KR20230068065A - In-line deposition system having mask chucking mechanism with a magnetic shield - Google Patents

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KR20230068065A
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강재규
장승훈
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Abstract

본 발명은, 인라인으로 배치된 얼라인 챔버와 공정 챔버에 설치되는 이송 레일과; 상기 이송 레일을 따라 기판을 지지한 상태로 이송시키며, 마스크의 부착을 위한 자력을 발생시키는 자력 발생부를 구비한 캐리어 모듈과; 상기 얼라인 챔버의 내부에 설치되며, 상기 기판과 상기 마스크의 얼라인시 상기 마스크를 지지하기 위한 마스크 지지부; 상기 캐리어 모듈 내에 이동 가능하게 배치되며, 상기 마스크 지지부에 위치한 상기 마스크를 상기 자력 발생부에서 발생한 자력으로부터 차폐하기 위한 차폐 부재; 및 상기 차폐 부재가 상기 자력 발생부의 자력을 선택적으로 차폐하도록 상기 차폐 부재를 구동시키는 구동 유닛;을 포함하는, 인라인 증착 시스템에 관한 것이다.The present invention, the transfer rail installed in the align chamber and the process chamber arranged in-line; a carrier module having a magnetic force generating unit for transporting the substrate in a supported state along the transport rail and generating magnetic force for attaching the mask; a mask support part installed inside the align chamber and supporting the mask when the substrate and the mask are aligned; a shielding member disposed movably within the carrier module and shielding the mask located in the mask support part from magnetic force generated by the magnetic force generating part; and a driving unit configured to drive the shielding member so that the shielding member selectively shields the magnetic force of the magnetic force generator.

Description

자력 차폐 부재가 적용된 마스크 합착 메커니즘을 구비하는 인라인 증착 시스템 {In-line deposition system having mask chucking mechanism with a magnetic shield}In-line deposition system having mask chucking mechanism with a magnetic shield}

본 발명은 기판과 마스크를 얼라인하기 위한 얼라인 챔버와 증착 공정을 수행하기 위한 하나 이상의 공정 잼버가 인라인으로 배열된 형태로서, 기판이 로딩된 캐리어가 각 챔버 간을 이동하여 각 공정을 수행하는 인라인 증착 시스템에 관한 것이다.The present invention is a form in which an align chamber for aligning a substrate and a mask and one or more process jambers for performing a deposition process are arranged in-line, in which a carrier loaded with a substrate moves between each chamber to perform each process It relates to an in-line deposition system.

유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광 현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.Organic Light Emitting Diodes (OLEDs) are self-emitting devices that emit light by themselves using the electroluminescence phenomenon that emits light when current flows through fluorescent organic compounds. A lightweight and thin flat panel display device can be manufactured.

유기 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공 증착법 등에 의해 기판 상에 형성될 수 있다.In the organic light emitting device, the hole injection layer, the hole transport layer, the light emitting layer, the electron transport layer, and the electron injection layer, which are the remaining constituent layers except for the anode and the cathode electrode, are made of organic thin films, and these organic thin films are formed on a substrate by a vacuum deposition method or the like. It can be.

진공 증착법은 진공 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 마스크를 기판에 정렬시킨 후, 증착 재료가 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 증발되는 증착 재료를 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.The vacuum deposition method is performed by disposing a substrate in a vacuum chamber, aligning a mask having a predetermined pattern on the substrate, and then applying heat to an evaporation source containing the evaporation material to deposit the evaporation material evaporated from the evaporation source on the substrate.

유기 발광 소자의 양산성 향상을 위하여 기판의 로딩 챔버, 기판 마스크의 얼라인을 위한 얼라인 챔버, 유기물 증착 또는 전극 형성 등을 위한 공정 챔버들을 일렬로 배치한 인라인 증착 시스템이 적용되고 있다. 이에 따르면, 기판이 로딩된 캐리어(또는 셔틀)을 각 챔버 간을 이동시켜 각 챔버에서의 공정을 수행한다. In order to improve the mass productivity of organic light emitting diodes, an inline deposition system in which a loading chamber for a substrate, an alignment chamber for aligning a substrate mask, and process chambers for depositing organic materials or forming electrodes are arranged in a row is being applied. According to this, a process in each chamber is performed by moving a carrier (or shuttle) loaded with a substrate between each chamber.

최근 기판의 대면적화 경향에 따라, 기판의 처짐 방지를 위하여 캐리어에 정전척과 같은 기판 고정 수단이 적용되고 있다. 기판의 대면적화에 따라 마스크도 대면적화되면서, 금속 재질의 마스크를 기판에 부착시키기 위한 자력을 발생시키는 마그넷 플레이트가 캐리어에 설치된다. 정전척에 로딩된 캐리어가 얼라인 챔버에 진입하여 기판과 마스크의 얼라인을 수행한 후, 캐리어에 설치된 마그넷 플레이트를 하강 이동시켜 마그넷 플레이트의 자력에 의해 마스크가 기판에 합착되도록 한다. [0003] With the recent trend of increasing substrate area, a substrate fixing means such as an electrostatic chuck is applied to a carrier in order to prevent the substrate from sagging. As the mask also increases in size as the substrate increases in area, a magnet plate generating magnetic force for attaching the mask made of metal to the substrate is installed on the carrier. After the carrier loaded on the electrostatic chuck enters the align chamber to align the substrate and the mask, a magnet plate installed on the carrier is moved downward so that the mask is attached to the substrate by the magnetic force of the magnet plate.

