KR20230094941A - 물품 이송 장치 - Google Patents

물품 이송 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20230094941A
KR20230094941A KR1020220058129A KR20220058129A KR20230094941A KR 20230094941 A KR20230094941 A KR 20230094941A KR 1020220058129 A KR1020220058129 A KR 1020220058129A KR 20220058129 A KR20220058129 A KR 20220058129A KR 20230094941 A KR20230094941 A KR 20230094941A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
rail
straight
rails
steering
unit
Prior art date
Application number
KR1020220058129A
Other languages
English (en)
Inventor
박노재
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to JP2022199209A priority Critical patent/JP2023092496A/ja
Priority to US18/066,681 priority patent/US20230192152A1/en
Priority to CN202211653679.5A priority patent/CN116281186A/zh
Publication of KR20230094941A publication Critical patent/KR20230094941A/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733Overhead conveying
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/0457Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0297Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

물품 이송 장치는 레일부를 따라 주행하도록 구비되는 주행부, 및 상기 주행부 아래에 매달리는 구조를 갖도록 구비되되, 물품을 탑재하도록 구비되는 탑재부를 포함하도록 이루어질 수 있는 것으로써, 특히 상기 레일부는 제1 방향을 따라 연장되게 구비되되, 복수개가 제1 간격마다 나란하게 배치되도록 구비되는 제1 직선 레일과, 상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향을 따라 연장되게 구비되되, 복수개가 제2 간격마다 나란하게 배치되도록 구비되는 제2 직선 레일과, 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 상기 주행부가 주행할 수 있게 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 연결하도록 구비되는 연결 레일로 이루어질 수 있다.

Description

물품 이송 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING OBJECT}
본 발명은 물품 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자에서의 물품을 이송하는데 적용하기 위한 물품 이송 장치에 관한 것이다.
반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서는 기판을 다수매 수납하는 풉(FOUP) 등과 같은 물품에 대한 이송 공정이 빈번하게 이루어질 수 있는데, 최근에는 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 구비되는 OHT(overhaed hoist transport) 등과 같은 물품 이송 장치를 사용하고 있다.
OHT 등과 같은 물품 이송 장치는 직선 레일, 곡선 레일 등으로 구비되는 레일부, 레일부를 따라 주행하는 주행부, 주행부 아래에 매달리는 구조를 가짐과 아울러 물품을 탑재하는 탑재부 등을 이루어질 수 있고, 특히 탑재부가 천장과 바닥 사이를 수직하게 승강 및 하강함에 의해 물품의 이송이 이루어질 수 있다.
그리고 집적회로 소자의 제조 장치에는 물품이 로딩 및 언로딩되는 장소인 다수의 포트(port)가 구비될 수 있고, 물품을 보관하는 스토커에는 물품이 로딩 및 언로딩되는 장소인 다수의 선반(shelf)이 구비될 수 있다.
이에, OHT 등과 같은 물품 이송 장치는 탑재부가 포트, 선반 사이를 승강 및 하강함에 의해 물품의 이송이 이루어질 수 있다.
그런데, 탑재부가 수직하게 승강 및 하강하는 위치와 포트, 선반과의 위치가 서로 일치하지 않을 경우 물품이 포트, 선반에 정확하게 로딩 및 언로딩되지 못할 수도 있고, 그 결과 물품 이송에 따른 불량이 발생할 수도 있을 것이다.
따라서 집적회로 소자의 제조 라인에 대한 초기 세팅시 탑재부가 수직하게 승강 및 하강하는 위치와 포트, 선반과의 위치를 정확하게 일치하는 작업을 수행할 뿐만 아니라 탑재부가 수직하게 승강 및 하강하는 위치와 포트, 선반과의 위치를 수시로 확인하고, 일치하도록 조정하는 작업을 수행하고 있다.
그러나 탑재부가 수직하게 승강 및 하강하는 위치와 포트, 선반과의 위치를 일치시키는 작업은 공정 수행과는 별도의 시간을 확보해야 하는 단점이 있다.
또한, 집적회로 소자의 제조 장치, 스토커 등에 대한 교체시 기존 집적회로 소자의 제조 장치, 스토커 등과의 크기 등을 달리할 수 있을 뿐만 아니라 포트, 선반 등의 위치까지도 달리할 수 있는데, 이 경우 탑재부의 주행 경로가 포트, 선반 바로 아래를 벗어날 수도 있기 때문에 탑재부의 주행 경로를 포트, 선반 바로 아래에 위치하도록 조정하거나 또는 탑재부의 주행 경로 아래에 포트, 선반이 위치하도록 조정해야 하는 상황이 발생할 수도 있을 것이다.
