KR20230103365A - Carrier transport system using avoidance module - Google Patents

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KR20230103365A
KR20230103365A KR1020210194213A KR20210194213A KR20230103365A KR 20230103365 A KR20230103365 A KR 20230103365A KR 1020210194213 A KR1020210194213 A KR 1020210194213A KR 20210194213 A KR20210194213 A KR 20210194213A KR 20230103365 A KR20230103365 A KR 20230103365A
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carrier
module
avoidance
glass
glass carrier
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KR1020210194213A
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신수근
송백균
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(주)브이에이디인스트루먼트
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Abstract

본 발명은. 글라스가 안착되는 글라스 캐리어와 상기 글라스캐리어에 선택적으로 결합되어 이송을 제어하는 반송모듈 및 상기 반송모듈을 이동시켜 상기 반송모듈을 상기 글라스캐리어와 분리결합 시키는 회피모듈을 포함하여 자기 부상방식으로 이송되는 상기 글라스 캐리어와 마스크 캐리어를 합착을 편리한 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템 을 제공한다.the present invention. A magnetic levitation method including a glass carrier on which the glass is seated, a transport module that is selectively coupled to the glass carrier to control transport, and an avoidance module that separates and couples the transport module to the glass carrier by moving the transport module. A carrier transport system using a convenient avoidance module for bonding the glass carrier and the mask carrier is provided.

Description

회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템 {Carrier transport system using avoidance module}Carrier transport system using avoidance module {Carrier transport system using avoidance module}

본 발명은 자기부상 모듈과 글라스 캐리어를 분리하는 회피모듈을 구비하여 자기부상을 이용하는 글라스 캐리어와 마스크 캐리어를 정렬하여 합착하는 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템 에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier transport system using an avoidance module for separating a magnetic levitation module and a glass carrier, and having an avoidance module for aligning and attaching a glass carrier and a mask carrier using magnetic levitation.

일반적으로, 디스플레이 장치들 중, 유기 발광 디스플레이 장치(OLED, Organic Light Emitting Diode)는 시야각이 넓고 컨트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이 장치로서 주목을 받고 있다.In general, among display devices, organic light emitting diodes (OLEDs) have advantages of a wide viewing angle, excellent contrast, and fast response speed, and thus are attracting attention as a next-generation display device.

유기 발광 디스플레이 장치는 서로 대향된 제1 전극 및 제2 전극 사이에 발광층 및 이를 포함하는 중간층을 구비한다. 이때 상기 전극들 및 중간층은 여러 방법으로 형성될 수 있는데, 증착 방식을 위해서는 캐리어에 기판을 안착하여 이송하게 된다.An organic light emitting display device includes a light emitting layer and an intermediate layer including the light emitting layer between a first electrode and a second electrode facing each other. At this time, the electrodes and the intermediate layer may be formed in various ways. For the deposition method, the substrate is seated on a carrier and transported.

종래에는 클러스터식의 것과 인라인식의 것이 존재하고, 클러스터식의 증착 장치에서는, 유리 기판에 성막이 행해지는 증착실이, 복수 클러스터 형상으로 배치되며, 유리 기판이 각 증착실에 순서대로 반송되어 증착됨으로써, 복수층의 막이 증착된다. 한편, 인라인식의 증착 장치에서는, 성막용의 유리 기판이 라인 형상으로 반송되면서 증착실에서 성막된다. 인라인식에 있어서는, 라인 방향으로 복수의 증착실이 형성된다.Conventionally, there are cluster type and inline type. In the cluster type deposition apparatus, evaporation chambers in which films are formed on glass substrates are arranged in a plurality of clusters, and glass substrates are sequentially conveyed to each evaporation chamber to deposit. By doing so, a plurality of layers of films are deposited. On the other hand, in an in-line deposition apparatus, a film is formed in a deposition chamber while conveying a glass substrate for film formation in a line shape. In the in-line type, a plurality of evaporation chambers are formed in the line direction.

그러나 종래의 방식은 글라스와 마스크를 합착할 때 로봇암을 이용하여 글라스를 이송시키는 방법을 사용하였으나 글라스의 면적과 중량이 증가됨에 따라 로봇암으로 이송이 어렵고 쉽게 파손되는 문제가 있다.However, the conventional method uses a method of transferring the glass using a robot arm when bonding the glass and the mask, but as the area and weight of the glass increase, it is difficult to transfer the glass to the robot arm and there is a problem that it is easily damaged.

따라서, 대면적의 글라스를 자기부상 방식을 이용하여 이송시키고 합착될 때 안정적으로 합착할 수 있는 방안이 필요하다.Therefore, there is a need for a method capable of stably attaching large-area glass by using a magnetic levitation method and then attaching the glass.

본 발명의 목적은, 자기부상 방식으로 이송하는 글라스 캐리어와 마스크 캐리어 합착공정을 진행하기 전에 자기부상 모듈과 글라스 캐리어를 분리하는 회피모듈을 구비하여 각 캐리어의 정렬과 합착이 편리한 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템 을 제공함에 있다.An object of the present invention is to provide a carrier using an avoidance module that separates the magnetic levitation module and the glass carrier before proceeding with the bonding process between the glass carrier and the mask carrier transported by the magnetic levitation method, so that the alignment and bonding of each carrier is convenient. It is to provide a conveying system.

본 발명은 글라스가 안착되는 글라스 캐리어, 상기 글라스캐리어에 선택적으로 결합되어 이송을 제어하는 반송모듈, 상기 반송모듈을 이동시켜 상기 반송모듈을 상기 글라스캐리어와 분리결합 시키는 회피모듈를 포함할 수 있다.The present invention may include a glass carrier on which glass is seated, a transport module selectively coupled to the glass carrier to control transport, and an avoidance module that separates and couples the transport module to the glass carrier by moving the transport module.

상기 회피모듈은 판형상의 회피프레임, 상기 프레임에 수평이동하도록 설치되는 회피결합모듈, 상기 결합모듈을 수평이동시키는 회피액추에이터모듈을 포함할 수 있다.The avoidance module may include a plate-shaped avoidance frame, an avoidance coupling module installed to move horizontally in the frame, and an avoidance actuator module for horizontally moving the coupling module.

상기 반송모듈은 상기 회피모듈과 결합되는 고정프레임, 상기 고정프레임의 일단에 지면에 수평방향으로 연장되어 형성되는 리니어모션시스템, 상기 고정프레임의 일측에 형성되며 일정 간격으로 복수개가 배치되는 전자석, 상기 고정프레임의 일측에 형성되며 상기 전자석 사이에 배치되는 롤러장치를 포함할 수 있다.The transport module includes a fixed frame coupled to the avoidance module, a linear motion system formed at one end of the fixed frame extending in a horizontal direction on the ground, a plurality of electromagnets formed on one side of the fixed frame and disposed at regular intervals, the It is formed on one side of the fixed frame and may include a roller device disposed between the electromagnets.