그런데, 상기와 같은 기판과 마스크의 얼라인 및 합착 과정에서, 마그넷 플레이트의 이동은 캐리어에 충격 및 진동을 발생시키며, 기판과 마스크의 합착 과정에서 이와 같은 충격 및 진동에 의해 기판과 마스크 사이에 정렬 오차가 발생하는 문제가 있다. However, in the process of aligning and attaching the substrate and mask as described above, the movement of the magnet plate causes shock and vibration to the carrier, and during the process of attaching the substrate and mask, the substrate and mask are aligned by such shock and vibration. There is a problem with errors.

공개특허공보 제10-2014-0015751호 (2014.02.07)Patent Publication No. 10-2014-0015751 (2014.02.07)

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 인라인 증착 시스템에서 기판과 마스크의 합착 과정에서 기판과 마스크 사이에 정렬 오차를 발생하는 것을 최소화하는 것을 기술적 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and has as a technical task to minimize an alignment error between a substrate and a mask in a bonding process between a substrate and a mask in an inline deposition system.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the above-mentioned technical problems, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below. You will be able to.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 인라인으로 배치된 얼라인 챔버와 공정 챔버에 설치되는 이송 레일과; 상기 이송 레일을 따라 기판을 지지한 상태로 이송시키며, 마스크의 부착을 위한 자력을 발생시키는 자력 발생부를 구비한 캐리어 모듈과; 상기 얼라인 챔버의 내부에 설치되며, 상기 기판과 상기 마스크의 얼라인시 상기 마스크를 지지하기 위한 마스크 지지부; 상기 캐리어 모듈 내에 이동 가능하게 배치되며, 상기 마스크 지지부에 위치한 상기 마스크를 상기 자력 발생부에서 발생한 자력으로부터 차폐하기 위한 차폐 부재; 및 상기 차폐 부재가 상기 자력 발생부의 자력을 선택적으로 차폐하도록 상기 차폐 부재를 구동시키는 구동 유닛;을 포함하는, 인라인 증착 시스템이 개시된다.According to one embodiment of the present invention, a transfer rail installed in an align chamber and a process chamber disposed in-line; a carrier module having a magnetic force generating unit for transporting the substrate in a supported state along the transport rail and generating magnetic force for attaching the mask; a mask support part installed inside the align chamber and supporting the mask when the substrate and the mask are aligned; a shielding member disposed movably within the carrier module and shielding the mask located in the mask support part from magnetic force generated by the magnetic force generating part; and a driving unit configured to drive the shielding member so that the shielding member selectively shields the magnetic force of the magnetic force generator.

또한, 상기 차폐 부재는, 상기 자력 발생부의 상하 둘레를 감싸는 루프 형태를 갖되, 일부분에 상기 자력 발생부의 하부 영역과 중첩되는 차폐 영역을 구비할 수 있다.In addition, the shielding member may have a loop shape surrounding the upper and lower circumferences of the magnetic force generating unit, and may include a shielding area overlapping a lower region of the magnetic force generating unit at a portion thereof.

또한, 상기 차폐 부재는, 상기 차폐 영역을 형성하기 위한 면적을 갖는 차폐 필름부; 및 차폐 필름부의 양단에 연결되며 상기 차폐 필름부와 함께 상기 자력 발생부를 감싸도록 배치되는 비차폐 필름부;를 포함할 수 있다. In addition, the shielding member may include a shielding film portion having an area for forming the shielding region; and a non-shielding film unit connected to both ends of the shielding film unit and disposed to surround the magnetic force generating unit together with the shielding film unit.

또한, 상기 구동 유닛은, 루프 형태의 상기 차폐 부재 내에 개재되며 상기 차폐 부재를 회전시키기 위한 구동 롤러; 및 상기 구동 롤러를 회전 구동시키는 롤러 구동기;를 포함할 수 있다. In addition, the driving unit may include a driving roller interposed within the loop-shaped shielding member and rotating the shielding member; and a roller driver for rotationally driving the driving roller.