본 발명의 일 과제는 탑재부가 수직하게 승강 및 하강하는 위치와 포트, 선반과의 위치를 정확하게 일치하는 작업을 생략함에도 불구하고 탑재부가 수직하게 승강 및 하강하는 위치와 포트, 선반과의 위치를 일치시킬 수 있는 물품 이송 장치를 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 어느 하나의 물품 이송 장치는 레일부를 따라 주행하도록 구비되는 주행부, 및 상기 주행부 아래에 매달리는 구조를 갖도록 구비되되, 물품을 탑재하도록 구비되는 탑재부를 포함하도록 이루어질 수 있는 것으로써, 특히 상기 레일부는 제1 방향을 따라 연장되게 구비되되, 복수개가 제1 간격마다 나란하게 배치되도록 구비되는 제1 직선 레일과, 상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향을 따라 연장되게 구비되되, 복수개가 제2 간격마다 나란하게 배치되도록 구비되는 제2 직선 레일과, 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 상기 주행부가 주행할 수 있게 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 연결하도록 구비되는 연결 레일로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 연결 레일은 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일 상부와 상기 제2 직선 레일 상부를 지나가는 경로를 갖도록 이루어질 때, 상기 주행부는 상기 제1 직선 레일 및 상기 제2 직선 레일을 따라 주행하는 주행휠, 및 상기 연결 레일을 따라 주행하는 조향휠로 이루어지되, 상기 조향휠은 상승을 통하여 상기 연결 레일과 연결됨과 아울러 좌,우 이동을 통하여 원하는 방향의 상기 연결 레일을 따라 주행하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 연결 레일은 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일로부터 분기되어 상기 제2 직선 레일까지 연장되거나 또는 서로 수직하게 마주하는 상기 제2 직선 레일로부터 분기되어 상기 제1 직선 레일까지 연장되는 분기 레일, 및 상기 주행부가 상기 제1 직선 레일로부터 상기 분기 레일로 진입하거나 또는 상기 제2 직선 레일로부터 상기 분기 레일로 진입할 수 있게 상기 제1 직선 레일로부터 분기되는 분기 영역 또는 상기 제2 직선 레일로부터 분기되는 분기 영역에 배치되는 조향 레일로 이루어질 때, 상기 주행부는 상기 제1 직선 레일, 상기 제2 직선 레일 및 상기 분기 레일을 따라 주행하는 주행휠, 및 상기 조향 레일을 따라 주행하는 조향휠로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 조향 레일이 상기 분기 레일 상부에 배치되도록 구비될 때, 상기 조향휠은 상승을 통하여 상기 조향 레일과 연결됨과 아울러 좌,우 이동을 통하여 원하는 방향의 상기 조향 레일을 따라 주행하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 연결 레일은 서로 수직하게 이웃하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 연결하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 연결 레일은 서로 수직하게 이웃하는 상기 제1 직선 레일 사이의 1/2 길이가 되는 지점과 상기 제2 직선 레일 사이의 1/2 길이가 되는 지점 사이를 연결하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 탑재부는 상기 주행부 아래에 배치되는 가이드부에 의해 이동 가능하게 매달리는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 가이드부는 상기 주행부에 연결됨과 아울러 상기 탑재부 쪽에 가이드홈을 갖도록 구비되는 가이드판과, 상기 탑재부와 연결됨과 아울러 상기 가이드홈을 따라 이동하도록 구비되는 가이드봉으로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 가이드홈은 상기 가이드판의 중심으로부터 상기 가이드판의 양쪽 단부 쪽으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되되, 상기 가이드판의 중심으로부터 적어도 두 개가 상기 가이드판의 양쪽 단부 쪽으로 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 간격과 상기 제2 간격은 서로 동일한 간격을 갖도록 이루어질 수 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 다른 하나의 물품 이송 장치는 레일부를 따라 주행하도록 구비되는 주행부, 및 상기 주행부 아래에 매달리는 구조를 갖도록 구비되되, 물품을 탑재하도록 구비되는 탑재부를 포함하도록 이루어질 수 있는 것으로써, 특히 상기 레일부는 제1 방향을 따라 연장되게 구비되되, 복수개가 제1 간격마다 나란하게 배치되도록 구비되는 제1 직선 레일과, 상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향을 따라 연장되게 구비되되, 복수개가 제2 간격마다 나란하게 배치되도록 구비되는 제2 직선 레일과, 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 상기 주행부가 주행할 수 있게 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 곡선 경로를 갖도록 연결할 수 있게 구비되는 연결 레일로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 연결 레일은 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일 상부와 상기 제2 직선 레일 상부를 지나가는 곡선 경로를 갖도록 연결할 수 있게 이루어질 때, 상기 주행부는 상기 제1 직선 레일 및 상기 제2 직선 레일을 따라 주행하는 주행휠, 및 상기 연결 레일을 따라 주행하는 조향휠로 이루어지되, 상기 조향휠은 상승을 통하여 상기 연결 레일과 연결됨과 아울러 좌,우 이동을 통하여 원하는 방향의 상기 연결 레일을 따라 주행하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 연결 레일은 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일로부터 분기되어 상기 제2 직선 레일까지 연장되거나 또는 서로 수직하게 마주하는 상기 제2 직선 레일로부터 분기되어 상기 제1 직선 레일까지 연장되는 분기 레일, 및 상기 주행부가 상기 제1 직선 레일로부터 상기 분기 레일로 진입하거나 또는 상기 제2 직선 레일로부터 상기 분기 레일로 진입할 수 있게 상기 제1 직선 레일로부터 분기되는 분기 영역 또는 상기 제2 직선 레일로부터 분기되는 분기 영역에 배치되는 조향 레일로 이루어질 때, 상기 주행부는 상기 제1 직선 레일, 상기 제2 직선 레일 및 상기 분기 레일을 따라 주행하는 주행휠, 및 상기 조향 레일을 따라 주행하는 조향휠로 이루어질 수 있고, 그리고 상기 조향 레일이 상기 분기 레일 상부에 배치되도록 구비될 때, 상기 조향휠은 상승을 통하여 상기 조향 레일과 연결됨과 아울러 좌,우 이동을 통하여 원하는 방향의 상기 조향 레일을 따라 주행하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 연결 레일은 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 곡선 경로를 갖도록 연결할 수 있게 구비되되, 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일 사이의 1/2 길이가 되는 지점과 상기 제2 직선 레일 사이의 1/2 길이가 되는 지점 사이를 곡선 경로를 갖도록 연결할 수 있게 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 탑재부는 상기 주행부 아래에 배치되는 가이드부에 의해 이동 가능하게 매달리는 구조를 갖도록 구비되되, 상기 가이드부는 상기 주행부에 연결됨과 아울러 상기 탑재부 쪽에 가이드홈을 갖도록 구비되는 가이드판과, 상기 탑재부와 연결됨과 아울러 상기 가이드홈을 따라 이동하도록 구비되는 가이드봉으로 이루어지고, 그리고 상기 가이드홈은 상기 가이드판의 중심으로부터 상기 가이드판의 양쪽 단부 쪽으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되되, 상기 가이드판의 중심으로부터 적어도 두 개가 상기 가이드판의 양쪽 단부 쪽으로 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 또 다른 하나의 물품 이송 장치는 레일부를 따라 주행하도록 구비되는 주행부, 및 상기 주행부 아래에 매달리는 구조를 갖도록 구비되되, 물품을 탑재하도록 구비되는 탑재부를 포함하도록 이루어질 수 있는 것으로써, 상기 레일부는 제1 방향을 따라 