상기 글라스캐리어와 선택적으로 결합되어 상기 글라스캐리어를 마스크캐리어 상부에 합착시키는 홀더를 더 포함할 수 있다.The display device may further include a holder selectively coupled to the glass carrier to attach the glass carrier to an upper portion of the mask carrier.

상기 홀더는 판형상의 홀더바디, 상기 홀더바디에 형성되며 상기 글라스 캐리어와 결합되는 홀더결합모듈, 상기 홀더바디를 수직이동시키는 홀더액추에이터모듈을 포함할 수 있다.The holder may include a plate-shaped holder body, a holder coupling module formed on the holder body and coupled to the glass carrier, and a holder actuator module vertically moving the holder body.

상기 글라스캐리어는 글라스가 지지되는 본체, 정전기를 발생하여 글라스가 상기 본체에 보유지지되는 정전척, 상기 본체 양측면에 형성되어 상기 반송모듈의 힘을 전달받는 가동프레임을 포함할 수 있다.The glass carrier may include a main body supporting the glass, an electrostatic chuck generating static electricity to hold the glass in the main body, and a movable frame formed on both sides of the main body to receive force from the transport module.

회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템은 어태치 챔버에서 글라스와 글라스 캐리어가 척킹되는 척킹단계, 반송모듈에 의해 글라스 캐리어를 이송하는 글라스 캐리어 이송단계, 글라스 캐리어와 홀더를 결합하는 홀더 결합단계, 회피모듈을 이용하여 글라스 캐리어와 반송모듈을 분리하는 반송모듈 분리단계, 다수의 센서를 이용하여 글라스 캐리어와 마스크 캐리어를 정렬하는 정렬단계, 마스크 캐리어에 글라스 캐리어를 합착하는 마스크 캐리어 합착단계, 글라스 캐리어와 마스크 캐리어가 합착된 반송캐리어를 이송시키는 반송캐리어 이송단계를 포함할 수 있다.The carrier transfer system using the avoidance module includes a chucking step in which the glass and the glass carrier are chucked in the attach chamber, a glass carrier transfer step in which the glass carrier is transferred by the transfer module, a holder coupling step in which the glass carrier and the holder are combined, and an avoidance module. A conveyance module separation step of separating a glass carrier and a conveyance module using a sensor, an alignment step of aligning a glass carrier and a mask carrier using a plurality of sensors, a mask carrier attachment step of attaching a glass carrier to a mask carrier, and a glass carrier and a mask carrier. It may include a conveyance carrier transfer step of transferring the conveyance carrier to which is attached.

본 발명은, 마스크 캐리어에 위에 글라스 캐리어를 합착하기 위하여 회피모듈을 통해 글라스 캐리어와 반송모듈을 분리하여 대면적 글라스를 자기부상 방식으로 이송하는 증착공정에서 글라스 캐리어와 마스크 캐리어 합착이 편리한 효과가 있다.The present invention has a convenient effect of bonding the glass carrier and the mask carrier in the deposition process of transferring large-area glass in a magnetic levitation method by separating the glass carrier and the transport module through the avoidance module in order to attach the glass carrier to the mask carrier. .

글라스 캐리어를 이송시키는 방식이 로봇암이 아닌 상하 이동이 가능한 홀더를 이용하여 중량이 큰 글라스 이송이 편리한 효과가 있다.The method of transporting the glass carrier has a convenient effect of transporting heavy glass by using a holder capable of vertical movement instead of a robot arm.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 글라스 캐리어와 반송모듈을 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템의 회피모듈 평면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 글라스 캐리어와 반송모듈이 결합되어 있는 것을 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 회피모듈에 의해 글라스 캐리어와 반송모듈이 분리되는 것을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 캐리어에 글라스 캐리어가 얹혀지는 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 캐리어와 반송모듈을 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템의 순서도이다.1 is a perspective view of a carrier transport system using an avoidance module according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing a glass carrier and a transport module according to an embodiment of the present invention.
3 is a plan view of an avoidance module of a carrier transport system using an avoidance module according to an embodiment of the present invention.
4 is a view showing that a glass carrier and a transport module are coupled according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing that a glass carrier and a transport module are separated by an avoidance module according to an embodiment of the present invention.
6 is a view in which a glass carrier is placed on a mask carrier according to an embodiment of the present invention.
7 is a view showing a mask carrier and a transport module according to an embodiment of the present invention.
8 is a flowchart of a carrier transport system using an avoidance module according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것을 달성하는 방법은 첨부된 도면과 함께 상세하게 후술 되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다.Advantages and features of the present invention, and methods for achieving them, will become clear with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings.

그러나, 본 발명은 이하에 개시되는 실시 예들에 의해 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.However, the present invention is not limited by the embodiments disclosed below, but will be implemented in a variety of different forms, and only these embodiments make the disclosure of the present invention complete, and common knowledge in the art to which the present invention pertains. It is provided to completely inform the person who has the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.

또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기술 등이 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있다고 판단되는 경우 그에 관한 자세한 설명은 생략하기로 한다.In addition, in the description of the present invention, if it is determined that related known technologies may obscure the gist of the present invention, a detailed description thereof will be omitted.

이상의 본 발명은 도면에 도시된 실시 예(들)를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형이 이루어질 수 있으며, 상기 설명된 실시예(들)의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해여야 할 것이다.The present invention has been described above with reference to the embodiment (s) shown in the drawings, but this is only exemplary, and various modifications can be made thereto by those skilled in the art, and the above-described embodiments It will be appreciated that all or part of (s) may be configured in selective combinations. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be defined by the technical spirit of the appended claims.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 글라스 캐리어와 반송모듈을 나타낸 도면이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템의 회피모듈 평면도이다.1 is a perspective view of a carrier transport system using an avoidance module according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view showing a glass carrier and a transport module according to an embodiment of the present invention, and FIG. This is a plan view of the avoidance module of the carrier transport system using the avoidance module according to the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템은 글라스 캐리어(100), 반송모듈(200), 회피모듈(300)을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 1 , the carrier transport system using the avoidance module may include a glass carrier 100 , a transport module 200 , and an avoidance module 300 .

상기 글라스 캐리어(100)는 어태치 챔버에서 정전척(102)에 의해 글라스가 척킹되어 지지할 수 있다.The glass carrier 100 may be supported by being chucked by the electrostatic chuck 102 in the attach chamber.

상기 반송모듈(200)은 글라스 캐리어(100)의 양 측면에 캐리어 이송방향을 따라 배치될 수 있다.The transport module 200 may be disposed on both sides of the glass carrier 100 along the carrier transport direction.

도 2에 도시된 바와 같이 상기 반송모듈(200)은 고정프레임(201), 전자석(202), 리니어 모션 시스템(204), 롤러장치(203)로 구성될 수 있다.As shown in FIG. 2 , the transport module 200 may include a fixed frame 201 , an electromagnet 202 , a linear motion system 204 , and a roller device 203 .