또한, 상기 구동 유닛에는 제어부가 연결될 수 있고, 상기 제어부는 상기 기판과 상기 마스크의 얼라인시 상기 차폐 부재의 차폐 영역이 상기 자력 발생부의 하부 영역과 중첩되도록 하고, 상기 기판과 상기 마스크의 얼라인 완료시 상기 차폐 부재의 차폐 영역이 상기 자력 발생부의 하부 영역으로부터 벗어나도록 상기 구동 유닛을 동작시킬 수 있다. In addition, a control unit may be connected to the driving unit, and the control unit causes a shielding area of the shielding member to overlap a lower area of the magnetic force generating unit when the substrate and the mask are aligned, and the substrate and the mask are aligned. Upon completion, the driving unit may be operated so that the shielding area of the shielding member is out of the lower area of the magnetic force generating unit.

또한, 상기 자력 발생부는 영구 자석을 포함하는 마그넷 플레이트의 형태를 가질 수 있다. In addition, the magnetic force generator may have a shape of a magnet plate including a permanent magnet.

또한, 상기 캐리어 모듈은, 상기 자력 발생부를 수용하는 캐리어 본체; 및 상기 캐리어 본체의 하부에 설치되며, 기판을 흡착하여 고정하는 고정척;을 포함할 수 있다. In addition, the carrier module may include a carrier body accommodating the magnetic force generator; and a fixing chuck that is installed below the carrier body and adsorbs and fixes the substrate.

또한, 상기 캐리어 본체에는 상기 고정척에 전원을 공급하기 위한 배터리가 추가로 설치될 수 있다.In addition, a battery for supplying power to the fixed chuck may be additionally installed in the carrier body.

또한, 상기 이송 레일은, 상기 캐리어 모듈을 자기 부상 방식으로 이송시키는 자기 부상 레일의 형태를 가질 수 있다.In addition, the transfer rail may have a form of a magnetic levitation rail that transfers the carrier module in a magnetic levitation method.

또한, 상기 캐리어 모듈은, 상기 자기 부상 레일로부터의 높이를 센싱하는 높이 센서; 및 전방 또는 하방에 위치한 캐리어 모듈과의 거리를 센싱하기 위한 거리 센서;를 더 포함할 수 있다. In addition, the carrier module may include a height sensor for sensing a height from the magnetic levitation rail; and a distance sensor for sensing a distance with the carrier module located in front or below.

본 발명의 실시예에 따르면, 기존 기술과 같이 캐리어에 설치된 자력 발생부를 이동시키지 않고, 캐리어 모듈 내에 배치된 차폐 부재를 통해 자력 발생부를 선택적으로 차폐함으로써, 기판 합착 과정에서 기판과 마스크 사이에 정렬 오차가 발생하는 것을 최소화할 수 있는 효과가 있다. According to an embodiment of the present invention, instead of moving the magnetic force generator installed on the carrier as in the prior art, the magnetic force generator is selectively shielded through a shielding member disposed in the carrier module, resulting in an alignment error between the substrate and the mask during the substrate bonding process. has the effect of minimizing the occurrence of

또한, 기존과 같이 캐리어에 마그넷 플레이트의 승강을 위한 공간을 마련하지 않아도 되므로, 캐리어의 사이즈를 줄이거나 사이즈를 유지하면서 배터리 등의 부품을 장착할 수 있는 공간을 확장할 수 있는 이점이 있다.In addition, since it is not necessary to provide a space for lifting the magnet plate on the carrier as in the prior art, there is an advantage in that the size of the carrier can be reduced or the space for mounting parts such as batteries can be expanded while maintaining the size.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 도 1의 인라인 증착 시스템에 설치된 캐리어 모듈의 사시도.
도 3은 도 2의 캐리어 모듈이 인라인 챔버에 위치한 상태에서 기판과 마스크를 얼라인시키는 과정을 보인 도면.
도 4는 도 3의 얼라인 공정 완료 후 기판과 마스크를 합착시키는 과정을 보인 도면.1 is a diagram schematically showing the configuration of an inline deposition system according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a carrier module installed in the inline deposition system of FIG. 1;
3 is a view showing a process of aligning a substrate and a mask in a state in which the carrier module of FIG. 2 is located in an inline chamber;
4 is a view showing a process of bonding a substrate and a mask after completion of the alignment process of FIG. 3;

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Since the present invention can apply various transformations and have various embodiments, specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. However, it should be understood that this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and includes all transformations, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of related known technologies may obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof is not precluded.

이하, 본 발명에 의한 인라인 증착 시스템의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, an embodiment of an inline deposition system according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are given the same reference numbers and overlapping Description will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 증착 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a diagram schematically showing the configuration of an inline deposition system according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 인라인 증착 시스템은, 인라인(일렬)으로 배치된 얼라인 챔버(30) 및 공정 챔버(40)를 포함한다.Referring to FIG. 1 , the inline deposition system according to the present embodiment includes an align chamber 30 and a process chamber 40 disposed inline (in line).