연장되게 구비되되, 복수개가 제1 간격마다 나란하게 배치되도록 구비되는 제1 직선 레일과, 상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향을 따라 연장되게 구비되되, 복수개가 제2 간격마다 나란하게 배치되도록 구비되는 제2 직선 레일과, 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 상기 주행부가 주행할 수 있게 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 사선 경로를 갖도록 연결할 수 있게 구비되는 연결 레일로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 연결 레일은 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일 상부와 상기 제2 직선 레일 상부를 지나가는 사선 경로를 갖도록 연결할 수 있게 이루어질 때, 상기 주행부는 상기 제1 직선 레일 및 상기 제2 직선 레일을 따라 주행하는 주행휠, 및 상기 연결 레일을 따라 주행하는 조향휠로 이루어지되, 상기 조향휠은 상승을 통하여 상기 연결 레일과 연결됨과 아울러 좌,우 이동을 통하여 원하는 방향의 상기 연결 레일을 따라 주행하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 연결 레일은 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일로부터 분기되어 상기 제2 직선 레일까지 연장되거나 또는 서로 수직하게 마주하는 상기 제2 직선 레일로부터 분기되어 상기 제1 직선 레일까지 연장되는 분기 레일, 및 상기 주행부가 상기 제1 직선 레일로부터 상기 분기 레일로 진입하거나 또는 상기 제2 직선 레일로부터 상기 분기 레일로 진입할 수 있게 상기 제1 직선 레일로부터 분기되는 분기 영역 또는 상기 제2 직선 레일로부터 분기되는 분기 영역에 배치되는 조향 레일로 이루어질 때, 상기 주행부는 상기 제1 직선 레일, 상기 제2 직선 레일 및 상기 분기 레일을 따라 주행하는 주행휠, 및 상기 조향 레일을 따라 주행하는 조향휠로 이루어질 수 있고, 그리고 상기 조향 레일이 상기 분기 레일 상부에 배치되도록 구비될 때, 상기 조향휠은 상승을 통하여 상기 조향 레일과 연결됨과 아울러 좌,우 이동을 통하여 원하는 방향의 상기 조향 레일을 따라 주행하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 연결 레일은 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 사선 경로를 갖도록 연결할 수 있게 구비되되, 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일 사이의 1/2 길이가 되는 지점과 상기 제2 직선 레일 사이의 1/2 길이가 되는 지점 사이를 사선 경로를 갖도록 연결할 수 있게 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 탑재부는 상기 주행부 아래에 배치되는 가이드부에 의해 이동 가능하게 매달리는 구조를 갖도록 구비되되, 상기 가이드부는 상기 주행부에 연결됨과 아울러 상기 탑재부 쪽에 가이드홈을 갖도록 구비되는 가이드판과, 상기 탑재부와 연결됨과 아울러 상기 가이드홈을 따라 이동하도록 구비되는 가이드봉으로 이루어지고, 그리고 상기 가이드홈은 상기 가이드판의 중심으로부터 상기 가이드판의 양쪽 단부 쪽으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되되, 상기 가이드판의 중심으로부터 적어도 두 개가 상기 가이드판의 양쪽 단부 쪽으로 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치는 별도로 작업을 수행하지 않아도 탑재부가 수직하게 승강 및 하강하는 위치와 포트, 선반과의 위치를 용이하게 일치시킬 수 있기 때문에 집적회로 소자의 제조 공정 전체에 따른 공정 수행 시간을 단축시킬 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치는 집적회로 소자의 제조 공정에서의 생산성 향상을 기대할 수 있을 것이다.
특히, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치는 레일부에 의한 주행 경로를 보다 촘촘하게 확보함과 아울러 탑재부 자체를 이동 가능하도록 구비함으로써 탑재부가 수직하게 승강 및 하강하는 위치와 포트, 선반과의 위치를 용이하게 일치시킬 수 있는 이점을 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치에서의 레일부를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치의 주행부에서의 연결 레일을 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
도 5는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치에서의 주행부 및 탑재부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치에서의 가이드부를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치에서의 가이드부에 의해 이동하는 탑재부를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
먼저, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치는 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조 공정의 수행시 기판을 다수매 수납하는 풉(FOUP) 등과 같은 물품에 대한 이송 공정을 수행하는데 사용하기 위한 것으로써, 주로 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 구비되는 OHT(overhaed hoist transport) 등일 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치는 집적회로 소자의 제조 장치에 구비되는 다수의 포트, 물품을 보관하는 스토커에 구비되는 다수의 선반 사이를 수직하게 승강 및 하강함에 의해 물품의 이송을 수행하도록 이루어질 수 있다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치는 주행부, 레일부, 탑재부, 가이드부 등을 포함하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치에서의 주행부, 레일부, 탑재부, 가이드부 등에 대하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치에서의 레일부를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치에서의 레일부(11)는 주행 경로를 제공하도록 구비되는 것으로써, 제1 직선 레일(13), 제2 직선 레일(15), 연결 레일(17) 등으로 이루어질 수 있다.
제1 직선 레일(13)은 제1 방향을 따라 연장되게 구비될 수 있는데, 복수개가 제1 간격마다 나란하게 배치되도록 구비될 수 있고, 예를 들어 천장면의 가로 방향을 따라 복수개가 제1 간격마다 나란하게 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
제2 직선 레일(15)은 제1 방향과 수직하는 제2 방향을 따라 연장되게 구비될 수 있는데, 복수개가 제2 간격마다 나란하게 배치되도록 구비될 수 있고, 예를 들어 천장면의 세로 방향을 따라 복수개가 제2 간격마다 나란하게 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에서는 제1 간격과 제2 간격은 서로 동일한 간격을 가질 수 있을 것이다.
이에, 본 발명에서의 제1 직선 레일(13) 및 제2 직선 레일(15)에 의해 형성되는 레일부(11)는 천장면에 가로, 세로 간격이 서로 동일한 바둑판 배치 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이고, 제1 간격과 제2 간격을 보다 좁게 할 경우 레일부(11)가 보다 촘촘한 배치 구조를 갖도록 구비할 수도 있을 것이다.
연결 레일(17)은 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15)을 연결하도록 구비되는 것으로써, 서로 수직하게 마주하는 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15)을 연결하도록 구비될 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에서의 연결 레일(17)은 서로 수직하게 이웃하는 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15) 사이를 연결하도록 구비될 수 있는 것으로써, 서로 수직하게 이웃하는 제1 직선 레일(13) 사이의 1/2 길이가 되는 지점과 제2 직선 레일(15) 사이의 1/2 길이가 되는 지점 사이를 연결하도록 구비될 수 있을 것이다.
