KR20230068479A - In-line deposition system having mask chucking mechanism with a lifting module - Google Patents

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KR20230068479A
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강재규
장승훈
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주식회사 선익시스템
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Abstract

본 발명은, 인라인으로 배치된 얼라인 챔버와 공정 챔버에 설치되는 이송 레일과; 상기 이송 레일을 따라 기판을 지지한 상태로 이송시키며, 마스크의 부착을 위한 자력을 발생시키는 제1 자력 발생부를 구비한 캐리어 모듈과; 상기 얼라인 챔버의 내부에 설치되며, 상기 기판과 상기 마스크의 얼라인시 상기 마스크를 지지하기 위한 마스크 지지부와; 상기 마스크 지지부의 하부에 배치되며, 상기 제1 자력 발생부에서 발생한 자력이 상기 마스크에 가하는 외력을 상쇄시키기 위한 자력을 발생시키는 제2 자력 발생부; 및 상기 기판과 상기 마스크의 얼라인이 완료된 후, 상기 마스크가 상기 기판에 합착되도록 상기 제2 자력 발생부를 승강시키는 승강 모듈;을 포함하는, 인라인 증착 시스템에 관한 것이다.The present invention, the transfer rail installed in the align chamber and the process chamber arranged in-line; a carrier module having a first magnetic force generating unit for transporting the substrate along the transport rail in a supported state and generating magnetic force for attaching the mask; a mask support part installed inside the align chamber and supporting the mask when the substrate and the mask are aligned; a second magnetic force generating unit disposed below the mask supporter and generating magnetic force for canceling an external force applied to the mask by the magnetic force generated by the first magnetic force generating unit; and an elevating module configured to elevate the second magnetic force generator so that the mask is bonded to the substrate after the substrate and the mask are completely aligned.

Description

승강 모듈이 적용된 마스크 합착 메커니즘을 구비하는 인라인 증착 시스템 {In-line deposition system having mask chucking mechanism with a lifting module}In-line deposition system having mask chucking mechanism with a lifting module}

본 발명은 기판과 마스크를 얼라인하기 위한 얼라인 챔버와 증착 공정을 수행하기 위한 하나 이상의 공정 잼버가 인라인으로 배열된 형태로서, 기판이 로딩된 캐리어가 각 챔버 간을 이동하여 각 공정을 수행하는 인라인 증착 시스템에 관한 것이다.The present invention is a form in which an align chamber for aligning a substrate and a mask and one or more process jambers for performing a deposition process are arranged in-line, in which a carrier loaded with a substrate moves between each chamber to perform each process It relates to an in-line deposition system.

유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광 현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.Organic Light Emitting Diodes (OLEDs) are self-emitting devices that emit light by themselves using the electroluminescence phenomenon that emits light when current flows through fluorescent organic compounds. A lightweight and thin flat panel display device can be manufactured.

유기 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공 증착법 등에 의해 기판 상에 형성될 수 있다.In the organic light emitting device, the hole injection layer, the hole transport layer, the light emitting layer, the electron transport layer, and the electron injection layer, which are the remaining constituent layers except for the anode and the cathode electrode, are made of organic thin films, and these organic thin films are formed on a substrate by a vacuum deposition method or the like. It can be.

진공 증착법은 진공 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 마스크를 기판에 정렬시킨 후, 증착 재료가 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 증발되는 증착 재료를 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.The vacuum deposition method is performed by disposing a substrate in a vacuum chamber, aligning a mask having a predetermined pattern on the substrate, and then applying heat to an evaporation source containing the evaporation material to deposit the evaporation material evaporated from the evaporation source on the substrate.

유기 발광 소자의 양산성 향상을 위하여 기판의 로딩 챔버, 기판 마스크의 얼라인을 위한 얼라인 챔버, 유기물 증착 또는 전극 형성 등을 위한 공정 챔버들을 일렬로 배치한 인라인 증착 시스템이 적용되고 있다. 이에 따르면, 기판이 로딩된 캐리어(또는 셔틀)을 각 챔버 간을 이동시켜 각 챔버에서의 공정을 수행한다. In order to improve the mass productivity of organic light emitting diodes, an inline deposition system in which a loading chamber for a substrate, an alignment chamber for aligning a substrate mask, and process chambers for depositing organic materials or forming electrodes are arranged in a row is being applied. According to this, a process in each chamber is performed by moving a carrier (or shuttle) loaded with a substrate between each chamber.