얼라인 챔버(30)의 전단에는 기판(1)이 투입되는 로드락 챔버(10, Load lock chamber)와, 기판(1, 도 3 참조)을 이송시키기 위한 이송 챔버(20, Transfer chamber)가 일렬로 배치될 수 있다. 기판(1)이 로드락 챔버(10)로 투입되면, 이송 챔버(20)에 설치된 이송 로봇(21)이 로드락 챔버(10)의 기판(1)을 얼라인 챔버(30)로 이송시킨다.At the front end of the align chamber 30, a load lock chamber 10 into which the substrate 1 is put and a transfer chamber 20 for transferring the substrate 1 (see FIG. 3) are arranged in a row. can be placed as When the substrate 1 is put into the load-lock chamber 10 , the transfer robot 21 installed in the transfer chamber 20 transfers the substrate 1 of the load-lock chamber 10 to the align chamber 30 .

얼라인 챔버(30)에는 기판(1)과 마스크(2) 사이의 얼라인을 위한 얼라인 모듈이 설치되고, 공정 챔버(40)에는 유기물의 증착을 위한 증발원이 설치된다. 본 실시예의 경우, 하나의 공정 챔버(40)가 구비된 경우를 예시하고 있으나, 서로 다른 유기물을 순차적으로 증착시키기 위한 복수의 공정 챔버가 일렬로 배치된 구성도 가능하다.An align module for aligning the substrate 1 and the mask 2 is installed in the align chamber 30 , and an evaporation source for depositing organic materials is installed in the process chamber 40 . In this embodiment, a case in which one process chamber 40 is provided is exemplified, but a configuration in which a plurality of process chambers for sequentially depositing different organic materials is arranged in a row is also possible.

얼라인 챔버(30)와 공정 챔버(40)에는 이송 레일(50)이 설치될 수 있고, 기판(1)의 이송을 위한 캐리어 모듈(100)이 이송 레일(50)을 따라 이동 가능하게 설치된다.A transfer rail 50 may be installed in the align chamber 30 and the process chamber 40, and the carrier module 100 for transferring the substrate 1 is installed to be movable along the transfer rail 50. .

도 2는 도 1의 인라인 증착 시스템에 설치된 캐리어 모듈의 사시도이다. FIG. 2 is a perspective view of a carrier module installed in the inline deposition system of FIG. 1 .

도 2를 참조하면, 캐리어 모듈(100)은 캐리어 본체(110), 고정척(120) 및 자력 발생부(130)를 포함한다.Referring to FIG. 2 , the carrier module 100 includes a carrier body 110 , a fixed chuck 120 and a magnetic force generator 130 .

캐리어 본체(110)는 고정척(120) 및 자력 발생부(130)가 장착되는 공간을 제공하며, 이송 레일(50) 상을 이동하기 위한 이동 수단을 구비할 수 있다. 이송 레일(50)은 캐리어 모듈(100)을 자기 부상 방식으로 이송시키는 자기 부상 레일의 형태를 가질 수 있다. 이러한 경우 이송 레일(50)에는 복수개의 전자석이 레일을 따라 배치될 수 있고, 캐리어 본체(110)의 양 측면에는 자기 부상을 위한 마그넷(153, 영구자석 또는 전자석)이 설치될 수 있다.The carrier body 110 provides a space in which the fixed chuck 120 and the magnetic force generator 130 are mounted, and may include a moving means for moving on the transfer rail 50 . The transfer rail 50 may have a form of a magnetic levitation rail that transfers the carrier module 100 in a magnetic levitation method. In this case, a plurality of electromagnets may be disposed along the transport rail 50, and magnets 153 (permanent magnets or electromagnets) for magnetic levitation may be installed on both sides of the carrier body 110.

고정척(120)은 캐리어 본체(110)의 하부에 설치되며, 기판(1)을 흡착하여 고정시키는 기능을 한다. 고정척(120)으로서 정전기력을 이용하여 기판(1)을 고정시키는 정전척(Electrostatic Chuck)이 사용될 수 있고, 그 밖에 다른 방식의 고정척 또한 사용 가능하다. The fixing chuck 120 is installed below the carrier body 110 and serves to adsorb and fix the substrate 1 . As the fixed chuck 120, an electrostatic chuck that fixes the substrate 1 using electrostatic force may be used, and other types of fixed chucks may also be used.

자력 발생부(130)는 금속 재질의 마스크(2, 도 3 및 4 참조)를 기판(1)에 부착시키기 위한 자력을 발생시킨다. 자력 발생부(130)는 영구 자석을 포함하는 마그넷 플레이트의 형태를 가질 수 있다. 마그넷 플레이트는 플레이트 형태의 요크 상에 복수개의 영구자석이 부착된 형태를 가질 수 있다. The magnetic force generator 130 generates magnetic force to attach the metal mask (2, see FIGS. 3 and 4) to the substrate 1. The magnetic force generator 130 may have a shape of a magnet plate including permanent magnets. The magnet plate may have a form in which a plurality of permanent magnets are attached to a plate-shaped yoke.

자력 발생부(130)의 상부에는 고정척(120, 정전척)에 전원을 인가하기 위한 배터리(140)가 설치될 수 있다. A battery 140 may be installed above the magnetic force generator 130 to apply power to the stationary chuck 120 (electrostatic chuck).