즉, 본 발명에서의 연결 레일(17)은 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15)이 서로 교차함에 의해 형성되는 서로 마주하는 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15) 사이를 연결하는 것으로써, 서로 나란하게 배치되는 제1 직선 레일(13) 각각의 1/2 길이가 되는 지점과 서로 나란하게 배치되는 제2 직선 레일(15) 각각이 1/2 길이가 되는 지점 사이를 연결하도록 구비될 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치의 레일부(11)에서의 연결 레일(17)은 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15) 사이를 곡선 경로를 갖도록 연결하거나, 사선 경로를 갖도록 연결할 수 있을 것이다.
즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치의 레일부(11)에서의 연결 레일(17)은 도 1에서와 같이 서로 수직하게 이웃하는 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15) 사이를 곡선 경로를 갖도록 연결할 수 있게 구비되는 곡선 레일로 이루어질 수 있거나, 또는 도 2에서와 같이 서로 수직하게 이웃하는 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15) 사이를 사선 경로를 갖도록 연결할 수 있게 구비되는 사선 레일로 이루어질 수 있을 것이다.
구체적으로, 연결 레일(17)은 도 1에서와 같이 서로 수직하게 이웃하는 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15)이 서로 교차하는 교차점 각각을 중심점으로 함과 아울러 서로 나란하게 배치되는 제1 직선 레일(13) 사이의 1/2 길이 또는 제2 직선 레일(15) 사이의 1/2 길이를 반지름으로 하는 원형 경로를 갖는 원형 레일로 이루어지게 구비될 수 있는 것으로써, 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15)이 서로 교차하는 교차점 각각을 중심점으로 그리고 제1 직선 레일(13) 사이의 1/2 길이 또는 제2 직선 레일(15) 사이의 1/2 길이를 반지름으로 하는 원형 경로의 원형 레일 각각이 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15) 사이에 반복해서 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
또한, 연결 레일(17)은 도 2에서와 같이 서로 수직하게 이웃하는 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15)이 서로 교차하는 교차점 각각을 중심점으로 함과 아울러 서로 나란하게 배치되는 제1 직선 레일(13) 사이의 1/2 길이 또는 제2 직선 레일(15) 사이의 1/2 길이를 한 변의 길이로 하는 사각형 경로를 갖는 사선 레일로 이루어지게 구비될 수 있는 것으로써, 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15)이 서로 교차하는 교차점 각각을 중심점으로 그리고 제1 직선 레일(13) 사이의 1/2 길이 또는 제2 직선 레일(15) 사이의 1/2 길이를 한 변의 길이로 하는 다이아몬드 구조와 같은 사각형 경로의 사선 레일 각각이 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15) 사이에 반복해서 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
이와 달리, 도시하지 않았지만 연결 레일(17)은 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15) 사이를 언급한 곡선 경로로 이루어지는 원형 레일 및 사선 경로로 이루어지는 사선 레일이 혼용되는 경로를 갖도록 이루어지게 구비될 수도 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치는 서로 수직하도록 배치되는 제1 직선 레일(13) 및 제2 직선 레일(15)과 함께 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15) 사이를 연결하는 원형 경로 또는/및 사선 경로를 갖는 연결 레일(17)이 반복해서 배치되는 구조를 갖도록 이루어질 수 있기 때문에 레일부(11)에 의한 주행 경로를 보다 촘촘하게 확보할 수 있을 것이다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치에서의 연결 레일(17)은 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15) 각각으로부터 분기되는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치의 주행부에서의 연결 레일을 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
먼저 도 3을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치의 주행부(21)에서의 연결 레일(17)은 서로 수직하게 마주하는 제1 직선 레일(13) 상부와 제2 직선 레일(15) 상부를 지나가는 경로를 갖도록 이루어질 수 있다.
즉, 도 3에서의 연결 레일(17)은 서로 수직하게 마주하는 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15)을 직접 연결하는 것이 아니라 서로 수직하게 마주하는 제1 직선 레일(13) 상부와 제2 직선 레일(15) 상부를 경유하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
다만, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치는 후술하는 주행부(21)에서의 조향휠(25)의 상승 동작 등에 의해 제1 직선 레일(13) 또는 제2 직선 레일(15)을 주행하다가 제1 직선 레일(13) 상부와 제2 직선 레일(15) 상부를 경유하는 연결 레일(17)을 주행하도록 이루어질 수 있다.
그리고 본 발명에서의 연결 레일(17)은 서로 수직하게 마주하는 제1 직선 레일(13) 상부와 제2 직선 레일(15) 상부를 곡선 경로를 따라 경유하는 구조를 갖도록 구비되거나, 또는 사선 경로를 따라 경유하는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
이와 달리 도 4를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치의 주행부(21)에서의 연결 레일(17)은 분기 레일(17a) 및 조향 레일(17b)로 이루어질 수 있는 것으로써, 분기 레일(17a)은 제1 직선 레일(13) 또는 제2 직선 레일(15)로부터 분기되는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 조향 레일(17b)은 주행부(21)가 제1 직선 레일(13)로부터 분기 레일(17a)로 진입하거나 또는 제2 직선 레일(15)로부터 분기 레일(17a)로 진입할 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
본 발명에서는 연결 레일(17)이 서로 수직하게 마주하는 제1 직선 레일(13)과 제2 직선 레일(15)을 연결하도록 구비되기 때문에 분기 레일(17a)의 경우에도 서로 수직하게 마주하는 제1 직선 레일(13)로부터 분기되어 제2 직선 레일(15)까지 연장되도록 구비되거나 또는 서로 수직하게 마주하는 제2 직선 레일(15)로부터 분기되어 제1 직선 레일(13)까지 연장되도록 구비될 수 있다.
즉, 본 발명에서의 분기 레일(17a)은 제1 직선 레일(13)로부터 분기되어 서로 수직하게 마주하는 제2 직선 레일(15)까지 연결될 수 있게 연장되는 구조를 갖거나 또는 제2 직선 레일(15)로부터 분기되어 서로 수직하게 마주하는 제1 직선 레일(13)까지 연결될 수 있게 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있기 때문에 연결 레일(17)과 거의 동일한 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
그리고 조향 레일(17b)은 제1 직선 레일(13) 또는 제2 직선 레일(15)을 따라 주행하는 주행부(21)가 분기 레일(17a)을 따라 주행하도록 구비될 수 있는 것으로써, 분기 레일(17a)을 따라 제1 직선 레일(13)로부터 제2 직선 레일(15)까지 연장되도록 구비되거나 또는 제2 직선 레일(15)로부터 분기되어 제1 직선 레일(13)까지 연장되도록 구비될 수 있다.
