KR20230103409A - 폐가스 처리 장치 - Google Patents

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KR20230103409A
KR20230103409A KR1020210194288A KR20210194288A KR20230103409A KR 20230103409 A KR20230103409 A KR 20230103409A KR 1020210194288 A KR1020210194288 A KR 1020210194288A KR 20210194288 A KR20210194288 A KR 20210194288A KR 20230103409 A KR20230103409 A KR 20230103409A
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cooling water
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temperature air
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KR1020210194288A
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이근수
정훈
노명철
진현석
이진솔
정의순
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유니셈(주)
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Abstract

다양한 실시예에 따른 폐가스 처리 장치는, 폐가스를 분해하는 반응기와 상기 반응기를 통해 분해된 폐가스에 제1 냉각수를 분사하는 수처리부와 상기 제1 냉각수와 제2 냉각수의 열교환을 통해 상기 제1 냉각수를 저온으로 유지하는 열 교환기와 상기 수처리부를 통과한 폐가스에 저온의 공기를 분사하여 폐가스의 상대 습도를 감소시키는 제습부와 상기 제습부를 통과한 폐가스의 온도를 상승시키는 히팅부와 폐가스에 함유된 파우더를 포집하는 배그 필터를 포함하고, 상기 배그 필터를 통해 여과된 폐가스를 덕트로 가이드하는 필터부를 포함할 수 있다.

Description

폐가스 처리 장치{APPARATUS FOR TREATING WASTE GAS}
다양한 실시예들은 폐가스 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 디바이스는 산화, 식각, 증착, 포토공정 등 다양한 제조 공정을 거쳐 제조되는데, 이와 같은 제조 공정에는 암모니아, 산화질소, 아르신, 포시핀, 디보론, 보론 틀리클로라이드 등과 같은 유독성 가스가 사용된다. 반도체 제조공정에서 발생된 폐가스가 대기 중으로 그대로 방출될 경우, 유독성 가스가 인체에 치명적인 영향을 미치거나, 폐가스의 자연발화로 인한 화재사고 등이 발생될 수 있다. 이와 같은 이유로, 반도체 제조공정에서는 스크러버(scrubber) 등을 통해 발생된 폐가스를 정제하여 대기로 방출시키고 있다.
반도체 제조 공정에서 발생된 폐가스를 처리하는 스크러버는 간접 연소 습식형으로 유도가열 방식을 이용하여 폐가스를 태운 후 물을 이용해서 한 번 더 걸러주는 힛-웨트 스크러버(heat-wet scrubber), 습식형으로 물을 이용하여 폐가스를 포집한 후 물을 정화하는 방식의 웨트 스크러버(wet scrubber), 직접 연소 습식형으로서 고온의 불꽃으로 폐가스를 처리하거나 직류 아크 방전을 이용한 플라즈마를 통해 폐가스를 처리하는 방식인 번-웨트 스크러버(burn-wet scrubber) 등으로 분류될 수 있다.
폐가스에 함유된 수분 및 파우더는 폐가스가 유동하는 덕트 내에서 뭉치거나 적층될 수 있고, 수분 및 파우더로 인한 덕트 막힘 현상 및 수분에 의한 덕트 부식 현상은 빈번하게 발생되고 있다. 덕트 막힘 현상 및 덕트 부식 현상을 해결하기 위하여 폐가스에 포함된 수분 및 파우더를 처리하는 기술이 요구될 수 있다.
다양한 실시예들은 수분을 제거하는 히팅부 및 파우더를 포집하는 배그 필터에 기초하여 폐가스에 포함된 수분 및 파우더를 제거할 수 있다.
다만, 기술적 과제는 상술한 기술적 과제들로 한정되는 것은 아니며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.
다양한 실시예에 따른 폐가스 처리 장치는, 폐가스를 분해하는 반응기와 상기 반응기를 통해 분해된 폐가스에 제1 냉각수를 분사하는 수처리부와 상기 제1 냉각수와 제2 냉각수의 열교환을 통해 상기 제1 냉각수를 저온으로 유지하는 열 교환기와 상기 수처리부를 통과한 폐가스에 저온의 공기를 분사하여 폐가스의 상대 습도를 감소시키는 제습부와 상기 제습부를 통과한 폐가스의 온도를 상승시키는 히팅부와 폐가스에 함유된 파우더를 포집하는 배그 필터를 포함하고, 상기 배그 필터를 통해 여과된 폐가스를 덕트로 가이드하는 필터부를 포함할 수 있다.