캐리어 본체(110)의 양 측면에는 이송 레일(50, 자기 부상 레일)로부터의 높이를 센싱하는 높이 센서(151)와, 전방 또는 하방에 위치한 다른 캐리어 모듈과의 거리를 센싱하기 위한 거리 센서(152)가 설치될 수 있다. 본 실시예에 따르면, 캐리어 본체(110)의 양 측면에 위치한 마그넷(153)의 전방과 후방에 센서 브라켓(150)이 각각 설치되고, 센서 브라켓(150)의 저면에 높이 센서(151)가, 센서 브라켓(150)의 전면 또는 후면에 거리 센서(152)가 설치되어 있다. On both sides of the carrier body 110, a height sensor 151 for sensing the height from the transfer rail (50, magnetic levitation rail), and a distance sensor 152 for sensing the distance to another carrier module located in front or below ) can be installed. According to the present embodiment, sensor brackets 150 are installed on the front and rear sides of the magnet 153 located on both sides of the carrier body 110, respectively, and the height sensor 151 is installed on the bottom surface of the sensor bracket 150, A distance sensor 152 is installed on the front or rear of the sensor bracket 150.

도 3 및 4는 도 2에 도시된 캐리어 모듈이 인라인 챔버 내에 배치된 상태의 구성을 나타낸 도면으로서, 도 3은 기판과 마스크를 얼라인시키는 과정을 보이고 있고, 도 4는 얼라인 공정 완료 후 기판과 마스크를 합착시키는 과정을 보이고 있다.3 and 4 are views showing the configuration of a state in which the carrier module shown in FIG. 2 is disposed in an inline chamber, FIG. 3 shows a process of aligning a substrate and a mask, and FIG. 4 shows a substrate after the alignment process is completed. It shows the process of attaching the mask.

도 3 및 4를 참조하면, 얼라인 챔버(30)의 내부에는 마스크를 지지하는 마스크 지지부(170)가 구비된다. 마스크 지지부(170)는 마스크(2)의 위치를 동일한 높이로 유지시킨다.Referring to FIGS. 3 and 4 , a mask support 170 for supporting a mask is provided inside the align chamber 30 . The mask support 170 maintains the position of the mask 2 at the same height.

한편, 캐리어 모듈(100)의 캐리어 본체(110) 내에는 차폐 부재(160) 및 구동 유닛(180)이 구비된다. Meanwhile, the shielding member 160 and the driving unit 180 are provided in the carrier body 110 of the carrier module 100 .

차폐 부재(160)는 캐리어 본체(110) 내에 이동 가능하게 설치되고, 마스크 지지부(170)에 위치한 마스크(2)를 자력 발생부(130)에서 발생한 자력으로부터 차폐할 수 있게 구성된다. The shielding member 160 is movably installed in the carrier body 110 and is configured to shield the mask 2 positioned on the mask support 170 from magnetic force generated by the magnetic force generating unit 130 .

차폐 부재(160)는 자력 발생부(130)의 상하 둘레를 감싸는 루프 형태를 갖되, 일부분에 자력 발생부(130)의 하부와 중첩되는 차폐 영역을 구비한다. 차폐 영역은 차폐 물질(예를 들어, 도체, 강자성체 등)이 자력 발생부(130)의 하부 영역에 대응되는 영역에 배치되어, 자력 발생부(130)의 자력이 마스크(2)에 미치는 것을 차단한다.The shielding member 160 has a loop shape surrounding the upper and lower circumferences of the magnetic force generating unit 130, and includes a shielding area overlapping the lower portion of the magnetic force generating unit 130 at a portion thereof. In the shielding area, a shielding material (eg, a conductor, a ferromagnetic material, etc.) is disposed in an area corresponding to the lower area of the magnetic force generator 130 to block the magnetic force of the magnetic force generator 130 from reaching the mask 2. do.

차폐 부재(160)의 일 형태로서, 본 실시예의 경우 차폐 부재(160)가 차폐 필름부(161)와 비차폐 필름부(162)가 연결된 루프 형태를 갖는 것을 예시하고 있다. 비차폐 필름부(162)는 자기장이 통과할 수 있는 재질로 형성되어 자력 발생부(130)와 마스크(2)의 사이에 위치하더라도 자력 발생부(130)의 자력이 마스크(2)에 미치게 된다. As one form of the shielding member 160, in this embodiment, the shielding member 160 has a loop shape in which the shielding film unit 161 and the non-shielding film unit 162 are connected. The non-shielding film part 162 is formed of a material through which a magnetic field can pass, so that even if it is located between the magnetic force generating part 130 and the mask 2, the magnetic force of the magnetic force generating part 130 reaches the mask 2. .