이와 달리, 도시하지는 않았지만 조향 레일(17b)은 제1 직선 레일(13)로부터 분기되는 분기 영역 또는 제2 직선 레일(15)로부터 분기되는 분기 영역에 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
즉, 조향 레일(17b)은 분기 레일(17a)을 따라 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 것이 아니라 제1 직선 레일(13)로부터 분기되는 분기 영역인 제1 직선 레일(13)로부터 분기되는 분기 레일(17a)의 입구 쪽 또는 제2 직선 레일(15)로부터 분기되는 분기 영역인 제2 직선 레일(15)로부터 분기되는 분기 레일(17a)의 입구 쪽에 배치되도록 구비될 수 있을 것이다.
또한 도 1에서와 같이, 연결 레일(17)이 곡선 경로를 갖는 곡선 레일일 경우에는 분기 레일(17a) 또한 서로 수직하게 마주하는 제1 직선 레일(13)로부터 분기되어 제2 직선 레일(15)까지 곡선 경로를 갖도록 연장되거나 또는 서로 수직하게 마주하는 제2 직선 레일(15)로부터 분기되어 제1 직선 레일(13)까지 곡선 경로를 갖도록 연장되게 구비될 수 있을 것이고, 조향 레일(17b)의 경우에도 분기 레일(17a)을 따라 곡선 경로를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
다만, 조향 레일(17b)의 경우에는 제1 직선 레일(13)로부터 분기되는 분기 영역에만 곡선 경로를 갖도록 구비되거나 또는 제2 직선 레일(15)로부터 분기되는 분기 영역에만 곡선 경로를 갖도록 구비될 수도 있을 것이다.
그리고 도 2에서와 같이, 연결 레일(17)이 사선 경로를 갖는 사선 레일일 경우에는 분기 레일(17a) 또한 서로 수직하게 마주하는 제1 직선 레일(13)로부터 분기되어 제2 직선 레일(15)까지 사선 경로를 갖도록 연장되거나 또는 서로 수직하게 마주하는 제2 직선 레일(15)로부터 분기되어 제1 직선 레일(13)까지 사선 경로를 갖도록 연장되게 구비될 수 있을 것이고, 조향 레일(17b)의 경우에도 분기 레일(17a)을 따라 사선 경로를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
마찬가지로, 조향 레일(17b)의 경우에는 제1 직선 레일(13)로부터 분기되는 분기 영역에만 사선 경로를 갖도록 구비되거나 또는 제2 직선 레일(15)로부터 분기되는 분기 영역에만 사선 경로를 갖도록 구비될 수도 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치는 주행부(21)가 제1 직선 레일(13)로부터 연결 레일(17)을 따라 용이하게 주행하도록 하거나 또는 제2 직선 레일(15)로부터 연결 레일(17)을 따라 용이하게 주행하도록 할 수 있을 것이고, 그 결과 주행 경로를 보다 촘촘하게 확보할 수 있기 때문에 레일부(11)에 의해 주행부(21)를 원하는 곳 어디에라도 위치하도록 할 수 있을 것이다.
도 5는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치에서의 주행부 및 탑재부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치에서의 주행부(21)는 주행휠(23) 및 조향휠(25)로 이루어질 수 있는 것으로써, 도 3에서와 같이 연결 레일(17)이 제1 직선 레일(13) 상부와 제2 직선 레일(15) 상부를 지나가는 경로를 갖도록 이루어질 때에는 주행휠(23)은 제1 직선 레일(13) 및 제2 직선 레일(15)을 주행하도록 구비됨과 아울러 조향휠(25)은 연결 레일(17)을 주행하도록 구비될 수 있고, 도 4에와 같이 연결 레일(17)이 분기 레일(17a) 및 조향 레일(17b)로 이루어질 때에는 주행휠(23)은 제1 직선 레일(13), 제2 직선 레일(15) 및 분기 레일(17a)을 따라 주행하도록 구비됨과 아울러 조향휠(25)은 조향 레일(17b)을 따라 주행하도록 구비될 수 있다.
구체적으로, 도 3에서와 같이 연결 레일(17)이 제1 직선 레일(13) 상부와 제2 직선 레일(15) 상부를 지나가는 경로를 갖도록 이루어질 경우 조향휠(25)은 상승을 통하여 연결 레일(17)과 연결됨과 아울러 좌,우 이동을 통하여 원하는 방향의 연결 레일(17)을 따라 주행하도록 구비될 수 있다.
따라서 주행휠(23)을 사용하여 제2 직선 레일(15)을 따라 주행하다가 조향휠(25)이 연결 레일(17) 아래에 위치할 때 조향휠(25)을 상승시켜 연결 레일(17)과 연결되도록 할 수 있고, 그리고 조향휠(25)을 좌측의 연결 레일(17)로 이동시켜 좌측의 연결 레일(17)을 따라 주행하도록 하거나 또는 우측의 연결 레일(17)로 이동시켜 우측의 연결 레일(17)을 따라 주행하도록 할 수 있고, 계속해서 조향휠(25)을 사용하여 연결 레일(17)을 따라 주행하다가 제2 직선 레일(15)과 수직하게 마주하는 제1 직선 레일(13) 상부에 위치할 때 조향휠(25)을 하강시켜 주행휠(23)을 제1 직선 레일(13)과 연결되도록 할 수 있고, 이에 주행휠(23)을 사용하여 제1 직선 레일(13)을 따라 주행하도록 할 수 있을 것이다.
그리고 도 4에서의 경우에도 조향 레일(17b)이 분기 레일(17a) 상부에 배치되도록 구비될 수도 있을 것이다.
이에, 조향휠(25)은 분기 영역에 진입 및 진출시 조향 레일(17b)을 향하여 상승 및 하강하도록 구비될 수 있을 것이고, 아울러 원하는 조향 방향 쪽으로의 조향 레일(17b)을 향하여 좌,우 이동하도록 구비될 수 있을 것이다.