최근 기판의 대면적화 경향에 따라, 기판의 처짐 방지를 위하여 캐리어에 정전척과 같은 기판 고정 수단이 적용되고 있다. 기판의 대면적화에 따라 마스크도 대면적화되면서, 금속 재질의 마스크를 기판에 부착시키기 위한 자력을 발생시키는 마그넷 플레이트가 캐리어에 설치된다. 정전척에 로딩된 캐리어가 얼라인 챔버에 진입하여 기판과 마스크의 얼라인을 수행한 후, 캐리어에 설치된 마그넷 플레이트를 하강 이동시켜 마그넷 플레이트의 자력에 의해 마스크가 기판에 합착되도록 한다. [0003] With the recent trend of increasing substrate area, a substrate fixing means such as an electrostatic chuck is applied to a carrier in order to prevent the substrate from sagging. As the mask also increases in size as the substrate increases in area, a magnet plate generating magnetic force for attaching the mask made of metal to the substrate is installed on the carrier. After the carrier loaded on the electrostatic chuck enters the align chamber to align the substrate and the mask, a magnet plate installed on the carrier is moved downward so that the mask is attached to the substrate by the magnetic force of the magnet plate.

그런데, 상기와 같은 기판과 마스크의 얼라인 및 합착 과정에서, 마그넷 플레이트의 이동은 캐리어에 충격 및 진동을 발생시키며, 기판과 마스크의 합착 과정에서 이와 같은 충격 및 진동에 의해 기판과 마스크 사이에 정렬 오차가 발생하는 문제가 있다. However, in the process of aligning and attaching the substrate and mask as described above, the movement of the magnet plate causes shock and vibration to the carrier, and during the process of attaching the substrate and mask, the substrate and mask are aligned by such shock and vibration. There is a problem with errors.

공개특허공보 제10-2014-0015751호 (2014.02.07)Patent Publication No. 10-2014-0015751 (2014.02.07)

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 인라인 증착 시스템에서 기판과 마스크의 합착 과정에서 기판과 마스크 사이에 정렬 오차를 발생하는 것을 최소화하는 것을 기술적 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and has as a technical task to minimize an alignment error between a substrate and a mask in a bonding process between a substrate and a mask in an inline deposition system.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the above-mentioned technical problems, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below. You will be able to.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 인라인으로 배치된 얼라인 챔버와 공정 챔버에 설치되는 이송 레일과; 상기 이송 레일을 따라 기판을 지지한 상태로 이송시키며, 마스크의 부착을 위한 자력을 발생시키는 제1 자력 발생부를 구비한 캐리어 모듈과; 상기 얼라인 챔버의 내부에 설치되며, 상기 기판과 상기 마스크의 얼라인시 상기 마스크를 지지하기 위한 마스크 지지부와; 상기 마스크 지지부의 하부에 배치되며, 상기 제1 자력 발생부에서 발생한 자력이 상기 마스크에 가하는 외력을 상쇄시키기 위한 자력을 발생시키는 제2 자력 발생부; 및 상기 기판과 상기 마스크의 얼라인이 완료된 후, 상기 마스크가 상기 기판에 합착되도록 상기 제2 자력 발생부를 승강시키는 승강 모듈;을 포함하는, 인라인 증착 시스템이 개시된다.According to one embodiment of the present invention, a transfer rail installed in an align chamber and a process chamber disposed in-line; a carrier module having a first magnetic force generating unit for transporting the substrate along the transport rail in a supported state and generating magnetic force for attaching the mask; a mask support part installed inside the align chamber and supporting the mask when the substrate and the mask are aligned; a second magnetic force generating unit disposed below the mask supporter and generating magnetic force for canceling an external force applied to the mask by the magnetic force generated by the first magnetic force generating unit; and an elevating module configured to elevate the second magnetic force generator so that the mask is bonded to the substrate after the substrate and the mask are completely aligned.

또한, 상기 승강 모듈은, 상기 제2 자력 발생부를 지지하는 마그넷 지지부; 및 상기 마그넷 지지부를 상하 방향으로 구동시키는 구동부;를 포함할 수 있다.In addition, the elevating module may include a magnet support unit supporting the second magnetic force generating unit; and a driving unit for driving the magnet support in a vertical direction.

