KR20230097135A - 통신 장치, 통신 장치의 제어 방법 및 통신 시스템 - Google Patents

통신 장치, 통신 장치의 제어 방법 및 통신 시스템 Download PDF

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KR20230097135A
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테츠야 쿠와하라
무네쿠니 오시마
와타루 키타무라
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

통신 장치(12)는, 무선 액세스 포인트(10)를 개재하여, 반송 대차(4)와의 사이에서 광역 무선 통신에 의해 정보를 송수신하는 광역 무선 통신부(46)와, 통신 디바이스(8)와의 사이에서, 광역 무선 통신보다 좁은 통신 범위의 근거리 무선 통신에 의해 정보를 송수신하는 근거리 무선 통신부(50)와, 광역 무선 통신부(46)가 수신한 정보를, 광역 무선 통신용의 정보로부터 근거리 무선 통신용의 정보로 변환하여 근거리 무선 통신부(50)에 출력하고, 또한, 근거리 무선 통신부(50)가 수신한 정보를, 근거리 무선 통신용의 정보로부터 광역 무선 통신용의 정보로 변환하여 광역 무선 통신부(46)에 출력하는 제어부(54)를 구비한다.

Description

통신 장치, 통신 장치의 제어 방법 및 통신 시스템
본 발명은 통신 장치, 통신 장치의 제어 방법 및 통신 시스템에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼가 저장된 FOUP(Front Opening Unified Pod)을 반송하기 위한 천장 주행식의 반송 대차와, 반도체 웨이퍼를 처리하기 위한 반도체 제조 장치를 구비한 반도체 제조 시스템이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
반송 대차와, 반도체 제조 장치의 재치(載置) 포트에 접속된 통신 디바이스와의 사이의 통신에는, SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)의 E84 통신 시퀀스가 적용된다. 반송 대차와 재치 포트와의 사이에서 FOUP을 이동 재치할 시에는, E84 통신 시퀀스에 따라 반송 대차와 통신 디바이스와의 사이에서 제어 신호가 수수된다.
E84 통신 시퀀스는, 이동 재치 전 순서, 이동 재치 순서 및 이동 재치 후 수순서의 3 단계로 성립되어 있다. 이동 재치 전 순서에서는, 반송 대차와 통신 디바이스와의 사이에서, 이제부터 FOUP의 이동 재치를 개시하는 취지를 나타내는 제어 신호가 수수된다. 이동 재치 순서에서는, 반송 대차와 통신 디바이스와의 사이에서, FOUP의 이동 재치를 실행하기 위한 제어 신호가 수수되고, 실제로 FOUP의 이동 재치가 행해진다. 이동 재치 후 순서에서는, 반송 대차와 통신 디바이스와의 사이에서, FOUP의 이동 재치가 완료된 취지를 나타내는 제어 신호가 수수된다. 이동 재치 전 순서, 이동 재치 순서 및 이동 재치 후 순서는, 반송 대차가 재치 포트의 직상(直上)의 위치에서 정지한 상태에서 실행된다.
일본특허공개공보 2019-117616호
반도체 제조 시스템에 있어서는, 복수의 반송 대차는 각각, FOUP을 이동 재치해야 할 복수의 재치 포트의 각 통신 디바이스와의 사이에서 E84 통신 시퀀스를, 동시에 무선 통신으로 행할 필요가 있다. 또한, 반도체 제조 장치에 따라서는, 각 재치 포트의 각 통신 디바이스에 대하여 할당되는 전력이 한정되어 있는 것이 있어, 통신 디바이스는 전력 절약으로 동작할 필요가 있다. 이 때문에, 무선 통신의 간섭을 회피하고, 또한, 전력 절약으로 동작하는 무선 통신을 행하기 위하여, 반송 대차와 통신 디바이스와의 사이의 무선 통신의 방식으로서, 통신 범위가 근거리(예를 들면 3 ~ 5 m 이내)로 제한된 근거리 무선 통신이 채용되고 있다.
그런데, 최근, 상술한 반도체 제조 시스템에 있어서, 반도체의 제조 효율을 보다 높이기 위하여, E84 통신 시퀀스의 이동 재치 전 순서 및 이동 재치 후 순서를, 반송 대차의 주행 중에 실행하는 것이 제안되고 있다.
그러나, 반송 대차와 통신 디바이스와의 사이의 근거리 무선 통신에서는, 전파 출력 강도가 억제되고 있기 때문에, 이동 재치 전 순서 및 이동 재치 후 순서에 있어서, 재치 포트의 직상의 위치로부터 떨어진 위치를 주행 중인 반송 대차와 통신 디바이스와의 사이에 있어서의 수신 전파 강도가 저하된다고 하는 과제가 발생한다.
본 발명은, 이러한 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 반송 대차와 통신 디바이스와의 사이의 무선 통신을 안정화시킬 수 있는 통신 장치, 통신 장치의 제어 방법 및 통신 시스템을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일태양에 따른 통신 장치는, 피반송물을 반송하기 위한 반송 대차와, 상기 반송 대차와의 사이에서 상기 피반송물이 이동 재치되는 이동 재치 장치에 접속된 통신 디바이스와의 사이에 있어서의 통신을 중계하는 통신 장치로서, 광역 무선 통신 기지국을 개재하여, 상기 반송 대차와의 사이에서 광역 무선 통신에 의해 정보를 송수신하는 광역 무선 통신부와, 상기 통신 디바이스와의 사이에서, 상기 광역 무선 통신보다 좁은 통신 범위의 근거리 무선 통신에 의해 정보를 송수신하는 근거리 무선 통신부와, 상기 광역 무선 통신부가 수신한 정보를, 광역 무선 통신용의 정보로부터 근거리 무선 통신용의 정보로 변환하여 상기 근거리 무선 통신부에 출력하고, 또한, 상기 근거리 무선 통신부가 수신한 정보를, 근거리 무선 통신용의 정보로부터 광역 무선 통신용의 정보로 변환하여 상기 광역 무선 통신부에 출력하는 제어부를 구비한다.
본 태양에 따르면, 예를 들면 반송 대차가 이동 재치 장치의 직상의 위치로부터 떨어진 위치를 주행 중이라도, 광역 무선 통신부는, 광역 무선 통신 기지국(예를 들면, 무선 액세스 포인트)을 개재하여, 반송 대차와의 사이에서 광역 무선 통신에 의해 정보를 송수신하므로, 반송 대차와 통신 디바이스와의 사이에 있어서의 수신 전파 강도가 저하되는 것을 회피할 수 있어, 반송 대차와 통신 디바이스와의 사이의 무선 통신을 안정화시킬 수 있다. 또한, 근거리 무선 통신부는, 통신 디바이스와의 사이에서 근거리 무선 통신에 의해 정보를 송수신하므로, 통신 디바이스를 저소비 전력으로 동작시킬 수 있다.