따라서 주행휠(23)을 사용하여 제2 직선 레일(15)을 따라 주행하다가 조향휠(25)이 조향 레일(17b) 아래에 위치할 때 조향휠(25)을 상승시켜 조향 레일(17b)과 연결되도록 할 수 있고, 그리고 조향휠(25)을 좌측의 조향 레일(17b)로 이동시켜 좌측의 조향 레일(17b)을 따라 주행하도록 하거나 또는 우측의 조향 레일(17b)로 이동시켜 우측의 조향 레일(17b)을 따라 주행하도록 할 수 있고, 계속해서 조향휠(25)을 사용하여 조향 레일(17b)을 따라 주행하다가 제2 직선 레일(15)과 수직하게 마주하는 제1 직선 레일(13) 상부에 위치할 때 조향휠(25)을 하강시켜 주행휠(23)을 제1 직선 레일(13)과 연결되도록 할 수 있고, 이에 주행휠(23)을 사용하여 제1 직선 레일(13)을 따라 주행하도록 할 수 있을 것이다.
다만, 조향 레일(17b)이 분기 레일(17a) 상부에 배치됨과 아울러 분기 영역에만 구비될 경우에는 조향휠(25)은 좌,우 이동을 통한 조향 기능만을 가질 뿐 주행휠(23)이 분기 레일(17a)을 따라 주행하도록 이루어질 수 있는 것으로써, 이 경우에는 조향휠(25)이 좌,우 이동하는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치는 보다 촘촘하게 확보하는 레일부(11)를 주행부(21)가 용이하게 주행하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있기 때문에 주행부(21)를 원하는 곳 어디에라도 위치하도록 할 수 있을 것이다.
그리고 탑재부(31)는 주행부(21)에 아래에 매달리는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 탑재하도록 구비될 수 있다.
본 발명에서의 물품의 예로서는 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 다수매 적재하는 풉(FOUP) 등을 들 수 있다.
그리고 본 발명에서의 탑재부(31)는 집적회로 제조 라인에 배치되는 제조 장치의 다수의 포트, 스토커의 선반 등과의 사이를 수직하게 승강 및 하강함에 의해 물품을 이송할 수 있게 구비될 수 있는 것으로써, 도시하지 않았지만 탑재부(31)에는 제조 장치의 다수의 포트, 스토커의 선반 등과의 사이를 수직하게 승강 및 하강할 수 있는 호이스트 등과 같은 승하강 부재가 구비될 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치는 물품을 로딩 및 언로딩하기 위한 장소인 포트, 선반과의 수직한 상부에 주행부(21)를 위치시킨 다음 탑재부(31)를 수직하게 승강 및 하강시킴에 의해 물품의 이송을 달성할 수 있을 것이다.
특히, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치는 보다 촘촘하게 확보하는 레일부(11)를 주행부(21)가 용이하게 주행하는 구조를 갖도록 이루어짐으로써 주행부(21)를 원하는 곳 어디에라도 위치하도록 할 수 있기 때문에 언급한 포트, 선반 등과 위치 조정을 보다 용이하게 달성할 수 있을 것이다.
이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치에서의 탑재부(31)가 주행부에 매달린 상태에서 이동 가능하게 구비되는 구조에 대하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치에서의 가이드부를 설명하기 위한 개략적인 도면들이고, 도 8 및 도 9는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치에서의 가이드부에 의해 이동하는 탑재부를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
먼저 도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치에서의 탑재부(31)는 주행부(21) 아래에 배치되는 가이드부(41)에 매달리는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
특히, 본 발명의 물품 이송 장치에서의 가이드부(41)는 주행부(21) 아래에 배치되는 탑재부(31)가 이동 가능하게 매달리는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
이에, 가이드부(41)는 탑재부(31)가 매달린 상태에서도 용이하게 이동할 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 가이드판(41a), 가이드봉(41c) 등으로 이루어지는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
가이드판(41a)은 주행부(21)에 연결됨과 아울러 탑재부(31) 쪽에 가이드홈(41b)을 갖도록 구비될 수 있고, 가이드봉(41c)은 탑재부(31)와 연결됨과 아울러 가이드홈(41b)을 따라 이동하도록 구비될 수 있다.
그리고 가이드홈(41b)은 가이드판(41a)의 중심으로부터 가이드판(41a)의 양쪽 단부 쪽으로 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 가이드판(41a)의 중심으로부터 적어도 두 개가 가이드판(41a)의 양쪽 단부 쪽으로 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는데, 주로 팔방으로 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
따라서 탑재부(31)와 연결되는 가이드봉(41c)이 가이드홈(41b)을 따라 이동함으로써 탑재부(31)는 주행부(21) 아래에 매달린 상태에서도 용이하게 이동할 수 있는 것으로써, 도 8 및 도 9에서와 같이 탑재부(31)는 주행부(21) 아래에 매달린 채 원하는 방향으로 용이하게 이동할 수 있는 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치는 레일부(11)에 의한 주행 경로를 보다 촘촘하게 확보함과 아울러 탑재부(31) 자체를 이동 가능하도록 구비함으로써 탑재부(31)가 수직하게 승강 및 하강하는 위치와 포트, 선반과의 위치를 용이하게 일치시킬 수 있을 것이다.
즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치는 보다 촘촘하게 확보하는 레일부(11)을 통해 주행부(21)의 이동 자유도를 향상시킴과 아울러 탑재부(31)와 포트, 선반과의 위치 조정에 따른 유연성을 확보할 수 있기 때문에 별도로 작업을 수행하지 않아도 탑재부(31)가 수직하게 승강 및 하강하는 위치와 포트, 선반과의 위치를 용이하게 일치시킬 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 물품 이송 장치는 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 다수매 수납하는 풉 등과 같은 물품을 이송하는 이송 공정에 사용할 수 있기 때문에 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 레일부 13 : 제1 직선 레일
15 : 제2 직선 레일 17 : 연결 레일
17a : 분기 레일 17b : 조향 레일
21 : 주행부 23 : 주행휠
25 : 조향휠 31 : 탑재부
41 : 가이드부 41a : 가이드판
41b : 가이드홈 41c : 가이드봉

Claims (20)

  1. 레일부를 따라 주행하도록 구비되는 주행부; 및
    상기 주행부 아래에 매달리는 구조를 갖도록 구비되되, 물품을 탑재하도록 구비되는 탑재부를 포함하되,
    상기 레일부는 제1 방향을 따라 연장되게 구비되되, 복수개가 제1 간격마다 나란하게 배치되도록 구비되는 제1 직선 레일과, 상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향을 따라 연장되게 구비되되, 복수개가 제2 간격마다 나란하게 배치되도록 구비되는 제2 직선 레일과, 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 상기 주행부가 주행할 수 있게 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 연결하도록 구비되는 연결 레일로 이루어지는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 연결 레일은 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일 상부와 상기 제2 직선 레일 상부를 지나가는 경로를 갖도록 이루어질 때,
    상기 주행부는 상기 제1 직선 레일 및 상기 제2 직선 레일을 따라 주행하는 주행휠, 및 상기 연결 레일을 따라 주행하는 조향휠로 이루어지되, 상기 조향휠은 상승을 통하여 상기 연결 레일과 연결됨과 아울러 좌,우 이동을 통하여 원하는 방향의 상기 연결 레일을 따라 주행하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 연결 레일은 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일로부터 분기되어 상기 제2 직선 레일까지 연장되거나 또는 서로 수직하게 마주하는 상기 제2 직선 레일로부터 분기되어 상기 제1 직선 레일까지 연장되는 분기 레일, 및 상기 주행부가 상기 제1 직선 레일로부터 상기 분기 레일로 진입하거나 또는 상기 제2 직선 레일로부터 상기 분기 레일로 진입할 수 있게 상기 제1 직선 레일로부터 분기되는 분기 영역 또는 상기 제2 직선 레일로부터 분기되는 분기 영역에 배치되는 조향 레일로 이루어질 때,
    상기 주행부는 상기 제1 직선 레일, 상기 제2 직선 레일 및 상기 분기 레일을 따라 주행하는 주행휠, 및 상기 조향 레일을 따라 주행하는 조향휠로 이루어지는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 조향 레일이 상기 분기 레일 상부에 배치되도록 구비될 때, 상기 조향휠은 상승을 통하여 상기 조향 레일과 연결됨과 아울러 좌,우 이동을 통하여 원하는 방향의 상기 조향 레일을 따라 주행하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 연결 레일은 서로 수직하게 이웃하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 연결하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 연결 레일은 서로 수직하게 이웃하는 상기 제1 직선 레일 사이의 1/2 길이가 되는 지점과 상기 제2 직선 레일 사이의 1/2 길이가 되는 지점 사이를 연결하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 탑재부는 상기 주행부 아래에 배치되는 가이드부에 의해 이동 가능하게 매달리는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 가이드부는 상기 주행부에 연결됨과 아울러 상기 탑재부 쪽에 가이드홈을 갖도록 구비되는 가이드판과, 상기 탑재부와 연결됨과 아울러 상기 가이드홈을 따라 이동하도록 구비되는 가이드봉으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 가이드홈은 상기 가이드판의 중심으로부터 상기 가이드판의 양쪽 단부 쪽으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되되, 상기 가이드판의 중심으로부터 적어도 두 개가 상기 가이드판의 양쪽 단부 쪽으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 간격과 상기 제2 간격은 서로 동일한 간격을 갖도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  11. 레일부를 따라 주행하도록 구비되는 주행부; 및
    상기 주행부 아래에 매달리는 구조를 갖도록 구비되되, 물품을 탑재하도록 구비되는 탑재부를 포함하되,
    상기 레일부는 제1 방향을 따라 연장되게 구비되되, 복수개가 제1 간격마다 나란하게 배치되도록 구비되는 제1 직선 레일과, 상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향을 따라 연장되게 구비되되, 복수개가 제2 간격마다 나란하게 배치되도록 구비되는 제2 직선 레일과, 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 상기 주행부가 주행할 수 있게 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 곡선 경로를 갖도록 연결할 수 있게 구비되는 연결 레일로 이루어지는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 연결 레일은 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일 상부와 상기 제2 직선 레일 상부를 지나가는 곡선 경로를 갖도록 연결할 수 있게 이루어질 때,
    상기 주행부는 상기 제1 직선 레일 및 상기 제2 직선 레일을 따라 주행하는 주행휠, 및 상기 연결 레일을 따라 주행하는 조향휠로 이루어지되, 상기 조향휠은 상승을 통하여 상기 연결 레일과 연결됨과 아울러 좌,우 이동을 통하여 원하는 방향의 상기 연결 레일을 따라 주행하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  13. 제11 항에 있어서,
    상기 연결 레일은 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일로부터 분기되어 상기 제2 직선 레일까지 연장되거나 또는 서로 수직하게 마주하는 상기 제2 직선 레일로부터 분기되어 상기 제1 직선 레일까지 연장되는 분기 레일, 및 상기 주행부가 상기 제1 직선 레일로부터 상기 분기 레일로 진입하거나 또는 상기 제2 직선 레일로부터 상기 분기 레일로 진입할 수 있게 상기 제1 직선 레일로부터 분기되는 분기 영역 또는 상기 제2 직선 레일로부터 분기되는 분기 영역에 배치되는 조향 레일로 이루어질 때,
    상기 주행부는 상기 제1 직선 레일, 상기 제2 직선 레일 및 상기 분기 레일을 따라 주행하는 주행휠, 및 상기 조향 레일을 따라 주행하는 조향휠로 이루어질 수 있고, 그리고 상기 조향 레일이 상기 분기 레일 상부에 배치되도록 구비될 때, 상기 조향휠은 상승을 통하여 상기 조향 레일과 연결됨과 아울러 좌,우 이동을 통하여 원하는 방향의 상기 조향 레일을 따라 주행하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  14. 제11 항에 있어서,