상기 고정프레임(201)은 챔버에 설치되고 글라스 캐리어(100) 방향으로 돌출형성된 돌출부가 형성될 수 있다.The fixing frame 201 may be installed in the chamber and may have protrusions protruding toward the glass carrier 100 .

상기 전자석(202)은 일정간격으로 이격되어 복수로 구비되고 전자기력을 발생시켜 글라스 캐리어(100)를 부상시킬 수 있다.The electromagnets 202 are spaced apart at regular intervals and provided in plurality, and may generate electromagnetic force to float the glass carrier 100 .

상기 전자석(202)은 상기 고정프레임(201)에 일측이 고정되어 상기 글라스 캐리어(100) 방향으로 돌출되어 설치될 수 있다.One side of the electromagnet 202 may be fixed to the fixing frame 201 so as to protrude toward the glass carrier 100 .

상기 롤러장치(203)는 상기 전자석(202) 사이에 배치되며 글라스 캐리어(100)와 접하여 글라스 캐리어(100)의 이동을 가이드 할 수 있다.The roller device 203 is disposed between the electromagnets 202 and may guide the movement of the glass carrier 100 in contact with the glass carrier 100 .

상기 롤러장치(203)는 캐리어와 접하는 롤러, 롤러와 캐리어 접촉에 따른 충격을 흡수하는 서스펜션, 서스펜션의 일측과 연결되어 캐리어로부터 가압되는 압력을 측정하는 압력센서를 포함할 수 있다.The roller device 203 may include a roller in contact with the carrier, a suspension that absorbs shock due to contact between the roller and the carrier, and a pressure sensor that is connected to one side of the suspension and measures the pressure applied from the carrier.

상기 롤러는 자기력에 의해 부상하는 글라스 캐리어(100)가 일정 거리 이상 부상하지 않도록 부상 높이를 제한하고 위치를 가이드 할 수 있다.The roller may limit the levitation height and guide the position so that the glass carrier 100, which is levitating by magnetic force, does not float more than a certain distance.

상기 압력센서는 롤러와 글라스 캐리어(100)의 접촉면에 작용하는 압력을 측정하여 압력데이터를 생성할 수 있다.The pressure sensor may generate pressure data by measuring the pressure applied to the contact surface between the roller and the glass carrier 100 .

상기 리니어 모션 시스템(204)은 상기 고정프레임(201)에 글라스 캐리어(100) 이송방향을 따라 배치되고 글라스 캐리어(100)를 이송시킬 수 있다.The linear motion system 204 may be disposed on the fixing frame 201 along the transport direction of the glass carrier 100 and transport the glass carrier 100 .

상기 글라스 캐리어(100)는 글라스를 지지하는 본체(101), 정전기를 발생시켜 본체(101) 하면에 글라스가 합착되는 정전척(102), 본체(101) 양측면에 형성되며 고정프레임(201)과 대응되는 형상으로 형성된 가동프레임(103)을 포함할 수 있다.The glass carrier 100 includes a main body 101 that supports glass, an electrostatic chuck 102 that generates static electricity to bond the glass to the lower surface of the main body 101, and is formed on both sides of the main body 101 and includes a fixed frame 201 and It may include a movable frame 103 formed in a corresponding shape.

상기 본체(101)는 판형상으로 형성되어 하부에 글라스가 척킹되어 보유지지될 수 있다.The main body 101 is formed in a plate shape, and the glass can be chucked and held at the bottom.

상기 정전척(102)은 상기 본체(101)에 정전기를 발생시켜 글라스가 상기 본체(101) 하부에 척킹되어 이송될 수 있다.The electrostatic chuck 102 generates static electricity in the main body 101 so that the glass can be chucked and transferred to the lower part of the main body 101 .

상기 가동프레임(103)은 상기 몸체의 양 측면에 형성되고 상기 반송 모듈의 형상과 대응된 형상으로 형성될 수 있다.The movable frame 103 is formed on both sides of the body and may be formed in a shape corresponding to the shape of the transport module.

자세히 설명하면 상기 가동프레임(103)은 'ㄷ'자 형상으로 형성되어 오픈 된 방향에 상기 전자석(202)이 삽입되는 형상으로 배치될 수 있다.In detail, the movable frame 103 may be formed in a 'c' shape and disposed in an open direction in which the electromagnet 202 is inserted.

상기 가동프레임(103)은 추진체 마그넷(104) 및 부상 마그넷(105)을 상기 리니어 모션 시스템(204)과 대응되는 위치에 배치되어 상기 리니어 모션 시스템(204)의 힘을 전달받을 수 있다.The movable frame 103 may receive the power of the linear motion system 204 by disposing the propelling magnet 104 and the floating magnet 105 at positions corresponding to the linear motion system 204 .

상기 추진체 마그넷(104)은 후술할 리니어 모션 시스템(204)과 대면되는 상기 가동프레임(103) 상부에 구비될 수 있다.The propellant magnet 104 may be provided above the movable frame 103 facing the linear motion system 204 to be described later.

상기 추진체 마그넷(104)은 상기 리니어 모션 시스템(204)을 통해 발생되는 전자기력의 힘을 받아 상기 캐리어를 이송시킬 수 있다.The propellant magnet 104 may transfer the carrier by receiving the force of the electromagnetic force generated through the linear motion system 204 .

상기 부상 마그넷(105)은 후술할 전자석(202)과 롤러장치(203)에 대면되는 가동프레임(103) 내부에 구비될 수 있다.The floating magnet 105 may be provided inside the movable frame 103 facing the electromagnet 202 and the roller device 203 to be described later.

상기 부상 마그넷(105)은 상기 전자석(202)을 통해 발생되는 전자기력의 힘을 받아 상기 글라스 캐리어(100)를 부상시킬 수 있다.The levitation magnet 105 may levitate the glass carrier 100 by receiving the force of the electromagnetic force generated through the electromagnet 202 .

상기 회피모듈(300)은 상기 반송모듈(200)과 결합되며 상기 반송모듈(200)을 이동시켜 상기 반송모듈(200)을 상기 글라스 캐리어(100)와 분리결합 시킬 수 있다.The avoidance module 300 is coupled to the transport module 200 and may separate and couple the transport module 200 to the glass carrier 100 by moving the transport module 200 .

도 3에 도시된 바와 같이 상기 회피모듈(300)은 판형상의 회피프레임(301), 상기 회피프레임(301)에 설치되는 회피결합모듈(302), 회피액추에이터모듈(303)을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 3 , the avoidance module 300 may include a plate-shaped avoidance frame 301, an avoidance coupling module 302 installed in the avoidance frame 301, and an avoidance actuator module 303.

상기 회피프레임(301)은 양단에 상기 글라스 캐리어(100) 방향으로 돌출형성되고 상기 회피결합모듈(302)이 수평이동을 가이드 할 수 있는 레일이 형성된 레일부(304)를 포함할 수 있다.The avoidance frame 301 may include rail parts 304 formed with rails protruding in the direction of the glass carrier 100 at both ends and guiding the horizontal movement of the avoidance coupling module 302 .