예를 들면, (i) 상기 반송 대차가, 상기 이동 재치 장치와의 사이에서 상기 피반송물을 이동 재치하기 전에 상기 이동 재치 장치에 가까워지는 방향으로 주행 중, 또는, 상기 이동 재치 장치와의 사이에서 상기 피반송물을 이동 재치한 후에 상기 이동 재치 장치로부터 멀어지는 방향으로 주행 중에, 상기 통신 디바이스에 대하여 정보를 송신하는 경우에는, 상기 광역 무선 통신부는, 상기 광역 무선 통신 기지국을 개재하여, 상기 광역 무선 통신에 의해 상기 반송 대차로부터의 정보를 수신하고, 상기 제어부는, 상기 광역 무선 통신부가 수신한 정보를, 광역 무선 통신용의 정보로부터 근거리 무선 통신용의 정보로 변환하여 상기 근거리 무선 통신부에 출력하고, 상기 근거리 무선 통신부는, 상기 근거리 무선 통신에 의해 상기 제어부로 변환된 정보를 상기 통신 디바이스로 송신하고, (ii) 상기 반송 대차가, 상기 이동 재치 장치와의 사이에서 상기 피반송물을 이동 재치하기 전에 상기 이동 재치 장치에 가까워지는 방향으로 주행 중, 또는, 상기 이동 재치 장치와의 사이에서 상기 피반송물을 이동 재치한 후에 상기 이동 재치 장치로부터 멀어지는 방향으로 주행 중일 시에, 상기 통신 디바이스가 상기 반송 대차에 대하여 정보를 송신하는 경우에는, 상기 근거리 무선 통신부는, 상기 근거리 무선 통신에 의해 상기 통신 디바이스로부터의 정보를 수신하고, 상기 제어부는, 상기 근거리 무선 통신부가 수신한 정보를, 근거리 무선 통신용의 정보로부터 광역 무선 통신용의 정보로 변환하여 상기 광역 무선 통신부에 출력하고, 상기 광역 무선 통신부는, 상기 광역 무선 통신 기지국을 개재하여, 상기 광역 무선 통신에 의해 상기 제어부로 변환된 정보를 상기 반송 대차로 송신하도록 구성해도 된다.
본 태양에 따르면, 예를 들면 반송 대차와 통신 디바이스와의 사이에 SEMI의 E84 통신 시퀀스가 적용되는 경우에, E84 통신 시퀀스의 이동 재치 전 순서 또는 이동 재치 후 순서에 있어서, 반송 대차가 이동 재치 장치의 직상의 위치로부터 떨어진 위치를 주행 중이라도, 반송 대차와 통신 디바이스와의 사이의 무선 통신을 안정화시킬 수 있다.
예를 들면, 상기 통신 장치는, 또한, 상기 반송 대차의 주행 중에, 상기 반송 대차 이외의 다른 반송 대차와 상기 통신 디바이스와의 통신 상황을 나타내는 통신 상황 정보를 취득하는 취득부를 구비하고, 상기 광역 무선 통신부는, 상기 취득부에 의해 취득된 통신 상황 정보를, 상기 광역 무선 통신 기지국을 개재하여 상기 광역 무선 통신에 의해 주행 중인 상기 반송 대차로 송신하도록 구성해도 된다.
본 태양에 따르면, 주행 중인 반송 대차는, 상기 반송 대차 이외의 다른 반송 대차와 통신 디바이스와의 통신 상황을 나타내는 통신 상황 정보에 기초하여, 예를 들면 다른 반송 대차가 상기 반송 대차의 주행 루트 상에서 E84 통신 시퀀스의 이동 재치 순서를 실행하고 있는 경우에, 주행 루트를 적절히 변경할 수 있다.
예를 들면, 상기 통신 장치는, 또한, 상기 반송 대차의 주행 중에, 상기 반송 대차 이외의 다른 반송 대차의 위치를 나타내는 위치 정보를 취득하는 취득부를 구비하고, 상기 광역 무선 통신부는, 상기 취득부에 의해 취득된 위치 정보를, 상기 광역 무선 통신 기지국을 개재하여 상기 광역 무선 통신에 의해 주행 중인 상기 반송 대차로 송신하도록 구성해도 된다.
본 태양에 따르면, 주행 중인 반송 대차는, 상기 반송 대차 이외의 다른 반송 대차의 위치를 나타내는 위치 정보에 기초하여, 예를 들면 다른 반송 대차가 상기 반송 대차의 주행 루트 상에서 E84 통신 시퀀스의 이동 재치 순서를 실행하고 있는 경우에, 주행 루트를 적절히 변경할 수 있다.
또한, 본 발명의 일태양에 따른 통신 장치의 제어 방법은, 피반송물을 반송하기 위한 반송 대차와, 상기 반송 대차와의 사이에서 상기 피반송물이 이동 재치되는 이동 재치 장치에 접속된 통신 디바이스와의 사이에 있어서의 통신을 중계하는 통신 장치의 제어 방법으로서, (a) 광역 무선 통신 기지국을 개재하여, 광역 무선 통신에 의해 상기 반송 대차로부터의 정보를 수신하는 단계와, (b) 상기 (a)에서 수신한 정보를, 광역 무선 통신용의 정보로부터 근거리 무선 통신용의 정보로 변환하는 단계와, (c) 상기 광역 무선 통신보다 좁은 통신 범위의 근거리 무선 통신에 의해, 상기 (b)에서 변환된 정보를 상기 통신 디바이스로 송신하는 단계와, (d) 상기 근거리 무선 통신에 의해 상기 통신 디바이스로부터의 정보를 수신하는 단계와, (e) 상기 (d)에서 수신한 정보를, 근거리 무선 통신용의 정보로부터 광역 무선 통신용의 정보로 변환하는 단계와, (f) 상기 광역 무선 통신 기지국을 개재하여, 상기 광역 무선 통신에 의해 상기 (e)에서 변환된 정보를 상기 반송 대차로 송신하는 단계를 포함한다.
본 태양에 따르면, 예를 들면 반송 대차가 이동 재치 장치의 직상의 위치로부터 떨어진 위치를 주행 중이라도, 광역 무선 통신 기지국(예를 들면, 무선 액세스 포인트)을 개재하여, 반송 대차와의 사이에서 광역 무선 통신에 의해 정보를 송수신하므로, 반송 대차와 통신 디바이스와의 사이에 있어서의 수신 전파 강도가 저하되는 것을 회피할 수 있어, 반송 대차와 통신 디바이스와의 사이의 무선 통신을 안정화시킬 수 있다. 또한, 통신 디바이스와의 사이에서 근거리 무선 통신에 의해 정보를 송수신하므로, 통신 디바이스를 저소비 전력으로 동작시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일태양에 따른 통신 시스템은, 피반송물을 반송하기 위한 반송 대차와, 상기 반송 대차와의 사이에서 상기 피반송물이 이동 재치되는 이동 재치 장치에 접속된 통신 디바이스와, 상기 반송 대차와 상기 통신 디바이스와의 사이에 있어서의 통신을 중계하는 통신 장치를 구비하고, 상기 반송 대차는, 광역 무선 통신 기지국을 개재하여, 상기 통신 장치와의 사이에서 광역 무선 통신에 의해 정보를 송수신하는 제 1 통신부를 가지고, 상기 통신 디바이스는, 상기 통신 장치와의 사이에서, 상기 광역 무선 통신보다 좁은 통신 범위의 근거리 무선 통신에 의해 정보를 송수신하는 제 2 통신부를 가지고, 상기 통신 장치는, 상기 광역 무선 통신 기지국을 개재하여, 상기 반송 대차의 상기 제 1 통신부와의 사이에서 상기 광역 무선 통신에 의해 정보를 송수신하는 광역 무선 통신부와, 상기 통신 디바이스의 상기 제 2 통신부와의 사이에서 상기 근거리 무선 통신에 의해 정보를 송수신하는 근거리 무선 통신부와, 상기 광역 무선 통신부가 수신한 정보를, 광역 무선 통신용의 정보로부터 근거리 무선 통신용의 정보로 변환하여 상기 근거리 무선 통신부에 출력하고, 또한, 상기 근거리 무선 통신부가 수신한 정보를, 근거리 무선 통신용의 정보로부터 광역 무선 통신용의 정보로 변환하여 상기 광역 무선 통신부에 출력하는 제어부를 가진다.