    상기 연결 레일은 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 곡선 경로를 갖도록 연결할 수 있게 구비되되, 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일 사이의 1/2 길이가 되는 지점과 상기 제2 직선 레일 사이의 1/2 길이가 되는 지점 사이를 곡선 경로를 갖도록 연결할 수 있게 구비되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  15. 제11 항에 있어서,
    상기 탑재부는 상기 주행부 아래에 배치되는 가이드부에 의해 이동 가능하게 매달리는 구조를 갖도록 구비되되, 상기 가이드부는 상기 주행부에 연결됨과 아울러 상기 탑재부 쪽에 가이드홈을 갖도록 구비되는 가이드판과, 상기 탑재부와 연결됨과 아울러 상기 가이드홈을 따라 이동하도록 구비되는 가이드봉으로 이루어지고, 그리고 상기 가이드홈은 상기 가이드판의 중심으로부터 상기 가이드판의 양쪽 단부 쪽으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되되, 상기 가이드판의 중심으로부터 적어도 두 개가 상기 가이드판의 양쪽 단부 쪽으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  16. 레일부를 따라 주행하도록 구비되는 주행부; 및
    상기 주행부 아래에 매달리는 구조를 갖도록 구비되되, 물품을 탑재하도록 구비되는 탑재부를 포함하되,
    상기 레일부는 제1 방향을 따라 연장되게 구비되되, 복수개가 제1 간격마다 나란하게 배치되도록 구비되는 제1 직선 레일과, 상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향을 따라 연장되게 구비되되, 복수개가 제2 간격마다 나란하게 배치되도록 구비되는 제2 직선 레일과, 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 상기 주행부가 주행할 수 있게 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 사선 경로를 갖도록 연결할 수 있게 구비되는 연결 레일로 이루어지는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 연결 레일은 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일 상부와 상기 제2 직선 레일 상부를 지나가는 사선 경로를 갖도록 연결할 수 있게 이루어질 때,
    상기 주행부는 상기 제1 직선 레일 및 상기 제2 직선 레일을 따라 주행하는 주행휠, 및 상기 연결 레일을 따라 주행하는 조향휠로 이루어지되, 상기 조향휠은 상승을 통하여 상기 연결 레일과 연결됨과 아울러 좌,우 이동을 통하여 원하는 방향의 상기 연결 레일을 따라 주행하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  18. 제16 항에 있어서,
    상기 연결 레일은 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일로부터 분기되어 상기 제2 직선 레일까지 연장되거나 또는 서로 수직하게 마주하는 상기 제2 직선 레일로부터 분기되어 상기 제1 직선 레일까지 연장되는 분기 레일, 및 상기 주행부가 상기 제1 직선 레일로부터 상기 분기 레일로 진입하거나 또는 상기 제2 직선 레일로부터 상기 분기 레일로 진입할 수 있게 상기 제1 직선 레일로부터 분기되는 분기 영역 또는 상기 제2 직선 레일로부터 분기되는 분기 영역에 배치되는 조향 레일로 이루어질 때,
    상기 주행부는 상기 제1 직선 레일, 상기 제2 직선 레일 및 상기 분기 레일을 따라 주행하는 주행휠, 및 상기 조향 레일을 따라 주행하는 조향휠로 이루어질 수 있고, 그리고 상기 조향 레일이 상기 분기 레일 상부에 배치되도록 구비될 때, 상기 조향휠은 상승을 통하여 상기 조향 레일과 연결됨과 아울러 좌,우 이동을 통하여 원하는 방향의 상기 조향 레일을 따라 주행하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  19. 제16 항에 있어서,
    상기 연결 레일은 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일과 상기 제2 직선 레일 사이를 사선 경로를 갖도록 연결할 수 있게 구비되되, 서로 수직하게 마주하는 상기 제1 직선 레일 사이의 1/2 길이가 되는 지점과 상기 제2 직선 레일 사이의 1/2 길이가 되는 지점 사이를 사선 경로를 갖도록 연결할 수 있게 구비되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  20. 제16 항에 있어서,
    상기 탑재부는 상기 주행부 아래에 배치되는 가이드부에 의해 이동 가능하게 매달리는 구조를 갖도록 구비되되, 상기 가이드부는 상기 주행부에 연결됨과 아울러 상기 탑재부 쪽에 가이드홈을 갖도록 구비되는 가이드판과, 상기 탑재부와 연결됨과 아울러 상기 가이드홈을 따라 이동하도록 구비되는 가이드봉으로 이루어지고, 그리고 상기 가이드홈은 상기 가이드판의 중심으로부터 상기 가이드판의 양쪽 단부 쪽으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되되, 상기 가이드판의 중심으로부터 적어도 두 개가 상기 가이드판의 양쪽 단부 쪽으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
KR1020220058129A 2021-12-21 2022-05-12 물품 이송 장치 KR20230094941A (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022199209A JP2023092496A (ja) 2021-12-21 2022-12-14 物品移送装置
US18/066,681 US20230192152A1 (en) 2021-12-21 2022-12-15 Apparatus for transporting article
CN202211653679.5A CN116281186A (zh) 2021-12-21 2022-12-20 物品搬送装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20210183489 2021-12-21
KR1020210183489 2021-12-21

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230094941A true KR20230094941A (ko) 2023-06-28

Family

ID=86994702

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220058129A KR20230094941A (ko) 2021-12-21 2022-05-12 물품 이송 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20230094941A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4848862B2 (ja) 搬送台車走行軌道
TWI644850B (zh) Temporary storage device, handling system, and temporary storage method
US20090238664A1 (en) Storing apparatus and transporting system with storage
JP6897864B2 (ja) ストッカシステム
CN113348141B (zh) 搬送系统
JP2008019017A (ja) 物品収納装置
JPWO2019003799A1 (ja) 搬送システム及び搬送方法
KR20150071312A (ko) 이송대차
KR102294887B1 (ko) 물품 이송 장치
WO2017043234A1 (ja) 搬送システム及び搬送方法
KR20230094941A (ko) 물품 이송 장치
CN113195379B (zh) 保管系统
KR20200100982A (ko) 스토커 유닛 및 이를 갖는 물품 이송 장치
KR20050038134A (ko) 기판 스토킹 시스템
US20230192152A1 (en) Apparatus for transporting article
TW202031572A (zh) 保管系統
JP7135243B2 (ja) 立体自動倉庫
JP2019014583A (ja) 搬送車システム
KR102231176B1 (ko) 물품 이송 장치
KR20210158241A (ko) 호이스트 유닛의 가이드 구조물 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치
KR20200076298A (ko) 물품 이송 장치
JP2019135185A (ja) 自動倉庫システム
KR102576383B1 (ko) 반송대차
US20230061872A1 (en) Wafer storage system
KR20210133446A (ko) 물품 이송 장치

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal