KR20230101450A - 비접촉 이송 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 디스플레이 패널의 이송시 청정 상태로 이송할 수 있는 비접촉 이송 장치에 관한 것이다.
본 발명은 이송을 위해 복수의 디스플레이 패널을 안치할 수 있는 카세트부;상기 카세트부가 안치되도록 구비되면서 상기 카세트부를 이동시키는 캐리지; 상기 캐리지의 하부에 마련되고 상기 카세트부 및 상기 캐리지를 함께 이송시키는 구동부; 를 포함하고, 상기 구동부는, 고정자, 비접촉 상태로 직선 이동되도록 상기 고정자와 간격을 두고 배치되고 상기 캐리지와 결합되는 이동자를 포함하는 비접촉 이송 장치가 제공될 수 있다.

Description

비접촉 이송 장치{Non-Contact Transfer device}

본 발명은 디스플레이 패널의 이송시 청정 상태로 이송할 수 있는 비접촉 이송 장치에 관한 것이다.

소정의 공정을 거치는 디스플레이 패널은 별도 이송 장치에 고정되어 이동되게 되는데, 디스플레이 패널을 거치한 거치대를 동력 전달 장치에 의해 소정의 위치로 이송될 때, 접촉된 상태로 이송된다.

따라서, 접촉 이송에 따른 분진 또는 파티클이 발생할 수 있고, 그에 따라 청정 상태를 유지해야 하는 클린 룸내의 공기를 오염시킴과 동시에, 디스플레이 패널의 표면에도 접촉됨으로써 손상을 입힐 수 있는 문제점이 있다.

본 발명은 처리 공정 수행을 위해 디스플레이 패널의 이송시 분진, 파티클 등이 발생하지 않도록 비접촉 상태에서 이송할 수 있는 이송 장치를 제공하는 것이다.

본 발명은 이송을 위해 복수의 디스플레이 패널을 안치할 수 있는 카세트부;상기 카세트부가 안치되도록 구비되면서 상기 카세트부를 이동시키는 캐리지; 상기 캐리지의 하부에 마련되고 상기 카세트부 및 상기 캐리지를 함께 이송시키는 구동부; 를 포함하고, 상기 구동부는, 고정자, 비접촉 상태로 직선 이동되도록 상기 고정자와 간격을 두고 배치되고 상기 캐리지와 결합되는 이동자를 포함하는 비접촉 이송 장치가 제공될 수 있다.

이와 같이, 본 발명은 디스플레이 패널을 탑재한 카세트의 이송시, 구동부를 이루는 마그네트로 이루어진 이동자가 코일이 내장된 고정자로부터 간격을 두고 배치되어 비접촉 상태로 이동할 수 있으므로, 소음이 방지되고, 클린룸내에서의 청정 상태를 유지할 수 있다.

또한, 본 발명은 캐리어의 하부 양측에 구비된 가이드부에 의해 안정된 상태로 가이드되면서 이동할 수 있으므로, 진동 및 소음이 현저하게 감소될 수 있다.

도 1은 본 발명의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 정면도이다.
도 3은 도 2의 A부 확대도이다.
도 4는 도 2의 B부 확대도이다.
도 5는 본 발명의 가이드부의 사시도이다.
도 6은 도 5의 정면도이다.
도 7은 본 발명의 구동부 및 가이드부의 배치 상태를 나타낸 개략적인 평면도이다.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 첨부된 예시 도면에 의거 상세하게 설명한다.

본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 본 발명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체에 걸쳐서 동일 또는 유사한 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하여 설명한다.

다만, 본 발명의 기술 사상은 설명되는 실시 예에 제한되지 않으며, 다양한 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 실시 예들간 구성 요소 중 적어도 하나 이상은 선택적으로 결합 및/또는 치환할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시 예의 용어는 특별하게 정의하지 않는 한 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있고, 일반적으로 사용하는 용어는 관련 기술의 문맥상의 의미를 고려하여 해석할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시 예의 용어는 실시 예의 설명을 위한 것으로 본 발명을 제한하는 것은 아니다.

또한, 본 발명의 실시 예에서 하나의 구성 요소가 다른 구성 요소와 “연결된다”,“결합된다” 등으로 기재되는 것은, 하나의 구성 요소가 다른 구성 요소에 직접적으로 연결, 결합되는 것뿐만 아니라, 두 구성 요소 사이의 또 다른 구성 요소에 의해 간접적으로 연결, 결합되는 것도 의미할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시 예에서 하나의 구성 요소가 다른 구성 요소의 상부 또는 하부, 위 또는 아래에 배치, 형성, 위치하는 것은, 하나의 구성 요소가 다른 구성 요소에 직접적 또는 간접적으로 배치, 형성, 위치하는 것을 포함할 수 있다. 상부 또는 하부, 위 또는 아래에 대한 표현은, 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향도 의미할 수 있다.

첨부된 예시 도면 도 1은 본 발명의 사시도, 도 2는 본 발명의 정면도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 이송 장치(100)는 복수의 디스플레이 패널을 안치할 수 있는 카세트부(110), 카세트부(110)가 안치되도록 구비되면서 카세트부(110)를 이동시키는 캐리지(120), 캐리지(120)의 하부에 마련되고 카세트부(110)) 및 캐리지(120)의 직선 이송이 가능하도록 동력을 제공하는 구동부(130)를 포함할 수 있다.

캐리지(120)의 하부 양측에는 구동부(130)에 의해 캐리지(120)의 직선 이송시 가이드해주는 가이드부(140)를 포함할 수 있다.

구동부(130) 및 가이드부(140)의 하부에는 구동부(130) 및 가이드부(140)를 지지해주기 위한 베이스 부재(150)가 구비될 수 있다.

카세트부(110)는 4각 박스 형태를 이루도록 외곽을 형성하는 프레임(111), 프레임(111)의 양쪽 내측면에 z축 방향인 제1 방향을 따라 간격을 두고 복수로 형성되는 거치 부재(112)를 포함할 수 있다.

카세트부(110)의 최외곽을 이루는 프레임(111)의 내부에는 간격을 두고 복수의 지지 프레임(113)이 갖추어질 수 있고, 지지 프레임(113)에는 높이 방향을 따라 디스플레이 패널을 삽입할 수 있는 복수의 지지대(114)가 구비될 수 있다.

프레임(111)의 양쪽 내측면에 형성되는 거치 부재(112)는 각각 x축 방향인 제2 방향을 따라 중심부를 향하여 이격된 상태로 소정의 길이로 돌출되게 형성될 수 있다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 캐리지(120)는 상기 프레임(111)을 지지하기 위해 양측에 구비되고 z축 방향인 제1 방향을 따라 소정의 높이로 형성되고, y축 방향인제2 방향을 따라 간격을 두고 복수로 형성되며, x축 방향인 제3 방향으로 간격을 두고 양측에 구비되는 제1 지지 부재(121), 제2 방향을 따라 간격을 두고 2열로 배치되는 제1 지지 부재(121)를 연결하도록 제2 방향을 따라 형성되는 제2 지지 부재(122), x축 방향인 제3 방향으로 간격을 두고 양측에 구비되는 제1 지지 부재(121)의 하부 사이에 x축 방향인 제3 방향을 따라 연결되고 y축 방향인 제2 방향을 따라 간격을 두고 복수로 형성되는 제3 지지 부재(123), 복수의 제3 지지 부재(123)의 사이에 지지되게 연결되는 제4 지지 부재(124)를 포함할 수 있다.

캐리지(120)의 제3 지지 부재(123)와 제4 지지 부재(124)는 평면상 격자 모양을 이루도록 간격을 두고 서로 방향을 달리하여 형성될 수 있다.

또한, 제2 지지 부재(122)의 하부에는 z축 방향으로 돌출되게 형성되어 지지되는 제5 지지 부재(125)를 구비될 수 있다.

제5 지지 부재(125)는 평면상 제2 지지 부재(122) 및 제2 지지 부재(123)에 의해 형성되는 4각형 형상의 적어도 각 모서리에 배치될 수 있다.

제1 지지 부재(121) 내지 제5 지지 부재(125)는 판(plate)형으로 형성되지 않고, 소정의 길이를 가지고 길이에 비해 폭이 좁은 프레임 형태의 구조로 이루어질 수 있다. 따라서, 제1 지지 부재(121) 내지 제5 지지 부재(125)는 간격을 두고 복수로 형성될 수 있다.

제3 지지 부재(123)는 그 하부 양측에 배치되는 가이드부(140)의 간격을 일정하게 유지시켜주는 역할을 할 수 있다.