상기 레일부(304)는 상기 회피결합모듈(302)을 지지하여 상기 글라스 캐리어(100)의 중량에 의해 상기 회피액추에이터모듈(303) 또는 상기 반송모듈(200)이 아래로 쳐지는 것을 방지할 수 있다.The rail part 304 supports the avoidance coupling module 302 to prevent the avoidance actuator module 303 or the conveyance module 200 from being struck down by the weight of the glass carrier 100 there is.

자세히 설명하면, 상기 레일부(304)는 상기 회피프레임(301)과 결합부위를 두껍게 형성하여 높은 하중에도 상기 회피결합모듈(302)을 지지할 수 있다. In detail, the rail part 304 can support the avoidance coupling module 302 even under a high load by forming a thick coupling portion with the avoidance frame 301 .

상기 회피결합모듈(302)은 수평이동이 가능하고 상기 반송모듈(200)의 일측과 결합되어 상기 반송모듈(200)을 이동시킬 수 있다.The avoidance coupling module 302 can move horizontally and is coupled to one side of the transport module 200 to move the transport module 200 .

상기 회피액추에이터모듈(303)은 상기 회피결합모듈(302)과 결합되어 상기 회피결합모듈(302)을 수평이동시킬 수 있다.The avoidance actuator module 303 is coupled with the avoidance coupling module 302 to horizontally move the avoidance coupling module 302 .

상기 회피액추에이터모듈(303)은 상기 회피결합모듈(302)을 이동시켜 상기 반송모듈(200)이 상기 글라스 캐리어(100)에 걸리지 않는 거리만큼 이동시킬 수 있다.The avoidance actuator module 303 may move the avoidance coupling module 302 so as to move the transport module 200 by a distance that does not catch the glass carrier 100 .

따라서, 상기 반송모듈(200)과 상기 글라스 캐리어(100)가 완전 분리되어 상기 글라스 캐리어(100)가 수직 이동이 가능할 수 있다.Therefore, the transport module 200 and the glass carrier 100 are completely separated, so that the glass carrier 100 can move vertically.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 글라스 캐리어와 반송모듈이 결합되어 있는 것을 도시한 도면이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 회피모듈에 의해 글라스 캐리어와 반송모듈이 분리되는 것을 도시한 도면이며, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 캐리어에 글라스 캐리어가 얹혀지는 도면이다.4 is a view showing that the glass carrier and the transport module are coupled according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a view showing that the glass carrier and the transport module are separated by the avoidance module according to an embodiment of the present invention. 6 is a view in which a glass carrier is placed on a mask carrier according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에 따른 상기 회피모듈(300)은 도 4을 참조하면 상기 글라스 캐리어(100)가 이송할 때에는 상기 회피액추에이터모듈(303)을 통해 상기 회피결합모듈(302)을 상기 글라스 캐리어(100) 방향으로 이동시켜 상기 회피결합모듈(302)과 결합된 상기 반송모듈(200)이 상기 글라스 캐리어(100)의 이송을 제어할 수 있다.Referring to FIG. 4, the avoidance module 300 according to an embodiment of the present invention, when the glass carrier 100 is transported, moves the avoidance coupling module 302 through the avoidance actuator module 303 to the glass carrier ( 100), the conveyance module 200 combined with the avoidance coupling module 302 may control the transport of the glass carrier 100.

이때, 상기 회피결합모듈(302)이 상기 회피프레임(301)으로부터 이격되어 있고 상기 글라스 캐리어(100)의 중량에 의해 상기 회피결합모듈(302)과 결합되어있는 상기 회피액추에이터모듈(303) 부위에 강한 하중이 가해져 상기 회피액추에이터가 휘어질 수 있다.At this time, the avoidance coupling module 302 is spaced apart from the avoidance frame 301 and the avoidance actuator module 303 coupled to the avoidance coupling module 302 by the weight of the glass carrier 100 A strong load may be applied and the avoidance actuator may be bent.

따라서, 상기 회피결합모듈(302) 상단과 하단에 상기 레일부(304)를 구비하여 강한 하중에도 상기 회피액추에이터가 휘어지는 것을 방지할 수 있다.Therefore, by providing the rail parts 304 at the upper and lower ends of the avoidance coupling module 302, it is possible to prevent the avoidance actuator from being bent even under a strong load.

상기 글라스 캐리어(100)가 정해진 위치에 도착하면 상기 회피모듈(300)은 상기 도 5에 도시된 바와 같이 상기 회피액추에이터모듈(303)을 통해 상기 회피결합모듈(302)을 상기 회피모듈(300) 방향으로 이동시켜 상기 반송모듈(200)과 상기 글라스 캐리어(100)가 분리될 수 있다.When the glass carrier 100 arrives at a predetermined position, the avoidance module 300 moves the avoidance coupling module 302 through the avoidance actuator module 303 to the avoidance module 300 as shown in FIG. By moving in the direction, the transport module 200 and the glass carrier 100 may be separated.

상기 회피결합모듈(302)의 이동거리는 상기 글라스 캐리어(100)가 상하 이동을 할 때 상기 반송모듈(200)에 걸리지 않는 위치까지 이동할 수 있다.The movement distance of the avoiding coupling module 302 may be moved to a position where the glass carrier 100 is not caught by the transport module 200 when vertically moving.

도 6에 도시된 바와 같이 상기 글라스 캐리어(100)와 선택적으로 결합되며 상하 이동이 가능한 홀더(400)를 더 포함할 수 있다.As shown in FIG. 6 , a holder 400 selectively coupled to the glass carrier 100 and capable of moving up and down may be further included.

상기 홀더(400)는 판형상의 홀더바디(401), 상기 글라스 캐리어(100)와 선택적으로 결합되는 홀더결합모듈(402), 홀더액추에이터모듈(403)을 포함할 수 있다.The holder 400 may include a plate-shaped holder body 401 , a holder coupling module 402 selectively coupled to the glass carrier 100 , and a holder actuator module 403 .

상기 홀더결합모듈(402)은 상기 글라스 캐리어(100)가 특정 위치에 도착하면 상기 글라스 캐리어(100)의 상부와 결합될 수 있다.The holder coupling module 402 may be combined with the upper portion of the glass carrier 100 when the glass carrier 100 arrives at a specific location.

자세히 설명하면, 상기 홀더결합모듈(402)은 상기 글라스 캐리어(100) 상부에 홀 형상의 결합홀(1011)에 삽입 및 걸어서 결합될 수 있다.In detail, the holder coupling module 402 may be coupled by being inserted into and hooked into the hole-shaped coupling hole 1011 on the upper portion of the glass carrier 100 .

상기 홀더액추에이터모듈(403)은 상기 홀더바디(401)를 수직이동시킬 수 있다.The holder actuator module 403 may vertically move the holder body 401 .