상기 제습부는, 폐가스가 통과하는 볼텍스 모듈과 상온의 공기를 저온의 공기 및 고온의 공기로 변화시켜, 상기 볼텍스 모듈을 통과하는 폐가스에 저온의 공기를 분사하고 상기 히팅부에 고온의 공기를 공급하는 볼텍스 튜브를 포함할 수 있다.
상기 히팅부는, 상기 볼텍스 튜브로부터 공급받은 고온의 공기에 기초하여 상기 히팅부를 통과하는 폐가스를 건조시키고, 전기를 사용하여 상기 히팅부의 내벽을 히팅함으로써 상기 히팅부를 통과하는 폐가스의 온도를 상승시키는 것일 수 있다.
상기 필터부는, 상기 배그 필터에 공기를 분사함으로써 상기 배그 필터에 포집된 파우더를 제거하는 에어 슈팅 장치를 포함할 수 있다.
상기 폐가스 처리 장치는, 폐가스와 접촉한 냉각수를 저장하는 폐수 저장 장치와 상기 배그 필터로부터 제거된 파우더를 저장하는 파우더 저장 장치를 더 포함할 수 있다.
다양한 실시예들은 히팅부에 기초하여 폐가스의 수분을 제거함으로써 수분으로 인한 덕트 막힘 현상 및 덕트 부식 현상을 해결할 수 있다.
다양한 실시예들은 배그 필터에 기초하여 폐가스에 함유된 파우더를 처리함으로써 파우더로 인한 덕트 막힘 현상을 해결할 수 있다.
이 외에, 본 문서를 통해 직접적 또는 간접적으로 파악되는 다양한 효과들이 제공될 수 있다.
도 1은 다양한 실시예에 따른 폐가스 처리 장치의 개략도이다.
도 2는 다양한 실시예에 따른 열 교환기의 사시도이다.
도 3는 다양한 실시예에 따른 제습부의 사시도이다.
도 4는 다양한 실시예에 따른 히팅부의 사시도이다.
도 5는 다양한 실시예에 따른 필터부의 사시도이다.
실시예들에 대한 특정한 구조적 또는 기능적 설명들은 단지 예시를 위한 목적으로 개시된 것으로서, 다양한 형태로 변경되어 구현될 수 있다. 따라서, 실제 구현되는 형태는 개시된 특정 실시예로만 한정되는 것이 아니며, 본 명세서의 범위는 실시예들로 설명한 기술적 사상에 포함되는 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.
제1 또는 제2 등의 용어를 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이런 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 해석되어야 한다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소는 제1 구성요소로도 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설명된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함으로 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 실시예들을 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명한다. 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조 부호를 부여하고, 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 다양한 실시예에 따른 폐가스 처리 장치의 개략도이다.
다양한 실시예에 따르면, 폐가스 처리 장치(10)는 반응기(110), 제1 수처리부(120), 폐수 저장 장치(130), 제2 수처리부(140), 열 교환기(200), 제습부(300), 히팅부(400), 및 필터부(500)을 포함할 수 있고, 파우더 저장 장치(150), 블로어(blower) 모터(160), 및 체크 튜브(170)를 더 포함할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 반응기(110)는 반도체 공정 장비와 연결되어 반도체 공정 후 배출되는 폐가스를 처리할 수 있다. 폐가스는 기상증착공정(Chemical Vapor Deporsition; CVD), 이온주입공정(ion implantation), 식각 공정, 확산 공정 등에 사용되는 SiH4, Si2H6, SiF4, Si2F6, DCS(SiH2Cl), NH3, AsH3, 4PH3, B2H6, GeH4, WF6, TEOS, TEB, TEPO, TMB, TMP, TDMAT, NF3, CF4, C2F6, C3F8 등의 유해물질을 포함할 수 있고, 반응기(110)는 폐가스를 분해함으로써 유해물질을 처리할 수 있다. 예를 들어, 반응기(110)는 폐가스를 불꽃으로 연소시키거나, 폐가스에 고열을 가함으로써 폐가스를 열분해하거나, 플라즈마를 통해 폐가스를 열분해할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 제1 수처리부(120)는 반응기(110)를 통해 분해된 폐가스에 제1 냉각수를 분사하여 가열된 폐가스를 냉각시킬 수 있고, 폐가스에 함유된 수용성의 유해물질을 제거할 수 있다. 제1 수처리부(120)는 분사 노즐(121-1, 121-2)을 통해 제1 냉각수를 분사할 수 있다. 제1 수처리부(120)에서 분사되는 제1 냉각수는 열 교환기(200)를 통해 저온으로 유지될 수 있고, 저온의 제1 냉각수는 가열된 폐가스와 접촉함으로써 폐가스를 냉각시킬 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 폐수 저장 장치(130)는 가열된 폐가스와 접촉한 제1 냉각수(또는 폐수)를 저장할 수 있다. 폐수 저장 장치(130)는 센서를 구비하여 폐수가 기준점(stop)이상 저장된 경우 폐수를 배출할 수 있고, 배출된 폐수는 재사용될 수도 있다. 폐수 저장 장치(130)에 저장된 폐수가 기준점(stop)을 초과하여도 배출되지 않는 경우 폐수 저장 장치(130)에 막힘 등의 문제가 있을 수 있고, 폐수 저장 장치(130)의 검사가 수행될 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 제2 수처리부(140)는 제1 수처리부(120)를 통과한 폐가스에 제1 냉각수를 분사할 수 있다. 제2 수처리부(140)는 분사 노즐(141)을 통해 제1 냉각수를 분사함으로써 폐가스의 온도를 감소시킬 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 열 교환기(200)는 제1 냉각수와 제2 냉각수의 열교환을 통해 제1 냉각수의 온도를 저온으로 유지시킬 수 있다. 열 교환기(200)는 저온의 제1 냉각수를 수처리부(120, 140)으로 공급할 수 있고, 폐가스는 제1 냉각수와 접촉함으로써 온도가 낮아질 수 있다. 냉각수와 접촉한 폐가스는 수용성의 유해 물질이 제거되었고 낮은 온도를 갖고 있지만, 많은 수분을 함유하고 있을 수 있다. 많은 수분을 함유한 폐가스는 덕트 막힘 현상 및 덕트 부식 현상을 초래할 수 있으므로, 이하에서는 수분기를 제거하는 공정에 대하여 설명하도록 한다.
다양한 실시예에 따르면, 제습부(300)는 수처리부(120, 140)를 통과하여 많은 수분을 함유하게 된 폐가스의 수분을 제거할 수 있다. 제습부(300)는 폐가스에 저온의 공기를 분사하여 폐가스의 상대 습도를 감소시킴으로써 폐가스의 수분을 제거할 수 있다. 제습부(300)는 볼텍스 튜브(310) 및 볼텍스 모듈(vortex module)(320)을 포함할 수 있다. 볼텍스 튜브(310)는 상온의 공기를 저온의 공기로 변화시켜, 볼텍스 모듈(320)을 통과하는 폐가스에 저온의 공기를 분사할 수 있다. 또한, 볼텍스 튜브(310)는 상온의 공기를 고온의 공기로 변화시켜, 히팅부(400)에 고온의 공기를 공급할 수 있다. 볼텍스 모듈(320)은 제2 수처리부(140)와 히팅부(400) 사이에 위치할 수 있고, 제2 수처리부(140)를 통과한 폐가스에 저온의 공기를 분사하여 폐가스의 수분을 제거할 수 있고, 수분이 제거된 폐가스를 히팅부(400)로 가이드할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 히팅부(400)는 제습부(300)를 통과한 폐가스의 수분을 또 다시 제거할 수 있다. 히팅부(400)는 상기 볼텍스 튜브(310)로부터 공급받은 고온의 공기에 기초하여 히팅부(400)를 통과하는 폐가스를 건조시키고, 전기를 사용하여 히팅부(400)의 내벽을 히팅함으로써 히팅부(400)를 통과하는 폐가스의 온도를 상승시킴으로써 폐가스의 수분을 제거할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 필터부(500)는 폐가스에 함유된 파우더를 포집할 수 있고, 여과된 폐가스를 덕트로 가이드할 수 있다. 필터부(500)는 배그 필터 및 에어 슈팅 장치를 포함할 수 있다. 배그 필터는 폐가스에 함유된 파우더를 포집할 수 있고, 에어 슈팅 장치는 배그 필터에 공기를 분사함으로써 배그 필터에 포집된 파우더를 제거할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 파우더 저장 장치(150)는 폐가스로부터 제거된 파우더를 저장할 수 있다. 블로어(blower) 모터(160)는 필터부(500)에 음압을 제공하여 폐가스가 필터부(500)를 수월하게 통과하도록 가이드할 수 있다. 체크 튜브(170)는 처리된 폐가스가 덕트로 배출되기 이전에 폐가스의 압력 및 온도를 체크함으로써 폐가스 처리 장치(10)가 온전히 동작하는지 확인할 수 있다.
도 2는 다양한 실시예에 따른 열 교환기의 사시도이다.
다양한 실시예에 따르면, 열 교환기(200)는 제1 냉각수와 제2 냉각수의 열교환을 통해 제1 냉각수를 저온으로 유지할 수 있다. 열 교환기(200)는 제1 냉각수 유입구(220)를 통해 제1 냉각수를 유입시킬 수 있고, 제2 냉각수 유입구(240)를 통해 제2 냉각수를 유입시킬 수 있다. 열 교환기(200)는 열 교환기의 본체(210) 부분을 통해 제1 냉각수의 열과 제2 냉각수의 열을 교환할 수 있다. 열 교환기(200)는 열이 교환되어 저온의 상태를 갖는 제1 냉각수를 제1 냉각수 배출구(230)를 통해 배출할 수 있고, 열이 교환되어 상대적으로 고온의 상태를 갖는 제2 냉각수를 제2 냉각수 배출구(250)를 통해 배출할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 폐가스 처리 장치(10)는 열 교환기(200)의 제1 냉각수 배출구(230)로부터 전달받는 저온의 제1 냉각수를 분사 노즐(121-1, 121-2, 141)을 통해 분사할 수 있다. 폐가스 처리 장치(10)는 가열된 폐가스에 저온의 제1 냉각수를 분사함으로써 가열된 폐가스를 냉각시킬 수 있고, 폐가스에 함유된 수용성의 유해물질을 제거할 수 있다.
도 3는 다양한 실시예에 따른 제습부의 사시도이다.
다양한 실시예에 따르면, 제습부(300)는 수처리를 통해 많은 수분을 함유하게 된 폐가스의 수분을 제거할 수 있다. 제습부(300)는 폐가스에 저온의 공기를 분사하여 폐가스의 상대 습도를 감소시킴으로써 폐가스의 수분을 제거할 수 있다. 제습부(300)는 볼텍스 튜브(310) 및 볼텍스 모듈(320)을 포함할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 볼텍스 튜브(310)는 상온의 공기를 저온의 공기 및 고온의 공기로 변화시킬 수 있다. 볼텍스 튜브(310)는 공기 유입구(311)를 통해 상온의 공기를 유입시킬 수 있다. 볼텍스 튜브(310)는 상온의 공기를 저온의 공기로 변화시킬 수 있고, 저온의 공기를 제1 배출구(312)를 통해 배출함으로써 폐가스에 저온의 공기를 분사할 수 있다. 볼텍스 튜브(310)는 상온의 공기를 고온의 공기로 변화시킬 수 있고, 고온의 공기를 제2 배출구(313)를 통해 배출함으로써 히팅부(400)에 고온의 공기를 공급할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 볼텍스 모듈(320)은 제2 수처리부(140)와 히팅 모듈(400) 사이에 위치할 수 있고, 제2 수처리부(140)를 통과한 폐가스에 저온의 공기를 분사하여 폐가스의 수분을 제거할 수 있고, 수분이 제거된 폐가스를 히팅 모듈(400)로 가이드할 수 있다. 폐가스는 가스 유입구(321)를 통해 유입될 수 있고, 제1 배출구(312)를 통해 분사되는 저온의 공기와 접촉하여 수분이 제거될 수 있고, 가스 배출구(322)를 통해 히팅부(400)로 배출될 수 있다.
다양한 실시에에 따르면, 폐가스 처리 장치(10)는 제습부(300)를 통해 많은 수분을 함유하고 있는 폐가스의 수분을 제거함으로써 수분으로 인한 덕트 막힘 현상 및 덕트 부식 현상을 방지할 수 있다.
도 4는 다양한 실시예에 따른 히팅부의 사시도이다.
다양한 실시예에 따르면, 히팅부(400)는 제습부(300)를 통과한 폐가스의 수분을 제거할 수 있다. 공기 유입구(430)는 제2 배출구(313)와 연결되어 있을 수 있고, 히팅부(400)는 공기 유입구(430)를 통해 볼텍스 튜브(310)로부터 고온의 공기를 전달받음으로써 히팅부(400)를 통과하는 폐가스를 건조시킬 수 있다. 또한, 히팅부(400)는 전기를 사용하여 히팅부(400)의 내벽을 히팅함으로써 히팅부(400)를 통과하는 폐가스의 온도를 상승시킬 수 있다. 가스 유입구(410)를 통해 유입된 폐가스는 고온의 히팅부(400)를 통과함으로써 온도가 상승될 수 있고, 공기 유입구(430)를 통해 전달받은 고온의 공기와 접촉함으로써 건조해질 수 있다. 온도가 상승되고, 건조해진 폐가스는 가스 배출구(420)를 통해 배출될 수 있다. 히팅부(400)는 제1 포트(440)를 통해 히팅부(400) 내부의 압력을 센싱할 수 있고, 히팅부(400)는 제2 포트(450)를 통해 히팅부(400) 내부의 온도를 상승시키거나 센싱할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 폐가스 처리 장치(10)는 히팅부(400)를 통해 폐가스의 수분을 한 번 더 제거함으로써 수분으로 인한 덕트 막힘 현상 및 덕트 부식 현상을 방지할 수 있다. 폐가스 처리 장치(10)는 기존의 폐가스 처리 장치 및 볼텍스 튜브를 활용함으로써 설비 구축 비용을 절감할 수 있으며, 기존 설비와 용이하게 호환될 수 있다.
도 5는 다양한 실시예에 따른 필터부의 사시도이다.
다양한 실시예에 따르면, 필터부(500)는 폐가스에 함유된 파우더를 포집할 수 있고, 배그 필터를 통해 여과된 폐가스를 덕트로 가이드할 수 있다. 필터부(500)는 배그 필터 및 에어 슈팅 장치(540)를 포함할 수 있다. 폐가스는 가스 유입구(510)를 통해 유입될 수 있고, 배그 필터는 폐가스에 함유된 파우더를 포집할 수 있다. 폐가스는 배그 필터의 임의의 면(예: 모든 면)과 접촉할 수 있고, 폐가스에 함유된 파우더는 배그 필터에 포집될 수 있다. 에어 슈팅 장치(540)는 배그 필터에 공기를 분사함으로써 배그 필터에 포집된 파우더를 제거할 수 있다. 각각의 에어 슈팅 장치(540-1, 540-2, 540-3, 540-4, 540-5)는 대응되는 배그 필터에 공기를 순차적으로 분사할 수 있다. 에어 슈팅 장치(540)의 개수는 도 5에 도시된 것처럼 5개로 한정되지 않으며 배그 필터 개수와 상응하여 존재할 수 있다. 배그 필터로부터 떨어져 나간 파우더는 파우더 저장 장치(520)에 저장될 수 있다. 블로어(blower) 모터(160)는 필터부(500)에 음압을 제공하여 폐가스가 필터부(500)를 수월하게 통과하도록 가이드할 수 있고, 투시창(550)은 필터부(500)가 제대로 작동하는지 육안으로 확인 가능하게 할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 폐가스 처리 장치(10)는 필터부(500)를 통해 폐가스에 함유된 파우더를 제거함으로써 파우더로 인한 덕트 막힘 현상을 방지할 수 있다.
10: 폐가스 처리 장치
110: 반응기
120: 제1 수처리부
130: 폐수 저장 장치
140: 제2 수처리부
200: 열 교환기
300: 제습부
400: 히팅부
500: 필터부

Claims (5)

  1. 폐가스를 분해하는 반응기;
    상기 반응기를 통해 분해된 폐가스에 제1 냉각수를 분사하는 수처리부;
    상기 제1 냉각수와 제2 냉각수의 열교환을 통해 상기 제1 냉각수를 저온으로 유지하는 열 교환기;
    상기 수처리부를 통과한 폐가스에 저온의 공기를 분사하여 폐가스의 상대 습도를 감소시키는 제습부;
    상기 제습부를 통과한 폐가스의 온도를 상승시키는 히팅부; 및
    폐가스에 함유된 파우더를 포집하는 배그 필터를 포함하고, 상기 배그 필터를 통해 여과된 폐가스를 덕트로 가이드하는 필터부
    를 포함하는, 폐가스 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제습부는,
    폐가스가 통과하는 볼텍스 모듈; 및
    상온의 공기를 저온의 공기 및 고온의 공기로 변화시켜, 상기 볼텍스 모듈을 통과하는 폐가스에 저온의 공기를 분사하고 상기 히팅부에 고온의 공기를 공급하는 볼텍스 튜브
    를 포함하는, 폐가스 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 히팅부는,
    상기 볼텍스 튜브로부터 공급받은 고온의 공기에 기초하여 상기 히팅부를 통과하는 폐가스를 건조시키고, 전기를 사용하여 상기 히팅부의 내벽을 히팅함으로써 상기 히팅부를 통과하는 폐가스의 온도를 상승시키는 것인,
    폐가스 처리 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 필터부는,
    상기 배그 필터에 공기를 분사함으로써 상기 배그 필터에 포집된 파우더를 제거하는 에어 슈팅 장치
    를 더 포함하는, 폐가스 처리 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    폐가스와 접촉한 냉각수를 저장하는 폐수 저장 장치; 및
    상기 배그 필터로부터 제거된 파우더를 저장하는 파우더 저장 장치
    를 더 포함하는, 폐가스 처리 장치.

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