캐리지(120)의 상부에 안치되는 카세트부(110)는, 구동부(130)에 의한 이송시 요동하지 않도록 안착된 상태를 유지할 수 있다.

도 2를 참조하면, 캐리지(120)의 양측에 소정 높이로 구비되는 제1 지지 부재(121)의 사이에는 제1 지지 부재(121)의 상부에 카세트부(110)가 안치되면, 이동 수단(미도시)의 포크부에 의해 간편하게 카세트부(110) 자체의 이동을 위한 삽입 공간부(S)가 형성될 수 있다.

구동부(130)는 코일이 내장된 고정자(131), 고정자(131)의 상부에 간격(d)을 두고 구비되면서 고정자(131)와의 전자기적 상호 작용에 의해 비접촉 상태로 이동하도록 마그네트로 이루어진 이동자(132)를 포함할 수 있다. 고정자(131)는 고정된 상태에서 고정자(131)의 상부에 간격(d)을 두고 구비되는 이동자(132)가 이동할 수 있다. 따라서, 구동부(130)는 마그네트형 리니어 모터일 수 있다.

고정자(131)는 직육면체 형상을 이루면서 소정 사이즈의 단위 모터를 적어도 하나 이상 구비할 수 있다.

이동자(132)는 고정자(131)에 대응되는 직육면체 형상으로 형성될 수 있고, 캐리지(120)의 제2 지지 부재(122)와 함께 연동되도록 결합될 수 있다.

또한, 고정자(131)의 하부에는 고정자(131)를 지지하면서 높이 조절이 가능하게 하는 높이 조절 수단인 제1 높이 조절부(160)가 구비될 수 있다.

도 3을 참조하면, 제1 높이 조절부(160)는 고정자(131)를 지지하는 지지판(161), 지지판(161)을 관통하고 상기 베이스 부재(150)에 지지되는 복수의 높이 조절 부재(162)를 포함할 수 있다.

높이 조절 부재(162)는 지지판(161)과 나사결합될 수 있는 볼트 형태일 수 있고, 지지판(161)의 양측에 결합될 수 있으며, y축 방향의 제3 방향인 지지판(161)의 길이 방향을 따라 복수로 결합될 수 있다.

도 4를 참조하면, 가이드부(140)는 균형을 이루고 안정되게 이송되도록 캐리지(120)의 하부, 보다 구체적으로 설명하면, 양측에 구비되는 제2 지지 부재(122) 의 하부에 각각 구비될 수 있다.

가이드부(140)의 구조를 살펴보면, y축 방향을 따라 소정의 길이로 형성되고 내부에 공간을 가지는 가이드관(141), 가이드관(141)의 내부에서 이동하는 가이드 롤러 유니트(142), 가이드관(141)의 내부에 배치되고 가이드 롤러 유니트(142)의 일측면에 구비되는 서포트 롤러 유니트(143), 가이드 롤러 유니트(142)의 일측에 결합되고 상기 가이드관(141)의 내부에서 외부로 돌출되어서 캐리지(120)의 제5 지지 부재(125)와 연동되게 결합되는 연결 부재(144)를 포함할 수 있다.

가이드관(141)은 예를 들어 압출 성형된 프로파일 형태로 이루어질 수 있고, 양 측면을 이루는 제1 면(141a)과 제2 면(141b), 제1 면(141a)과 제2 면(141b)의 상부 및 하부에 각각 형성되는 제3 면(141c)과 제4 면(141d)으로 이루어지면서 내부에 길이 방향을 따라 공간이 형성되게 할 수 있다.

제4 면(141d)에는 연결 부재(144)가 관통되어 가이드관(141)의 내부에서 외부로 나올 수 있는 관통공(141e)이 형성될 수 있다.

제4 면(141d)에는 고정되게 하기 위한 결합홈(141f)이 적어도 하나 형성될 수 있다.

도 5 및 도 6을 참조하면, 연결 부재(144)는 가이드관(141)의 내부에 배치되고 가이드 롤러 유니트(142)와 결합되는 제1 연결 부재(144a), 제1 연결 부재(144a)와 직교 방향으로 연결되고 가이드관(141)의 외부에 배치되고 제5 지지 부재(125)와 결합되는 제2 연결 부재(144b)를 포함할 수 있다.

수평 상태로 배치되는 제2 연결 부재(144b)는 그 아래의 제1 지지판(171)과 소정 간격(g)을 두고 떨어진 상태로 배치될 수 있다. 따라서, 이동시 비접촉 상태로 이동될 수 있다.

도 5를 참조하면, 가이드 롤러 유니트(142)는 가이드 롤러(142a), 가이드 롤러(142a)가 연결 부재(144)의 제1 연결 부재(144a)에 회전 가능하게 결합되게 하기 위한 회전축(142b)을 포함할 수 있다.

서포트 롤러 유니트(143)는 가이드 롤러(142a)와 직교 방향으로 이격되게 배치되는 서포트 롤러(143a), 서포트 롤러(143a)를 회전 가능하게 지지하는 결합 부재(143b), 결합 부재(143b)가 관통되고, 상기 연결 부재(1440)의 제1 연결 부재(144a)에 고정되는 브래킷(143c)을 포함할 수 있다.

도 4를 참조하면, 서포트 롤러(143a)는 가이드 롤러(142a)의 중심선(c)으로부터 하향되게 배치될 수 있다.

도 6을 참조하면, 가이드 롤러(142a)의 중심으로부터 한쪽 끝단부까지의 거리인 반경을 제1 거리(L1)라고 하고, 서포트 롤러(143a)의 중심으로부터 가이드 롤러(142a)의 한쪽 끝단부까지의 거리를 제2 거리(L2)라고 정의할 때, 제1 거리(L1)는 제2 거리(L2)의 50% 미만일 수 있다.

가이드 롤러(142a)는 가이드관(141)의 내부에서 제3 면(141c)와는 이격된 상태에서 제4 면(141d)와 대면되어 지지되는 상태로 회전 이동될 수 있고, 서포트 롤러(142a)는 가이드관(141)의 내부에서 제1 면(141a)과 대면되어 지지되면서 회전 이동될 수 있다.

또한, 가이드부(140)의 하부에는 높이 조절 수단으로서 제2 높이 조절부(170)가 구비될 수 있다. 제2 높이 조절부(170)는 제1 지지판(171), 제1 지지판(171)과 간격을 두고 베이스 부재(150)의 상면에 구비되는 제2 지지판(172), 제1 지지판(171)을 관통하여 제2 지지판(172)의 상면에 대면되게 지지되면서 제1 지지판(171)의 높이 조절이 가능하도록 결합되는 높이 조절 부재(173)를 포함할 수 있다.

높이 조절 부재(173)는 제1 지지판(171)과 나사결합될 수 있고, 제2 지지판(172)의 상면에는 높이 조절 부재(173)의 끝단부가 대면되어 지지될 수 있다.

제1 지지판(171)의 상면에는 가이드부(140)의 가이드관(141)이 안치되어 고정된 상태를 유지할 수 있다.

따라서, 상기 높이 조절 부재(173)를 회전시키면, 나사결합된 제1 지지판(171)이 도면상 수직 방향인 z축 방향을 따라 높이 조절이 될 수 있고, 그에 따라 제1 지지판(171)의 상면에 고정된 가이드관(141)의 배치 높이를 조절할 수 있다.

도 7을 참조하면, 가이드 롤러 유니트(142)와 상기 서포트 롤러 유니트(143)는 연결 부재(144)에 고정되어 1세트를 이룰 수 있고, 1세트의 가이드 롤러 유니트(142)와 상기 서포트 롤러 유니트(143)는 가이드관(141)의 내부에 간격을 두고 복수로 구비될 수 있다.

도 1을 참조하면, 베이스 부재(150)에는 복수의 배출공이 형성된 다공판(152)이 구비될 수 있다. 다공판(152)을 통해 상부에 배치된 카세트(110) 또는 캐리지(120)로부터 발생될 수 있는 파티클 등이 중력에 의해 하향 이동되어 배출공을 통해 배출되게 할 수 있다.

또한, 베이스 부재(150)의 하부면 모서리부에는 각각 바닥면으로부터 소정 높이 띄워서 지지해주는 다리부(154)가 형성될 수 있다. 다리부(154)는 높이 조절이 가능한 구조로 이루어질 수 있다.

또한, 카세트부(110) 및 캐리지(120)의 외부에는 보호 역할을 할 수 있는 보호 커버(180)가 구비될 수 있다. 보호 커버(180)의 전후방인 이송 방향으로는 개방된 구조일 수 있다.