상기 홀더액추에이터모듈(403)은 상기 글라스 캐리어(100)가 특정 위치에 도착하면 상기 홀더바디(401)를 하강시켜 상기 글라스 캐리어(100) 상부에 접하도록 이동시킬 수 있다.When the glass carrier 100 arrives at a specific position, the holder actuator module 403 lowers the holder body 401 and moves the holder body 401 to come into contact with the upper portion of the glass carrier 100 .

상기 홀더액추에이터모듈(403)은 상기 홀더결합모듈(402)이 상기 글라스 캐리어(100)와 결합되면 상기 홀더바디(401)를 하강시켜 상기 글라스 캐리어(100)가 마스크 캐리어 상부에 합착될 수 있다.When the holder coupling module 402 is coupled to the glass carrier 100, the holder actuator module 403 lowers the holder body 401 so that the glass carrier 100 can be bonded to the top of the mask carrier.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 캐리어와 반송모듈을 나타낸 도면이다.7 is a view showing a mask carrier and a transport module according to an embodiment of the present invention.

도 7에 도시된 바와 같이 상기 마스크 캐리어의 자기부상 모듈은 고정프레임, 전자석, 리니어 모션 시스템, 롤러장치, 영구자석로 구성될 수 있다.As shown in Figure 7, the magnetic levitation module of the mask carrier may be composed of a fixed frame, an electromagnet, a linear motion system, a roller device, and a permanent magnet.

상기 자기부상 모듈은 복수의 챔버에 형성되어 상기 마스크 캐리어가 이동하는 이동로를 형성할 수 있다.The magnetic levitation module may be formed in a plurality of chambers to form a moving path along which the mask carrier moves.

상기 고정프레임(211)은 캐리어(110)가 이동하는 이동로를 따라 챔버에 형성되고 지면에 수평으로 돌출된 복수의 돌출부(216)가 형성될 수 있다.The fixing frame 211 may be formed in a chamber along a moving path along which the carrier 110 moves, and may have a plurality of protrusions 216 protruding horizontally from the ground.

상기 돌출부(216)는 상기 고정프레임(211) 일면에 형성되고 상기 캐리어(110) 방향으로 돌출형성될 수 있다.The protrusion 216 may be formed on one surface of the fixing frame 211 and protrude toward the carrier 110 .

본 발명의 실시예에 따른 상기 돌출부(216)는 상기 고정프레임(211)의 상단, 중단, 하단에 형성되어 각 단에 형성된 돌출부(216) 사이에 'ㄷ'자 공간이 형성된다.The protrusions 216 according to the embodiment of the present invention are formed at the top, middle, and bottom of the fixing frame 211, and a 'c'-shaped space is formed between the protrusions 216 formed at each end.

상기 전자석(212)은 상기 돌출부(216)에 일정간격으로 이격되어 복수로 구비되고 전자기력을 발생시켜 상기 캐리어(110)의 자기부상 높이 및 기울기를 조정할 수 있다.A plurality of electromagnets 212 are spaced apart from the protruding part 216 at regular intervals and generate electromagnetic force to adjust the height and inclination of magnetic levitation of the carrier 110 .

상기 전자석(212)은 전자기력의 힘의 방향 제어가 가능하여 상기 캐리어(110)에 인력 및 척력을 제공할 수 있다.The electromagnet 212 can provide attractive and repulsive forces to the carrier 110 by controlling the direction of the electromagnetic force.

본 발명의 실시예에 따른 상기 전자석(212)은 상기 돌출부(216) 중 하단에 형성된 돌출부(216)에 구비되어 전자기력을 발생시키나 이에 한정되지 않고 상기 전자석(212)이 상기 돌출부(216) 중 상단, 중단에 형성된 돌출부(216)에 구비될 수 있고 상기 돌출부(216)의 상부에 구비될 수 있다.The electromagnet 212 according to the embodiment of the present invention is provided on the protrusion 216 formed at the lower end of the protrusion 216 to generate electromagnetic force, but is not limited thereto, and the electromagnet 212 is the upper end of the protrusion 216. , It may be provided on the protrusion 216 formed in the middle and may be provided on the upper part of the protrusion 216.

상기 롤러장치(213)는 상기 전자석(212) 사이에 배치되며 상기 캐리어(110)와 접할 수 있다.The roller device 213 is disposed between the electromagnets 212 and may contact the carrier 110 .

상기 롤러장치(213)는 상기 캐리어(110)가 자기력에 의해 일정 거리 이상 부상하지 않도록 캐리어(110)의 부상 높이를 제한하고 이동을 가이드 할 수 있다.The roller device 213 may limit the lifting height of the carrier 110 and guide the movement so that the carrier 110 does not float over a predetermined distance by magnetic force.

본 발명의 실시예에 따른 상기 롤러장치(213)는 상기 돌출부(216) 중 하단에 형성된 돌출부(216)에 구비되어 캐리어(110)와 접하나 이에 한정되지 않고 상기 롤러장치(213)는 상기 돌출부(216) 중 상단, 중단에 형성된 돌출부(216)에 구비될 수 있고 상기 돌출부(216)의 상부에 구비될 수 있다.The roller device 213 according to the embodiment of the present invention is provided on the protrusion 216 formed at the lower end of the protrusions 216 to contact the carrier 110, but is not limited thereto, and the roller device 213 is provided on the protrusion 216. It may be provided on the protrusion 216 formed at the upper end and the middle of the protrusion 216, and may be provided on the upper part of the protrusion 216.

자세히 설명하면 상기 영구자석(215)은 상기 영구자석(215)과 상기 캐리어(110) 사이에 인력이 작용하도록 전자기력을 발생시켜 상기 캐리어(110)를 부상시킬 수 있다.In detail, the permanent magnet 215 may generate an electromagnetic force so that an attractive force acts between the permanent magnet 215 and the carrier 110 to float the carrier 110 .

본 발명의 실시예에 따른 상기 영구자석(215)은 상기 돌출부(216) 중 중단에 형성된 돌출부(216)에 구비되어 상기 캐리어(110)를 자기부상 시킬 수 있으나 이에 한정되지 않고 상기 영구자석(215)은 상기 돌출부(216) 중 상단, 하단에 형성된 돌출부(216)에 구비될 수 있고 상기 돌출부(216)의 상부에 구비될 수 있다.The permanent magnet 215 according to the embodiment of the present invention is provided on the protrusion 216 formed in the middle of the protrusion 216 to magnetically levitation the carrier 110, but is not limited thereto, and the permanent magnet 215 ) may be provided on the protrusions 216 formed at the top and bottom of the protrusions 216 and may be provided on the upper part of the protrusions 216 .

상기 리니어 모션 시스템(214)은 상기 돌출부(216)에 구비되며 전자기력을 발생시켜 상기 캐리어(110)가 이송시킬 수 있다.The linear motion system 214 is provided on the protruding part 216 and generates an electromagnetic force so that the carrier 110 can move.

본 발명의 실시예에 따른 상기 리니어 모션 시스템(214)은 상기 돌출부(216) 중 상단에 형성된 돌출부(216)에 구비되어 상기 캐리어(110)를 이송시킬 수 있으나 이에 한정되지 않고 상기 리니어 모션 시스템(214)은 상기 돌출부(216) 중 중단, 하단에 형성된 돌출부(216)에 구비될 수 있고 상기 돌출부(216)의 상부에 구비될 수 있다.The linear motion system 214 according to the embodiment of the present invention is provided on the protrusion 216 formed on the top of the protrusion 216 to transfer the carrier 110, but is not limited thereto, and the linear motion system ( 214 may be provided on the protrusions 216 formed at the middle and lower ends of the protrusions 216 and may be provided on the upper portion of the protrusions 216 .

상기 가동프레임(113)은 상기 마스크 캐리어 본체(110)의 양 측면에 형성되고 상기 자기 부상 모듈의 형상과 대응된 형상으로 형성될 수 있다.The movable frame 113 is formed on both sides of the mask carrier body 110 and may be formed in a shape corresponding to that of the magnetic levitation module.

상기 추진체 마그넷(114)은 상기 리니어 모션 시스템(214)과 대면되는 상기 가동프레임(113) 상부에 구비될 수 있다.The propellant magnet 114 may be provided above the movable frame 113 facing the linear motion system 214 .

상기 추진체 마그넷(114)은 상기 리니어 모션 시스템(214)을 통해 발생되는 전자기력의 힘을 받아 상기 캐리어(110)를 이송시킬 수 있다.The propellant magnet 114 may transfer the carrier 110 by receiving the force of the electromagnetic force generated through the linear motion system 214 .

상기 부상 마그넷(115)은 상기 영구자석(215)과 대면되는 중부 가동프레임(113) 상부에 구비될 수 있다.The floating magnet 115 may be provided above the central movable frame 113 facing the permanent magnet 215 .

상기 부상 마그넷(115)은 상기 영구자석(215)을 통해 발생되는 전자기력의 힘을 받아 상기 캐리어(110)를 부상시킬 수 있다.The levitation magnet 115 may levitate the carrier 110 by receiving the force of the electromagnetic force generated through the permanent magnet 215 .

상기 조정 마그넷(116)은 상기 전자석(212) 또는 상기 롤러장치(213)와 대면되는 하부 가동프레임(113) 상부에 구비될 수 있다.The adjustment magnet 116 may be provided above the lower movable frame 113 facing the electromagnet 212 or the roller device 213 .

상기 조정 마그넷(116)은 상기 전자석(212)을 통해 발생하는 전자기력의 힘을 받아 상기 캐리어(110)의 높이 및 기울기를 조정할 수 있다.The adjustment magnet 116 may adjust the height and inclination of the carrier 110 by receiving the force of the electromagnetic force generated through the electromagnet 212 .

도 8은 본 발명의 실시예에 따른 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템의 순서도이다.8 is a flowchart of a carrier transport system using an avoidance module according to an embodiment of the present invention.

도 8에 도시된 바와 같이 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템은 어태치 챔버에서 글라스와 글라스 캐리어(100)가 척킹되는 글라스 척킹단계(S110), 반송모듈(200)에 의해 글라스 캐리어(100)를 이송하는 글라스 캐리어 이송단계(S120), 글라스 캐리어(100)와 홀더(400)를 결합하는 홀더 결합단계(S130), 회피모듈(300)을 이용하여 글라스 캐리어(100)와 반송모듈(200)을 분리하는 반송모듈 분리단계(S140), 다수의 센서를 이용하여 글라스 캐리어(100)와 마스크 캐리어를 정렬하는 캐리어 정렬단계(S150), 마스크 캐리어에 글라스 캐리어(100)를 합착하는 캐리어 합착단계(S160), 글라스 캐리어(100)와 마스크 캐리어가 합착된 반송캐리어를 이송시키는 반송캐리어 이송단계(S170), 기판에 증착시키는 증착단계, 글라스 캐리어 분리단계(S180), 초기화 단계를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 8, the carrier transport system using the avoidance module includes a glass chucking step (S110) in which the glass and the glass carrier 100 are chucked in the attach chamber, and the glass carrier 100 is transported by the transport module 200 A glass carrier transfer step (S120), a holder coupling step (S130) of combining the glass carrier 100 and the holder 400, and separating the glass carrier 100 and the transport module 200 using the avoidance module 300 A carrier module separation step (S140), a carrier alignment step (S150) of aligning the glass carrier 100 and the mask carrier using a plurality of sensors, and a carrier bonding step (S160) of bonding the glass carrier 100 to the mask carrier. , a conveyance carrier transfer step of transferring the conveyance carrier in which the glass carrier 100 and the mask carrier are attached (S170), a deposition step of depositing on a substrate, a glass carrier separation step (S180), and an initialization step.

상기 글라스 척킹단계(S110)는 어태치 챔버에 글라스가 위치하고 글라스 상부에 글라스 캐리어(100)를 이송시키고 글라스를 상승시켜 글라스 캐리어(100)에 척킹시킬 수 있다.In the glass chucking step ( S110 ), the glass is positioned in the attach chamber, the glass carrier 100 is transferred to the top of the glass, and the glass is lifted to chuck the glass carrier 100 .

또는, 글라스 캐리어(100)를 하강시켜 글라스를 척킹시킬 수 있다.Alternatively, the glass may be chucked by lowering the glass carrier 100 .

자세히 설명하면, 어태치 챔버에 글라스가 준비되면 어태치 챔버로 글라스 캐리어(100)를 이송시킨다. 이후 글라스를 상승시켜 글라스 캐리어(100) 하면에 접하면 정전척(102)을 통해 글라스 캐리어(100)에 정전기를 발생시켜 글라스가 척킹될 수 있다. In detail, when the glass is prepared in the attach chamber, the glass carrier 100 is transferred to the attach chamber. Then, when the glass is raised and brought into contact with the lower surface of the glass carrier 100 , static electricity is generated in the glass carrier 100 through the electrostatic chuck 102 , so that the glass can be chucked.

상기 글라스 캐리어 이송단계(S120)는 글라스 캐리어(100)에 글라스 척킹이 완료되면 반송모듈(200)을 통해 글라스 캐리어(100)를 이송시킬 수 있다.In the glass carrier transferring step ( S120 ), when the glass carrier 100 is completely chucked, the glass carrier 100 may be transferred through the transfer module 200 .

자세히 설명하면, 반송모듈(200)의 전자석(202)에서 전자기력을 발생시켜 글라스 캐리어(100)를 부상시키고 리니어 모션 시스템(204)에 의해 글라스 캐리어(100)를 위치까지 이송시킬 수 있다.In detail, the electromagnet 202 of the transport module 200 generates electromagnetic force to lift the glass carrier 100 and the linear motion system 204 can transport the glass carrier 100 to the position.

상기 홀더 결합단계(S130)는 이송된 글라스 캐리어(100)가 정해진 위치에 도달하면 홀더바디(401)가 하강되어 글라스 캐리어(100) 상부에 접하고 홀더결합모듈(402)을 통해 홀더바디(401)와 글라스 캐리어(100)를 결합시킬 수 있다.In the holder coupling step (S130), when the transported glass carrier 100 reaches a predetermined position, the holder body 401 is lowered and comes into contact with the upper portion of the glass carrier 100, and the holder body 401 through the holder coupling module 402 And the glass carrier 100 can be combined.

자세히 설명하면, 본 발명의 실시예에 따르면 글라스 캐리어(100)가 얼라인 챔버 내에 위치한 홀더(400)와 대응되는 위치까지 이송되고 이송이 완료되면 홀더액추에이터모듈(403)에 의해 홀더바디(401)가 글라스 캐리어(100) 상부에 접하도록 수직이동되어 홀더결합모듈(402)이 글라스 캐리어(100)와 결합된다.In detail, according to an embodiment of the present invention, when the glass carrier 100 is transferred to a position corresponding to the holder 400 located in the align chamber and the transfer is completed, the holder body 401 is moved by the holder actuator module 403. The holder coupling module 402 is coupled to the glass carrier 100 by moving vertically to contact the top of the glass carrier 100 .

상기 반송모듈 분리단계(S140)는 홀더(400)와 글라스 캐리어(100)의 결합이 완료되면 회피모듈(300)에 의해 반송모듈(200)이 수평이동되어 글라스 캐리어(100)와 분리될 수 있다.In the conveying module separation step (S140), when the holder 400 and the glass carrier 100 are completely combined, the conveying module 200 is horizontally moved by the avoidance module 300 and separated from the glass carrier 100. .

자세히 설명하면, 회피액추에이터모듈(303)을 통해 회피결합모듈(302)이 수평이동되어 글라스 캐리어(100)가 수직이동이 가능한 위치까지 회피결합모듈(302)을 이동시킬 수 있다.In detail, the avoidance coupling module 302 can be horizontally moved through the avoidance actuator module 303 to move the avoidance coupling module 302 to a position where the glass carrier 100 can move vertically.

상기 캐리어 정렬단계(S150)는 다수의 센서를 이용하여 마스크에 특정 표시를 인식하여 글라스 캐리어(100)와 마스크 캐리어를 정렬할 수 있다.In the carrier aligning step (S150), the glass carrier 100 and the mask carrier may be aligned by recognizing a specific mark on the mask using a plurality of sensors.

예를 들어 얼라인 챔버 내에 광학 촬상이 가능한 카메라가 구비되고 카메라를 통해 화상 데이터를 생성하고 상기 화상 데이터 분석을 통해 마스크와 글라스에 표시된 얼라인먼트 마크를 추출하여 글라스와 마스크의 위치 어긋남을 판단할 수 있다.For example, a camera capable of optical imaging is provided in the alignment chamber, image data is generated through the camera, and alignment marks displayed on the mask and glass are extracted through the analysis of the image data to determine the misalignment between the glass and the mask. .

따라서, 홀더(400)를 통해 글라스 캐리어(100)를 조정하여 글라스와 마스크의 얼라인먼트 마크가 일치하게 제어될 수 있다.Therefore, by adjusting the glass carrier 100 through the holder 400, the alignment marks of the glass and the mask can be controlled to match.

상기 캐리어 합착단계(S160)는 얼라인 챔버에 위치한 마스크 캐리어와 글라스 캐리어(100)의 위치를 정렬한 후 마스크 캐리어 상부에 글라스 캐리어(100)를 합착시킬 수 있다.In the carrier bonding step (S160), after aligning the positions of the mask carrier and the glass carrier 100 located in the align chamber, the glass carrier 100 may be bonded to the top of the mask carrier.

자세히 설명하면, 마스크 캐리어 상부에 글라스 캐리어(100)가 접하면 글라스 캐리어(100) 내부에 위치한 합착자석에 의해 마스크를 보유지지하면서 글라스와 마스크가 합착될 수 있다.In detail, when the glass carrier 100 comes into contact with the upper portion of the mask carrier, the glass and the mask may be bonded while holding the mask by a cohesive magnet located inside the glass carrier 100 .

이때, 마스크는 글라스 캐리어(100)보다 면적이 넓게 형성되어 글라스 캐리어(100)가 마스크 위에 완전히 안착될 수 있다.In this case, the mask is formed to have a larger area than the glass carrier 100 so that the glass carrier 100 can be completely seated on the mask.

본 발명에 실시예에 따른 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템은 글라스 캐리어(100) 내부에 합착자석이 구비되어 글라스와 마스크를 합착하는 구성으로 개시되어 있으나 이에 한정되지 않고 글라스 캐리어(100) 내부에 자기척이 구비되어 자기척에 전류를 가하여 마스크를 합착시킬 수 있다.The carrier transport system using the avoidance module according to an embodiment of the present invention is disclosed as a configuration in which a bonding magnet is provided inside the glass carrier 100 to bond the glass and the mask, but is not limited thereto, and the glass carrier 100 has a magnetic A chuck is provided so that the mask can be bonded by applying current to the magnetic chuck.

상기 반송캐리어 이송단계(S170)는 글라스 캐리어(100)와 마스크 캐리어가 합착되어 하나의 반송캐리어를 형성하고 상기 반송캐리어의 양측에 구비된 반송모듈(200)에 의해 이송될 수 있다.In the conveying carrier transfer step (S170), the glass carrier 100 and the mask carrier are bonded together to form one conveying carrier, which can be transported by the conveying module 200 provided on both sides of the conveying carrier.

상기 반송모듈(200)은 상기 고정프레임(201)에 일측이 고정되어 상기 캐리어 방향으로 돌출된 영구자석(215)을 더 포함할 수 있다.The transport module 200 may further include a permanent magnet 215 having one side fixed to the fixed frame 201 and protruding toward the carrier.

상기 영구자석(215)은 상기 반송캐리어가 이송되는 방향을 따라 형성되고 일정한 자기력을 항상 발생시켜 상기 전자석(202) 없이 상기 반송캐리어가 자기부상을 유지할 수 있다.The permanent magnet 215 is formed along the direction in which the transport carrier is transported and always generates a constant magnetic force so that the transport carrier can maintain magnetic levitation without the electromagnet 202 .

상기 증착단계는 상기 반송캐리어가 증착챔버로 이동되어 글라스에 증착원이 증착될 수 있다.In the deposition step, the transfer carrier may be moved to a deposition chamber, and an deposition source may be deposited on the glass.

상기 글라스 캐리어 분리단계(S180)는 증착이 완료된 반송캐리어가 분리챔버로 이동되어 글라스 캐리어(100)와 마스크 캐리어를 분리시킬 수 있다.In the glass carrier separation step ( S180 ), the transport carrier on which deposition is completed is moved to a separation chamber to separate the glass carrier 100 from the mask carrier.

자세히 설명하면, 글라스 캐리어(100) 내에 위치한 합착자석의 힘을 감소시켜 마스크를 분리시키고 분리챔버 내에 위치한 홀더(400)를 이용하여 글라스 캐리어(100)와 마스크 캐리어를 분리시킬 수 있다.In detail, the mask may be separated by reducing the force of the cohesive magnet located in the glass carrier 100, and the glass carrier 100 and the mask carrier may be separated using the holder 400 located in the separation chamber.

상기 초기화 단계는 글라스 캐리어(100)가 글라스를 배출한 후 어태치 챔버로 이송되어 상기 단계를 반복할 수 있다.In the initialization step, after the glass carrier 100 discharges the glass, the glass carrier 100 is transported to the attach chamber and the above step may be repeated.

100 : 글라스 캐리어
101 : 본체 102 : 정전척
103 : 가동프레임
200 : 반송모듈
201 : 고정프레임 202 : 전자석
203 : 롤러장치 204 : 리니어 모션 시스템
300 : 회피모듈
301 : 회피프레임 302 : 회피결합모듈
303 : 회피액추에이터모듈100: glass carrier
101: body 102: electrostatic chuck
103: movable frame
200: transfer module
201: fixed frame 202: electromagnet
203: roller device 204: linear motion system
300: avoidance module
301: avoidance frame 302: avoidance coupling module
303: avoidance actuator module

Claims (9)

글라스가 안착되는 글라스 캐리어;
상기 글라스 캐리어에 선택적으로 결합되어 이송을 제어하는 반송모듈;
상기 반송모듈을 이동시켜 상기 반송모듈을 상기 글라스캐리어와 분리결합 시키는 회피모듈;을 포함하는 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템.
a glass carrier on which the glass is seated;
a transport module selectively coupled to the glass carrier to control transport;
A carrier transport system using an avoidance module comprising: an avoidance module that separates and couples the transport module to the glass carrier by moving the transport module.
 제 1항에 있어서,
상기 회피모듈은,
판형상의 회피프레임;
상기 회피프레임에 수평이동하도록 설치되는 회피결합모듈;
상기 회피결합모듈을 수평이동시키는 회피액추에이터모듈을 포함하는 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템.
According to claim 1,
The avoidance module,
Plate-shaped avoiding frame;
an avoidance coupling module installed to move horizontally to the avoidance frame;
A carrier transfer system using an avoidance module including an avoidance actuator module for horizontally moving the avoidance coupling module.
 재 2항에 있어서,
상기 회피모듈은,
상기 회피프레임에 일측이 결합되고 상기 글라스 캐리어 방향으로 돌출된 레일부를 더 포함하고,
상기 레일부는,
상기 회피결합모듈의 이동을 가이드 하는 것을 특징으로 하는 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템.
According to claim 2,
The avoidance module,
Further comprising a rail portion coupled to the avoidance frame and protruding in the direction of the glass carrier,
The rail part,
A carrier transport system using an avoidance module, characterized in that for guiding the movement of the avoidance coupling module.
 제 3항에 있어서,
상기 레일부는,
상기 회피결합모듈의 상단과 하단에 형성되어 상기 회피결합모듈에 전달되는 상기 글라스 캐리어의 하중을 지지하는 것을 특징으로 하는 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템.
According to claim 3,
The rail part,
Carrier transport system using an avoidance module, characterized in that formed at the top and bottom of the avoidance coupling module to support the load of the glass carrier transmitted to the avoidance coupling module.
 제 1항에 있어서,
상기 반송모듈은,
상기 회피모듈과 결합되는 고정프레임;
상기 고정프레임의 일단에 지면에 수평방향으로 연장되어 형성되는 리니어모션시스템;
상기 고정프레임의 일측에 형성되며 일정 간격으로 복수개가 배치되는 전자석;
상기 고정프레임의 일측에 형성되며 상기 전자석 사이에 배치되는 롤러장치;를 포함하는 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템.
According to claim 1,
The conveying module,
a fixed frame coupled with the avoidance module;
A linear motion system formed by extending in a horizontal direction on the ground at one end of the fixed frame;
formed on one side of the fixing frame and having a plurality of electromagnets arranged at regular intervals;
A carrier transport system using an avoidance module comprising a roller device formed on one side of the fixed frame and disposed between the electromagnets.
 제 1항에 있어서,
상기 글라스캐리어와 선택적으로 결합되어 상기 글라스캐리어를 마스크캐리어 상부에 합착시키는 홀더;를 더 포함하는 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템.
According to claim 1,
The carrier transport system using the avoidance module further comprising a; holder selectively coupled to the glass carrier to attach the glass carrier to the upper portion of the mask carrier.
 제 6항에 있어서,
상기 홀더는,
판형상의 홀더바디;
상기 홀더바디에 형성되며 상기 글라스 캐리어와 결합되는 홀더결합모듈;
상기 홀더바디를 수직이동시키는 홀더액추에이터모듈을 포함하는 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템.
According to claim 6,
the holder,
Plate-shaped holder body;
a holder coupling module formed on the holder body and coupled to the glass carrier;
A carrier transport system using an avoidance module including a holder actuator module for vertically moving the holder body.
 제 1항에 있어서,
상기 글라스캐리어는,
글라스가 지지되는 본체;
정전기를 발생하여 글라스가 상기 본체에 보유지지되는 정전척;
상기 본체 양측면에 형성되어 상기 반송모듈의 힘을 전달받는 가동프레임;을 포함하는 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템.
According to claim 1,
The glass carrier,
A body in which the glass is supported;
an electrostatic chuck that generates static electricity to hold the glass in the main body;
A carrier transport system using an avoidance module comprising: a movable frame formed on both sides of the main body to receive force from the transport module.
 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템은 어태치 챔버에서 글라스와 글라스 캐리어가 척킹되는 척킹단계;
반송모듈에 의해 글라스 캐리어를 이송하는 글라스 캐리어 이송단계;
글라스 캐리어와 홀더를 결합하는 홀더 결합단계;
회피모듈을 이용하여 글라스 캐리어와 반송모듈을 분리하는 반송모듈 분리단계;
다수의 센서를 이용하여 글라스 캐리어와 마스크 캐리어를 정렬하는 정렬단계;
마스크 캐리어에 글라스 캐리어를 합착하는 마스크 캐리어 합착단계;
글라스 캐리어와 마스크 캐리어가 합착된 반송캐리어를 이송시키는 반송캐리어 이송단계;를 포함하는 회피모듈을 이용한 캐리어 이송 시스템.
A carrier transfer system using an avoidance module includes a chucking step in which a glass and a glass carrier are chucked in an attach chamber;
a glass carrier transfer step of transferring the glass carrier by the transfer module;
A holder coupling step of coupling the glass carrier and the holder;
A conveyance module separation step of separating the glass carrier and the conveyance module using the avoidance module;
Aligning the glass carrier and the mask carrier using a plurality of sensors;
A mask carrier bonding step of bonding the glass carrier to the mask carrier;
A carrier transport system using an avoidance module including a transport carrier transport step of transporting a transport carrier in which a glass carrier and a mask carrier are bonded together.
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