본 태양에 따르면, 예를 들면 반송 대차가 이동 재치 장치의 직상의 위치로부터 떨어진 위치를 주행 중이라도, 통신 장치의 광역 무선 통신부는, 광역 무선 통신 기지국(예를 들면, 무선 액세스 포인트)을 개재하여, 반송 대차의 제 1 통신부와의 사이에서 광역 무선 통신에 의해 정보를 송수신하므로, 반송 대차와 통신 디바이스와의 사이에 있어서의 수신 전파 강도가 저하되는 것을 회피할 수 있어, 반송 대차와 통신 디바이스와의 사이의 무선 통신을 안정화시킬 수 있다. 또한, 통신 장치의 근거리 무선 통신부는, 통신 디바이스의 제 2 통신부와의 사이에서 근거리 무선 통신에 의해 정보를 송수신하므로, 통신 디바이스를 저소비 전력으로 동작시킬 수 있다.
또한, 본 발명은, 장치로서 실현할 수 있을 뿐 아니라, 그 장치를 구성하는 처리 수단을 단계로 하는 방법으로서 실현하거나, 그들 단계를 컴퓨터에 실행시키는 프로그램으로서 실현하거나, 그 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 CD-ROM 등의 기록 매체로서 실현하거나, 그 프로그램을 나타내는 정보, 데이터 또는 신호로서 실현할 수도 있다. 그리고, 그들 프로그램, 정보, 데이터 및 신호는, 인터넷 등의 통신 네트워크를 개재하여 전달해도 된다.
본 발명의 일태양에 따른 통신 장치 등에 의하면, 반송 대차와 통신 디바이스와의 사이의 무선 통신을 안정화시킬 수 있다.
도 1은 실시의 형태에 따른 통신 시스템의 개요를 나타내는 도이다.
도 2는 FOUP을 하물 피킹(picking)할 시에 있어서의 E84 통신 시퀀스의 일례를 나타내는 도이다.
도 3은 FOUP을 하물 언로딩할 시에 있어서의 E84 통신 시퀀스의 일례를 나타내는 도이다.
도 4는 실시의 형태에 따른 통신 시스템의 기능 구성을 나타내는 블록도이다.
도 5는 광역 무선 통신용의 정보의 일례를 나타내는 도이다.
도 6은 근거리 무선 통신용의 정보의 일례를 나타내는 도이다.
도 7은 이동 재치 전 순서에 있어서의, 실시의 형태에 따른 통신 시스템의 동작을 설명하기 위한 개략도이다.
도 8은 이동 재치 전 순서에 있어서의, 실시의 형태에 따른 통신 시스템의 동작의 흐름을 나타내는 시퀀스도이다.
도 9는 이동 재치 순서에 있어서의, 실시의 형태에 따른 통신 시스템의 동작을 설명하기 위한 개략도이다.
도 10은 이동 재치 순서에 있어서의, 실시의 형태에 따른 통신 시스템의 동작의 흐름을 나타내는 시퀀스도이다.
도 11은 이동 재치 후 순서에 있어서의, 실시의 형태에 따른 통신 시스템의 동작을 설명하기 위한 개략도이다.
이하, 본 발명의 실시의 형태에 대하여, 도면을 이용하여 상세하게 설명한다. 또한, 이하에서 설명하는 실시의 형태는, 모두 포괄적 또는 구체적인 예를 나타내는 것이다. 이하의 실시의 형태에서 나타나는 수치, 형상, 재료, 구성 요소, 구성 요소의 배치 위치 및 접속 형태, 단계, 단계의 순서 등은 일례이며, 본 발명을 한정하는 주지는 아니다. 또한, 이하의 실시의 형태에 있어서의 구성 요소 중, 독립 청구항에 기재되어 있지 않은 구성 요소에 대해서는, 임의의 구성 요소로서 설명된다.
<실시의 형태>
[1. 통신 시스템의 개요]
먼저, 도 1 ~ 도 3을 참조하여, 실시의 형태에 따른 통신 시스템(2)의 개요에 대하여 설명한다. 도 1은 실시의 형태에 따른 통신 시스템(2)의 개요를 나타내는 도이다. 도 2는 FOUP(14)을 하물 피킹할 시에 있어서의 E84 통신 시퀀스의 일례를 나타내는 도이다. 도 3은 FOUP(14)을 하물 언로딩할 시에 있어서의 E84 통신 시퀀스의 일례를 나타내는 도이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 통신 시스템(2)은 예를 들면 반도체 제조 공장 내에 구축된 시스템이다. 통신 시스템(2)은 반송 대차(4)와, 반도체 제조 장치(6)와, 통신 디바이스(8)와, 무선 액세스 포인트(10)와, 통신 장치(12)를 구비하고 있다.
반송 대차(4)는, 반도체 웨이퍼가 저장된 FOUP(14)(피반송물의 일례)을 반송하기 위한 천장 주행식의 반송 대차이며, 이른바 OHT(Overhead Hoist Transfer)이다. 반송 대차(4)는, 반도체 제조 공장의 천장에 설치된 레일(16)을 따라 무인 주행한다. 또한, 반도체 제조 공장에는, 복수(예를 들면 수백 대)의 반송 대차(4)가 배치되어 있지만, 설명 관계 상, 도 1에서는 1 개의 반송 대차(4)만을 도시하고 있다.
반송 대차(4)의 내부에는, FOUP(14)을 파지하기 위한 파지부(18)가 승강 가능하게 탑재되어 있다. 예를 들면 반송 대차(4)와 반도체 제조 장치(6)의 재치 포트(22)(후술함)와의 사이에서 FOUP(14)을 이동 재치할 시에는, 반송 대차(4)가 재치 포트(22)의 직상의 위치에서 정지하고 있는 상태에서, 파지부(18)는, 반송 대차(4)로부터 재치 포트(22)의 근방까지 하강한다. 또한, FOUP(14)의 이동 재치가 완료되었을 시에는, 파지부(18)는, 재치 포트(22)의 근방으로부터 반송 대차(4)까지 상승하여, 반송 대차(4)의 내부에 저장된다.
반도체 제조 장치(6)는, FOUP(14)에 저장된 반도체 웨이퍼를 처리 또는 임시 배치 등 하기 위한 장치이며, 레일(16)의 직하(直下)에 설치되어 있다. 반도체 제조 장치(6)는, FOUP(14)을 반입 및 반출하기 위한 반입출구(20)와, 반입출구(20)의 근방에 배치된 재치 포트(22)(이동 재치 장치의 일례)를 가지고 있다. 재치 포트(22)는, FOUP(14)을 재치하기 위한 로드 포트이다. 재치 포트(22)는, 반송 대차(4)의 파지부(18)와의 사이에서 FOUP(14)을 이동 재치하고, 또한, 반입출구(20)를 통하여 반도체 제조 장치(6)와의 사이에서 FOUP(14)의 전달을 행한다.
또한, 반도체 제조 공장에는 복수(예를 들면 수천 대)의 반도체 제조 장치(6)가 설치되어 있지만, 설명 관계 상, 도 1에서는 1 개의 반도체 제조 장치(6)만을 도시하고 있다. 또한, 본 실시의 형태에서는, 반도체 제조 장치(6)가 1 개의 재치 포트(22)를 가지는 경우에 대하여 설명했지만, 이에 한정되지 않고, 복수의 재치 포트(22)를 가지고 있어도 된다.
통신 디바이스(8)는, 반송 대차(4)와 반도체 제조 장치(6)의 재치 포트(22)와의 사이의 통신을 중개하기 위한 디바이스 서버이다. 통신 디바이스(8)는, 반도체 제조 장치(6)의 천면에 배치되어 있고, 패럴렐 케이블(24)을 개재하여, 반도체 제조 장치(6)의 재치 포트(22)와 접속되어 있다. 이에 의해, 통신 디바이스(8)는, 반도체 제조 장치(6)의 재치 포트(22)와 통신할 수 있다. 통신 디바이스(8)와 반송 대차(4)와의 사이의 통신에는, SEMI의 E84 통신 시퀀스가 적용된다. 또한, 반도체 제조 공장에는, 재치 포트(22)와 동일 수의 통신 디바이스(8)가 설치되어 있지만, 설명 관계 상, 도 1에서는 1 개의 통신 디바이스(8)만을 도시하고 있다.
무선 액세스 포인트(10)는, 무선 LAN(Local Area Network)에 있어서의 액세스 포인트이다. 무선 액세스 포인트(10)는, 반송 대차(4)와 통신 장치(12)와의 사이의 광역 무선 통신을 중개한다. 즉, 반송 대차(4) 및 통신 장치(12)는, 무선 LAN에 있어서의 스테이션이다. 또한, 광역 무선 통신은, 무선 LAN에 의한 무선 통신이며, 그 통신 범위는, 예를 들면 무선 액세스 포인트(10)를 중심으로 하는 약 20 ~ 30 m 사방이다. 무선 액세스 포인트(10)는, 광역 무선 통신 기지국의 일례이다.
통신 장치(12)는, 반송 대차(4)와 통신 디바이스(8)와의 사이에 있어서의 통신을 중계하기 위한 중계 장치이다. 통신 장치(12)는, 예를 들면 레일(16)의 상방에 배치되어 있다. 통신 장치(12)는, 무선 액세스 포인트(10)를 개재하여, 반송 대차(4)와의 사이에서 광역 무선 통신에 의해 정보를 송수신한다. 또한, 통신 장치(12)는, 통신 디바이스(8)와의 사이에서 근거리 무선 통신에 의해 정보를 송수신한다. 또한, 근거리 무선 통신은, 예를 들면 BLE(Bluetooth(등록 상표) Low Energy)에 의한 무선 통신이며, 그 통신 범위는, 광역 무선 통신의 통신 범위보다 좁고, 예를 들면 통신 장치(12)를 중심으로 하는 약 5 m 사방이다. 근거리 무선 통신은, '근접 무선 통신'이라고도 한다.
상술한 통신 시스템(2)에서는, 재치 포트(22)에 재치된 FOUP(14)을 반송 대차(4)에 의해 하물 피킹할 시, 및, 반송 대차(4)로부터 재치 포트(22)로 FOUP(14)을 하물 언로딩할 시에는, E84 통신 시퀀스에 따라 반송 대차(4)와 통신 디바이스(8)와의 사이에서 제어 신호(정보)가 수수된다. E84 통신 시퀀스에서는, 반송 대차(4)와 재치 포트(22)와의 사이에서 FOUP(14)을 이동 재치할 시에, 특정의 제어 신호(예를 들면 L_REQ)가 오프가 되지 않으면 다음의 공정으로는 이행하지 않는, 복수의 공정으로 이루어지는 인터록 시퀀스가 채용되어 있다.
도 2에 나타내는 바와 같이, FOUP(14)을 하물 피킹할 시에 있어서의 E84 통신 시퀀스는, 이동 재치 전 순서, 이동 재치 순서 및 이동 재치 후 순서의 3 개의 단계로 성립되어 있다. 또한, 도 3에 나타내는 바와 같이, FOUP(14)을 하물 언로딩할 시에 있어서의 E84 통신 시퀀스는, 도 2와 마찬가지로, 이동 재치 전 순서, 이동 재치 순서 및 이동 재치 후 순서의 3 개의 단계로 성립되어 있다.
도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 이동 재치 전 순서에서는, 반송 대차(4)와 통신 디바이스(8)와의 사이에서, 이제부터 FOUP(14)의 이동 재치를 개시하는 취지를 나타내는 제어 신호가 수수된다. 이동 재치 순서에서는, 반송 대차(4)와 통신 디바이스(8)와의 사이에서, FOUP(14)의 이동 재치를 실행하기 위한 제어 신호가 수수되어, 실제로 FOUP(14)의 이동 재치가 행해진다. 이동 재치 후 순서에서는, 반송 대차(4)와 통신 디바이스(8)와의 사이에서, FOUP(14)의 이동 재치가 완료된 취지를 나타내는 제어 신호가 수수된다.
이동 재치 전 순서는, 반송 대차(4)가 FOUP(14)을 이동 재치해야 할 재치 포트(22)의 직상의 위치에 가까워지는 방향으로 주행하고 있는 동안에 실행된다. 이동 재치 순서는, 반송 대차(4)가 FOUP(14)을 이동 재치해야 할 재치 포트(22)의 직상의 위치에 도착한 후에, 당해 위치에서 정지한 상태에서 실행된다. 이동 재치 후 순서는, 반송 대차(4)가 FOUP(14)을 이동 재치한 재치 포트(22)의 직상의 위치로부터 멀어지는 방향으로 주행하고 있는 동안에 실행된다.
[2. 통신 시스템의 기능 구성]
도 4 ~ 도 6을 참조하여, 실시의 형태에 따른 통신 시스템(2)의 기능 구성에 대하여 설명한다. 도 4는 실시의 형태에 따른 통신 시스템(2)의 기능 구성을 나타내는 블록도이다. 도 5는 광역 무선 통신용의 정보의 일례를 나타내는 도이다. 도 6은 근거리 무선 통신용의 정보의 일례를 나타내는 도이다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 반송 대차(4), 무선 액세스 포인트(10) 및 통신 장치(12)는 무선 네트워크(26)에 접속되어 있다. 무선 네트워크(26)는, 예를 들면 IEEE802.11 시리즈에 준거한 무선 LAN이며, 2.4 GHz대 또는 5 GHz대의 WiFi(등록 상표)로 구축되어 있다.
반송 대차(4)는 광역 무선 통신부(28)(제 1 통신부의 일례)와, 안테나(30)와, 근거리 무선 통신부(32)와, 안테나(34)와, 제어부(36)를 가지고 있다.
광역 무선 통신부(28)는, 무선 액세스 포인트(10)를 개재하여, 통신 장치(12)와의 사이에서 광역 무선 통신에 의해 정보를 송수신한다. 안테나(30)는 광역 무선 통신용의 안테나이며, 광역 무선 통신부(28)에 접속되어 있다.
근거리 무선 통신부(32)는, 통신 디바이스(8)와의 사이에서 근거리 무선 통신에 의해 정보를 송수신한다. 안테나(34)는, 근거리 무선 통신용의 안테나이며, 근거리 무선 통신부(32)에 접속되어 있다.
제어부(36)는, 광역 무선 통신부(28) 및 근거리 무선 통신부(32)를 제어하는 것에 의해, 각종 처리를 실행한다. 구체적으로, 제어부(36)는, 반송 대차(4)가 FOUP(14)을 이동 재치해야 할 재치 포트(22)의 직상의 위치에 도착하기 직전에, 근거리 무선 통신부(32)에 의해 통신 디바이스(8)와의 사이에서 근거리 무선 통신을 행하도록 제어한다. 또한, 제어부(36)는, 반송 대차(4)가 FOUP(14)을 이동 재치해야 할 재치 포트(22)의 위치와 자주(自走) 위치가 일정 범위 내에 있는 경우에는, 근거리 무선 통신부(32)에 의해 통신 디바이스(8)와의 사이에서 통신 장치(12)를 개재하지 않고 근거리 무선 통신을 행하도록 제어해도 된다. 이 경우, 통신 장치(12)의 소비 전력을 경감할 수 있다. 또한, 제어부(36)는, 예를 들면 프로세서가 하드 디스크 또는 반도체 메모리 등의 기록 매체에 기록된 소프트웨어 프로그램을 읽어내 실행하는 것에 의해 실현된다.
반도체 제조 장치(6)의 재치 포트(22)는 통신부(38)와, 제어부(40)를 가지고 있다.
통신부(38)는, 패럴렐 케이블(24)(도 1 참조)을 개재하여, 통신 디바이스(8)와의 사이에서 정보를 송수신한다.
제어부(40)는, 통신부(38)를 제어하는 것에 의해, 각종 처리를 실행한다. 구체적으로, 제어부(40)는, 반송 대차(4)와의 사이에서 FOUP(14)(도 1 참조)을 이동 재치하기 위한 인터록 처리를 실행한다. 또한, 제어부(40)는, 반입출구(20)(도 1 참조)를 통하여 반도체 제조 장치(6)와의 사이에서 FOUP(14)의 전달을 행하기 위한 처리를 실행한다. 또한, 제어부(40)는, 예를 들면 프로세서가 하드 디스크 또는 반도체 메모리 등의 기록 매체에 기록된 소프트웨어 프로그램을 읽어내 실행하는 것에 의해 실현된다.
통신 디바이스(8)는 통신부(42)(제 2 통신부의 일례)와, 제어부(44)를 가지고 있다.
통신부(42)는, 패럴렐 케이블(24)을 개재하여, 재치 포트(22)와의 사이에서 정보를 송수신한다. 또한, 통신부(42)는, 반송 대차(4) 및 통신 장치(12)의 각각과의 사이에서, 근거리 무선 통신에 의해 정보를 송수신한다.
제어부(44)는, 통신부(42)를 제어하는 것에 의해, 각종 처리를 실행한다. 또한, 제어부(44)는, 예를 들면 프로세서가 하드 디스크 또는 반도체 메모리 등의 기록 매체에 기록된 소프트웨어 프로그램을 읽어내 실행하는 것에 의해 실현된다.
통신 장치(12)는 광역 무선 통신부(46)와, 안테나(48)와, 근거리 무선 통신부(50)와, 안테나(52)와, 제어부(54)와, 취득부(56)를 가지고 있다.
광역 무선 통신부(46)는, 무선 액세스 포인트(10)를 개재하여, 반송 대차(4)와의 사이에서 광역 무선 통신에 의해 정보를 송수신한다. 안테나(48)는, 광역 무선 통신용의 안테나이며, 광역 무선 통신부(46)에 접속되어 있다.
근거리 무선 통신부(50)는, 통신 디바이스(8)와의 사이에서 근거리 무선 통신에 의해 정보를 송수신한다. 안테나(52)는, 근거리 무선 통신용의 안테나이며, 근거리 무선 통신부(50)에 접속되어 있다. 또한, 본 실시의 형태에서는, 통신 장치(12)는, 근거리 무선 통신부(50) 및 안테나(52)를 1 조만 가지고 있는데, 이에 한정되지 않고, 예를 들면 복수의 통신 디바이스(8)와의 사이에서 동시에 근거리 무선 통신에 의해 정보를 송수신하는 경우에는, 근거리 무선 통신부(50) 및 안테나(52)를 복수 조 가지고 있어도 된다.
제어부(54)는, 광역 무선 통신부(46) 및 근거리 무선 통신부(50)를 제어하는 것에 의해, 각종 처리를 실행한다. 구체적으로, 제어부(54)는, 광역 무선 통신부(46)가 수신한 정보를, 광역 무선 통신용의 정보로부터 근거리 무선 통신용의 정보로 변환하여 근거리 무선 통신부(50)에 출력한다. 또한, 제어부(54)는, 근거리 무선 통신부(50)가 수신한 정보를, 근거리 무선 통신용의 정보로부터 광역 무선 통신용의 정보로 변환하여 광역 무선 통신부(46)에 출력한다. 또한, 제어부(54)는, 예를 들면 프로세서가 하드 디스크 또는 반도체 메모리 등의 기록 매체에 기록된 소프트웨어 프로그램을 읽어내 실행하는 것에 의해 실현된다.
여기서, 광역 무선 통신용의 정보는, 예를 들면 도 5의 (a)에 나타내는 것과 같은 데이터 프레임(58)이다. 도 5의 (a)에 나타내는 데이터 프레임(58)은, Frame Control, Duration, MAC Address 1 ~ 3, Seq Control, MAC Address 4, Data 및 CRC의 각 필드를 포함한다. 도 5의 (a)에 나타내는 Data의 필드에는, 도 5의 (b)에 나타내는 IP 헤더, UDP 헤더 및 통신 데이터의 각 필드가 포함된다. 또한, 도 5의 (b)에 나타내는 통신 데이터의 필드에는, 도 5의 (c)에 나타내는 근거리 무선 통신 주파수대, 근거리 무선 통신 채널, 근거리 무선 접속처 디바이스 ID, 근거리 무선 접속원 ID 및 근거리 무선 통신 데이터의 각 필드가 포함된다. 또한, 도 5의 (c)에 나타내는 근거리 무선 통신 데이터의 필드에는, 도 5의 (d)에 나타내는 송신 방향, INPUT DATA 및 OUTPUT DATA의 각 필드가 포함된다.
또한, 근거리 무선 통신용의 정보는, 예를 들면 도 6에 나타내는 것과 같은 데이터 프레임(60)이다. 도 6에 나타내는 데이터 프레임(60)은, 근거리 무선 접속처 디바이스 ID, 근거리 무선 접속원 ID, 송신 방향, INPUT DATA 및 OUTPUT DATA의 각 필드를 포함한다.
예를 들면, 광역 무선 통신부(46)가 도 5의 (a)에 나타내는 데이터 프레임(58)을 수신한 경우, 제어부(54)는, 광역 무선 통신부(46)가 수신한 데이터 프레임(58)으로부터, 도 5의 (c) 및 (d)에 나타내는 근거리 무선 접속처 디바이스 ID, 근거리 무선 접속원 ID, 송신 방향, INPUT DATA 및 OUTPUT DATA의 각 필드를 추출하는 것에 의해, 도 6에 나타내는 데이터 프레임(60)을 생성한다. 이와 같이 하여, 제어부(54)는, 광역 무선 통신용의 정보인 데이터 프레임(58)을, 근거리 무선 통신용의 정보인 데이터 프레임(60)으로 변환한다.
또한 예를 들면, 근거리 무선 통신부(50)가 도 6에 나타내는 데이터 프레임(60)을 수신한 경우, 제어부(54)는, 근거리 무선 통신부(50)가 수신한 데이터 프레임(60)의 근거리 무선 접속처 디바이스 ID, 근거리 무선 접속원 ID, 송신 방향, INPUT DATA 및 OUTPUT DATA의 각 필드를 추출하는 것에 의해, 도 5의 (a)에 나타내는 데이터 프레임(58)을 생성한다. 이와 같이 하여, 제어부(54)는, 근거리 무선 통신용의 정보인 데이터 프레임(60)을, 광역 무선 통신용의 정보인 데이터 프레임(58)으로 변환한다.
취득부(56)는, 반송 대차(4)의 주행 중에, 당해 반송 대차(4) 이외의 다른 반송 대차(도시하지 않음)와 통신 디바이스(8)와의 통신 상황을 나타내는 통신 상황 정보를 취득한다. 또한, 반송 대차(4)의 주행 중에, 당해 반송 대차(4) 이외의 다른 반송 대차의 위치를 나타내는 위치 정보를 취득한다. 취득부(56)는, 광역 무선 통신부(46)또는 근거리 무선 통신부(50)로부터 통신 상황 정보 및 위치 정보를 취득해도 되고, 통신 시스템(2)을 통괄하는 상위 컨트롤러(도시하지 않음)로부터 통신 상황 정보 및 위치 정보를 취득해도 된다.
[3. 통신 시스템의 동작]
[3-1. 이동 재치 전 순서에 있어서의 통신 시스템의 동작]
도 7 및 도 8을 참조하여, 이동 재치 전 순서에 있어서의 통신 시스템(2)의 동작에 대하여 설명한다. 도 7은 이동 재치 전 순서에 있어서의, 실시의 형태에 따른 통신 시스템(2)의 동작을 설명하기 위한 개략도이다. 도 8은 이동 재치 전 순서에 있어서의, 실시의 형태에 따른 통신 시스템(2)의 동작의 흐름을 나타내는 시퀀스도이다.
이하, 도 7에 나타내는 바와 같이, 반도체 제조 공장 내에, 반도체 제조 장치(6a, 6b, 6c, 6d, 6e, 6f(6a ~ 6f))가 이 순으로 배열되어 설치되어 있는 경우에 대하여 생각한다. 반도체 제조 장치(6a ~ 6f)는 각각, 재치 포트(22a, 22b, 22c, 22d, 22e, 22f(22a ~ 22f))를 가지고 있다. 재치 포트(22a ~ 22f)에는 각각, 통신 디바이스(8a, 8b, 8c, 8d, 8e, 8f(8a ~ 8f))가 접속되어 있다.
또한, 이하에서는, 반송 대차(4)가 반도체 제조 장치(6d)의 재치 포트(22d)와의 사이에서 FOUP(14)(도 1 참조)을 이동 재치하는 경우에 대하여 설명한다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 이동 재치 전 순서는, 반송 대차(4)가 FOUP(14)을 이동 재치해야 할 재치 포트(22d)의 직상의 위치에 가까워지는 방향으로 주행하고 있는 동안에 실행된다. 이동 재치 전 순서에서는, 반송 대차(4)와 통신 디바이스(8d)와의 사이에서, 이제부터 FOUP(14)의 이동 재치를 개시하는 취지를 나타내는 정보가 수수된다.
또한, 통신 장치(12)는, 근거리 무선 통신에 의해, 예를 들면 통신 디바이스(8a ~ 8f)의 각각과의 사이에서 정보를 송수신 가능하다. 또한, 통신 장치(12)는, 광역 무선 통신에 의해, 반도체 제조 장치(6d)의 직상의 위치보다 반도체 제조 장치(6a)측(도 7에 있어서 좌방), 및, 반도체 제조 장치(6d)의 직상의 위치보다 반도체 제조 장치(6f)측(도 7에 있어서 우측)을 주행하고 있는 반송 대차(4)와의 사이에서 정보를 송수신 가능하다.
먼저, 반송 대차(4)가 통신 디바이스(8d)에 대하여 정보를 송신하는 경우에 대하여 설명한다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 반송 대차(4)의 광역 무선 통신부(28)는, 광역 무선 통신에 의해, 통신 장치(12)에 대하여 정보(광역 무선 통신용의 정보)를 송신한다(S101). 무선 액세스 포인트(10)는, 광역 무선 통신에 의해, 이 반송 대차(4)로부터의 정보를 통신 장치(12)로 전송한다(S102).
통신 장치(12)의 광역 무선 통신부(46)는, 광역 무선 통신에 의해, 무선 액세스 포인트(10)로부터 전송되어 온 정보를 수신한다(S103). 통신 장치(12)의 제어부(54)는, 광역 무선 통신부(46)가 수신한 정보를, 광역 무선 통신용의 정보로부터 근거리 무선 통신용의 정보로 변환하여(S104), 근거리 무선 통신부(50)에 출력한다. 통신 장치(12)의 근거리 무선 통신부(50)는, 근거리 무선 통신에 의해, 제어부(54)로 변환된 정보(근거리 무선 통신용의 정보)를 통신 디바이스(8d)로 송신한다(S105).
통신 디바이스(8d)의 통신부(42)는, 근거리 무선 통신에 의해, 통신 장치(12)로부터 송신되어 온 정보를 수신한다(S106).
다음으로, 통신 디바이스(8d)가 반송 대차(4)에 대하여 정보를 송신하는 경우에 대하여 설명한다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 통신 디바이스(8d)의 통신부(42)는, 근거리 무선 통신에 의해, 통신 장치(12)에 대하여 정보(근거리 무선 통신용의 정보)를 송신한다(S107).
통신 장치(12)의 근거리 무선 통신부(50)는, 근거리 무선 통신에 의해, 통신 디바이스(8d)로부터 송신되어 온 정보를 수신한다(S108). 통신 장치(12)의 제어부(54)는, 근거리 무선 통신부(50)가 수신한 정보를, 근거리 무선 통신용의 정보로부터 광역 무선 통신용의 정보로 변환하여(S109), 광역 무선 통신부(46)에 출력한다. 통신 장치(12)의 광역 무선 통신부(46)는, 광역 무선 통신에 의해, 제어부(54)로 변환된 정보(광역 무선 통신용의 정보)를 반송 대차(4)에 대하여 송신한다(S110).
무선 액세스 포인트(10)는, 광역 무선 통신에 의해, 단계(S110)에서 송신된 통신 장치(12)로부터의 정보를 반송 대차(4)로 전송한다(S111). 반송 대차(4)의 광역 무선 통신부(28)는, 광역 무선 통신에 의해, 무선 액세스 포인트(10)로부터 전송되어 온 정보를 수신한다(S112).
[3-2. 이동 재치 순서에 있어서의 통신 시스템의 동작]
도 9 및 도 10을 참조하여, 이동 재치 순서에 있어서의 통신 시스템(2)의 동작에 대하여 설명한다. 도 9는 이동 재치 순서에 있어서의, 실시의 형태에 따른 통신 시스템(2)의 동작을 설명하기 위한 개략도이다. 도 10은 이동 재치 순서에 있어서의, 실시의 형태에 따른 통신 시스템(2)의 동작의 흐름을 나타내는 시퀀스도이다.
이하에서는, 상술한 바와 마찬가지로, 반송 대차(4)가 반도체 제조 장치(6d)의 재치 포트(22d)와의 사이에서 FOUP(14)을 이동 재치하는 경우에 대하여 설명한다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 이동 재치 순서는, 반송 대차(4)가 FOUP(14)을 이동 재치해야 할 재치 포트(22d)의 직상의 위치에서 정지한 상태에서 실행된다. 이동 재치 순서에서는, 반송 대차(4)와 통신 디바이스(8d)와의 사이에서, FOUP(14)의 이동 재치를 실행하기 위한 정보가 수수되어, 실제로 FOUP(14)의 이동 재치가 행해진다.
먼저, 반송 대차(4)가 통신 디바이스(8d)에 대하여 정보를 송신하는 경우에 대하여 설명한다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 반송 대차(4)의 근거리 무선 통신부(32)는, 근거리 무선 통신에 의해 통신 디바이스(8d)로 정보(근거리 무선 통신용의 정보)를 송신한다(S201). 통신 디바이스(8d)의 통신부(42)는, 근거리 무선 통신에 의해, 반송 대차(4)로부터 송신되어 온 정보를 수신한다(S202).
다음으로, 통신 디바이스(8d)가 반송 대차(4)에 대하여 정보를 송신하는 경우에 대하여 설명한다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 통신 디바이스(8d)의 통신부(42)는, 근거리 무선 통신에 의해, 반송 대차(4)로 정보(근거리 무선 통신용의 정보)를 송신한다(S203). 반송 대차(4)의 근거리 무선 통신부(32)는, 근거리 무선 통신에 의해, 통신 디바이스(8d)로부터 송신되어 온 정보를 수신한다(S204).
