膜板10的变形褶皱问题。

可选的，第二子线420包括相互间隔分布的多个短线421。能够分散同一第二子线420上应力集中情况，进一步改善掩膜板10的变形褶皱问题。

第二子线420包括多个间隔分布的短线421的设置方式有多种，例如多个第二分部220间隔分布于非蒸镀区域，第二分部220包括用于形成短线421的边缘，多个间隔分布的该边缘能够形成包括多个短线421的第二子线420。

请继续参阅图3至图5，在一些可选的实施例中，第二分界线400包括与第一突变线310相邻的第一子线410，第一子线410呈直线或曲线延伸，第一子线410的延伸方向或其切线的延伸方向与第一突变线310或第一突变线310的切线的延伸方向相互平行，或者第一子线410的延伸方向或其切线的延伸方向与第一突变线310或第一突变线310的切线的延伸方向的夹角为锐角。例如，第一子线410的延伸方向或其切线的延伸方向与第一突变线310或第一突变线310的切线的延伸方向的夹角可以是小于45度的锐角，优选第一子线410的延伸方向或其切线的延伸方向与第一突变线310或第一突变线310的切线的延伸方向的夹角为小于30度的锐角。此处的夹角越小，应力分散的效果越好，抗变形的能力越好。第一子线410的延伸方向或其切线的延伸方向与第一突变线310或第一突变线310的切线的延伸方向的夹角为0度，即，第一子线410的延伸方向或其切线的延伸方向与第一突变线310或第一突变线310的切线的延伸方向相互平行是最佳实施方式。

如图3和图4所示，当第一突变线310和第一子线410均呈直线时，第一子线410的延伸方向与第一突变线310的延伸方向平行。或者，在其他实施例中，第一子线410的延伸方向与第一突变线310的延伸方向的夹角为锐角。

如图5所示，当第一突变线310和第一子线410均呈曲线时，第一子线410的切线的延伸方向与第一突变线310的切线的延伸方向平行。或者，在其他实施例中，第一子线410的切线的延伸方向与第一突变线310的切线的延伸方向的夹角为锐角。

在这些可选的实施例中，第一子线410能够分担第一突变线310的受力，进而改善掩膜板10的变形褶皱问题。

在一些可选的实施例中，请继续参阅图3和图4，至少一个第二分部220包括多个第二分部220，即第二分部220为多个，多个第二分部220在非蒸镀区域内间隔分布。

在这些可选的实施例中，通过设置多个第二分部220，一方面，多个第二分部220与第一分部210之间能够形成多个材料突变的突变线，进而能够改善掩膜板10的变形褶皱；另一方面，多个第二分部220在非蒸镀区域内间隔分布，张拉掩膜板10时，能够改善非蒸镀区域的受力。

在一些可选的实施例中，请继续参阅图3和图4，掩膜板10包括沿第一方向延伸并平分蒸镀部100的中心线P，多个第二分部220关于该中心线P对称分布，使得掩膜板10不同区域的结构强度一致。在沿第一方向张拉掩膜板10时，使得掩膜板10的受力更加平衡，改善由于受力不平衡导致的应力累计，进而使得掩膜板10变形褶皱。图3和图4中以点划线示意出中心线P的位置，点划线并不构成对本申请实施例提供的掩膜板10的结构上的限定。

在一些可选的实施例中，请继续参阅图3和图4，第二分部220自身沿第一方向延伸的轴线呈轴对称设置。在沿第一方向张拉掩膜板10时，使得掩膜板10的受力更加平衡，改善由于受力不平衡导致的应力累计，进而使得掩膜板10变形褶皱。

在一些可选的实施例中，当第二分部220的个数为多个时，相邻的两个第二分部220的相邻的边界线夹角呈锐角，例如相邻的两个第二分部220的相邻的边界线还可以相互平行设置。相邻两个第二分部220的相邻边界线是指相邻两个第二分部220彼此靠近的两个边界线，例如图3中第一个第二分部220的下边界线与第二个第二分部220的上边界线。相邻的两个第二分部220的相邻边界线相互平行设置能够平衡这两个边界线的受力，提高掩膜板10的抗形变能力，进而改善掩膜板10的变形褶皱问题。

在一些可选的实施例中，如图4所示，第二分部220包括多个贯穿设置的开口211。开口211能够降低第二分部220的质量空间比，使得第二分部220和第一分部10之间形成材料突变界限，进而提高掩膜板10的抗形变能力，进一步改善掩膜板10的褶皱。开口211的形状设置方式有多种，开口211可以为圆形孔、椭圆形孔、多边形孔及其组合等。

可选的，开口211的设置方式有多种，例如开口211沿掩膜板的厚度方向贯穿第二分部220设置；或者开口211由第二分部220的表面凹陷形成.

此外，在这些可选的实施例中，由于蒸镀部100用于蒸镀形成显示面板30的显示区域31，因此蒸镀部100上具有蒸镀开口，蒸镀部100的质量空间比降低，即使不对第一分部210进行图案化处理，也能够导致蒸镀部100和第一分部210之间形成材料突变界限。第二分部220上设置有开口211后，即使不对第一分部210进行图案化处理，也能够使得第一分部210和第二分部220之间形成材料突变界限。因此在蒸镀部100、第一分部210和第二分部220中相邻两者，例如蒸镀部100、第一分部210和第二分部220中任意相邻两者之间的质量空间比不同，且制备方法简单方便。

可选的，请继续参阅图3和图4，第一分部210和第二分部220均呈多边形，使得较多的第一分界线300和第二分界线400能够相互平行设置。第一分部210和第二分部220的形状可以相同或不同，例如第二分部220可以为三角形，第一分部210可以为四边形，只要第一分部210和第二分部220均呈多边形，使得第一分部210和第二分部220均具有直线形外边缘线，进而使得较多的第一分界线300与第二分界线400相互平行设置即可。

在另一些可选的实施例中，第一分部210和第二分部220均具有弧形边，使得较多的第一分界线300和第二分界线400能够相互平行。

可选的，请继续参阅图3和图4，非蒸镀区域的形状为梯形，第二分部220的形状为三角形，多个第二分部220在非蒸镀区域内间隔分布，靠近第一分界线300设置的第二分部220的一条边与第一分界线300平行设置，张拉掩膜板10时，使得该第二分部220的这条边能够分担第一分界线300的受力，使得掩膜板10的受力更加平衡。在其他实施例中，非蒸镀区域的形状还可以为矩形等，第一分部210的形状可以为四边形、五边形等形状。可选的，第二分部220的形状还可以是梯形、多边形、圆弧形、或其他图形。

可选的，部分第二分部220的边与第二分界线400平行设置，张拉掩膜板10时，使得该边可以分担第二分界线400的受力，使得掩膜板10的受力更加平衡。

可选的，两个以上的第二分部220的边缘与第二分界线400平行设置，即第二子线420包括多条短线421，各第二分部220上与第二分界线400平行设置的边形成短线421，多个短线421形成第二子线420。

可选的，多个第二分部220沿第二方向呈单列分部。在其他实施例中，多个第二分部220也可以呈多行多列分部。

可选的，第二分部220为等腰三角形，且多个第二分部220的形状相同，使得第二分部220能较为均匀地分布于非蒸镀区域，且使得第二分部220上相对的两条边能够平行设置。

可选的，第二分部220的个数为奇数个，位于单列在第二方向上中间位置的第二分部220关于中心线P对称设置。或者，第二分部220的个数为偶数个，多个第二分部220关于中心线P对称设置。

可选的，第一分部210、第二分部220和蒸镀部100中任两者之间的材料不同，即第一分部210、第二分部220和蒸镀部100的材料各不相同。这里第一分部210、第二分部220和蒸镀部100中任两者之间的材料不同可以是第一分部210、第二分部220和蒸镀部100中材料的种类相同配比不同，或者第一分部210、第二分部220和蒸镀部100中材料的种类不同，只要在第一分部210和第二部分之前能够形成材料突变线、第二分部220和蒸镀部100之间形成材料突变线即可。