또한, 상기 인라인 증착 시스템은, 상기 기판과 상기 마스크의 얼라인시 상기 제2 자력 발생부가 상부 위치에 위치하고, 상기 기판과 상기 마스크의 얼라인 완료시 상기 제2 자력 발생부가 하부 위치에 위치하도록 상기 승강 유닛을 동작시키는 제어부;를 더 포함할 수 있다. In addition, the in-line deposition system may be such that the second magnetic force generating unit is located at an upper position when the substrate and the mask are aligned, and the second magnetic force generating unit is located at a lower position when the substrate and the mask are aligned. A control unit for operating the lifting unit may be further included.

또한, 상기 제1 및 제2 자력 발생부는 영구 자석으로 형성된 마그넷 플레이트의 형태를 가질 수 있다.In addition, the first and second magnetic force generators may have the shape of a magnet plate formed of a permanent magnet.

또한, 상기 캐리어 모듈은, 상기 제1 자력 발생부를 수용하는 캐리어 본체; 및 상기 캐리어 본체의 하부에 설치되며, 기판을 흡착하여 고정하는 고정척;을 포함할 수 있다.In addition, the carrier module may include a carrier body accommodating the first magnetic force generator; and a fixing chuck that is installed below the carrier body and adsorbs and fixes the substrate.

또한, 상기 캐리어 본체에는, 상기 고정척에 전원을 공급하기 위한 배터리가 추가로 설치될 수 있다. In addition, a battery for supplying power to the fixed chuck may be additionally installed in the carrier body.

또한, 상기 이송 레일은, 상기 캐리어 모듈을 자기 부상 방식으로 이송시키는 자기 부상 레일일 수 있다.In addition, the transfer rail may be a magnetic levitation rail that transfers the carrier module in a magnetic levitation method.

또한, 상기 캐리어 모듈은, 상기 자기 부상 레일로부터의 높이를 센싱하는 높이 센서; 및 전방 또는 하방에 위치한 캐리어 모듈과의 거리를 센싱하기 위한 거리 센서;를 더 포함할 수 있다. In addition, the carrier module may include a height sensor for sensing a height from the magnetic levitation rail; and a distance sensor for sensing a distance with the carrier module located in front or below.

본 발명의 실시예에 따르면, 기존 기술과 같이 캐리어에 설치된 자력 발생부를 이동시키지 않고, 마스크 지지부 측에 배치된 별도의 자력 발생부를 승강시키는 구조를 통해 기판과 마스크를 합착시킴으로써, 기판 합착 과정에서 기판과 마스크 사이에 정렬 오차가 발생하는 것을 최소화할 수 있는 효과가 있다. According to an embodiment of the present invention, the substrate and the mask are bonded together through a structure of elevating a separate magnetic force generator disposed on the mask support side without moving the magnetic force generator installed on the carrier as in the conventional technology, thereby bonding the substrate to the substrate in the substrate bonding process. There is an effect of minimizing an alignment error between the mask and the mask.

또한, 기존과 같이 캐리어에 마그넷 플레이트의 승강을 위한 공간을 마련하지 않아도 되므로, 캐리어의 사이즈를 줄이거나 사이즈를 유지하면서 배터리 등의 부품을 장착할 수 있는 공간을 확장할 수 있는 이점이 있다.In addition, since it is not necessary to provide a space for lifting the magnet plate on the carrier as in the prior art, there is an advantage in that the size of the carrier can be reduced or the space for mounting parts such as batteries can be expanded while maintaining the size.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 도 1의 인라인 증착 시스템에 설치된 캐리어 모듈의 사시도.
도 3은 도 2의 캐리어 모듈이 인라인 챔버에 위치한 상태에서 기판과 마스크를 얼라인시키는 과정을 보인 도면.
도 4는 도 3의 얼라인 공정 완료 후 기판과 마스크를 합착시키는 과정을 보인 도면.1 is a diagram schematically showing the configuration of an inline deposition system according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a carrier module installed in the inline deposition system of FIG. 1;
3 is a view showing a process of aligning a substrate and a mask in a state in which the carrier module of FIG. 2 is located in an inline chamber;
4 is a view showing a process of bonding a substrate and a mask after completion of the alignment process of FIG. 3;

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Since the present invention can apply various transformations and have various embodiments, specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. However, it should be understood that this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and includes all transformations, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of related known technologies may obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof is not precluded.

이하, 본 발명에 의한 인라인 증착 시스템의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, an embodiment of an inline deposition system according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are given the same reference numbers and overlapping Description is omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다1 is a diagram schematically showing the configuration of an inline deposition system according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 인라인 증착 시스템은, 일렬로 배치된 얼라인 챔버(30) 및 공정 챔버(40)를 포함한다.Referring to FIG. 1 , the inline deposition system according to the present embodiment includes an align chamber 30 and a process chamber 40 arranged in a row.

얼라인 챔버(30)의 전단에는 기판(1)이 투입되는 로드락 챔버(10, Load lock chamber)와, 기판(1, 도 3 참조)을 이송시키기 위한 이송 챔버(20, Transfer chamber)가 일렬로 배치될 수 있다. 기판(1)이 로드락 챔버(10)로 투입되면, 이송 챔버(20)에 설치된 이송 로봇(21)이 로드락 챔버(10)의 기판(1)을 얼라인 챔버(30)로 이송시킨다.At the front end of the align chamber 30, a load lock chamber 10 into which the substrate 1 is put and a transfer chamber 20 for transferring the substrate 1 (see FIG. 3) are arranged in a row. can be placed as When the substrate 1 is put into the load-lock chamber 10 , the transfer robot 21 installed in the transfer chamber 20 transfers the substrate 1 of the load-lock chamber 10 to the align chamber 30 .

얼라인 챔버(30)에는 기판(1)과 마스크(2) 사이의 얼라인을 위한 얼라인 모듈이 설치되고, 공정 챔버(40)에는 유기물의 증착을 위한 증발원이 설치된다. 본 실시예의 경우, 하나의 공정 챔버(40)가 구비된 경우를 예시하고 있으나, 서로 다른 유기물을 순차적으로 증착시키기 위한 복수의 공정 챔버가 일렬로 배치된 구성도 가능하다.An align module for aligning the substrate 1 and the mask 2 is installed in the align chamber 30 , and an evaporation source for depositing organic materials is installed in the process chamber 40 . In this embodiment, a case in which one process chamber 40 is provided is exemplified, but a configuration in which a plurality of process chambers for sequentially depositing different organic materials is arranged in a row is also possible.

얼라인 챔버(30)와 공정 챔버(40)에는 이송 레일(50)이 설치될 수 있고, 기판(1)의 이송을 위한 캐리어 모듈(100)이 이송 레일(50)을 따라 이동 가능하게 설치된다.A transfer rail 50 may be installed in the align chamber 30 and the process chamber 40, and the carrier module 100 for transferring the substrate 1 is installed to be movable along the transfer rail 50. .

도 2는 도 1의 인라인 증착 시스템에 설치된 캐리어 모듈의 사시도이다. FIG. 2 is a perspective view of a carrier module installed in the inline deposition system of FIG. 1 .

도 2를 참조하면, 캐리어 모듈(100)은 캐리어 본체(110), 고정척(120) 및 제1 자력 발생부(130)를 포함한다.Referring to FIG. 2 , the carrier module 100 includes a carrier body 110 , a fixed chuck 120 and a first magnetic force generator 130 .

캐리어 본체(110)는 고정척(120) 및 제1 자력 발생부(130)가 장착되는 공간을 제공하며, 이송 레일(50) 상을 이동하기 위한 이동 수단을 구비할 수 있다. 이송 레일(50)은 캐리어 모듈(100)을 자기 부상 방식으로 이송시키는 자기 부상 레일의 형태를 가질 수 있다. 이러한 경우 자기 부상 레일(50)에는 복수개의 전자석이 레일을 따라 배치될 있고, 캐리어 본체(110)의 양 측면에는 자기 부상을 위한 마그넷(153, 영구자석 또는 전자석)이 설치될 수 있다.The carrier body 110 provides a space in which the fixed chuck 120 and the first magnetic force generator 130 are mounted, and may include a moving means for moving on the transfer rail 50 . The transfer rail 50 may have a form of a magnetic levitation rail that transfers the carrier module 100 in a magnetic levitation method. In this case, a plurality of electromagnets may be disposed along the magnetic levitation rail 50, and magnets 153 (permanent magnets or electromagnets) for magnetic levitation may be installed on both sides of the carrier body 110.

고정척(120)은 캐리어 본체(110)의 하부에 설치되며, 기판(1)을 흡착하여 고정시키는 기능을 한다. 고정척(120)으로서 정전기력을 이용하여 기판(1)을 고정시키는 정전척(Electrostatic Chuck)이 사용될 수 있고, 그 밖에 다른 방식의 고정척 또한 사용 가능하다. The fixing chuck 120 is installed below the carrier body 110 and serves to adsorb and fix the substrate 1 . As the fixed chuck 120, an electrostatic chuck that fixes the substrate 1 using electrostatic force may be used, and other types of fixed chucks may also be used.

제1 자력 발생부(130)는 금속 재질의 마스크(2, 도 3 및 4 참조)를 기판(1)에 부착시키기 위한 자력을 발생시킨다. 제1 자력 발생부(130)는 영구 자석으로 구성된 마그넷 플레이트의 형태를 가질 수 있다. 마그넷 플레이트는 플레이트 형태의 요크 상에 복수개의 영구자석이 부착된 형태를 가질 수 있다. The first magnetic force generator 130 generates magnetic force for attaching the metal mask (2, see FIGS. 3 and 4 ) to the substrate 1 . The first magnetic force generator 130 may have a shape of a magnet plate made of permanent magnets. The magnet plate may have a form in which a plurality of permanent magnets are attached to a plate-shaped yoke.

제1 자력 발생부(130)의 상부에는 고정척(120, 정전척)에 전원을 인가하기 위한 배터리(140)가 설치될 수 있다. A battery 140 may be installed above the first magnetic force generator 130 to apply power to the stationary chuck 120 (electrostatic chuck).

캐리어 본체(110)의 양 측면에는 자기 부상 레일(50)로부터의 높이를 센싱하는 높이 센서(151)와, 전방 또는 하방에 위치한 다른 캐리어 모듈과의 거리를 센싱하기 위한 거리 센서(152)가 설치될 수 있다. 본 실시예에 따르면, 캐리어 본체(110)의 양 측면에 위치한 마그넷(153)의 전방과 후방에 센서 브라켓(150)이 각각 설치되고, 센서 브라켓(150)의 저면에 높이 센서(151)가, 센서 브라켓(150)의 전면 또는 후면에 거리 센서(152)가 설치되어 있다. On both sides of the carrier body 110, a height sensor 151 for sensing the height from the magnetic levitation rail 50 and a distance sensor 152 for sensing the distance to another carrier module located in front or below are installed. It can be. According to the present embodiment, sensor brackets 150 are installed on the front and rear sides of the magnet 153 located on both sides of the carrier body 110, respectively, and the height sensor 151 is installed on the bottom surface of the sensor bracket 150, A distance sensor 152 is installed on the front or rear of the sensor bracket 150.

도 3 및 4는 도 2에 도시된 캐리어 모듈이 인라인 챔버 내에 배치된 상태의 구성을 나타낸 도면으로서, 도 3은 기판과 마스크를 얼라인시키는 과정을 보이고 있고, 도 4는 얼라인 공정 완료 후 기판과 마스크를 합착시키는 과정을 보이고 있다.3 and 4 are views showing the configuration of a state in which the carrier module shown in FIG. 2 is disposed in an inline chamber, FIG. 3 shows a process of aligning a substrate and a mask, and FIG. 4 shows a substrate after the alignment process is completed. It shows the process of attaching the mask.

도 3 및 4를 참조하면, 얼라인 챔버(30)의 내부에는 마스크를 지지하는 마스크 지지부(170)가 구비된다. 마스크 지지부(170)는 마스크(2)의 위치를 동일한 높이로 유지시킨다.Referring to FIGS. 3 and 4 , a mask support 170 for supporting a mask is provided inside the align chamber 30 . The mask support 170 maintains the position of the mask 2 at the same height.

마스크 지지부(170)의 하부에는 제2 자력 발생부(180)와, 제2 자력 발생부(180)를 승강시키기 위한 승강 모듈(190)이 배치된다.A second magnetic force generating unit 180 and a lift module 190 for lifting the second magnetic force generating unit 180 are disposed below the mask support unit 170 .

제2 자력 발생부(180)는 제1 자력 발생부(130)에서 발생한 자력이 마스크(2)에 가하는 외력을 상쇄시키기 위한 자력을 발생시킨다. 제2 자력 발생부(180)는 제1 자력 발생부(130)와 마찬가지로 영구자석으로 구성된 마그넷 플레이트의 형태를 가질 수 있다. 제1 자력 발생부(130)의 자력에 의해 마스크(2)에 당기는 힘(인력)이 인가되는 경우, 제2 자력 발생부(180) 또한 마스크(2)에 그 반대 방향으로 당기는 힘(인력)이 인가되도록 자력을 발생시킨다. The second magnetic force generator 180 generates magnetic force to cancel an external force applied to the mask 2 by the magnetic force generated by the first magnetic force generator 130 . Like the first magnetic force generator 130, the second magnetic force generator 180 may have a magnet plate shape made of permanent magnets. When a pulling force (attractive force) is applied to the mask 2 by the magnetic force of the first magnetic force generating unit 130, the second magnetic force generating unit 180 also pulls the mask 2 in the opposite direction (attractive force) generates a magnetic force so that it is applied.

승강 모듈(190)은 제2 자력 발생부(180)를 지지 및 승강시키는 기능을 하며, 제어부(200)의 제어에 의해 제2 자력 발생부(180)를 상부 위치(도 3 참조) 또는 하부 위치(도 4 참조)로 선택적으로 이동시킨다. 승강 모듈(190)은 제2 자력 발생부(180)를 지지하는 마그넷 지지부(191)와, 마그넷 지지부(191)를 상하 방향으로 구동시키는 구동부(192)를 포함할 수 있다.The lifting module 190 functions to support and lift the second magnetic force generating unit 180, and moves the second magnetic force generating unit 180 to an upper position (see FIG. 3) or a lower position under the control of the control unit 200. (See Fig. 4). The elevation module 190 may include a magnet support unit 191 supporting the second magnetic force generating unit 180 and a driving unit 192 driving the magnet support unit 191 in the vertical direction.

제어부(200)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 기판(1)과 마스크(2)의 얼라인시 제2 자력 발생부(180)가 기설정된 상부 위치(제1 위치)에 위치하도록 승강 모듈(190)을 동작시킨다. 그리고, 제어부(200)는, 도 4에 도시 바와 같이, 기판(1)과 마스크(2)의 얼라인이 완료된 후 제2 자력 발생부(180)가 기설정된 하부 위치(제2 위치)에 위치하도록 승강 유닛(190)을 동작시킨다. As shown in FIG. 3 , the control unit 200 controls the lifting module so that the second magnetic force generating unit 180 is positioned at a predetermined upper position (first position) when the substrate 1 and the mask 2 are aligned. (190) is operated. And, as shown in FIG. 4, the control unit 200, after the substrate 1 and the mask 2 are completely aligned, the second magnetic force generating unit 180 is positioned at a predetermined lower position (second position). The lifting unit 190 is operated to do so.

이하에서는 도 3 및 4를 참조하여 기판(1) 및 마스크(2)의 얼라인 공정 및 합착 공정에 대하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, an alignment process and bonding process of the substrate 1 and the mask 2 will be described in detail with reference to FIGS. 3 and 4 .

도 3과 같이 캐리어 모듈(100)이 얼라인 챔버(1)로 진입하면, 캐리어 본체(110)에 형성된 클램프(160)에 얼라인 모듈의 축이 연결되어 캐리어 모듈(100)이 얼라인 모듈의 동작에 의해 위치 제어가 가능한 상태가 된다.As shown in FIG. 3 , when the carrier module 100 enters the align chamber 1, the axis of the align module is connected to the clamp 160 formed on the carrier body 110 so that the carrier module 100 is aligned with the alignment module. Position control is possible by operation.

얼라인 모듈의 동작에 의해 캐리어 모듈(100)이 상하 방향, 좌우 방향 등으로 이동하게 되어 마스크 지지부(170)에 지지된 마스크(2)와의 얼라인이 이루어지게 된다. 이와 같은 얼라인 과정에서, 승강 모듈(190)은 제2 자력 발생부(180)를 상부 위치에 위치시켜 마스크(2)가 제1 자력 발생부(130)에서 발생한 자력에 영향을 받아 기판(1)에 임의로 접촉하거나 부착되는 현상을 방지한다. 다시 말해, 얼라인 공정을 수행 중에는 제2 자력 발생부(180)에서 발생한 자력을 이용하여 마스크(2)가 제1 자력 발생부(130)에 의한 영향을 받는 것을 차단한다. By the operation of the alignment module, the carrier module 100 is moved in vertical and horizontal directions, so that it is aligned with the mask 2 supported by the mask support 170 . During this aligning process, the lifting module 190 places the second magnetic force generator 180 in an upper position so that the mask 2 is affected by the magnetic force generated by the first magnetic force generator 130, and the substrate 1 ) to prevent random contact or attachment to In other words, during the alignment process, the mask 2 is blocked from being affected by the first magnetic force generator 130 by using the magnetic force generated by the second magnetic force generator 180 .

얼라인 공정이 완료되면, 도 4와 같이, 캐리어 모듈(100)은 얼라인 모듈의 동작에 의해 마스크(2) 쪽으로 하강하여 기판(1)과 마스크(2) 사이가 접촉되게 된다. 그리고, 제어부(200)는 승강 모듈(190)의 동작을 제어하여 제2 자력 발생부(180)가 하부 위치에 위치하도록 이동시킨다. 제2 자력 발생부(180)가 하부 위치로 하강함에 따라 마스크(2)는 제2 자력 발생부(180)의 자력 영향권을 벗어나게 되므로, 제1 자력 발생부(130)에서 발생하는 인력에 의해 마스크(2)가 기판(1) 쪽으로 합착되게 된다. When the alignment process is completed, as shown in FIG. 4 , the carrier module 100 is lowered toward the mask 2 by the operation of the alignment module, so that the substrate 1 and the mask 2 come into contact. Also, the control unit 200 controls the operation of the lifting module 190 to move the second magnetic force generator 180 to a lower position. As the second magnetic force generator 180 descends to the lower position, the mask 2 moves out of the sphere of influence of the magnetic force of the second magnetic force generator 180. (2) is bonded toward the substrate (1).

이와 같은 과정에 의해 기판(1) 및 마스크(2)의 얼라인 및 합착 공정이 완료되며, 얼라인 모듈과 캐리어 모듈(100)의 축 연결을 해제시킨다. 그리고 자기 부상 레일(50)을 통해 캐리어 모듈(100)을 공정 챔버(40) 내로 이동시켜 증착 공정이 이루어질 수 있게 한다. Through this process, the alignment and bonding process of the substrate 1 and the mask 2 is completed, and the axial connection between the alignment module and the carrier module 100 is released. Then, the carrier module 100 is moved into the process chamber 40 through the magnetic levitation rail 50 so that the deposition process can be performed.

상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to specific embodiments of the present invention, those skilled in the art can make various modifications to the present invention within the scope not departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. It will be understood that it can be modified and changed accordingly.

10: 로드락 챔버 20: 이송 챔버
30: 얼라인 챔버 40: 공정 챔버
50: 이송 레일 100: 캐리어 모듈
110: 캐리어 본체 120: 고정척
130: 제1 자력 발생부 140: 배터리
150: 센서 브라켓 151: 높이 센서
152: 거리 센서 153: 먀그넷
160: 클램프 170: 마스크 지지부
180: 제2 자력 발생부 190: 승강 모듈
200: 제어부10: load lock chamber 20: transfer chamber
30: align chamber 40: process chamber
50: transport rail 100: carrier module
110: carrier body 120: fixed chuck
130: first magnetic force generator 140: battery
150: sensor bracket 151: height sensor
152: Distance sensor 153: Myagnet
160: clamp 170: mask support
180: second magnetic force generator 190: lifting module
200: control unit

Claims (8)

인라인으로 배치된 얼라인 챔버와 공정 챔버에 설치되는 이송 레일;
상기 이송 레일을 따라 기판을 지지한 상태로 이송시키며, 마스크의 부착을 위한 자력을 발생시키는 제1 자력 발생부를 구비한 캐리어 모듈;
상기 얼라인 챔버의 내부에 설치되며, 상기 기판과 상기 마스크의 얼라인시 상기 마스크를 지지하기 위한 마스크 지지부;
상기 마스크 지지부의 하부에 배치되며, 상기 제1 자력 발생부에서 발생한 자력이 상기 마스크에 가하는 외력을 상쇄시키기 위한 자력을 발생시키는 제2 자력 발생부; 및
상기 기판과 상기 마스크의 얼라인이 완료된 후, 상기 마스크가 상기 기판에 합착되도록 상기 제2 자력 발생부를 승강시키는 승강 모듈;을 포함하는, 인라인 증착 시스템.
Transfer rails installed in the align chamber and the process chamber arranged in-line;
a carrier module having a first magnetic force generating unit for transferring a substrate along the transport rail in a supported state and generating magnetic force for attaching a mask;
a mask support part installed inside the align chamber and supporting the mask when the substrate and the mask are aligned;
a second magnetic force generating unit disposed below the mask supporter and generating magnetic force for canceling an external force applied to the mask by the magnetic force generated by the first magnetic force generating unit; and
and an elevating module configured to elevate the second magnetic force generator so that the mask is bonded to the substrate after the substrate and the mask are completely aligned.
 제1항에 있어서, 상기 승강 모듈은,
상기 제2 자력 발생부를 지지하는 마그넷 지지부; 및
상기 마그넷 지지부를 상하 방향으로 구동시키는 구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
The method of claim 1, wherein the lifting module,
a magnet support unit supporting the second magnetic force generating unit; and
Characterized in that, the inline deposition system comprising a; driving unit for driving the magnet support in the vertical direction.
 제1항에 있어서,
상기 기판과 상기 마스크의 얼라인시 상기 제2 자력 발생부가 상부 위치에 위치하고, 상기 기판과 상기 마스크의 얼라인 완료시 상기 제2 자력 발생부가 하부 위치에 위치하도록 상기 승강 모듈을 동작시키는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
According to claim 1,
a control unit for operating the lift module so that the second magnetic force generator is positioned at an upper position when the substrate and the mask are aligned, and the second magnetic force generator is positioned at a lower position when the substrate and the mask are aligned; An in-line deposition system, characterized in that it further comprises.
 제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2 자력 발생부는 영구 자석으로 형성된 마그넷 플레이트의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
According to claim 1,
The in-line deposition system, characterized in that the first and second magnetic force generators have a shape of a magnet plate formed of permanent magnets.
 제1항에 있어서, 상기 캐리어 모듈은,
상기 제1 자력 발생부를 수용하는 캐리어 본체; 및
상기 캐리어 본체의 하부에 설치되며, 기판을 흡착하여 고정하는 고정척;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
The method of claim 1, wherein the carrier module,
a carrier body accommodating the first magnetic force generator; and
A fixed chuck installed under the carrier body and adsorbing and fixing the substrate; characterized in that it comprises a, in-line deposition system.
 제5항에 있어서,
상기 캐리어 본체에 설치되며, 상기 고정척에 전원을 공급하기 위한 배터리를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
According to claim 5,
The in-line deposition system further comprises a battery installed on the carrier body and supplying power to the fixed chuck.
 제1항에 있어서, 상기 이송 레일은,
상기 캐리어 모듈을 자기 부상 방식으로 이송시키는 자기 부상 레일인 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
The method of claim 1, wherein the transfer rail,
Characterized in that the magnetic levitation rail for transporting the carrier module in a magnetic levitation method, the in-line deposition system.
 제6항에 있어서, 상기 캐리어 모듈은,
상기 자기 부상 레일로부터의 높이를 센싱하는 높이 센서; 및
전방 또는 하방에 위치한 캐리어 모듈과의 거리를 센싱하기 위한 거리 센서;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
The method of claim 6, wherein the carrier module,
a height sensor for sensing a height from the magnetic levitation rail; and
Characterized in that it further comprises, an in-line deposition system; a distance sensor for sensing a distance with a carrier module located in front or below.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20140015751A (en) 2012-07-24 2014-02-07 주식회사 선익시스템 Substrate transfer device equipped with electronically controlled roller

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