[3-3. 이동 재치 후 순서에 있어서의 통신 시스템의 동작]
도 11을 참조하여, 이동 재치 후 순서에 있어서의 통신 시스템(2)의 동작에 대하여 설명한다. 도 11은 이동 재치 후 순서에 있어서의, 실시의 형태에 따른 통신 시스템(2)의 동작을 설명하기 위한 개략도이다.
도 11에 나타내는 바와 같이, 이동 재치 후 순서는, 반송 대차(4)가 FOUP(14)을 이동 재치한 재치 포트(22d)의 직상의 위치로부터 멀어지는 방향으로 주행하고 있는 동안에 실행된다. 이동 재치 후 순서에서는, 상술한 도 8과 마찬가지로, 반송 대차(4)와 통신 디바이스(8d)와의 사이에서, 무선 액세스 포인트(10) 및 통신 장치(12)를 개재하여, FOUP(14)의 이동 재치를 완료한 취지를 나타내는 정보가 수수된다.
[3-4. 그 외의 동작]
상술한 바와 같이, 취득부(56)는, 반송 대차(4)의 주행 중에, 당해 반송 대차(4) 이외의 다른 반송 대차와 통신 디바이스(8a ~ 8f)와의 통신 상황을 나타내는 통신 상황 정보를 취득한다. 광역 무선 통신부(46)는, 주행 중인 당해 반송 대차(4)로부터의 요구에 따라, 이 취득부(56)에 의해 취득된 통신 상황 정보 및/또는 위치 정보를, 무선 액세스 포인트(10)를 개재하여 광역 무선 통신에 의해 주행 중인 당해 반송 대차(4)로 송신한다.
이에 의해, 예를 들면, 반송 대차(4)가 이동 재치 전 순서를 위하여 재치 포트(22d)의 직상의 위치에 가까워지는 방향으로 주행하고 있을 시에, 다른 반송 대차가 이동 재치 순서를 위하여 재치 포트(22d)의 직상의 위치에서 정지하고 있는 경우에는, 주행 중인 반송 대차(4)는, 통신 상황 정보 및/또는 위치 정보에 기초하여, 재치 포트(22d)의 직상의 위치를 우회하도록, 주행 루트를 적절히 변경할 수 있다.
[4. 효과]
본 실시의 형태에 따른 통신 시스템(2)에서는, 예를 들면 E84 통신 시퀀스의 이동 재치 전 순서 또는 이동 재치 후 순서에 있어서, 반송 대차(4)가 재치 포트(22)의 직상의 위치로부터 먼 위치를 주행 중, 통신 장치(12)의 광역 무선 통신부(46)는, 무선 액세스 포인트(10)를 개재하여, 반송 대차(4)와의 사이에서 광역 무선 통신에 의해 정보를 송수신한다. 이에 의해, 반송 대차(4)와 통신 디바이스(8)와의 사이에 있어서의 수신 전파 강도가 저하되는 것을 회피할 수 있어, 반송 대차(4)와 통신 디바이스(8)와의 사이의 무선 통신을 안정화시킬 수 있다.
또한, 통신 장치(12)의 근거리 무선 통신부(50)는, 통신 디바이스(8)와의 사이에서 근거리 무선 통신에 의해 정보를 송수신하므로, 통신 디바이스(8)를 저소비 전력으로 동작시킬 수 있다. 이에 의해, 예를 들면 반도체 제조 장치(6)에 설치된 PI/O(Programmed Input / Output) 경유로 공급되는 전원(24 V, 100 mA)에 의해, 통신 디바이스(8)를 동작시킬 수 있다.
또한, E84 통신 시퀀스의 이동 재치 순서에서는, 반송 대차(4)와 통신 디바이스(8)와의 사이에서 근거리 무선 통신에 의해 정보의 송수신이 행해지므로, 복수의 반송 대차(4)가 각각 복수의 통신 디바이스(8)와의 사이에서 동시에 무선 통신을 행하는 경우라도, 무선 통신의 간섭을 회피할 수 있다.
(다른 변형예 등)
이상, 본 발명의 통신 장치에 대하여, 상기 실시의 형태에 기초하여 설명했지만, 본 발명은, 상기 실시의 형태에 한정되는 것은 아니다. 상기 실시의 형태에 대하여 당업자가 착상하는 변형을 실시하여 얻어지는 형태, 및, 상기 실시의 형태에 있어서의 구성 요소를 임의로 조합하여 실현되는 다른 형태도 본 발명에 포함된다.
상기 실시의 형태에서는, 광역 무선 통신으로서 WiFi(등록 상표)를 채용했지만, 이에 한정되지 않고, 예를 들면 Private LTE(Long Term Evolution), 또는, 제 5 세대 이동 통신 시스템을 국소적으로 이용하는 Local 5G 등을 채용해도 된다. 당해 광역 무선 통신을 사용하는 경우는, 반송 대차(4)의 광역 무선 통신부(28) 및 안테나(30), 통신 장치(12)의 광역 무선 통신부(46) 및 안테나(48), 그리고, 통신 디바이스(8)의 통신부(42)는, 각 광역 무선 통신의 통신 규격에 준거한다.
또한, 상기 실시의 형태에서는, 이동 재치 순서에 있어서의 통신 시스템(2)의 동작에 대하여, 반송 대차(4)와 통신 디바이스(8)와의 사이에서, FOUP(4)의 이동 재치를 실행하기 위한 정보를 수수하기 위하여, 반송 대차(4)가 구비하는, 근거리 무선 통신부(32)가 근거리 무선 통신에 의해 통신 디바이스(8)로 정보(근거리 무선 통신용의 정보)를 송수신하도록 했지만, 이동 재치 전 순서 및 이동 재치 후 순서에 있어서의 통신 시스템(2)의 동작과 동일한 통신 방법을 적용해도 된다. 즉, 이동 재치 순서에 있어서의 통신 시스템(2)의 동작에 있어서, 반송 대차(4)는 무선 액세스 포인트(10)를 개재하여, 통신 장치(12)와의 사이에서 광역 무선 통신에 의해 정보를 수수하고, 통신 장치(12)는 통신 디바이스(8)와의 사이에서, 근거리 무선 통신을 행하는 것이다. 이와 같이 하면, 반송 대차(4)는 근거리 무선 통신부(32)를 구비할 필요가 없어, 광역 무선 통신에 의해 통신 디바이스(8)와의 사이에서 인터록 통신이 가능하며, 또한, 반송 대차(4)의 제조 코스트 및 설계 상의 번잡함을 경감할 수 있다.
또한 상기 실시의 형태에 있어서, 각 구성 요소는, 전용의 하드웨어로 구성되거나, 각 구성 요소에 적합한 소프트웨어 프로그램을 실행하는 것에 의해 실현되어도 된다. 각 구성 요소는, CPU 또는 프로세서 등의 프로그램 실행부가, 하드 디스크 또는 반도체 메모리 등의 기록 매체에 기록된 소프트웨어 프로그램을 읽어내 실행하는 것에 의해 실현되어도 된다.
본 발명에 따른 통신 시스템은, 예를 들면 천장에 설치된 레일을 따라 주행하는 반송 대차에 의해 FOUP을 반송하기 위한 반도체 제조 시스템 등에 적용할 수 있다.
2 : 통신 시스템
4 : 반송 대차
6, 6a, 6b, 6c, 6d, 6e, 6f : 반도체 제조 장치
8, 8a, 8b, 8c, 8d, 8e, 8f : 통신 디바이스
10 : 무선 액세스 포인트
12 : 통신 장치
14 : FOUP
16 : 레일
18 : 파지부
20 : 반입출구
22, 22a, 22b, 22c, 22d, 22e, 22f : 재치 포트
24 : 패럴렐 케이블
26 : 무선 네트워크
28, 46 : 광역 무선 통신부
30, 34, 48, 52 : 안테나
32, 50 : 근거리 무선 통신부
36, 40, 44, 54 : 제어부
38, 42 : 통신부
56 : 취득부
58, 60 : 데이터 프레임

Claims (6)

  1. 피반송물을 반송하기 위한 반송 대차와, 상기 반송 대차와의 사이에서 상기 피반송물이 이동 재치되는 이동 재치 장치에 접속된 통신 디바이스와의 사이에 있어서의 통신을 중계하는 통신 장치로서,
    광역 무선 통신 기지국을 개재하여, 상기 반송 대차와의 사이에서 광역 무선 통신에 의해 정보를 송수신하는 광역 무선 통신부와,
    상기 통신 디바이스와의 사이에서, 상기 광역 무선 통신보다 좁은 통신 범위의 근거리 무선 통신에 의해 정보를 송수신하는 근거리 무선 통신부와,
    상기 광역 무선 통신부가 수신한 정보를, 광역 무선 통신용의 정보로부터 근거리 무선 통신용의 정보로 변환하여 상기 근거리 무선 통신부에 출력하고, 또한, 상기 근거리 무선 통신부가 수신한 정보를, 근거리 무선 통신용의 정보로부터 광역 무선 통신용의 정보로 변환하여 상기 광역 무선 통신부에 출력하는 제어부를 구비하는
    통신 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    (i) 상기 반송 대차가, 상기 이동 재치 장치와의 사이에서 상기 피반송물을 이동 재치하기 전에 상기 이동 재치 장치에 가까워지는 방향으로 주행 중, 또는, 상기 이동 재치 장치와의 사이에서 상기 피반송물을 이동 재치한 후에 상기 이동 재치 장치로부터 멀어지는 방향으로 주행 중에, 상기 통신 디바이스에 대하여 정보를 송신하는 경우에는,
    상기 광역 무선 통신부는, 상기 광역 무선 통신 기지국을 개재하여, 상기 광역 무선 통신에 의해 상기 반송 대차로부터의 정보를 수신하고,
    상기 제어부는, 상기 광역 무선 통신부가 수신한 정보를, 광역 무선 통신용의 정보로부터 근거리 무선 통신용의 정보로 변환하여 상기 근거리 무선 통신부에 출력하고,
    상기 근거리 무선 통신부는, 상기 근거리 무선 통신에 의해 상기 제어부로 변환된 정보를 상기 통신 디바이스로 송신하고,
    (ii) 상기 반송 대차가, 상기 이동 재치 장치와의 사이에서 상기 피반송물을 이동 재치하기 전에 상기 이동 재치 장치에 가까워지는 방향으로 주행 중, 또는, 상기 이동 재치 장치와의 사이에서 상기 피반송물을 이동 재치한 후에 상기 이동 재치 장치로부터 멀어지는 방향으로 주행 중일 시에, 상기 통신 디바이스가 상기 반송 대차에 대하여 정보를 송신하는 경우에는,
    상기 근거리 무선 통신부는, 상기 근거리 무선 통신에 의해 상기 통신 디바이스로부터의 정보를 수신하고,
    상기 제어부는, 상기 근거리 무선 통신부가 수신한 정보를, 근거리 무선 통신용의 정보로부터 광역 무선 통신용의 정보로 변환하여 상기 광역 무선 통신부에 출력하고,
    상기 광역 무선 통신부는, 상기 광역 무선 통신 기지국을 개재하여, 상기 광역 무선 통신에 의해 상기 제어부로 변환된 정보를 상기 반송 대차로 송신하는
    통신 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 통신 장치는, 또한, 상기 반송 대차의 주행 중에, 상기 반송 대차 이외의 다른 반송 대차와 상기 통신 디바이스와의 통신 상황을 나타내는 통신 상황 정보를 취득하는 취득부를 구비하고,
    상기 광역 무선 통신부는, 상기 취득부에 의해 취득된 통신 상황 정보를, 상기 광역 무선 통신 기지국을 개재하여 상기 광역 무선 통신에 의해 주행 중인 상기 반송 대차로 송신하는
    통신 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 통신 장치는, 또한, 상기 반송 대차의 주행 중에, 상기 반송 대차 이외의 다른 반송 대차의 위치를 나타내는 위치 정보를 취득하는 취득부를 구비하고,
    상기 광역 무선 통신부는, 상기 취득부에 의해 취득된 위치 정보를, 상기 광역 무선 통신 기지국을 개재하여 상기 광역 무선 통신에 의해 주행 중인 당해 반송 대차로 송신하는
    통신 장치.
  5. 피반송물을 반송하기 위한 반송 대차와, 상기 반송 대차와의 사이에서 상기 피반송물이 이동 재치되는 이동 재치 장치에 접속된 통신 디바이스와의 사이에 있어서의 통신을 중계하는 통신 장치의 제어 방법으로서,
    (a) 광역 무선 통신 기지국을 개재하여, 광역 무선 통신에 의해 상기 반송 대차로부터의 정보를 수신하는 단계와,
    (b) 상기 (a)에서 수신한 정보를, 광역 무선 통신용의 정보로부터 근거리 무선 통신용의 정보로 변환하는 단계와,
    (c) 상기 광역 무선 통신보다 좁은 통신 범위의 근거리 무선 통신에 의해, 상기 (b)에서 변환된 정보를 상기 통신 디바이스로 송신하는 단계와,
    (d) 상기 근거리 무선 통신에 의해 상기 통신 디바이스로부터의 정보를 수신하는 단계와,
    (e) 상기 (d)에서 수신한 정보를, 근거리 무선 통신용의 정보로부터 광역 무선 통신용의 정보로 변환하는 단계와,
    (f) 상기 광역 무선 통신 기지국을 개재하여, 상기 광역 무선 통신에 의해 상기 (e)에서 변환된 정보를 상기 반송 대차로 송신하는 단계를 포함하는
    통신 장치의 제어 방법.
  6. 피반송물을 반송하기 위한 반송 대차와,
    상기 반송 대차와의 사이에서 상기 피반송물이 이동 재치되는 이동 재치 장치에 접속된 통신 디바이스와,
    상기 반송 대차와 상기 통신 디바이스와의 사이에 있어서의 통신을 중계하는 통신 장치를 구비하고,
    상기 반송 대차는, 광역 무선 통신 기지국을 개재하여, 상기 통신 장치와의 사이에서 광역 무선 통신에 의해 정보를 송수신하는 제 1 통신부를 가지고,
    상기 통신 디바이스는, 상기 통신 장치와의 사이에서, 상기 광역 무선 통신보다 좁은 통신 범위의 근거리 무선 통신에 의해 정보를 송수신하는 제 2 통신부를 가지고,
    상기 통신 장치는,
    상기 광역 무선 통신 기지국을 개재하여, 상기 반송 대차의 상기 제 1 통신부와의 사이에서 상기 광역 무선 통신에 의해 정보를 송수신하는 광역 무선 통신부와,
    상기 통신 디바이스의 상기 제 2 통신부와의 사이에서 상기 근거리 무선 통신에 의해 정보를 송수신하는 근거리 무선 통신부와,
    상기 광역 무선 통신부가 수신한 정보를, 광역 무선 통신용의 정보로부터 근거리 무선 통신용의 정보로 변환하여 상기 근거리 무선 통신부에 출력하고, 또한, 상기 근거리 무선 통신부가 수신한 정보를, 근거리 무선 통신용의 정보로부터 광역 무선 통신용의 정보로 변환하여 상기 광역 무선 통신부에 출력하는 제어부를 가지는
    통신 시스템.
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