请参阅图6，图6是本申请第二方面的实施例提供的一种掩膜装置的结构示意图。

如图6所示，本申请第二方面的实施例提供的掩膜装置包括：框架20，掩膜板10，设置于框架20。掩膜板10可以为上述任一第一方面实施例中的掩膜板10。由于本申请第二方面实施例提供的蒸镀装置包括上述任一第一方面实施例提供的掩膜板10，因此本申请第二方面实施例提供的掩膜装置具有上述任一第一方面实施例提供的掩膜板10所具有的有益效果，在此不再赘述。

可选的，掩膜装置的框架20内可以设置有一个掩膜板10，或者掩膜装置的框架20内可以设置两个以上的掩膜板10。

虽然已经参考优选实施例对本申请进行了描述，但在不脱离本申请的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本申请并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

Claims (10)

1.一种掩膜板，用于蒸镀待蒸镀基板，其特征在于，所述掩膜板包括面板区域，所述面板区域包括蒸镀部和非蒸镀部，至少部分所述非蒸镀部位于所述蒸镀部在第一方向上的一侧，所述非蒸镀部包括第一分部和至少一个第二分部，所述第一分部与所述蒸镀部相邻的边界线围合形成非蒸镀区域，所述至少一个所述第二分部位于所述非蒸镀区域内，所述蒸镀部、所述第一分部和所述第二分部中边界相邻的两者的质量空间比不同，所述质量空间比为各部件自身的质量与自身所占空间的总体积的比值。

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述蒸镀部、所述第一分部和所述第二分部中边界任意相邻的两者的质量空间比不同，所述第一分部与所述蒸镀部的边界相邻处形成第一分界线，所述第一分界线包括呈直线或曲线延伸的第一突变线，所述第一突变线的延伸方向或其切线的延伸方向与所述第一方向平行或两者的夹角呈锐角。

3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第一分部和所述第二分部的边界相邻处形成第二分界线，至少部分所述第二分界线呈直线或曲线延伸，至少部分所述第二分界线的延伸方向或其切线的延伸方向与至少部分所述第一分界线的延伸方向或其切线的延伸方向相互平行，或至少部分所述第二分界线的延伸方向或其切线的延伸方向与至少部分所述第一分界线的延伸方向或其切线的延伸方向的夹角为锐角。

4.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述第一分界线还包括呈直线或曲线延伸的第二突变线，所述第二突变线的延伸方向或其切线延伸方向与所述第一方向垂直，所述第二分界线包括与所述第二突变线相邻的第二子线，所述第二子线呈直线或曲线延伸，所述第二子线的延伸方向或其切线的延伸方向与所述第二突变线或所述第二突变线的切线的延伸方向相互平行，或者，所述第二子线的延伸方向或其切线的延伸方向与所述第二突变线或所述第二突变线的切线的延伸方向的夹角为锐角；

优选的，所述第二子线包括相互间隔分布的多个短线。

5.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述第二分界线包括与所述第一突变线相邻的第一子线，所述第一子线呈直线或曲线延伸，所述第一子线的延伸方向或其切线的延伸方向与所述第一突变线或所述第一突变线的切线的延伸方向相互平行，或所述第一子线的延伸方向或其切线的延伸方向与所述第一突变线或所述第一突变线的切线的延伸方向的夹角为锐角。

6.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述至少一个第二分部包括多个所述第二分部，所述多个所述第二分部在所述非蒸镀区域内间隔分布。

7.根据权利要求6所述的掩膜板，其特征在于，多个所述第二分部关于沿所述第一方向延伸且平分所述蒸镀部的中心线对称分布。

8.根据权利要求6所述的掩膜板，其特征在于，所述第二分部自身关于与沿所述第一方向延伸的轴线呈轴对称设置。

9.根据权利要求6所述的掩膜板，其特征在于，相邻两个所述第二分部的相邻边界线相互平行设置或夹角呈锐角。

10.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一分部包括多个开口，所述开口沿所述掩膜板的厚度方向贯穿所述第一分部设置；或者所述开口由所述第一分部的表面凹陷形成。

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