본 발명의 이송 장치는 디스플레이 패널 제조상 다음 공정 수행을 위해 이송시, 카세트(110)에 디스플레이 패널을 복수로 탑재하고 캐리지(120)에 안치한 상태에서 구동부(130)에 의해 이송될 수 있다.

구동부(130)의 구동시, 고정자(131)의 작동으로 이동자(132)가 고정자(131)의 길이 방향을 따라 이동하면, 이동자(132)는 캐리지(120)의 제3 지지 부재(123)과 결합되어 있으므로, 이동자(132)의 이동에 따라 캐리지(120)도 동시에 이동될 수 있다.

구동부(130)의 이동자(132)는 고정자(131)의 구동에 따라 이동할 때, 고정자(131)와 간격(d)을 두고 배치되어 있으므로, 이동자(132)의 이동시 비접촉 상태로 이동함으로써, 접촉에 의한 분진 또는 파티클의 발생을 방지할 수 있다.

고정자(131)와 이동자(132)간의 간격(d)은 수mm로 설정될 수 있고, 상부에 탑재되는 디스플레이 패널의 하중에 따라 적절한 간격으로 설정하도록 제1 높이 조절부(160)를 통해 간격을 조절할 수 있다.

즉, 제1 높이 조절부(160)의 높이 조절 부재(162)를 회전시켜서 지지판(161)의 높이를 조절하면, 지지판(161)의 상부에 구비된 고정자(131)의 높이가 변경되면서 고정자(131)의 상부에 배치된 이동자(132)와의 간격(d)이 조절될 수 있다.

그러면, 캐리지(120)의 상부에 안치된 카세트부(110)도 동시에 이동되며, 이때, 캐리지(120)의 제3 지지 부재(123)의 양측 하부에 형성된 제5 지지 부재(125)의 안쪽에는 가이드부(140)가 구비되어 있으므로, 가이드부(140)의 가이드를 받으면서 안정되게 이동될 수 있다.

가이드부(140)에는 고정된 상태의 가이드관(141)의 내부에서 회전 이동하는 가이드 롤러(142a)가 구비되어 있고, 가이드 롤러(142a)는 연결 부재(144)와 결합되어 있으므로, 구동부(130)에 의해 캐리지(120)가 이동하면, 캐리지(120)의 제5 지지 부재(125)와 결합된 제2 연결 부재(144b)도 동시에 이동할 수 있다.

이때, 제2 연결 부재(144b)와 연결된 제1 연결 부재(144a)는 가이드관(141)의 제4 면(141d)에 형성된 관통공(141e)를 따라 이동하게 되고, 그에 따라 가이드 롤러(142a)도 동시에 회전하면서 이동할 수 있다. 가이드 롤러(142a)는 가이드관(141)의 제4 면(141d)에 대면된 상태에서 회전 이동하지만, 가이드관(141)의 양 단부를 막은 상태에서 이동할 수 있으므로, 설사 파티클 등이 발생하더라도 가이드관(141)의 외부로 나와서 비산될 가능성은 최소화될 수 있다.

또한, 가이드 롤러(142a)의 회전과 동시에, 서포트 롤러(143a)도 가이드관(141)의 제1 면(141a)의 내측면에 대면된 상태에서 회전 이동할 수 있다. 서포트 롤러(143a)는 가이드 롤러(142a)와 직교 방향으로 배치되어서 회전 이동하며, 이때. 가이드 롤러(142a)와는 이격된 상태에서 별도 회전하고, 더욱이 가이드 롤러(142a)의 중심(c)으로부터 하향되어 배치된 상태에서 회전 이동함으로써, 캐리지(120)의 이동시 요동 또는 틸팅되는 현상없이 더욱 안정적으로 가이드해주면서 이동되게 할 수 있다.

만일, 서포트 롤러(143a)가 가이드 롤러(142a)의 중심(c)과 적어도 일치 또는 그 보다 높은 위치에 배치되는 경우, 오히려 모멘트가 걸려서 불안정하게 회전 이동될 수 있다.

한편, 가이드 롤러 유니트(142)는 캐리지(120)의 하부 양측에 마련된 구조이므로, 서로간의 높이가 일치되어야 하므로, 이때 제2 높이 조절부(170)에 의해 높이 조절을 하여 양쪽의 가이드 롤러 유니트(142)의 높이를 수평되게 맞출 수 있다.

즉, 제2 높이 조절부(170)의 높이 조절 부재(173)를 회전시켜서 제1 지지판(171)의 높이를 가변시킬 수 있고, 제1 지지판(171)의 높이를 가변시키면, 제1 지지판(171)의 상부에 지지되어 있는 가이드부(140)의 높이도 변경시킬 수 있다.

따라서, 양측의 가이드부(140)의 높이가 약간 편차가 발생하면, 상기 높이 조절 부재(171)의 조작을 통해 수평되게 맞출 수 있다.

이상에서 실시 예에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시 예에 포함되며 반드시 하나의 실시 예에만 한정되는 것은 아니다. 또한, 각 실시 예의 특징, 구조, 효과 등은 실시 예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시 예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

또한, 이상에서 실시 예를 중심으로 설명하였으나, 이는 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시 예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시 예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

100... 이송 장치
110... 카세트부 111... 프레임
112... 거치 부재 113... 지지 프레임
114... 지지대
120... 캐리지 121... 제1 지지 부재
122... 제2 지지 부재 123... 제3 지지 부재
124... 제4 지지 부재 125... 제5 지지 부재
130... 구동부 131... 고정자
132... 이동자
140... 가이드부 141... 가이드관
141a... 제1 면 141b... 제2 면
141c... 제3 면 141d... 제4 면
141e... 관통공 141f... 결합홈
142... 가이드 롤러 유니트 142a... 가이드 롤러
142b... 회전축
143... 서포트 롤러 유니트 143a... 서포트 롤러
143b... 결합 부재 143c... 브래킷
144... 연결 부재 144a... 제1 연결 부재
144b... 제2 연결 부재
150... 베이스 부재 152... 다공판
154... 다리부
160... 제1 높이 조절부 161... 지지판
162... 높이 조절 부재
170... 제2 높이 조절부 171... 제1 지지판
172... 제2 지지판 173... 높이 조절 부재
c... 중심 d,g... 간격
L1... 제1 거리 L2... 제2 거리
P... 디스플레이 패널 S... 삽입 공간부

Claims (12)

1. 이송을 위해 복수의 디스플레이 패널을 안치할 수 있는 카세트부;
   상기 카세트부가 안치되도록 구비되면서 상기 카세트부를 이동시키는 캐리지;
   상기 캐리지의 하부에 마련되고 상기 카세트부 및 상기 캐리지를 함께 이송시키는 구동부; 를 포함하고,
   상기 구동부는,
   고정자, 비접촉 상태로 직선 이동되도록 상기 고정자와 간격을 두고 배치되고 상기 캐리지와 결합되는 이동자를 포함하는 비접촉 이송 장치.
   
2. 제1 항에 있어서,
   상기 캐리지의 하부 양측에는 상기 구동부의 동작에 의해 상기 캐리지의 이송시 가이드해주는 가이드부가 포함되고,
   상기 가이드부는,
   내부에 공간을 가지는 가이드관,
   상기 가이드관의 내부에서 이동하는 가이드 롤러 유니트,
   상기 가이드 롤러 유니트의 일측에 결합되고 상기 가이드관의 내부에서 외부로 돌출되어서 상기 캐리지와 연동되게 결합되는 연결 부재를 포함하는 비접촉 이송 장치.
   
3. 제2 항에 있어서,
   상기 가이드관은
   양 측면을 이루는 제1 면과 제2 면,
   상기 제1 면과 상기 제2 면의 상부 및 하부에 각각 형성되는 제3 면과 제4 면을 포함하고,
   상기 제4 면에는 상기 연결 부재가 관통되어 상기 가이드관의 내부에서 외부로 나올 수 있는 관통공이 형성되는 비접촉 이송 장치.
   
4. 제2 항에 있어서,
   상기 연결 부재는,
   상기 가이드관의 내부에 배치되고 상기 가이드 롤러 유니트와 결합되는 제1 연결 부재,
   상기 제1 연결 부재와 직교 방향으로 연결되고 상기 가이드관의 외부에 배치되고 상기 캐리지와 결합되는 제2 연결 부재를 포함하는 비접촉 이송 장치.
   
5. 제4 항에 있어서,
   상기 가이드 롤러 유니트는 상기 가이드관의 내부에서 회전 이동하는 가이드 롤러를 포함하고,
   상기 제2 연결 부재는 수평 상태로 배치되며,
   상기 제2 연결 부재 아래에 구비된 제1 지지판과 소정의 간격 두고 떨어진 상태로 배치되어서 비접촉 상태로 이동되고,
   상기 가이드 롤러는 상기 가이드관의 하부를 이루는 제4 면에 대면된 상태로 회전 이동하는 비접촉 이송 장치.
   
6. 제2 항에 있어서,
   상기 가이드관은,
   양 측면을 이루는 제1 면과 제2 면,
   상기 제1 면과 상기 제2 면의 상부 및 하부에 각각 형성되는 제3 면과 제4 면을 포함하고,
   상기 가이드 롤러 유니트는,
   상기 가이드관의 내부에서 회전 이동하는 가이드 롤러,
   상기 가이드 롤러가 상기 연결 부재에 회전 가능하게 결합되게 하기 위한 회전축을 포함하고,
   상기 가이드 롤러는 상기 가이드관의 내부의 하부에 해당하는 제4 면에만 대면된 상태로 이동하고, 나머지 상기 제1 면 내지 제3 면과는 이격된 상태로 배치되는 비접촉 이송 장치.
   
7. 제2 항에 있어서,
   상기 가이드관의 내부에 배치되고 상기 가이드 롤러 유니트의 일측면에 구비되어서 상기 가이드관의 내부에서 가이드 롤러 유니트의 회전시 지지해주는 서포트 롤러 유니트를 포함하는 비접촉 이송 장치.
   
8. 제7 항에 있어서,
   상기 가이드 롤러 유니트는 상기 가이드관의 내부에서 회전 이동하는 가이드 롤러를 포함하고,
   상기 서포트 롤러 유니트는,
   상기 가이드 롤러와 직교 방향으로 이격되게 배치되는 서포트 롤러를 포함하며,
   상기 서포트 롤러는 상기 가이드 롤러의 중심선으로부터 하향되게 배치되고,
   상기 서포트 롤러는 상기 가이드관을 이루는 제1 면에 대면되어 지지되는 상태로 상기 가이드관의 내부에서 회전 이동하는 비접촉 이송 장치.
   
9. 제8 항에 있어서,
   상기 가이드 롤러의 중심으로부터 한쪽 끝단부까지의 거리인 반경을 제1 거리라고 하고, 상기 서포트 롤러의 중심으로부터 상기 가이드 롤러의 한쪽 끝단부까지의 거리를 제2 거리라고 정의할 때, 상기 제1 거리는 상기 제2 거리의 50% 미만으로 형성되는 비접촉 이송 장치.
   
10. 제1 항에 있어서,
    상기 캐리지의 하부 양측에는 상기 구동부의 동작에 의해 상기 캐리지가 이송시 가이드해주는 가이드부가 포함되고,
    상기 가이드부는,
    가이드관,
    상기 가이드관의 내부에서 이동하는 가이드 롤러 유니트,
    상기 가이드 롤러 유니트의 일측에 구비되는 서포트 롤러 유니트를 포함하며,
    상기 가이드 롤러 유니트와 상기 서포트 롤러 유니트는 연결 부재에 고정되어 1세트를 이루고,
    1세트의 상기 가이드 롤러 유니트와 상기 서포트 롤러 유니트는 상기 가이드관의 내부에서 간격을 두고 복수로 마련되어 가이드해주는 비접촉 이송 장치.
    
11. 제1 항에 있어서,
    상기 고정자의 하부에는 상기 고정자를 지지하면서 높이 조절이 가능하게 하는 높이 조절 수단이 구비되고,
    상기 높이 조절 수단은,
    상기 고정자를 지지하는 지지판,
    상기 지지판을 관통하여 결합되는 적어도 하나의 높이 조절 부재를 포함하며,
    상기 높이 조절 부재의 회전시켜서 상기 지지판으로부터 높이가 조절되면 상기 고정자의 배치 높이가 조절되어서 상기 이동자와의 간격이 조절되는 비접촉 이송 장치.
    
12. 제2 항에 있어서,
    상기 가이드부의 하부에는 베이스 부재가 구비되고,
    상기 가이드부의 하부와 상기 베이스 부재의 사이에는 높이 조절 수단이 구비되고,
    상기 높이 조절 수단은,
    상기 가이드관이 안치되어 고정되는 제1 지지판,
    상기 제1 지지판을 관통하여 상기 베이스 부재의 상면에 대면되게 지지되면서 상기 제1 지지판의 높이 조절이 가능하도록 결합되는 높이 조절 부재를 포함하는 비접촉 이송 장치.

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