차폐 필름부(161)는 차폐 영역을 형성하기 위한 면적을 가지며, 비차폐 필름부(162)는 차폐 필름부(161)의 양단에 연결될 수 있다. 차폐 필름부(161)와 비차폐 필름부(162)는 함께 자력 발생부(130)를 상하 방향으로 감싸도록 배치된다.The shielding film unit 161 has an area for forming a shielding area, and the non-shielding film unit 162 may be connected to both ends of the shielding film unit 161 . The shielding film unit 161 and the non-shielding film unit 162 are arranged to surround the magnetic force generating unit 130 in the vertical direction.

차폐 부재(160)는 본 실시예와 예시한 구성과 달리 일부분에 자력 발생부(130)의 하부 면적과 대응되는 차폐 영역을 형성할 수 있는 구조라면 다양한 형태로 변형 실시 가능하다. 예를 들어, 루프 형태의 비차폐 필름부(162)의 일부 영역에 차폐 물질을 도포하여 해당 영역에 차폐 영역을 형성하는 것도 가능하다 할 것이다.The shielding member 160 can be modified in various forms as long as it has a structure that can form a shielding area corresponding to the lower area of the magnetic force generating unit 130 in a portion, unlike the present embodiment and the exemplified configuration. For example, it is also possible to form a shielding area in a corresponding area by applying a shielding material to a partial area of the loop-shaped non-shielding film unit 162 .

구동 유닛(180)은 차폐 부재(160)가 자력 발생부(130)의 자력을 선택적으로 차폐하도록 차폐 부재(160)를 구동시킨다. The driving unit 180 drives the shielding member 160 so that the shielding member 160 selectively shields the magnetic force of the magnetic force generator 130 .

구동 유닛(180)은 루프 형태의 차폐 부재(160) 내에 개재되는 구동 롤러(161)와, 구동 롤러(161)를 회전 구동시키는 롤러 구동기(182)를 포함할 수 있다. 구동 롤러(!61)는 차폐 부재(160)의 양 측에 한 쌍으로 구비될 수 있고, 양 차폐 부재(160) 중 적어도 하나에 롤러 구동기(180)가 연결될 수 있다. 롤러 구동기(180)는 모터의 형태를 가질 수 있고, 롤러 구동기(180)의 동작에 따라 구동 롤러(161)가 회전 구동하게 된다. 이에 따라 차폐 부재(160)가 회전 이동하여 차폐 영역이 이동할 수 있게 된다.The driving unit 180 may include a driving roller 161 interposed in the loop-shaped shielding member 160 and a roller driver 182 rotationally driving the driving roller 161 . The driving rollers (!61) may be provided as a pair on both sides of the shielding member 160, and the roller driver 180 may be connected to at least one of both shielding members 160. The roller driver 180 may have the form of a motor, and the driving roller 161 is driven to rotate according to the operation of the roller driver 180 . Accordingly, the shielding member 160 rotates and moves so that the shielding area can move.

구동 유닛(180), 구체적으로 롤러 구동기(182)에는 롤러 구동기(182)의 동작을 제어하기 위한 제어부(200)가 연결된다. 제어부(200)는 기판(1)과 마스크(20의 얼라인시 차폐 부재(160)의 차폐 영역이 자력 발생부(130)의 하부 영역과 중첩되도록 하고, 기판(1)과 마스크(2)의 얼라인 완료시 차폐 부재(160)의 차폐 영역이 자력 발생부(130)의 하부 영역으로부터 벗어나도록 구동 유닛(120)을 동작시킨다.The control unit 200 for controlling the operation of the driving unit 180, specifically the roller driver 182, is connected to the roller driver 182. When the substrate 1 and the mask 20 are aligned, the control unit 200 causes the shielding area of the shielding member 160 to overlap the lower area of the magnetic force generating unit 130, and the alignment of the substrate 1 and the mask 2. When the alignment is completed, the driving unit 120 is operated so that the shielding area of the shielding member 160 is out of the lower area of the magnetic force generator 130 .

이하에서는 도 3 및 4를 참조하여 기판(1) 및 마스크(2)의 얼라인 공정 및 합착 공정에 대하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, an alignment process and bonding process of the substrate 1 and the mask 2 will be described in detail with reference to FIGS. 3 and 4 .

도 3과 같이 캐리어 모듈(100)이 얼라인 챔버(30)로 진입하면, 캐리어 본체(110)에 형성된 클램프(190)에 얼라인 모듈의 축이 연결되어 캐리어 모듈(100)이 얼라인 모듈의 동작에 의해 위치 제어가 가능한 상태가 된다.3, when the carrier module 100 enters the alignment chamber 30, the axis of the alignment module is connected to the clamp 190 formed on the carrier body 110, so that the carrier module 100 is aligned with the alignment module. Position control is possible by operation.

얼라인 모듈의 동작에 의해 캐리어 모듈(100)이 상하 방향, 좌우 방향 등으로 이동하게 되어 마스크 지지부(170)에 지지된 마스크(2)와의 얼라인이 이루어지게 된다. 이와 같은 얼라인 과정에서, 제어부(200)는, 도 3과 같이, 차폐 필름부(161)가 자력 발생부(130)와 중첩되도록 차폐 부재(160)가 위치하게 구동 유닛(180)을 제어한다. 이에 따라 차폐 필름부(161)는 자력 발생부(130)와 마스크(2)의 사이에 위치하여 자력 발생부(130)에서 발생한 자력이 마스크(2)에 영향을 미치는 것을 차단한다. 이에 따라 마스크(2)가 자력 발생부(130)의 자력에 의해 기판(1)에 임의로 접촉하거나 부착되는 현상을 방지할 수 있다. By the operation of the alignment module, the carrier module 100 is moved in vertical and horizontal directions, so that it is aligned with the mask 2 supported by the mask support 170 . In this alignment process, the control unit 200 controls the driving unit 180 to position the shielding member 160 such that the shielding film unit 161 overlaps the magnetic force generating unit 130 as shown in FIG. 3 . . Accordingly, the shielding film unit 161 is positioned between the magnetic force generating unit 130 and the mask 2 to block the magnetic force generated from the magnetic force generating unit 130 from affecting the mask 2 . Accordingly, a phenomenon in which the mask 2 is arbitrarily contacted or attached to the substrate 1 by the magnetic force of the magnetic force generator 130 can be prevented.

얼라인 공정이 완료되면, 도 4와 같이, 캐리어 모듈(100)은 얼라인 모듈의 동작에 의해 마스크(2) 쪽으로 하강하여 기판(1)과 마스크(2) 사이가 접촉되게 된다. 그리고, 제어부(200)는 차폐 필름부(161)가 자력 발생부(130)의 하부 영역을 벗어나도록 구동 유닛(120)을 동작시킨다. 이에 따라 자력 발생부(130)와 마스크(2)의 사이에는 비차폐 필름부(162)가 위치하게 되므로, 자력 발생부(130)에서 발생하는 인력이 마스크(2)에 미치게 되며, 그 결과 마스크(2)가 기판(1) 쪽으로 합착되게 된다.When the alignment process is completed, as shown in FIG. 4 , the carrier module 100 is lowered toward the mask 2 by the operation of the alignment module, so that the substrate 1 and the mask 2 come into contact. Then, the control unit 200 operates the driving unit 120 so that the shielding film unit 161 escapes from the lower region of the magnetic force generating unit 130 . Accordingly, since the non-shielding film portion 162 is positioned between the magnetic force generating portion 130 and the mask 2, the attractive force generated by the magnetic force generating portion 130 reaches the mask 2, and as a result, the mask (2) is bonded toward the substrate (1).

이와 같은 과정에 의해 기판(1) 및 마스크(2)의 얼라인 및 합착 공정이 완료되며, 얼라인 모듈과 캐리어 모듈(100)의 축 연결을 해제시킨다. 그리고 이송 레일(50)을 통해 캐리어 모듈(100)을 공정 챔버(40) 내로 이동시켜 증착 공정이 이루어질 수 있게 한다. Through this process, the alignment and bonding process of the substrate 1 and the mask 2 is completed, and the axial connection between the alignment module and the carrier module 100 is released. Then, the carrier module 100 is moved into the process chamber 40 through the transfer rail 50 so that the deposition process can be performed.

상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to specific embodiments of the present invention, those skilled in the art can make various modifications to the present invention within the scope not departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. It will be understood that it can be modified and changed accordingly.

10: 로드락 챔버 20: 이송 챔버
30: 얼라인 챔버 40: 공정 챔버
50: 이송 레일 100: 캐리어 모듈
110: 캐리어 본체 120: 고정척
130: 자력 발생부 140: 배터리
150: 센서 브라켓 151: 높이 센서
152: 거리 센서 153: 마그넷
160: 차폐 부재 161: 차폐 필름부
162: 비차폐 필름부 170: 마스크 지지부
180: 구동 유닛 181: 구동 롤러
182: 롤러 구동기 190: 클램프
200: 제어부 10: load lock chamber 20: transfer chamber
30: align chamber 40: process chamber
50: transport rail 100: carrier module
110: carrier body 120: fixed chuck
130: magnetic force generator 140: battery
150: sensor bracket 151: height sensor
152: distance sensor 153: magnet
160: shielding member 161: shielding film unit
162: non-shielding film part 170: mask support part
180: drive unit 181: drive roller
182: roller driver 190: clamp
200: control unit

Claims (10)

인라인으로 배치된 얼라인 챔버와 공정 챔버에 설치되는 이송 레일;
상기 이송 레일을 따라 기판을 지지한 상태로 이송시키며, 마스크의 부착을 위한 자력을 발생시키는 자력 발생부를 구비한 캐리어 모듈;
상기 얼라인 챔버의 내부에 설치되며, 상기 기판과 상기 마스크의 얼라인시 상기 마스크를 지지하기 위한 마스크 지지부;
상기 캐리어 모듈 내에 이동 가능하게 배치되며, 상기 마스크 지지부에 위치한 상기 마스크를 상기 자력 발생부에서 발생한 자력으로부터 차폐하기 위한 차폐 부재; 및
상기 차폐 부재가 상기 자력 발생부의 자력을 선택적으로 차폐하도록 상기 차폐 부재를 구동시키는 구동 유닛;을 포함하는, 인라인 증착 시스템.
Transfer rails installed in the align chamber and the process chamber arranged in-line;
a carrier module having a magnetic force generating unit for transporting the substrate in a supported state along the transport rail and generating magnetic force for attaching the mask;
a mask support part installed inside the align chamber and supporting the mask when the substrate and the mask are aligned;
a shielding member disposed movably within the carrier module and shielding the mask located in the mask support part from magnetic force generated by the magnetic force generating part; and
and a driving unit configured to drive the shielding member so that the shielding member selectively shields the magnetic force of the magnetic force generator.
 제1항에 있어서, 상기 차폐 부재는,
상기 자력 발생부의 상하 둘레를 감싸는 루프 형태를 갖되, 일부분에 상기 자력 발생부의 하부 영역과 중첩되는 차폐 영역을 구비하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
The method of claim 1, wherein the shielding member,
Having a loop shape surrounding the upper and lower circumferences of the magnetic force generator, characterized in that a shielding region overlapping a lower region of the magnetic force generator at a portion thereof, the inline deposition system.
 제2항에 있어서, 상기 차폐 부재는,
상기 차폐 영역을 형성하기 위한 면적을 갖는 차폐 필름부; 및
차폐 필름부의 양단에 연결되며, 상기 차폐 필름부와 함께 상기 자력 발생부를 감싸도록 배치되는 비차폐 필름부;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
The method of claim 2, wherein the shielding member,
a shielding film portion having an area for forming the shielding area; and
An inline deposition system comprising: a non-shielding film unit connected to both ends of the shielding film unit and disposed to surround the magnetic force generating unit together with the shielding film unit.
 제2항에 있어서, 상기 구동 유닛은,
루프 형태의 상기 차폐 부재 내에 개재되며, 상기 차폐 부재를 회전시키기 위한 구동 롤러; 및
상기 구동 롤러를 회전 구동시키는 롤러 구동기;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
The method of claim 2, wherein the drive unit,
a driving roller interposed within the loop-shaped shield member and configured to rotate the shield member; and
Characterized in that, the inline deposition system comprising a; roller driver for rotationally driving the driving roller.
 제2항에 있어서,
상기 기판과 상기 마스크의 얼라인시 상기 차폐 부재의 차폐 영역이 상기 자력 발생부의 하부 영역과 중첩되도록 하고, 상기 기판과 상기 마스크의 얼라인 완료시 상기 차폐 부재의 차폐 영역이 상기 자력 발생부의 하부 영역으로부터 벗어나도록 상기 구동 유닛을 동작시키는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
According to claim 2,
When the substrate and the mask are aligned, the shielding area of the shielding member overlaps the lower area of the magnetic force generator, and when the substrate and the mask are aligned, the shielding area of the shielding member overlaps the lower area of the magnetic force generating unit. Characterized in that, the inline deposition system further comprises; a control unit for operating the driving unit to move away from.
 제1항에 있어서,
상기 자력 발생부는 영구 자석을 포함하는 마그넷 플레이트의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
According to claim 1,
The in-line deposition system, characterized in that the magnetic force generator has a form of a magnet plate including a permanent magnet.
 제1항에 있어서, 상기 캐리어 모듈은,
상기 자력 발생부를 수용하는 캐리어 본체; 및
상기 캐리어 본체의 하부에 설치되며, 기판을 흡착하여 고정하는 고정척;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
The method of claim 1, wherein the carrier module,
a carrier body accommodating the magnetic force generator; and
A fixed chuck installed under the carrier body and adsorbing and fixing the substrate; characterized in that it comprises a, in-line deposition system.
 제7항에 있어서,
상기 캐리어 본체에 설치되며, 상기 고정척에 전원을 공급하기 위한 배터리를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
According to claim 7,
The in-line deposition system further comprises a battery installed on the carrier body and supplying power to the fixed chuck.
 제1항에 있어서, 상기 이송 레일은,
상기 캐리어 모듈을 자기 부상 방식으로 이송시키는 자기 부상 레일인 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
The method of claim 1, wherein the transfer rail,
Characterized in that the magnetic levitation rail for transporting the carrier module in a magnetic levitation method, the in-line deposition system.
 제9항에 있어서, 상기 캐리어 모듈은,
상기 자기 부상 레일로부터의 높이를 센싱하는 높이 센서; 및
전방 또는 하방에 위치한 캐리어 모듈과의 거리를 센싱하기 위한 거리 센서;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 인라인 증착 시스템.
The method of claim 9, wherein the carrier module,
a height sensor for sensing a height from the magnetic levitation rail; and
Characterized in that it further comprises, an in-line deposition system; a distance sensor for sensing a distance with a carrier module located in front or below.
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